JPH04222108A - 厚みすべり振動子 - Google Patents
厚みすべり振動子Info
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- JPH04222108A JPH04222108A JP40530190A JP40530190A JPH04222108A JP H04222108 A JPH04222108 A JP H04222108A JP 40530190 A JP40530190 A JP 40530190A JP 40530190 A JP40530190 A JP 40530190A JP H04222108 A JPH04222108 A JP H04222108A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 58
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、厚みすべり振動子に
関するもので、特に、厚みすべり振動子における励振電
極の形成状態に関するものである。
関するもので、特に、厚みすべり振動子における励振電
極の形成状態に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、この発明にとって興味ある従来
の厚みすべり振動子１を示す斜視図である。また、図４
は、厚みすべり振動子１の表面図および裏面図を示して
いる。
の厚みすべり振動子１を示す斜視図である。また、図４
は、厚みすべり振動子１の表面図および裏面図を示して
いる。
【０００３】厚みすべり振動子１は、長方形状の圧電基
板２を備える。圧電基板２の対向する面上には、第１の
励振電極３および第２の励振電極４がそれぞれ形成され
る。第１の励振電極３は、圧電基板２の一方短辺すなわ
ち第１の短辺５から延び、圧電基板２の他方短辺すなわ
ち第２の短辺６には届かない位置で終端している。他方
、第２の励振電極４は、圧電基板２の第２の短辺６から
延び、第１の短辺５には届かない位置で終端している。 これによって、第１の励振電極３および第２の励振電極
４は、圧電基板２の長さ方向の中心付近で互いに対向す
る状態となっている。図４において、この対向長さが、
“Ｌ”で示されている。
板２を備える。圧電基板２の対向する面上には、第１の
励振電極３および第２の励振電極４がそれぞれ形成され
る。第１の励振電極３は、圧電基板２の一方短辺すなわ
ち第１の短辺５から延び、圧電基板２の他方短辺すなわ
ち第２の短辺６には届かない位置で終端している。他方
、第２の励振電極４は、圧電基板２の第２の短辺６から
延び、第１の短辺５には届かない位置で終端している。 これによって、第１の励振電極３および第２の励振電極
４は、圧電基板２の長さ方向の中心付近で互いに対向す
る状態となっている。図４において、この対向長さが、
“Ｌ”で示されている。
【０００４】このような厚みすべり振動子１において、
第１の励振電極３および第２の励振電極４を介して電圧
を印加すると、圧電基板２には、厚みすべり振動が励起
される。
第１の励振電極３および第２の励振電極４を介して電圧
を印加すると、圧電基板２には、厚みすべり振動が励起
される。
【０００５】なお、このような厚みすべり振動子１は、
これを量産するためには、通常、図３において破線で示
すように、予め励振電極３および４が形成された大きな
圧電基板２ａから切出される。この切出しにおいて適用
された切断線７および８は、圧電基板２の長辺９および
１０上にそれぞれ現れる。
これを量産するためには、通常、図３において破線で示
すように、予め励振電極３および４が形成された大きな
圧電基板２ａから切出される。この切出しにおいて適用
された切断線７および８は、圧電基板２の長辺９および
１０上にそれぞれ現れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような厚みすべり
振動子１において、第１の励振電極３と第２の励振電極
４との重なり面積は、厚みすべり振動子１の共振周波数
の温度特性に影響を及ぼすことがわかっている。なお、
この影響の度合は、圧電基板２の材料によって左右され
、特定の材料の場合に特に影響の度合が大きくなる。 たとえば、圧電基板２として、ＬＴ（タンタル酸リチウ
ム；ＬｉＴａＯ３ ）やＬＮ（ニオブ酸リチウム；Ｌｉ
ＮｂＯ３ ）を用いた場合に、上述した影響が顕著に現
れることがわかっている。
振動子１において、第１の励振電極３と第２の励振電極
４との重なり面積は、厚みすべり振動子１の共振周波数
の温度特性に影響を及ぼすことがわかっている。なお、
この影響の度合は、圧電基板２の材料によって左右され
、特定の材料の場合に特に影響の度合が大きくなる。 たとえば、圧電基板２として、ＬＴ（タンタル酸リチウ
ム；ＬｉＴａＯ３ ）やＬＮ（ニオブ酸リチウム；Ｌｉ
ＮｂＯ３ ）を用いた場合に、上述した影響が顕著に現
れることがわかっている。
【０００７】したがって、厚みすべり振動子１を歩留り
よく製造するには、製品間において、第１の励振電極３
と第２の励振電極４との重なり面積が大きくばらつかな
いようにしなければならない。第１の励振電極３と第２
の励振電極４との重なり面積は、対向長さＬとともに、
圧電基板２の幅Ｗによって決まる。幅Ｗは、切断線７お
よび８の間隔によって決まるため、図３に示すように、
大きな圧電基板２ａから個々の厚みすべり振動子１を切
出す際のばらつきが、そのまま、第１の励振電極３と第
２の励振電極４との重なり面積のばらつきとなって現れ
、それが、たとえば共振周波数の温度特性に影響する。
よく製造するには、製品間において、第１の励振電極３
と第２の励振電極４との重なり面積が大きくばらつかな
いようにしなければならない。第１の励振電極３と第２
の励振電極４との重なり面積は、対向長さＬとともに、
圧電基板２の幅Ｗによって決まる。幅Ｗは、切断線７お
よび８の間隔によって決まるため、図３に示すように、
大きな圧電基板２ａから個々の厚みすべり振動子１を切
出す際のばらつきが、そのまま、第１の励振電極３と第
２の励振電極４との重なり面積のばらつきとなって現れ
、それが、たとえば共振周波数の温度特性に影響する。
【０００８】なお、圧電基板２として、たとえば、セラ
ミックや水晶を用いた場合には、第１の励振電極３と第
２の励振電極４との重なり面積が共振周波数の温度特性
にあまり影響を及ぼさないが、他の特性をも考慮した場
合には、当然、この重なり面積がばらつかないことが望
ましい。
ミックや水晶を用いた場合には、第１の励振電極３と第
２の励振電極４との重なり面積が共振周波数の温度特性
にあまり影響を及ぼさないが、他の特性をも考慮した場
合には、当然、この重なり面積がばらつかないことが望
ましい。
【０００９】それゆえに、この発明の目的は、大きな圧
電基板から個々の厚みすべり振動子を切出す場合、その
切断線の位置がずれたとしても、特性に影響を及ぼさな
いようにされた、厚みすべり振動子を提供しようとする
ことである。
電基板から個々の厚みすべり振動子を切出す場合、その
切断線の位置がずれたとしても、特性に影響を及ぼさな
いようにされた、厚みすべり振動子を提供しようとする
ことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、長方形状の
圧電基板、ならびに前記圧電基板の対向する面上にそれ
ぞれ形成されるものであって、前記圧電基板の一方短辺
および他方短辺の各々から延びかつ前記圧電基板の長さ
方向の中心付近で互いに対向する第１および第２の励振
電極を備える、厚みすべり振動子に向けられるものであ
って、前記第１および第２の励振電極の少なくとも一方
の形成状態に改良を加えることによって、上述した技術
的課題を解決しようとするものである。
圧電基板、ならびに前記圧電基板の対向する面上にそれ
ぞれ形成されるものであって、前記圧電基板の一方短辺
および他方短辺の各々から延びかつ前記圧電基板の長さ
方向の中心付近で互いに対向する第１および第２の励振
電極を備える、厚みすべり振動子に向けられるものであ
って、前記第１および第２の励振電極の少なくとも一方
の形成状態に改良を加えることによって、上述した技術
的課題を解決しようとするものである。
【００１１】すなわち、この発明は、前記第１および第
２の励振電極の少なくとも一方が、少なくとも、他方の
励振電極と対向する領域において、前記圧電基板の一方
長辺および他方長辺との間でギャップを形成しているこ
とを特徴としている。
２の励振電極の少なくとも一方が、少なくとも、他方の
励振電極と対向する領域において、前記圧電基板の一方
長辺および他方長辺との間でギャップを形成しているこ
とを特徴としている。
【００１２】
【作用】このように、この発明によれば、大きな圧電基
板から個々の厚みすべり振動子を切出す際に、切断線の
位置がずれても、励振電極が形成されていないギャップ
の範囲内に留めることができる。
板から個々の厚みすべり振動子を切出す際に、切断線の
位置がずれても、励振電極が形成されていないギャップ
の範囲内に留めることができる。
【００１３】
【発明の効果】したがって、この発明によれば、切断線
の位置によって第１および第２の励振電極の重なり面積
が変動することを防止でき、そのため、このような重な
り面積の変動による特性の変動も防止することができる
。
の位置によって第１および第２の励振電極の重なり面積
が変動することを防止でき、そのため、このような重な
り面積の変動による特性の変動も防止することができる
。
【００１４】また、観点を変えると、大きな圧電基板か
ら個々の厚みすべり振動子を切出す際の切断線の位置ず
れに対する許容範囲を広げることができる。したがって
、多数の厚みすべり振動子を、実質的に同じ特性をもっ
て製造することが容易になる。
ら個々の厚みすべり振動子を切出す際の切断線の位置ず
れに対する許容範囲を広げることができる。したがって
、多数の厚みすべり振動子を、実質的に同じ特性をもっ
て製造することが容易になる。
【００１５】特に、この発明が、ＬＴまたはＬＮからな
る圧電基板を有する厚みすべり振動子に適用されると、
切断線の位置ずれによる共振周波数の温度特性のばらつ
きを防止することができる。
る圧電基板を有する厚みすべり振動子に適用されると、
切断線の位置ずれによる共振周波数の温度特性のばらつ
きを防止することができる。
【００１６】
【実施例】図１および図２は、それぞれ、前述した図４
に相当する図であって、この発明による一実施例および
他の実施例を示している。
に相当する図であって、この発明による一実施例および
他の実施例を示している。
【００１７】これらの実施例に係る厚みすべり振動子は
、共通して、たとえばＬＴからなる長方形状の圧電基板
１１を備える。また、これら圧電基板１１の各々の対向
する面上には、第１の励振電極１２および第２の励振電
極１３がそれぞれ形成される。第１の励振電極１２は、
圧電基板１１の一方短辺すなわち第１の短辺１４から延
び、他方、第２の励振電極１３は、圧電基板１１の他方
短辺すなわち第２の短辺１５から延び、これら第１およ
び第２の励振電極１２および１３は、圧電基板１１の長
さ方向の中心付近で互いに対向している。この対向長さ
は、“Ｌ”で示されている。
、共通して、たとえばＬＴからなる長方形状の圧電基板
１１を備える。また、これら圧電基板１１の各々の対向
する面上には、第１の励振電極１２および第２の励振電
極１３がそれぞれ形成される。第１の励振電極１２は、
圧電基板１１の一方短辺すなわち第１の短辺１４から延
び、他方、第２の励振電極１３は、圧電基板１１の他方
短辺すなわち第２の短辺１５から延び、これら第１およ
び第２の励振電極１２および１３は、圧電基板１１の長
さ方向の中心付近で互いに対向している。この対向長さ
は、“Ｌ”で示されている。
【００１８】以下、図１および図２の各々に示した個々
の実施例の特徴について説明する。図１に示した実施例
では、一方の励振電極すなわち第１の励振電極１２の幅
Ｗ２が、圧電基板１１の幅Ｗ１より狭くされ、圧電基板
１１の一方長辺１６および他方長辺１７との間でギャッ
プ１８および１９をそれぞれ形成している。
の実施例の特徴について説明する。図１に示した実施例
では、一方の励振電極すなわち第１の励振電極１２の幅
Ｗ２が、圧電基板１１の幅Ｗ１より狭くされ、圧電基板
１１の一方長辺１６および他方長辺１７との間でギャッ
プ１８および１９をそれぞれ形成している。
【００１９】したがって、予め励振電極１２および１３
が形成された大きな圧電基板から個々の厚みすべり振動
子を切出す際、この切出しにおいて適用される切断線は
圧電基板１１の長辺１６および１７上に現れるが、この
ような切断線の位置がずれても、ギャップ１８および１
９の範囲内に留めることができる。そのため、第１の励
振電極１２と第２の励振電極１３との重なり面積を、上
述のような切出しの精度に依存しないようにすることが
できる。
が形成された大きな圧電基板から個々の厚みすべり振動
子を切出す際、この切出しにおいて適用される切断線は
圧電基板１１の長辺１６および１７上に現れるが、この
ような切断線の位置がずれても、ギャップ１８および１
９の範囲内に留めることができる。そのため、第１の励
振電極１２と第２の励振電極１３との重なり面積を、上
述のような切出しの精度に依存しないようにすることが
できる。
【００２０】図２に示した実施例では、第１の短辺１４
から延びる第１の励振電極１２には、比較的幅の狭い第
１の領域２０、ならびにそれを挟んで比較的幅の広い第
２の領域２１および第３の領域２２が形成される。これ
らのうち、第２の励振電極１３と対向する領域となる第
２の領域２１は、圧電基板１１の相対向する長辺１６お
よび１７との間にギャップ２３および２４を残すように
形成されている。
から延びる第１の励振電極１２には、比較的幅の狭い第
１の領域２０、ならびにそれを挟んで比較的幅の広い第
２の領域２１および第３の領域２２が形成される。これ
らのうち、第２の励振電極１３と対向する領域となる第
２の領域２１は、圧電基板１１の相対向する長辺１６お
よび１７との間にギャップ２３および２４を残すように
形成されている。
【００２１】また、第２の短辺１５から延びる第２の励
振電極１３は、その第１の短辺１４側の端縁２５を、第
１の励振電極１３における最も幅の狭い第１の領域２０
と対向するように位置させている。
振電極１３は、その第１の短辺１４側の端縁２５を、第
１の励振電極１３における最も幅の狭い第１の領域２０
と対向するように位置させている。
【００２２】したがって、図２に示した実施例によれば
、図１の実施例によって得られた効果に加えて、第１の
励振電極１２と第２の励振電極１３との対向長さＬの変
動を、第１の励振電極１２の第１の領域２０の範囲内に
おいて第２の励振電極１３の端縁２５の位置が変わるよ
うにだけとすることができる。そのため、第１の励振電
極１２と第２の励振電極１３との重なり面積に対しては
、上述したような対向長さＬの変動が生じたとしても、
最も幅の狭い第１の領域２０が与える比較的小さな面積
に基づく変動しか与えられず、それゆえに、対向長さＬ
の変動による第１の励振電極１２と第２の励振電極１３
との重なり面積の変化を低減することができる。したが
って、この実施例によれば、励振電極１２および１３の
印刷の精度等に起因する対向長さＬの変動による第１の
励振電極１２と第２の励振電極１３との重なり面積の変
動をも低減することができる。
、図１の実施例によって得られた効果に加えて、第１の
励振電極１２と第２の励振電極１３との対向長さＬの変
動を、第１の励振電極１２の第１の領域２０の範囲内に
おいて第２の励振電極１３の端縁２５の位置が変わるよ
うにだけとすることができる。そのため、第１の励振電
極１２と第２の励振電極１３との重なり面積に対しては
、上述したような対向長さＬの変動が生じたとしても、
最も幅の狭い第１の領域２０が与える比較的小さな面積
に基づく変動しか与えられず、それゆえに、対向長さＬ
の変動による第１の励振電極１２と第２の励振電極１３
との重なり面積の変化を低減することができる。したが
って、この実施例によれば、励振電極１２および１３の
印刷の精度等に起因する対向長さＬの変動による第１の
励振電極１２と第２の励振電極１３との重なり面積の変
動をも低減することができる。
【図１】この発明の一実施例を示し、圧電基板１１の表
面図および裏面図を含んでいる。
面図および裏面図を含んでいる。
【図２】この発明の他の実施例を示し、圧電基板１１の
表面図および裏面図を含んでいる。
表面図および裏面図を含んでいる。
【図３】従来の厚みすべり振動子１を示す斜視図である
。
。
【図４】図３に示した厚みすべり振動子１を示し、圧電
基板２の表面図および裏面図を含んでいる。
基板２の表面図および裏面図を含んでいる。
１１ 圧電基板
１２ 第１の励振電極
１３ 第２の励振電極
１４ 第１の短辺
１５ 第２の短辺
１６，１７ 長辺
１８，１９，２３，２４ ギャップ
Claims (1)
- 【請求項１】 長方形状の圧電基板、ならびに前記圧
電基板の対向する面上にそれぞれ形成されるものであっ
て、前記圧電基板の一方短辺および他方短辺の各々から
延びかつ前記圧電基板の長さ方向の中心付近で互いに対
向する第１および第２の励振電極を備える、厚みすべり
振動子において、前記第１および第２の励振電極の少な
くとも一方は、少なくとも、他方の励振電極と対向する
領域において、前記圧電基板の一方長辺および他方長辺
との間でギャップを形成していることを特徴とする、厚
みすべり振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40530190A JPH04222108A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40530190A JPH04222108A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 厚みすべり振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04222108A true JPH04222108A (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=18514916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40530190A Pending JPH04222108A (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04222108A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007174630A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-07-05 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
| US7583007B2 (en) * | 2006-02-08 | 2009-09-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator |
| US9413331B2 (en) | 2013-05-15 | 2016-08-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric bulk-wave resonator |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60199211A (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS62192872A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-24 | Fujitsu Ltd | 画像生成処理装置 |
-
1990
- 1990-12-21 JP JP40530190A patent/JPH04222108A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60199211A (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS62192872A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-24 | Fujitsu Ltd | 画像生成処理装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007174630A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-07-05 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
| US7583007B2 (en) * | 2006-02-08 | 2009-09-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator |
| US9413331B2 (en) | 2013-05-15 | 2016-08-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric bulk-wave resonator |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19961001 |