JPS5852366B2 - ハバスベリアツデンシンドウシ - Google Patents

ハバスベリアツデンシンドウシ

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Publication number
JPS5852366B2
JPS5852366B2 JP13347375A JP13347375A JPS5852366B2 JP S5852366 B2 JPS5852366 B2 JP S5852366B2 JP 13347375 A JP13347375 A JP 13347375A JP 13347375 A JP13347375 A JP 13347375A JP S5852366 B2 JPS5852366 B2 JP S5852366B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
width
present
vibration
tsuden
Prior art date
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Expired
Application number
JP13347375A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5257794A (en
Inventor
紀久雄 小口
英司 桃崎
俊昭 尾形
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Suwa Seikosha KK filed Critical Suwa Seikosha KK
Priority to JP13347375A priority Critical patent/JPS5852366B2/ja
Publication of JPS5257794A publication Critical patent/JPS5257794A/ja
Publication of JPS5852366B2 publication Critical patent/JPS5852366B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0595Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は巾辷り圧電振動子の電極形状に関する。
本発明の目的は巾辷り圧電振動子の量産性の向上にある
本発明の他の目的は巾辷り圧電振動子のより高い周波数
への動作領域の拡大および発振回路構成上の自由度の向
上にある。
従来、約I ME(z以上の高い周波数領域で動作させ
る場合の水晶振動子は、もっばらATカット厚み辷り水
晶振動子が用いられていた。
この水晶振動子は各種の特性、とりわけ温共−共振周波
数特性が良い優れた水晶振動子であるが、その製造工程
は1個ずつ加工する工程が多く量産向では無い欠点があ
った。
第1図は前記欠点を解決するために発明された巾辷り水
晶振動子の従来例である。
図において1は振動部、2は支持固定部である。
図の振動子の振動姿態は従来の厚み辷り振動子の厚み方
向を巾方向すなわち図の矢印3の方向に置き換えたと等
価で矢印対4の方向に振動する巾辷り振動である。
この型の振動子は一枚の薄い平板状水晶板から多数の振
動子をエツチング等によって同時に形成することもでき
量産性が非常に良い長所を有する。
しかし、より高い共振周波数を有する振動子を得ようと
するとき、大きな問題を伴なう。
第2図は第1図の水晶振動子り振動部の断面形状を示す
ものであって、1は巾辷り水晶振動子の振動部でその長
さ方向は第1図の矢印3の方向である。
Y−Zはそれぞれ水晶結晶の機械軸、光軸である。
振動子形状の形成をエツチング法によるときは、Z方向
のエツチング速度が他の方向に比較して著しく速いため
断面形状は方形にならず、図のように平行四辺形に近い
形となり、更に両端の断面形状は5のように不規則な形
となり、これは均一性が低い。
したがって、高い周波数を得ようとするときは巾寸法が
短くなるため巾寸法と厚さが近くなり巾方向両端部の形
が大きく影響し、実効的切り出し角が変りθを補正しな
げればならなかった。
また量産時の品質ばらつきも太きいものであった。
従来、この問題を解決するためには、振動子の巾寸法を
大きくとり、すなわち振動子基本振動周波数を低くとり
、発振回路で高調波発振をさせることに頼ってきた。
しかし、この方法は発振回路中に高調波に同調したタン
ク回路が必要であった。
タンク回路を使わずに、いわゆる無調整回路で高調波発
振させることも不可能ではないが、回路条件が非常に厳
しかった。
本発明はこれら問題に解決を与えるものである。
第3図は本発明の水晶振動子の一具体例でaは表側から
の斜視図、bは裏側からの斜視図である。
図において、6は巾辷り水晶振動子、7は一方の電極、
8は他の一方の電極、9はピン、10は振動子ケースの
ステム、11は振動子ケースのキャップである。
図から明らかなように本発明の水晶振動子は平板状から
形成され、さらに振動部の巾寸法は中央部に比し両端部
が小さくなっている。
従って、巾辷り振動は従来例と同様に中央部に閉じ込め
られ、支持部にはほとんど振動が伝わらないため高いQ
値を維持することができる。
本発明の大きな特徴は振動子の電極構造にある。
すなわち、図から明らかなように本発明では振動の励振
・検出は少なくとも振動部において水晶板をはさむ電極
対によってなされ、さらに前記電極対は少なくとも振動
部において2対設けられている。
このような本発明の電極構造によって、前述した振動子
周辺端部の悪影響を著しく軽減することができた。
本例においてはその電極構造から容易に知ることができ
るように、振動は巾寸法で決る基本周波数の約2倍の高
調波を新たな基本周波数とする巾辷り振動を行なう。
従って、同一の共振周波数の場合、第1図の例における
振動子と比較してその巾寸法を2倍に広くとることがで
きる。
本例においては電極対は2対であるが、より多くの電極
対構造とすることが可能であることは言うまでもない。
電極対数の数例について、これによって高調波励振がで
きる高調波次数を次表に示す。
表中の○印はその組合せの励振が可能であることを表わ
す。
尚、この表における電極対数が1の場合は従来の厚み辷
り振動あるいは従来の巾辷り振動の場合であり、これか
ら明らかなように本発明は従来全く不可能であった偶数
次励振が効率良く行なえることが容易に知ることができ
る。
本発明の振動子を供するにあたり、小型であることが必
要な場合、振動部巾寸法の最小値は周辺端部の効果によ
って制限を受ける。
実験の結果では振動子部の巾が最大の部分の寸法が厚さ
寸法の3倍以下になると急激に影響を受けるようになる
従って、このような寸法領域に入った場合、次の高次の
電極対を利用するよう設計変更されねばならない。
以上説明したように本発明の振動子は多くの長所を有す
るが、次の大きな長所を有する優れた振動子である。
1、電極対の数によって任意の高調波を基本波として励
振することができる。
2、従って、同調回路なしで、いわゆる無調整回路によ
って高調波発振が可能である。
3、励振し得る高調波間の間隔が広く、寄生振動の心配
が少ない。
尚、以上の説明は全て水晶によって行なったが他の圧電
板からなる巾辷り振動子に対して本発明が適用できるこ
とは言うまでもない。
さらに、第3図の例においては振動子の振動部外形は全
て直線によって形成したが曲面等によっても良いことは
言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は巾辷り水晶振動子の従来例。 第2図は第1図の振動子の振動部の断面形状。 第3図は本発明の一具体例である。 6・・・・・・巾辷り水晶振動子、7・・・・・・一方
の電極、8・・・・・・他方の電極。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 平板状圧電板から成る巾辷り圧電振動子において、
    該振動子の振動部の巾寸法は中央部に比し、両端部が小
    さく、更に最大巾寸法は厚み寸法の3倍以上であり、ま
    た前記振動子の振動の励振・検出は圧電板をはさむ電極
    対によってなされ、更に前記圧電板の少なくとも振動部
    には複数の電極対が設けられていることを特徴とする巾
    辷り圧電振動子。
JP13347375A 1975-11-06 1975-11-06 ハバスベリアツデンシンドウシ Expired JPS5852366B2 (ja)

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JPS5257794A JPS5257794A (en) 1977-05-12
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JPH0419960U (ja) * 1990-06-12 1992-02-19

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55651A (en) * 1978-06-16 1980-01-07 Seiko Instr & Electronics Ltd Piezoelectric oscillator unit and its manufacture
DE2939844A1 (de) * 1978-12-21 1980-07-10 Seiko Instr & Electronics Quarzschwinger

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