JPH07212171A - 厚みすべり水晶振動子 - Google Patents
厚みすべり水晶振動子Info
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- JPH07212171A JPH07212171A JP552594A JP552594A JPH07212171A JP H07212171 A JPH07212171 A JP H07212171A JP 552594 A JP552594 A JP 552594A JP 552594 A JP552594 A JP 552594A JP H07212171 A JPH07212171 A JP H07212171A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/566—Electric coupling means therefor
Landscapes
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加工を容易にしながら振動損失を少なくした
支持構造になる厚みすべり水晶振動子を提供することに
ある。 【構成】 Ｘ軸とＺ’軸を含む面を主面とする水晶板か
ら打ち抜きで固定部１１Ａと振動部１１Ｂ及び両部を結
合支持する支持部１１Ｃを形成し、これらが平面形状を
持つ一体構造とすることによりエッチング工法等による
加工を容易にする。また、支持部は振動部のＺ’軸方向
両端かつ振動部の板厚ｙ0よりも薄く、好ましくはその
１／２以下になる厚さｙ1とすることにより、振動部か
ら固定部への振動の漏れを少なくし、振動損失を少なく
する。
支持構造になる厚みすべり水晶振動子を提供することに
ある。 【構成】 Ｘ軸とＺ’軸を含む面を主面とする水晶板か
ら打ち抜きで固定部１１Ａと振動部１１Ｂ及び両部を結
合支持する支持部１１Ｃを形成し、これらが平面形状を
持つ一体構造とすることによりエッチング工法等による
加工を容易にする。また、支持部は振動部のＺ’軸方向
両端かつ振動部の板厚ｙ0よりも薄く、好ましくはその
１／２以下になる厚さｙ1とすることにより、振動部か
ら固定部への振動の漏れを少なくし、振動損失を少なく
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、厚みすべり水晶振動子
に係り、特に振動部の支持構造を改良した水晶振動子に
関する。
に係り、特に振動部の支持構造を改良した水晶振動子に
関する。
【０００２】
【従来の技術】厚みすべり水晶振動子の支持構造とし
て、現在使用されている構造を図８の（ａ）に、またそ
の改良型を（ｂ）に示す。
て、現在使用されている構造を図８の（ａ）に、またそ
の改良型を（ｂ）に示す。
【０００３】（ａ）の構造は、水晶振動子１の輪郭形状
端部をコンベックス形状（又はベベル形状）とすること
により振動モードが両端部で小さくなるようにし、両端
部を一対のホルダー２で支持する。
端部をコンベックス形状（又はベベル形状）とすること
により振動モードが両端部で小さくなるようにし、両端
部を一対のホルダー２で支持する。
【０００４】（ｂ）の構造は、水晶振動子をエッチング
又は研削加工し、円形の振動部３Ａと、この振動部３Ａ
の軸方向両端を支持する狭い幅の支持部３Ｂと、この支
持部３Ｂに続く幅広の固定部３Ｃとになる一体構造と
し、振動部３Ａの最も振動の少ない軸方向で支持する。
４Ａは振動部３Ａに形成される電極膜、４Ｂはそのリー
ド膜である。
又は研削加工し、円形の振動部３Ａと、この振動部３Ａ
の軸方向両端を支持する狭い幅の支持部３Ｂと、この支
持部３Ｂに続く幅広の固定部３Ｃとになる一体構造と
し、振動部３Ａの最も振動の少ない軸方向で支持する。
４Ａは振動部３Ａに形成される電極膜、４Ｂはそのリー
ド膜である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の（ａ）の支持構
造は、水晶振動子１に複雑な形状の輪郭加工を必要と
し、量産工法として注目されているフォトエッチング工
法などで加工するには非常に難しい形状となり、量産に
向かない問題がある。
造は、水晶振動子１に複雑な形状の輪郭加工を必要と
し、量産工法として注目されているフォトエッチング工
法などで加工するには非常に難しい形状となり、量産に
向かない問題がある。
【０００６】従来の（ｂ）の支持構造は、支持方向が振
動の節部とされるも、振動部３Ａの振動エネルギーが支
持部３Ｂから固定部３Ｃに伝わり、振動の洩れが発生し
易く、振動損失が非常に大きくなる。
動の節部とされるも、振動部３Ａの振動エネルギーが支
持部３Ｂから固定部３Ｃに伝わり、振動の洩れが発生し
易く、振動損失が非常に大きくなる。
【０００７】この振動部と支持部及び固定部を一体構造
にするものとして、図８の（ｃ）に示すように、振動部
５Ａの全周部の溝を形成して支持部５Ｂとし、固定部５
Ｃに厚みを薄くした結合を得る構造が考えられるが、こ
の構造にあっても外部への振動損失があまり軽減されな
い。
にするものとして、図８の（ｃ）に示すように、振動部
５Ａの全周部の溝を形成して支持部５Ｂとし、固定部５
Ｃに厚みを薄くした結合を得る構造が考えられるが、こ
の構造にあっても外部への振動損失があまり軽減されな
い。
【０００８】本発明の目的は、加工を容易にしながら振
動損失を少なくした支持構造になる厚みすべり水晶振動
子を提供することにある。
動損失を少なくした支持構造になる厚みすべり水晶振動
子を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、Ｘ軸とＺ’軸を含む面を主面とする水晶
板の周辺部にされる固定部と、前記水晶板の中央部にさ
れる振動部と、前記振動部と固定部との間の打ち抜きで
形成され該振動部をそのＺ’軸方向両端でのみ該固定部
に支持しかつ振動部の厚み方向の両面から掘り下げた厚
みを持つ支持部とを備えたことを特徴とする。
決を図るため、Ｘ軸とＺ’軸を含む面を主面とする水晶
板の周辺部にされる固定部と、前記水晶板の中央部にさ
れる振動部と、前記振動部と固定部との間の打ち抜きで
形成され該振動部をそのＺ’軸方向両端でのみ該固定部
に支持しかつ振動部の厚み方向の両面から掘り下げた厚
みを持つ支持部とを備えたことを特徴とする。
【００１０】また、本発明は、前記支持部の厚さは前記
振動部の厚さの１／２以下にしたことを特徴とする。
振動部の厚さの１／２以下にしたことを特徴とする。
【００１１】また、本発明は、前記振動部に形成する電
極は、Ｘ軸方向で複数に分割した構造とし、該各電極
は、振動部の表面と裏面で対峙するもの同士及び同じ面
で隣に位置するもの同士は互いに逆極性になる励起電圧
を印加する構造としたことを特徴とする。
極は、Ｘ軸方向で複数に分割した構造とし、該各電極
は、振動部の表面と裏面で対峙するもの同士及び同じ面
で隣に位置するもの同士は互いに逆極性になる励起電圧
を印加する構造としたことを特徴とする。
【００１２】
【作用】水晶板から打ち抜きで固定部と振動部及び両部
を結合支持する支持部を形成する平面構造かつ一体構造
とすることによりエッチング工法等による加工を容易に
する。支持部は、振動部のＺ’軸方向両端かつ振動部の
厚さよりも薄く、好ましくは１／２以下にすることによ
り、振動部から固定部への振動の漏れを少なくし、振動
損失を少なくする。
を結合支持する支持部を形成する平面構造かつ一体構造
とすることによりエッチング工法等による加工を容易に
する。支持部は、振動部のＺ’軸方向両端かつ振動部の
厚さよりも薄く、好ましくは１／２以下にすることによ
り、振動部から固定部への振動の漏れを少なくし、振動
損失を少なくする。
【００１３】また、表面と裏面の電極をそれぞれ複数に
分割形成し、各電極への励起電圧印加によって振動モー
ド（３、１、０）を得、温度変化による周波数安定度に
振動モード（１、１、０）と同等のものを得る。
分割形成し、各電極への励起電圧印加によって振動モー
ド（３、１、０）を得、温度変化による周波数安定度に
振動モード（１、１、０）と同等のものを得る。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す厚みすべり
水晶振動子の構造である。厚みすべり振動モードのＡＴ
板水晶振動子１１は、（ａ）に平面図を示すように、Ｘ
軸とＺ’軸を含む面を主面とする四角形状の平板構造に
切り出され、周辺部になる額縁状の固定部１１Ａと、中
央部になる四角形状の振動部１１Ｂ及び固定部１１Ａと
振動部１１Ｂを該振動部のＺ’軸方向両端のみで支持す
る一対の支持部１１Ｃとを有する。
水晶振動子の構造である。厚みすべり振動モードのＡＴ
板水晶振動子１１は、（ａ）に平面図を示すように、Ｘ
軸とＺ’軸を含む面を主面とする四角形状の平板構造に
切り出され、周辺部になる額縁状の固定部１１Ａと、中
央部になる四角形状の振動部１１Ｂ及び固定部１１Ａと
振動部１１Ｂを該振動部のＺ’軸方向両端のみで支持す
る一対の支持部１１Ｃとを有する。
【００１５】この構造になる水晶振動子１１は、支持部
１１Ｃを残して固定部１１Ａと振動部１１Ｂとの間がエ
ッチング工法（又は超音波加工、サンドブラスト工法）
で打ち抜き形成される。また、同図（ｂ）にＰ−Ｐ’方
向の断面図を示すように、支持部１１Ｃの厚みは振動部
１１Ｂのそれよりも薄くした両面からの溝部１１Ｄを有
する構造にされる。
１１Ｃを残して固定部１１Ａと振動部１１Ｂとの間がエ
ッチング工法（又は超音波加工、サンドブラスト工法）
で打ち抜き形成される。また、同図（ｂ）にＰ−Ｐ’方
向の断面図を示すように、支持部１１Ｃの厚みは振動部
１１Ｂのそれよりも薄くした両面からの溝部１１Ｄを有
する構造にされる。
【００１６】振動部１１Ｂには、図示省略するがその主
面には一対の電極が形成され、支持部１１Ｃ面を経て固
定部１１Ａ面に引き出される。
面には一対の電極が形成され、支持部１１Ｃ面を経て固
定部１１Ａ面に引き出される。
【００１７】振動部１１ＢのＸ，Ｚ’軸方向の寸法
ｘ0，ｚ0は、それぞれ主振動のみが強く励振され易くす
る。すなわち、主振動（１、１、０）モードが励振され
易く、他の副振動はその共振周波数が主振動から離れて
小さくなる寸法に設計される。
ｘ0，ｚ0は、それぞれ主振動のみが強く励振され易くす
る。すなわち、主振動（１、１、０）モードが励振され
易く、他の副振動はその共振周波数が主振動から離れて
小さくなる寸法に設計される。
【００１８】図２は、ＡＴカット板の水晶振動子の一例
として試片の厚みｙ0と長さｚ0を一定値として幅ｘ0を
変えたときの主振動（破線）と副振動（実線）の共振周
波数スペクトラムを示す。この関係図から、主振動
（１、１、０）を得ながら副振動の発生を無くすには、
副振動と交差する位置（〇印）を避けたｘ0寸法を求め
る。
として試片の厚みｙ0と長さｚ0を一定値として幅ｘ0を
変えたときの主振動（破線）と副振動（実線）の共振周
波数スペクトラムを示す。この関係図から、主振動
（１、１、０）を得ながら副振動の発生を無くすには、
副振動と交差する位置（〇印）を避けたｘ0寸法を求め
る。
【００１９】次に、支持部１１Ｃの厚さｙ1は振動部１
１Ｂの厚さｙ0より薄く、好ましくはｙ0の１／２以下に
することで振動損失を有効に減少させる。
１Ｂの厚さｙ0より薄く、好ましくはｙ0の１／２以下に
することで振動損失を有効に減少させる。
【００２０】すなわち、支持部の厚さｙ1と振動部の厚
さｙ0の比ｙ1／ｙ0と振動損失Ｒの特性は、支持部の幅
ｘ1が一定の場合を図３に示すように、ｙ1／ｙ0＝１／
２以上になるときは振動損失Ｒが大きく、振動子として
実用化しにくい。ｙ1／ｙ0＜１／２の範囲にしたとき
は、振動損失Ｒが有効に低減する。したがって、ｙ1／
ｙ0＜１／２の範囲が好ましい。
さｙ0の比ｙ1／ｙ0と振動損失Ｒの特性は、支持部の幅
ｘ1が一定の場合を図３に示すように、ｙ1／ｙ0＝１／
２以上になるときは振動損失Ｒが大きく、振動子として
実用化しにくい。ｙ1／ｙ0＜１／２の範囲にしたとき
は、振動損失Ｒが有効に低減する。したがって、ｙ1／
ｙ0＜１／２の範囲が好ましい。
【００２１】また、ｙ1の厚さが薄すぎると、支持部１
１Ｃの機械的強度に影響することから、発振周波数が高
く、振動部の厚さｙ0が薄い場合には１／２近辺が好ま
しい。
１Ｃの機械的強度に影響することから、発振周波数が高
く、振動部の厚さｙ0が薄い場合には１／２近辺が好ま
しい。
【００２２】また、振動部１１Ｂと固定部１１Ａとは同
じ厚さｙ0の場合を示すが、異なる厚さに、例えば発振
周波数が高い振動子の場合など、振動部の厚さを固定部
のそれよりも薄くした構造とすることもできる。この場
合も支持部１１Ｃの厚さｙ1、幅ｘ1と振動部の厚さｙ0
の関係は前述の通りにし、振動損失を少なくした支持構
造にする。また、振動部１１Ｂの幅ｘ0には副振動が発
生しにくい寸法比にされる。
じ厚さｙ0の場合を示すが、異なる厚さに、例えば発振
周波数が高い振動子の場合など、振動部の厚さを固定部
のそれよりも薄くした構造とすることもできる。この場
合も支持部１１Ｃの厚さｙ1、幅ｘ1と振動部の厚さｙ0
の関係は前述の通りにし、振動損失を少なくした支持構
造にする。また、振動部１１Ｂの幅ｘ0には副振動が発
生しにくい寸法比にされる。
【００２３】また、図４の（ａ）に平面図、（ｂ）にＱ
−Ｑ’位置の断面図を示すように、四角形状の固定部１
２Ａの中央部に円形の振動部１２Ｂを切り抜き形成し、
支持部１２Ｃで支持する構造にして同等の作用効果を得
ることができる。
−Ｑ’位置の断面図を示すように、四角形状の固定部１
２Ａの中央部に円形の振動部１２Ｂを切り抜き形成し、
支持部１２Ｃで支持する構造にして同等の作用効果を得
ることができる。
【００２４】以上の構造とする本実施例の水晶振動子に
よれば、水晶振動板からエッチング等によって切り出す
ことができる構造のため、加工を容易にして量産性が高
くなる。
よれば、水晶振動板からエッチング等によって切り出す
ことができる構造のため、加工を容易にして量産性が高
くなる。
【００２５】また、支持構造は振動部のＺ’軸方向両端
で２点支持する構造とし、しかも厚さｙ1になる溝部１
１Ｄを持つ構造とするため、振動損失が少なくなる。さ
らに、振動部１１Ｂの寸法ｘ0，ｙ0，ｚ0の寸法比設計
によって、副振動の発生を抑制できる。
で２点支持する構造とし、しかも厚さｙ1になる溝部１
１Ｄを持つ構造とするため、振動損失が少なくなる。さ
らに、振動部１１Ｂの寸法ｘ0，ｙ0，ｚ0の寸法比設計
によって、副振動の発生を抑制できる。
【００２６】図５は、本発明の他の実施例を示す振動子
構成図である。同図の（ａ）には平面図を、（ｂ）には
Ｐ−Ｐ’方向の断面図を、（ｃ）にはＱ−Ｑ’方向の断
面図を示す。
構成図である。同図の（ａ）には平面図を、（ｂ）には
Ｐ−Ｐ’方向の断面図を、（ｃ）にはＱ−Ｑ’方向の断
面図を示す。
【００２７】図５において、振動部１１ＢがそのＺ’軸
方向両端でＸ軸方向中心位置及びその左右の端部よりｘ
0／６だけ内側の２箇所、すなわち１面に３点の支持位
置、振動子として合計６箇所の支持部１１Ｅで固定部１
１Ａに支持し、電極１１ＦはＸ軸方向を３等分割して
（３、１、０）振動モードを励振するよう設け、各支持
部１１Ｅを個別に経由して固定部１１Ａに引き出され、
導通励振する。
方向両端でＸ軸方向中心位置及びその左右の端部よりｘ
0／６だけ内側の２箇所、すなわち１面に３点の支持位
置、振動子として合計６箇所の支持部１１Ｅで固定部１
１Ａに支持し、電極１１ＦはＸ軸方向を３等分割して
（３、１、０）振動モードを励振するよう設け、各支持
部１１Ｅを個別に経由して固定部１１Ａに引き出され、
導通励振する。
【００２８】支持部１１Ｅの厚さｙ1は、図１の実施例
と同様に、振動部１１Ｂの厚さｙ0より薄く、好ましく
は１／２以下にして振動損失の軽減を図る。なお、支持
部１１Ｅの個々の幅ｘ1は、６箇所の支持になるため、
図１の実施例のものよりも１／３以上小さくして同等以
上の機械強度を得ることができる。
と同様に、振動部１１Ｂの厚さｙ0より薄く、好ましく
は１／２以下にして振動損失の軽減を図る。なお、支持
部１１Ｅの個々の幅ｘ1は、６箇所の支持になるため、
図１の実施例のものよりも１／３以上小さくして同等以
上の機械強度を得ることができる。
【００２９】電極１１Ｆは、表裏合わせて６箇所に分割
形成され、表面と裏面で対峙するもの同士及び同じ面で
隣に位置するもの同士は互いに逆極性になる励起電圧を
印加する。従って、各電極は図６に示す外部接続で励振
回路に接続される。
形成され、表面と裏面で対峙するもの同士及び同じ面で
隣に位置するもの同士は互いに逆極性になる励起電圧を
印加する。従って、各電極は図６に示す外部接続で励振
回路に接続される。
【００３０】このような電極配置と励起電圧印加によ
り、振動部１１Ｂの電気偏極分布は、図７に電極位置と
対応づけて示すように、振動モード（３、１、０）が生
じる。この振動モードでは、図２に示すように、寸法ｘ
0の変化に対して図１の実施例での振動モード（１、
１、０）のものと殆ど同じく小さい周波数変化率で現れ
る。
り、振動部１１Ｂの電気偏極分布は、図７に電極位置と
対応づけて示すように、振動モード（３、１、０）が生
じる。この振動モードでは、図２に示すように、寸法ｘ
0の変化に対して図１の実施例での振動モード（１、
１、０）のものと殆ど同じく小さい周波数変化率で現れ
る。
【００３１】このことは、温度変化によるＸ，Ｙ及びＺ
軸方向の伸び縮み率が異なる水晶振動子において、温度
変化によるｘ0等の寸法変化に対して何れも周波数安定
度が良好なものを得ることができることを示している。
軸方向の伸び縮み率が異なる水晶振動子において、温度
変化によるｘ0等の寸法変化に対して何れも周波数安定
度が良好なものを得ることができることを示している。
【００３２】したがって、本実施例においても前述の実
施例と同等の作用効果を得ることができる。
施例と同等の作用効果を得ることができる。
【００３３】なお、副振動については図２中の〇印と×
印に示す両交差位置を避けるよう異なる寸法比の振動部
幅ｘ0が選択される。
印に示す両交差位置を避けるよう異なる寸法比の振動部
幅ｘ0が選択される。
【００３４】本実施例の変形例として、振動部１１Ｂを
そのＺ’軸方向両端で各２箇所づつの支持部１１Ｅで支
持する４点支持構造や各１箇所で支持する２点支持構造
とし、電極は図５と同じ表裏各３つに分割形成し、表裏
面とも同電極となる電極同志を共通に接続して、それぞ
れ一方の支持部１１Ｅ面を経て固定部１１Ａ面に引き出
し、励振回路に外部接続して振動モード（３、１、０）
を得る構造にする。
そのＺ’軸方向両端で各２箇所づつの支持部１１Ｅで支
持する４点支持構造や各１箇所で支持する２点支持構造
とし、電極は図５と同じ表裏各３つに分割形成し、表裏
面とも同電極となる電極同志を共通に接続して、それぞ
れ一方の支持部１１Ｅ面を経て固定部１１Ａ面に引き出
し、励振回路に外部接続して振動モード（３、１、０）
を得る構造にする。
【００３５】なおまた、発振周波数に応じて振動部１１
Ｂの厚さｙ0を固定部１１Ａの厚さと異なるものにする
ことができる。
Ｂの厚さｙ0を固定部１１Ａの厚さと異なるものにする
ことができる。
【００３６】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、Ｘ軸と
Ｚ’軸を含む面を主面とする水晶板から打ち抜きで固定
部と振動部及び両部を結合支持する支持部を形成する平
面形状の一体構造としたため、各部の形成に従来のコン
ベックス形状等への特殊な形状の加工を不要にし、エッ
チング工法等により容易に加工できる。
Ｚ’軸を含む面を主面とする水晶板から打ち抜きで固定
部と振動部及び両部を結合支持する支持部を形成する平
面形状の一体構造としたため、各部の形成に従来のコン
ベックス形状等への特殊な形状の加工を不要にし、エッ
チング工法等により容易に加工できる。
【００３７】また、支持部は、振動部のＺ’軸方向両端
かつ振動部の厚さよりも薄く、好ましくはその１／２以
下にするようにしたため、振動部から固定部への振動の
漏れを少なくし、振動損失を少なくすることができる。
かつ振動部の厚さよりも薄く、好ましくはその１／２以
下にするようにしたため、振動部から固定部への振動の
漏れを少なくし、振動損失を少なくすることができる。
【００３８】また、本発明は、前記振動部に形成する電
極は、Ｘ軸方向で複数に分割した構造とし、各電極と励
起電圧との接続を変更することにより振動モード（１、
１、０）と同等の周波数安定度になる振動モード（３、
１、０）のものを得ることができる。
極は、Ｘ軸方向で複数に分割した構造とし、各電極と励
起電圧との接続を変更することにより振動モード（１、
１、０）と同等の周波数安定度になる振動モード（３、
１、０）のものを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す振動子の構造図。
【図２】振動子の主振動と副振動の特性図。
【図３】振動子の支持部厚さと振動損失特性図。
【図４】他の実施例を示す振動子の構造図。
【図５】他の実施例を示す振動子の構造図。
【図６】図５の電極接続図。
【図７】図５の電気偏極の分布図。
【図８】従来の振動子の支持構造図。
１１Ａ、１２Ａ…固定部 １１Ｂ、１２Ｂ…振動部 １１Ｃ、１３Ｃ、１１Ｅ…支持部 １１Ｄ…溝部 １１Ｆ…電極
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ軸とＺ’軸を含む面を主面とする水晶
板の周辺部にされる固定部と、前記水晶板の中央部にさ
れる振動部と、前記振動部と固定部との間の打ち抜きで
形成され該振動部をそのＺ’軸方向両端でのみ該固定部
に支持しかつ振動部の厚み方向の両面から掘り下げた厚
みを持つ支持部とを備えたことを特徴とする厚みすべり
水晶振動子。 - 【請求項２】 前記支持部の厚さは前記振動部の厚さの
１／２以下にしたことを特徴とする請求項１記載の厚み
すべり水晶振動子。 - 【請求項３】 前記振動部に形成する電極は、Ｘ軸方向
で複数に分割した構造とし、該各電極は、振動部の表面
と裏面で対峙するもの同士及び同じ面で隣に位置するも
の同士は互いに逆極性になる励起電圧を印加する構造と
したことを特徴とする請求項１記載の厚みすべり水晶振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP552594A JPH07212171A (ja) | 1994-01-24 | 1994-01-24 | 厚みすべり水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP552594A JPH07212171A (ja) | 1994-01-24 | 1994-01-24 | 厚みすべり水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07212171A true JPH07212171A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11613612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP552594A Pending JPH07212171A (ja) | 1994-01-24 | 1994-01-24 | 厚みすべり水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07212171A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000052821A1 (fr) * | 1999-03-01 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif de vibration piezo-electrique |
| US7365477B2 (en) | 2005-02-28 | 2008-04-29 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrating element and piezoelectric vibrator |
| US7423363B2 (en) | 2005-02-28 | 2008-09-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrating element and piezoelectric vibrator |
| JP2013098812A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| CN111262547A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-06-09 | 诺思(天津)微系统有限责任公司 | 体声波谐振器、mems器件、滤波器和电子设备 |
| CN111756351A (zh) * | 2020-04-03 | 2020-10-09 | 诺思(天津)微系统有限责任公司 | 体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备 |
-
1994
- 1994-01-24 JP JP552594A patent/JPH07212171A/ja active Pending
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| WO2000052821A1 (fr) * | 1999-03-01 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif de vibration piezo-electrique |
| US6518688B1 (en) | 1999-03-01 | 2003-02-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric vibration device |
| US7365477B2 (en) | 2005-02-28 | 2008-04-29 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrating element and piezoelectric vibrator |
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| CN111756351A (zh) * | 2020-04-03 | 2020-10-09 | 诺思(天津)微系统有限责任公司 | 体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备 |
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