JP2006314007A - 圧電振動片の製造方法および圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
振動部と枠部との間に貫通溝を有する圧電振動片を製造する上で、振動部と枠部との間に形成する貫通溝の幅を狭くすることができる製造方法を提供する。
【解決手段】
振動部14と、この振動部14を囲む枠部16とを備え、前記振動部14と前記枠部16との間に貫通溝26を設ける圧電振動片10の製造方法であって、前記振動部14と前記貫通溝26を構成する部位に対応した圧電基板12の厚さをケミカルエッチングにより調整し、厚さを調整された圧電基板12に対してケミカルエッチングを施して貫通溝26を構成することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
エッチングにより圧電振動片を製造することについて開示されたものとして、例えば特許文献1を挙げることができる。
また、本発明は、上記方法を用いて製造した圧電振動片から圧電振動子を得ることを目的とする。
その後、枠部16及び振動部14を構成する部位に第2の耐食膜40を形成する(S130)。そして、圧電基板12のうち、第2の耐食膜40を成膜していない部位をケミカルエッチングして圧電基板12内に振動部14を形成する。このエッチングにより、圧電基板12内に、振動部14と枠部16、及び振動部14と枠部16とを隔てる貫通溝26を形成するのである。なお、エッチングレートを考慮して、枠部16に片側傾斜面を有する突起部25を残すようにすると良い。このような形状とすることにより、突起部25の傾斜面を利用して電極パターンを形成することが可能となる。傾斜面に電極を形成することによれば、引き出し電極の断線を防止することができる(S140)。
Claims (4)
- 振動部と、この振動部を囲む枠部とを備え、前記振動部と前記枠部との間に貫通溝を設ける圧電振動片の製造方法であって、
前記振動部と前記貫通溝を構成する部位に対応した圧電基板の厚さをケミカルエッチングにより予め定めた厚さに調整し、
厚さを調整された圧電基板に対して再度ケミカルエッチングを施して貫通溝を構成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 振動部と、この振動部を囲む枠部とを備え、前記振動部と前記枠部との間に貫通溝を設ける圧電振動片の製造方法であって、
圧電基板に対して前記枠部の形状に応じた第1の耐食膜を形成し、前記振動部と前記貫通溝とを構成する部位をケミカルエッチングして発振周波数に応じた厚さにする工程と、
圧電基板における前記貫通溝を構成する部位以外の部位に第2の耐食膜を形成し、ケミカルエッチングにより貫通溝を形成する工程と、
を有することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記第2の耐食膜により圧電振動片の電極を形成することを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の方法を用いて製造した圧電振動片を蓋体で挟んだことを特徴とする圧電振動子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009118223A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス |
JP2009246940A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片、圧電デバイス及び圧電振動片の製造方法 |
JP2012156978A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
WO2012144305A1 (ja) * | 2011-04-18 | 2012-10-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001119264A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2003101377A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-04 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2003174352A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2005033294A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 水晶振動素子 |
-
2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001119264A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2003101377A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-04 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2003174352A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2005033294A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 水晶振動素子 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009118223A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス |
JP2009246940A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片、圧電デバイス及び圧電振動片の製造方法 |
JP2013138512A (ja) * | 2008-03-13 | 2013-07-11 | Seiko Epson Corp | 振動片の製造方法 |
JP2012156978A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
WO2012144305A1 (ja) * | 2011-04-18 | 2012-10-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド |
JPWO2012144305A1 (ja) * | 2011-04-18 | 2014-07-28 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド |
JP5582251B2 (ja) * | 2011-04-18 | 2014-09-03 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド |
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