JP2001185987A

JP2001185987A - 音叉型圧電振動子

Info

Publication number: JP2001185987A
Application number: JP37119899A
Authority: JP
Inventors: Tsukasa Funasaka; 司舩坂; Osamu Iwamoto; 修岩本
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1999-12-27
Filing date: 1999-12-27
Publication date: 2001-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】腕部に溝を形成することによって、電気機械
結合係数を大きくするとともにクリスタルインピーダン
スを小さくして、小型化を図ることができる音叉型圧電
振動子を提供すること。【解決手段】ほぼ同一形状に形成された複数の腕部１
３Ａ、１３Ｂを有する音叉型圧電振動子１０であって、
前記腕部１３Ａ、１３Ｂが対向する前記腕部１３Ａ、１
３Ｂの第１の面１３ｘに対してほぼ垂直な第２の面１３
ｙ及び第３の面１３ｚに第１の電極１２ａ、１２ｃと第
２の電極１２ｂ、１２ｄが形成されてなり、前記第１の
電極１２ａ、１２ｃと前記第２の電極１２ｂ、１２ｄ間
に溝１４が形成されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子の改
良、特に、いわゆる音叉型圧電振動子における腕部の構
造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】水晶や圧電素子を用いた共振振動子は、
所定の弾性振動の共振現象を利用して、素子の形状で定
まる数ｋＨｚ〜数ＧＨｚの共振周波数の振動モードを生
成する。特に数ＫＨｚ〜１００ｋＨｚの周波数帯域にお
いては、音叉型圧電振動子が使用され、たとえば時計用
の発振回路などの発振源として約３２ｋＨｚの周波数を
有する水晶振動子が使用されている。ここで、水晶が使
用される理由として、安定した発振周波数と低いＣＩ値
（クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗）を備
えていることが挙げられる。また、低精度ではあるが、
大気圧発振が可能なＸ軸４０°回転のタンタル酸リチウ
ム板からなる音叉型圧電振動子もある。

【０００３】図７は従来の音叉型圧電振動子の一例を示
す構成図であり、図７を参照して音叉型圧電振動子１に
ついて説明する。図７の音叉型圧電振動子１は、基部
２、腕部３、駆動電極４等を有しており、基部２及び腕
部３はたとえばタンタル酸リチウム等の圧電材料により
形成されている。この音叉型圧電振動子１はたとえばＸ
軸４０°回転板からなっていて、分極方向が図８の矢印
Ｙ方向になるように形成されている。腕部３には駆動電
極４が形成されていて、駆動電極４は腕部３の一面３ａ
側に形成されている第１駆動電極４ａ及び第２駆動電極
４ｂと、他面３ｂ側の第１駆動電極４ｃ及び第２駆動電
極４ｄからなっている。ここで、第１駆動電極４ａと第
１駆動電極４ｃ及び第２駆動電極４ｂと第２駆動電極４
ｄはそれぞれ電気的に接続されている。

【０００４】第１駆動電極４ａと第２駆動電極４ｄ及び
第２駆動電極４ｂと第１駆動電極４ｃは、それぞれ対向
するように形成されている。そして、駆動電極４に電力
が供給されると、第１駆動電極４ａと第２駆動電極４ｄ
及び第１駆動電極４ｃと第２駆動電極４ｂの間にそれぞ
れ電界が印加されることにより、たとえばコルピッツ発
振回路により駆動され、圧電効果により２つの腕部３が
それぞれ振動する。このとき図７の音叉型圧電振動子１
の発振周波数は、腕部３の長さＬと幅ＷとしたときＬ²
／Ｗで決まる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、音叉型圧電振動
子１の小型化の要請により、腕部３の長さＬを短くする
ことが求められている。腕部３の長さＬを短くした際、
従前の音叉型圧電振動子１の発振周波数を同一にするた
めには、幅Ｗも小さくする必要がある。しかし、腕部３
の長さＬ及び幅Ｗを小さくすると、ＣＩ値が大きくなっ
てしまい、振動損失が大きくなってしまうという問題が
ある。

【０００６】具体的には、腕部３の幅Ｗを小さくする
と、図８の同一平面上に形成された第１駆動電極４ａと
第２駆動電極４ｂ及び第１駆動電極４ｃと第２駆動電極
４ｄの距離Ｄが短くなる。従って、対向する第１駆動電
極４ａと第２駆動電極４ｄ及び第１駆動電極４ｂと第２
駆動電極４ｃの間に生じる電界の他に、同一平面上の第
１駆動電極４ａと第２駆動電極４ｂ及び第１駆動電極４
ｃと第２駆動電極４ｄの間に電界が印加されてしまう。
この同一平面上における電界の漏れは、振動に対して有
効に電界を利用できない要因となる。また、タンタル酸
リチウム等、水晶に比べ電気機械結合係数が大きい材料
の場合、大気圧中で発振させる音叉型振動子のうち電界
の漏れが大きくなると発振しない原因となる。

【０００７】そこで本発明は上記課題を解消し、腕部に
溝を形成することによって、電気機械結合係数を大きく
するとともにクリスタルインピーダンスを小さくして、
小型化を図ることができる音叉型圧電振動子を提供する
ことを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ほぼ
同一形状に形成された複数の腕部を有する音叉型圧電振
動子であって、前記腕部が対向する前記腕部の第１の面
に対してほぼ垂直な第２の面及び第３の面に第１の電極
と第２の電極が形成されてなり、前記第１の電極と前記
第２の電極間に溝が形成されてなる音叉型振動子ことを
特徴とする。

【０００９】請求項１の構成によれば、腕部の第２の面
と第３の面にはそれぞれ第１の電極と第２の電極が形成
されている。そして、第２の面及び第３の面における第
１の電極と第２の電極の間には溝がそれぞれ形成されて
いる。

【００１０】この溝を形成することにより、同一平面上
に形成されている第１の電極から第２の電極への電界の
漏れが低減されることとなる。これにより、音叉型圧電
振動子の電気機械結合係数が増加するとともに、クリス
タルインピーダンス値が小さくなる。電気機械結合係数
の増大により、音叉型振動子を発振させるための電力を
少なくすることができる。また、クリスタルインピーダ
ンス値を小さくすることによって、安定した振動特性を
得ることができるとともに、音叉型圧電振動子の小型化
を図ることができる。さらに、音叉型圧電振動子の小型
化によって、１つのウェハからより多くの音叉型圧電振
動子を作製することができ、量産性の向上を図ることが
できる。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１の構成におい
て、前記第２の面に形成されてなる前記第１の電極は、
前記第３の面に形成されてなる前記第２の電極と対向す
るように配置されてなり、前記第２の面に形成されてな
る前記第２の電極は、前記第３の面に形成されてなる前
記第１の電極と対向するように配置されてなる音叉型圧
電振動子を特徴とする。

【００１２】請求項２の構成によれば、第２の面の第１
の電極と第３の面の第２の電極が対向するように形成さ
れている。同様に、第２の面の第２電極と第３の面の第
１電極が対向するように形成されている。このように、
第１の電極と第２の電極がそれぞれ対向して設けられて
いることによって、第２の面と第３の面が対称的な構造
を有することとなり、振動特性の向上を図ることができ
る。

【００１３】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
の構成において、前記第１の電極、前記第２の電極及び
前記溝は、前記腕部の長軸方向に形成されてなる音叉型
圧電振動子を特徴とする。

【００１４】請求項３の構成によれば、第１の電極、第
２の電極及び溝が、腕部の長手方向に形成されていて、
同一平面上に形成された第１の電極及び第２の電極の電
界の短絡が腕部のほぼ全体にわたって低減する。

【００１５】上記目的は、請求項４の発明は、請求項１
から請求項３のいずれかの構成において、前記第１の面
における前記溝と前記第２の面における前記溝は、その
一部または全部において貫通孔を形成している音叉型圧
電振動子を特徴とする。

【００１６】請求項４の構成によれば、第１の面に形成
された溝と第３の面に形成された溝のその一部または全
部が貫通されて、貫通孔を形成している。従って、腕部
の圧電材料を介して生じる同一平面上の第１駆動電極と
第２駆動電極の電界の短絡がなくなり、振動子の性能を
向上させることができる。また、貫通孔を形成すること
によって、加工行程を外形形状と同一にすることができ
る。

【００１７】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
のいずれかの構成において、前記圧電材料は、タンタル
酸リチウム、ニオブ酸リチウムもしくはランガサイトの
いずれかからなる音叉型圧電振動子を特徴とする。

【００１８】請求項５の構成によれば、音叉型圧電振動
子は、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムもしくは
ランガサイトからなっていて、これらの圧電材料は水晶
と比べて高い電気機械結合係数を有している。このよう
な圧電材料を用いることによって音叉型圧電振動子のク
リスタルインピーダンス値が低減されることになる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の
音叉型圧電振動子の好ましい実施の形態を示す平面図で
あり、図１を参照して音叉型圧電振動子１０について説
明する。なお、図１（Ａ）は音叉型圧電振動子１０の第
２の面１３ｙを示しており、図１（Ｂ）は音叉型圧電振
動子１０の第３の面１３ｚを示している。図１の音叉型
圧電振動子１０は、基部１１、駆動電極１２、２つの腕
部１３Ａ、１３Ｂ、溝１４等を有している。

【００２０】この音叉型圧電振動子１０の材料は、圧電
材料からなっていて、特に、タンタル酸リチウム、ニオ
ブ酸リチウムもしくはランガサイトの回転Ｙ板からなっ
ている。ここら圧電材料は、水晶に比べて電気機械結合
係数（圧電係数）が高い材料であり、この圧電係数が高
い材料を用いることによって、音叉型圧電振動子１０の
ＣＩ値を小さくして小型化を図ることができる。

【００２１】ここで、回転Ｙ板とは、タンタル酸リチウ
ム等の単結晶において、電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸、
光軸をＺ軸とした直交座標系において、Ｙ軸回りにＸＺ
平面を主面として形成したものである。従って、基部１
１及び腕部１３Ａ、１３Ｂの分極方向は、図２の矢印Ｙ
方向に形成されることとなる。

【００２２】図１の基部１１はたとえばほぼ方形状に形
成されていて、基部１１の幅Ｗ１はたとえば０．４（ｍ
ｍ）になるように形成されている。基部１１から矢印Ｚ
方向に向かって２つの腕部１３Ａ、１３Ｂが形成されて
いる。腕部１３Ａ、１３Ｂはそれぞれ同一の形状及び同
一の構造を有しており、腕部１３Ａ、１３Ｂの幅Ｗ２は
それぞれたとえば０．１（ｍｍ）で形成されている。ま
た、図２の腕部１３Ａ、１３Ｂにおいて、腕部１３Ａ、
１３Ｂの互いに対向する面である第１の面１３ｘとほぼ
垂直になるように第２の面１３ｙ及び第３の面１３ｚが
形成されている。

【００２３】駆動電極１２は、基部１１から腕部１３
Ａ、１３Ｂの長手方向（矢印Ｚ方向）に向かって形成さ
れている。基部１１の第２の面１３ｙ上に形成されてい
る駆動電極１２には外部端子１２ｅが形成されており、
この外部端子１２ｅに交流電圧が印加されることによ
り、腕部１３Ａ、１３Ｂが励振されることとなる。この
駆動電極１２は、たとえば下地がクロム（Ｃｒ）、ニッ
ケル（Ｎｉ）もしくはチタン（Ｔｉ）で上層が金（Ａ
ｕ）、もしくは１層のアルミニウム膜、又は１層のクロ
ム膜の上に保護膜としてＳｉＯ₂ を成膜することにより
形成される。

【００２４】図２は、図１の音叉型圧電振動子１０にお
ける腕部１３Ａ、１３ＢのＡ−Ａ断面を示す断面図であ
り、図１と図２を参照して駆動電極１２について説明す
る。図２の駆動電極１２は第１駆動電極（第１の電極）
１２ａ、１２ｃ及び第２駆動電極（第２の電極）１２
ｂ、１２ｄ等から構成されている。第１駆動電極１２ａ
と第２駆動電極１２ｂは、腕部１３Ａ、１３Ｂの第２の
面１３ｙに形成されていて、第１駆動電極１２ｃと第２
駆動電極１２ｄは、腕部１３Ａ、１３Ｂの第３の面１３
ｚに形成されている。

【００２５】また、第２の面１３ｙの第１駆動電極１２
ａと第３の面１３ｚの第１駆動電極１２ｃは、第１の面
１３ｘを介して電気的に接続されている。同様に、第２
の面１３ｙの第２駆動電極１２ｂと第３の面１３ｚの第
２駆動電極１２ｄも、腕部１３の第１の面１３ｘを介し
て電気的に接続されている。

【００２６】第１駆動電極１２ａと第２駆動電極１２ｄ
及び第２駆動電極１２ｂと第１駆動電極１２ｃはそれぞ
れ対向するように設けられていて、第１駆動電極１２ａ
と第２駆動電極１２ｄ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆
動電極１２ｂの間でそれぞれ電界が形成される。第２の
面１３ｙと第３の面１３ｚが同一の電極構造を有するこ
とによって、音叉型圧電振動子１０はＸ軸に対して対称
になり、周波数特性の向上を図ることができる。

【００２７】腕部１３Ａ、１３Ｂの同一平面上に形成さ
れている第１駆動電極１２ａと第２駆動電極１２ｂ及び
第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｄの間にはそれ
ぞれ溝１４がたとえばエッチング等により形成されてい
る。ここで、溝１４の深さＤｐはたとえば３０（μ
ｍ）、溝１４の幅Ｄｄはたとえば７０（μｍ）になるよ
うに形成されている。第１駆動電極１２ａと第２駆動電
極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｂ
の間にそれぞれ溝１４を形成したのは以下の理由によ
る。

【００２８】たとえば図８に示す従来の音叉型圧電振動
子１のように、同一平面上に形成された第１駆動電極４
ａと第２駆動電極４ｂ及び第１駆動電極４ｃと第２駆動
電極４ｃにおいて、電界が短絡してしまい、電気機械結
合係数が小さくなるとともにＣＩ値が大きくなってしま
うという問題がある。そこで、図２に示すように溝１４
を形成すると、同一平面上に形成された第１駆動電極１
２ａと第２駆動電極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第
２駆動電極１２ｄにおいて、溝１４を回り込まなけれ
ば、電界の短絡は発生しないようになる。従って、同一
平面上に形成されている第１駆動電極１２ａと第２駆動
電極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２
ｄの電界の短絡が少なくなり、それぞれ対向した第１駆
動電極１２ａと第２駆動電極１２ｄ及び第１駆動電極１
２ｃと第２駆動電極１２ｂの間で電界が形成されるよう
になる。

【００２９】従って、音叉型圧電振動子１０の大きさを
小さくして、同一平面上の第１駆動電極１２ａと第２駆
動電極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１
２ｄの距離が短くなったときでも、ＣＩ値の上昇を防止
することができる。すなわち、腕部１３Ａ、１３Ｂの幅
Ｗを小さくしても、ＣＩ値が上昇せずに安定した振動を
得ることができる。また、上述したように音叉型圧電振
動子１０の発振周波数はＬ² ／Ｗに依存するため、腕部
１３Ａ、１３Ｂの長さＬも小さくすることができる。こ
れにより、音叉型圧電振動子１０の小型化及び性能の向
上を図ることができる。

【００３０】ここで、図３は溝１４の深さＤｐと大気中
のＣＩ値の関係を示すグラフ図であり、図３を参照して
具体的に説明する。図３において、溝１４の深さＤｐの
大きさに反比例して大気中のＣＩ値が小さくなり、溝１
４は深ければ深い程ＣＩ値が小さくなっている。具体的
には、溝１４が形成されていない（Ｄｐ＝０（μｍ））
音叉型圧電振動子において、大気中のＣＩ値が約１０３
（ｋΩ）であるのに対して、溝１４の深さＤｐがたとえ
ば２０（μｍ）のとき、大気中のＣＩ値は約４２．５
（ｋΩ）にまで低くなっている。

【００３１】また、溝１４の深さＤｐが３０（μｍ）の
とき大気中のＣＩ値は約３７．４（ｋΩ）、溝１４の深
さＤｐが３５（μｍ）のとき大気中のＣＩ値は約３３．
３（ｋΩ）となり、溝１４の深さＤｐが深ければ深いほ
ど大気中のＣＩ値が小さくなっていることがわかる。こ
れは、溝１４が深ければ深いほど、溝１４を回り込むこ
とにより発生する第１駆動電極１２ａと第２駆動電極１
２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｄの間
の電界の短絡が少なくなるためである。

【００３２】さらに、図４は同一の大きさで形成された
音叉型圧電振動子であって、溝を有していない音叉型圧
電振動子と、溝を有する音叉型圧電振動子における腕部
の幅とＣＩ値の関係を示すグラフ図を示している。図４
（Ａ）の溝１４を有していない音叉型圧電振動子１にお
いて、腕部３の幅Ｗが小さくなると、それに反比例して
ＣＩ値が急激に大きくなっている。一方、図４（Ｂ）の
溝１４を形成した音叉型圧電振動子１０において、腕部
１３Ａ、１３Ｂの幅Ｗ２が小さくなっても、ＣＩ値の上
昇が抑えられている。

【００３３】特に、従来の音叉型圧電振動子１の腕部３
の幅Ｗは２００（μｍ）以上で形成されていて、これを
２００（μｍ）以下で形成しようとするとＣＩ値は急激
に悪化してしまう。これに対し、溝１４を形成した音叉
型圧電振動子１０においては、腕部１３Ａ、１３Ｂの幅
Ｗ２が２００（μｍ）になっても、ＣＩ値の上昇が抑制
されている。これは、溝１４を設けることで腕部１３の
幅Ｗを小さくできることを示しており、腕部１３Ａ、１
３Ｂの長さＬも短くできることを意味する。このよう
に、音叉型圧電振動子１０を小型化しても振動損失が大
きくならず効率的な音叉型圧電振動子１０を製造するこ
とができる。

【００３４】また、図５は溝の幅とＣＩ値の関係を示す
グラフ図であるが、図５において、溝１４の幅Ｄｄが大
きくなるにつれて、大気中のＣＩ値が小さくなっている
ことがわかる。これは、溝１４の幅Ｄｄが大きければ大
きいほど、溝１４を回り込むことにより発生する同一平
面上に形成されている第１駆動電極１２ａと第２駆動電
極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｄ
の電界の短絡が少なくなるためである。従って、溝１４
の幅Ｄｄを大きくすることによって、よりＣＩ値を小さ
くすることができ、音叉型圧電振動子１０の小型化を図
ることができる。図４と図５に示すように、溝１４、１
４の深さＤｐは深ければ深いほどよく、幅Ｄｄは大きけ
れば大きいほどよい。

【００３５】図６は本発明の音叉型圧電振動子の第２の
実施の形態を示す断面図であり、図６を参照して音叉型
圧電振動子１００について説明する。なお、図６の音叉
型圧電振動子１００において、図２の音叉型圧電振動子
１０と同一の構成を有する部位には同一の符号を付して
その説明を省略する。

【００３６】図６の音叉型圧電振動子１００が図２の音
叉型圧電振動子１０と異なる点は、溝１４の構造であ
る。図７の音叉型圧電振動子１００において、第２の面
１３ｙに形成された溝１４と第３の面１３ｚに形成され
た溝１４が貫通しており、貫通孔１１０を形成してい
る。この貫通孔１１０は、たとえば第２の面１３ｙ及び
第３の面１３ｚからそれぞれ溝１４を形成することで貫
通させることで形成されている。なお、第２の面１３ｙ
から第３の面１３ｚに向かって溝１４を貫通させ、もし
くは第３の面１３ｚから第２の面１３ｙに向かって溝１
４を貫通させるように形成してもよい。

【００３７】このように、溝１４を貫通させることによ
って、同一平面上に形成された第１駆動電極１２ａと第
２駆動電極１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電
極１２ｄにおいて、溝１４を回り込むことにより腕部１
３、１３の圧電材料中を通って発生する電界の短絡が全
くなくなり、ＣＩ値を十分に低くすることができる。従
って、音叉型圧電振動子１００を小型化して、第１駆動
電極１２ａと第２駆動電極１２ｂ及び第１駆動電極１２
ｃと第２駆動電極１２ｄの距離がそれぞれ近くなったと
しても、ＣＩ値の上昇を最小限に抑制することができ
る。

【００３８】上記実施の形態によれば、同一平面上に形
成された第１駆動電極１２ａと第２駆動電極１２ｂの間
及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｄの間に溝
１４、１４をそれぞれ形成することによって、同一平面
上に形成されている第１駆動電極１２ａと第２駆動電極
１２ｂ及び第１駆動電極１２ｃと第２駆動電極１２ｄの
電界の短絡を低減して、ＣＩ値を小さくすることができ
る。腕部１３の幅Ｗ及び長さＬをそれぞれ小さくしても
ＣＩ値が大きくならないため、音叉型圧電振動子１０の
小型化を図ることができる。具体的には、従来と同一の
性能を有する音叉型圧電振動子１０において、従来と比
べて腕部１３、１３の長さＬを約６８（％）、幅Ｗを約
７５（％）、体積比を約５０（％）まで小さくすること
ができる。従って、この音叉型圧電振動子１０をパッケ
ージングする際のパッケージの大きさとして、従来は横
幅（図１の矢印Ｘ方向）が１．９（ｍｍ）、縦幅（図１
の矢印Ｚ方向）が４．７（ｍｍ）、高さ（図２の矢印Ｙ
方向）が０．９（ｍｍ）の大きさのパッケージが必要で
あったのが、音叉型圧電振動子１０を用いることによっ
て、横幅（腕部１３、１３の幅方向）が１．６（ｍ
ｍ）、縦幅（腕部１３Ａ、１３Ｂの長さＬ方向）が３．
２（ｍｍ）、高さが０．９（ｍｍ）の大きさのパッケー
ジに収容することができるようになる。従って、この音
叉型圧電振動子１０を組み込んだ時計等の電子機器の大
きさを小さくすることができる。

【００３９】さらに、第２の面１３ｙの溝１４と第３の
面１３ｚの溝１４を貫通させて貫通孔１１０を形成する
ことによって、溝１４を回り込んで発生する電界の漏れ
をなくし、ＣＩ値を最小限に抑えることができる。

【００４０】また、音叉型圧電振動子１０の小型化を実
現することによって、１つのウェハから製造することが
できる音叉型圧電振動子１０の数が増加するため、生産
効率の向上を図ることができる。すなわち、１つの音叉
型圧電振動子１０のサイズが小さくなれば、所定のサイ
ズのウェハから製造できる音叉型圧電振動子１０の数が
大きくなるため、１つのウェハからより多くの音叉型圧
電振動子１０を製造することができるようになる。

【００４１】さらに、溝１４を形成することによって電
気機械結合係数を増加させることができるので、この音
叉型圧電振動子１０の発振に必要とされる電力が少なく
てすみ、消費電力の低減を図ることができる。

【００４２】本発明の実施の形態は、上記実施の形態に
限定されない。たとえば、図１における溝１４は、第１
駆動電極１２ａと第２駆動電極１２ｂ及び第１駆動電極
１２ｃと第２駆動電極１２ｄが形成されている長さだけ
形成されていれば、電界の漏れを防止することができ
る。また、溝１４の形状は矩形状に形成されているが、
Ｖ字状に形成されている場合でもよい。

【００４３】また、図６の音叉型圧電振動子１００にお
いて、腕部１３Ａ、１３Ｂにおいて形成された溝１４の
全領域にわたって貫通していてもよいし、一部のみ貫通
していてもよい。

【００４４】さらに、音叉型圧電振動子１０の発振周波
数としてたとえば３２ｋＨｚの場合のみならず、たとえ
ば１６ｋＨｚ等の発振周波数を有する音叉型圧電振動子
にも適用することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１の電極と第２の電極の間に溝を形成することによっ
て、同一平面上に形成されている第１の電極と第２の電
極の間の電界の漏れを防止して、小型化及び性能の向上
を図るとともに、小型化によって生産効率の向上を図る
ことができる音叉型圧電振動子を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の音叉型圧電振動子の好ましい実施の形
態を示す平面図。

【図２】図１の音叉型圧電振動子におけるＡ−Ａ断面を
示す断面図。

【図３】本発明の音叉型圧電振動子における溝の深さと
ＣＩ値の関係を示すグラフ図。

【図４】本発明の音叉型圧電振動子の好ましい実施の形
態と従来の溝を設けない音叉型圧電振動子とにおける腕
部の幅とＣＩ値の関係を示すグラフ図。

【図５】本発明の音叉型圧電振動子における溝の幅とＣ
Ｉ値の関係を示すグラフ図。

【図６】本発明の音叉型圧電振動子の別の実施の形態を
示す断面図。

【図７】従来の音叉型圧電振動子の一例を示す平面図。

【図８】図７の音叉型圧電振動子におけるＸ−Ｘ断面を
示す断面図。

【符号の説明】

１０、１００・・・音叉型圧電振動子１１・・・基部１２・・・駆動電極１２ａ、１２ｃ・・・第１駆動電極（第１の電極）１２ｂ、１２ｄ・・・第２駆動電極（第２の電極）１３、１３・・・腕部１３ａ・・・第１の面１３ｙ・・・第２の面１３ｚ・・・第３の面１４・・・溝１１０・・・貫通孔Ｄｐ・・・溝の深さＤｄ・・・溝の幅Ｗ１・・・基部の幅Ｗ２・・・腕部の幅

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ほぼ同一形状に形成された複数の腕部を
有する音叉型圧電振動子であって、前記腕部が対向する前記腕部の第１の面に対してほぼ垂
直な第２の面及び第３の面に第１の電極と第２の電極が
形成されてなり、前記第１の電極と前記第２の電極間に
溝が形成されてなることを特徴とする音叉型圧電振動
子。
【請求項２】前記第２の面に形成されてなる前記第１
の電極は、前記第３の面に形成されてなる前記第２の電
極と対向するように配置されてなり、前記第２の面に形
成されてなる前記第２の電極は、前記第３の面に形成さ
れてなる前記第１の電極と対向するように配置されてな
ることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動
子。
【請求項３】前記第１の電極、前記第２の電極、及び
前記溝は、前記腕部の長軸方向に形成されてなることを
特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型圧電振
動子。
【請求項４】前記第１の面における前記溝と前記第２
の面における前記溝は、その一部または全部において貫
通孔を形成している請求項１から請求項３のいずれかに
記載の音叉型圧電振動子。
【請求項５】前記圧電材料は、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムもしくはランガサイトのいずれかから
なる請求項１から請求項４のいずれかに記載の音叉型圧
電振動子。