JPS5850044B2 - 厚みすべり振動子 - Google Patents
厚みすべり振動子Info
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- JPS5850044B2 JPS5850044B2 JP51039982A JP3998276A JPS5850044B2 JP S5850044 B2 JPS5850044 B2 JP S5850044B2 JP 51039982 A JP51039982 A JP 51039982A JP 3998276 A JP3998276 A JP 3998276A JP S5850044 B2 JPS5850044 B2 JP S5850044B2
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- thickness shear
- thickness
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超小型厚みすべり振動子の固定支持方法に関す
る。
る。
本発明の目的は前記振動子の単純な支持方法を提供する
ことである。
ことである。
近年、水晶振動子の小型化がすすみ、これらの振動子を
時計の時間標準とした水晶時計が多く発表されるように
なった。
時計の時間標準とした水晶時計が多く発表されるように
なった。
これらの振動子に要求される条件は高精度にして小型、
かつ安価であるということである。
かつ安価であるということである。
従来使用されている厚みすべり振動子は円板タイプが主
であったが非常に大きいという欠点を有していた。
であったが非常に大きいという欠点を有していた。
最近円板形を改善した矩形の振動子が開発されているが
機械加工によって形状を作るため支持が難しいという欠
点を有し現状では腕時計用としては使用できない状態で
ある。
機械加工によって形状を作るため支持が難しいという欠
点を有し現状では腕時計用としては使用できない状態で
ある。
又小型化にしたため主振動以外の振動（以下副振動と呼
ぶ）が生じ共振周波数一温度特性が良くない等の欠点を
有していた。
ぶ）が生じ共振周波数一温度特性が良くない等の欠点を
有していた。
また、小型化した場合に支持点でのエネルギー損失をで
きるだけ小さくすることが高性能水晶振動子を作るコツ
であり、そのためには細いリード線を使えば良いが今度
はリード線か細すぎると外乱に対して弱いという欠点を
有する。
きるだけ小さくすることが高性能水晶振動子を作るコツ
であり、そのためには細いリード線を使えば良いが今度
はリード線か細すぎると外乱に対して弱いという欠点を
有する。
同時に副振動は水晶振動子の外形寸法と密接な関係を持
つため、機械的加工によって外形寸法を決定する場合相
当の加工精度を必要とする。
つため、機械的加工によって外形寸法を決定する場合相
当の加工精度を必要とする。
以上述べたように腕時計用として厚みすべり振動子を使
用する場合寸法が大きすぎるため、小型化しようとする
と特性の劣化、支持が難しい、副振動が発生しやすい、
外乱に対して弱い、温度特性が悪い等の欠点を有するた
め現状では使用できない状態である。
用する場合寸法が大きすぎるため、小型化しようとする
と特性の劣化、支持が難しい、副振動が発生しやすい、
外乱に対して弱い、温度特性が悪い等の欠点を有するた
め現状では使用できない状態である。
本発明は上記の欠点を除去したものである。
第１図は従来の厚みすべり水晶振動子の例であって円板
形状を改善したかなり小型の振動子の例である。
形状を改善したかなり小型の振動子の例である。
１は水晶振動子、２は電極、３は水晶振動子の支持と電
極を兼ねた支持線である。
極を兼ねた支持線である。
この種の振動子は上記の欠点を有する。
第２図は本発明の一実施例である。
４は厚みすべり振動子の振動部、５は電極、６は支持穴
、７は振動子の振動部と支持部の間に設けられた溝。
、７は振動子の振動部と支持部の間に設けられた溝。
８．９はピン、１０はガラスを示す。
支持穴６はピン８に支持穴６′はピン９にセットされハ
ンダ、接着剤等によって支持固着される。
ンダ、接着剤等によって支持固着される。
支持穴６、溝１１振動部４は同一の水晶板より形成され
ており、電極は上下面に設されピン８，９は異電極にな
るように電極分割されている。
ており、電極は上下面に設されピン８，９は異電極にな
るように電極分割されている。
この電極間に電圧を印加すると第２図に示した矢印方向
に振動を励起する。
に振動を励起する。
交流電圧を印加すれば振動を持続することができる。
第２図の水晶振動子を得る工程例を以下に詳説する。
第３図は本発明に係る水晶薄板が水晶原石から切り出さ
れる方向を示す図である。
れる方向を示す図である。
Ｘ、ＹおよびＺは水晶のそれぞれ電気軸、機械軸および
光軸を示し、１１は本発明の水晶振動子をつくるための
水晶板であって、これは図のようにＹ板をＸ軸を回転軸
として３５°〜５００の角度に切り出される。
光軸を示し、１１は本発明の水晶振動子をつくるための
水晶板であって、これは図のようにＹ板をＸ軸を回転軸
として３５°〜５００の角度に切り出される。
この水晶板は切り出された後、充分に研摩され所定の寸
法に仕上げられる。
法に仕上げられる。
水晶振動子にこの薄い水晶板からフォトエツチング技術
を使って形成される。
を使って形成される。
即ち研摩された水晶板の表裏面にクロムおよびその上に
金の金属膜を水晶板上に蒸着等によって着ける。
金の金属膜を水晶板上に蒸着等によって着ける。
次に振動部と支持部にはフォトエツチングにより、前記
クロム、金の金属膜を残す。
クロム、金の金属膜を残す。
その後、この水晶薄板を例えば弗酸、弗化アンモニウム
あるいは両液の混合液中に浸漬すれば、クロム、金の金
属膜によって覆われていない部分の水晶は溶解され、希
望した水晶振動子を形成することができる。
あるいは両液の混合液中に浸漬すれば、クロム、金の金
属膜によって覆われていない部分の水晶は溶解され、希
望した水晶振動子を形成することができる。
又マスキングを色々とかえることによって種々様々な形
状の水晶振動子を得ることができる。
状の水晶振動子を得ることができる。
即ち本発明ではマスキングの技術を使用することによっ
て支持部に穴を設け、かつ水晶振動子の振動部と支持部
に溝を設けることによって振動部のエネルギー損失をで
きるだけ小さくするものであり、支持部の面積を大きく
することによりリジットに固定し支持を容易にしたもの
である。
て支持部に穴を設け、かつ水晶振動子の振動部と支持部
に溝を設けることによって振動部のエネルギー損失をで
きるだけ小さくするものであり、支持部の面積を大きく
することによりリジットに固定し支持を容易にしたもの
である。
本発明の水晶振動子は以上説明したように非常に簡単で
量産に適する工程によって形成することができるので安
価に作ることができると同時に超小型水晶振動子を提供
することが可能になった。
量産に適する工程によって形成することができるので安
価に作ることができると同時に超小型水晶振動子を提供
することが可能になった。
かつ支持を容易にならしめたので高性能水晶振動子提供
するものであり水晶腕時計の超小型、超性能化が可能に
なった。
するものであり水晶腕時計の超小型、超性能化が可能に
なった。
第１図は従来の厚みすべり振動子の概観図、第２図は本
発明の厚みすべり振動子とその支持方法を示す概観図、
第３図は本発明に係る水晶薄板の切り出し角度を示す図
。 ４・・・・・・厚みすべり振動子の振動部、５・・・・
・・電極、６．６′・・・・・・支持穴、７・・・・・
・溝、８，９・・・・・・ピン、１０・・・・・・ガラ
ス、１１・・・・・・水晶薄板を作るための水晶板。
発明の厚みすべり振動子とその支持方法を示す概観図、
第３図は本発明に係る水晶薄板の切り出し角度を示す図
。 ４・・・・・・厚みすべり振動子の振動部、５・・・・
・・電極、６．６′・・・・・・支持穴、７・・・・・
・溝、８，９・・・・・・ピン、１０・・・・・・ガラ
ス、１１・・・・・・水晶薄板を作るための水晶板。
Claims (1)
- １ 振動部と支持部とを有する厚みすべり振動子におい
て、振動部と支持部との間に溝を有し、支持部にも穴も
しくは切欠きが設けられ、該穴もしくは切欠きにピンを
挿入し支持するとともに、前記支持部は振動部の両端に
設けられ、かつ、前記振動部と支持部はエツチングによ
り一体に形成されていることを特徴とする厚みすべり振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51039982A JPS5850044B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51039982A JPS5850044B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 厚みすべり振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52123190A JPS52123190A (en) | 1977-10-17 |
| JPS5850044B2 true JPS5850044B2 (ja) | 1983-11-08 |
Family
ID=12568143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51039982A Expired JPS5850044B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850044B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4917763A (ja) * | 1972-06-07 | 1974-02-16 | ||
| JPS50790A (ja) * | 1973-05-02 | 1975-01-07 | ||
| JPS50153891A (ja) * | 1974-05-14 | 1975-12-11 | ||
| JPS5110787A (ja) * | 1974-07-01 | 1976-01-28 | Suwa Seikosha Kk | Suishoshindoshi |
-
1976
- 1976-04-09 JP JP51039982A patent/JPS5850044B2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4917763A (ja) * | 1972-06-07 | 1974-02-16 | ||
| JPS50790A (ja) * | 1973-05-02 | 1975-01-07 | ||
| JPS50153891A (ja) * | 1974-05-14 | 1975-12-11 | ||
| JPS5110787A (ja) * | 1974-07-01 | 1976-01-28 | Suwa Seikosha Kk | Suishoshindoshi |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52123190A (en) | 1977-10-17 |
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