JPS6013608B2 - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents

厚みすべり圧電振動子

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JPS6013608B2
JPS6013608B2 JP54028417A JP2841779A JPS6013608B2 JP S6013608 B2 JPS6013608 B2 JP S6013608B2 JP 54028417 A JP54028417 A JP 54028417A JP 2841779 A JP2841779 A JP 2841779A JP S6013608 B2 JPS6013608 B2 JP S6013608B2
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JP
Japan
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electrode
vibration
center
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hole
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JP54028417A
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JPS55121727A (en
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哲郎 今野
均 池野
弘文 柳
光之 杉田
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Seikosha KK
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Seikosha KK
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Priority to CH194580A priority patent/CH636228A5/fr
Priority to GB8008411A priority patent/GB2048565B/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
    • H—ELECTRICITY
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    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
    • H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape

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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚みすべり振動を行なう圧蚤振動子に関するも
のである。
一般にＡＴカット水晶振動子などの厚みすべり振動を行
なう水晶振動子などは、主振動以外に数多くの副振動が
存在する。
そしてこの副振動は、主振動と発振周波数が接近してい
る場合、発振条件により副振動にて発振したり、また主
振動に悪影響を及ぼしたりする。本発明は主振動を効率
よく励振できるとともに副振動を励振いこくい電極形状
を有する厚みすべり氏蟹振動子を提供することを目的と
する。
以下本発明の一実施例を説明する。本実施例の厚みすべ
り水晶振動子は４．２ＭＨｚ帯に主振動をもつものであ
るが、この主振動に近い副振動として４．８Ｍ舷の副振
動が存在する。
この主振動と副振動は、鰭気探針法等にて測定すると第
１図のような鰭術分布状況図および電荷分布曲線図にて
示される振動モードを示す。同図において主振動１は正
の電荷が中央部に集中しており、畠９振動０‘ま中央部
とその両側に互いに異符号の電荷が集中している。上記
主振動１を効率よく励綾し、副振動０を抑制する電極形
状を本発明は提供する。第３図において、圧電素子であ
る水晶片１の一方の面上には中央部に電極膜を有する円
形の表面電極２が蒸着などにより設けてある。
また水晶片１の他方の面上には中央部に透孔３を穿毅し
た裏面電極４が同様に蒸着などにより設けてある。この
透孔３は第１図示の副振動Ｄの鰭衛集中部分のうちＺ軸
方向の左右の成分に対応する部分がＸ軸方向に幅広ｗ，
であり、主振動１の電荷集中部分に対応する部分、．す
なわち中心部が幅狭ｗ２である。すなわち中心部がくび
れ、左右が幅広である形状の透孔である。透孔３に連続
している切欠部３ａ，３ｂは、裏面電極４を蒸着する際
、透孔３に対応するマスクを支持する部分である。した
がって適宜の方法にて裏面電極４に透孔３を穿設可能で
あれば切欠部３ａ，３ｂは不要であり、この部分に電極
を連続して設けてもよい。上記のように裏面電極４に透
孔３を穿設し、しかもこの透孔は中心部が幅狭ｗ２、す
なわち電極がＸ軸方向に突出しており、副振動０の亀術
集中部分に対応して幅広ｗ，、すなわち電極を大きく切
除しているため、主振動１を効率よく励振できるととも
に不要な副振動川ま抑制できる。
そして本発明の水晶振動子は第２図示の等価回路におい
て、Ｒは多少増加するが、Ｃ仇が極めて減少するため、
Ｑ値を向上できる。
またＣ凧の減少により、浮遊容量の影響を小さくでき、
周波数安定度がよくなる。さらに一方の電極は振動変位
の大きな中心部に電極膜がないため、エージングの点で
優れており、他方の電極は振動変位の大きな中心部に電
極膜があるため、例えば付加質量による発振周波数の調
整が効率よく行える。本実施例では表面電極２は、第３
図Ｂとの鰭極細合せにおいて、少くとも第３図Ａに破線
にて示された主振動１の電荷集中部分に電極があればよ
い。
しかしＲやＣのを適当な値とするには図示の円形電極が
好ましい。つぎに本発明の他の実施例を第４図にもとづ
いて説明する。
水晶片１１の一方の面には、×軸方向に長い表面電極１
２が黍着などにより設けてある。
表面電極１２は図示のような円形電極から×鞠方向に突
出部を有するものに限らず、Ｘ軸方向が長径の楕円形な
ど中央部に電極膜を有する形状に適宜変更可能である。
水晶片１１の他方の面には前記実施例と同様の中心部に
透孔１３を有する裏面電極１４が設けてある。この場合
も表面電極１２と袋両軍極１４との間に鰭圧を印加する
と、同機に主振動１を効率よく励振できるとともに、副
振動は抑制できる。
そして第２図示の等価回路におけるＣ肌およびＲを、Ｘ
鞠方向に長く突出した表面電極１２により最適な値に設
定できる。これは裏面電極１４の中心部の電極がＸ髄万
向に大きく形成してあるため、表面亀極１２との水晶片
をはさんだ交差部分が大きいためである。以上述べたよ
うに本発明によれば、圧鰭振動子を主振動にて効率よく
励振でき、副振動を抑制できる。
また付加質量による発振周波数の調整は、小さな付加質
量により効率よく行えるため、エージングによる発振周
波数変動も極めて少くできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の水晶振動子における主振動１および副振
動０の表面電荷分布状況図および表面電荷分布曲線図、
第２図は水晶振動子の電気的等価回路図、第３図は本発
明の一実施例を示し、Ａは正面図、Ｂに背面図、第４図
は本発明の他の実施例を示し、Ａは正面図、Ｂは背面図
である。 １，１１……圧鰭素子、２，１２……電極、３，１３・
・・・・・透孔、４，１４・…・・電極。 第２図第３図 第１図 第４図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 圧電素子の一方の面には中央部に電極膜を有する電
    極を設け、 上記圧電素子の他方の面には中央部に透孔
    を穿設した電極を設け、 上記透孔は主振動の電荷集中
    部分である上記圧電素子の中心部に対応してＸ軸方向に
    幅狭であり、上記中心部のＺ軸方向の両側の幅振動の電
    荷の左右成分の集中部分に対応してＸ軸方向に幅広であ
    ることを特徴とする厚みすべり圧電振動子。 ２ 特許請求の範囲第１項において、圧電素子の一方の
    面に設けた電極は、Ｘ軸方向に長く形成したことを特徴
    とする厚みすべり圧電振動子。
JP54028417A 1979-03-12 1979-03-12 厚みすべり圧電振動子 Expired JPS6013608B2 (ja)

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JP54028417A JPS6013608B2 (ja) 1979-03-12 1979-03-12 厚みすべり圧電振動子
US06/128,952 US4370584A (en) 1979-03-12 1980-03-10 Electrode configuration for thickness-shear mode piezoelectric vibrator
DE19803009531 DE3009531A1 (de) 1979-03-12 1980-03-12 Piezoelektrischer dickenschwinger
FR8005484A FR2451665B1 (fr) 1979-03-12 1980-03-12 Resonateur piezo-electrique fonctionnant en mode cisaillement d'epaisseur
CH194580A CH636228A5 (fr) 1979-03-12 1980-03-12 Vibreur piezo-electrique a mode de cisaillement d'epaisseur.
GB8008411A GB2048565B (en) 1979-03-12 1980-03-12 Thicknessshear mode piezo-electric vibrator
SG330/85A SG33085G (en) 1979-03-12 1985-05-02 Thickness-shear mode piezo-electric vibrator
HK562/85A HK56285A (en) 1979-03-12 1985-08-01 Thickness-shear mode piezo-electric vibrator

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CH (1) CH636228A5 (ja)
DE (1) DE3009531A1 (ja)
FR (1) FR2451665B1 (ja)
GB (1) GB2048565B (ja)
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GB2048565B (en) 1983-04-27
US4370584A (en) 1983-01-25
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JPS55121727A (en) 1980-09-19
DE3009531C2 (ja) 1987-06-25
CH636228A5 (fr) 1983-05-13

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