JPH0210669Y2 - - Google Patents
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- JPH0210669Y2 JPH0210669Y2 JP7785683U JP7785683U JPH0210669Y2 JP H0210669 Y2 JPH0210669 Y2 JP H0210669Y2 JP 7785683 U JP7785683 U JP 7785683U JP 7785683 U JP7785683 U JP 7785683U JP H0210669 Y2 JPH0210669 Y2 JP H0210669Y2
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
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- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、エツチング加工によりスプリアスを
抑制した水晶振動子に関する。
抑制した水晶振動子に関する。
水晶振動子は、高いＱ値、安定な周波数を供給
するため各種の基準や信号源として、クロツクを
はじめカラーテレビ、VTR等各方面に幅広く使
用されている。これらに使用される水晶振動子の
うち高周波帯に属するものの外形は、丸型、角型
そして短冊状等で、振動姿勢としては厚みすべり
振動を利用している。ところが、厚みすべり振動
の水晶振動子には、主振動の他に奇数次のオーバ
ートーンや輪郭振動等の不要振動と呼ばれるスプ
リアスが存在しており、このスプリアスが主振動
より大きくなつたり、このスプリアスがあるため
に主振動の直列共振抵抗値が高くなり、また周波
数温度特性においてはデイツプ現象として、ある
温度で周波数が急激に変化するか、直列共振抵抗
値が異常に高くなり発振を停止する場合がある。
するため各種の基準や信号源として、クロツクを
はじめカラーテレビ、VTR等各方面に幅広く使
用されている。これらに使用される水晶振動子の
うち高周波帯に属するものの外形は、丸型、角型
そして短冊状等で、振動姿勢としては厚みすべり
振動を利用している。ところが、厚みすべり振動
の水晶振動子には、主振動の他に奇数次のオーバ
ートーンや輪郭振動等の不要振動と呼ばれるスプ
リアスが存在しており、このスプリアスが主振動
より大きくなつたり、このスプリアスがあるため
に主振動の直列共振抵抗値が高くなり、また周波
数温度特性においてはデイツプ現象として、ある
温度で周波数が急激に変化するか、直列共振抵抗
値が異常に高くなり発振を停止する場合がある。
この為、従来から主振動を安定に振動しやすく
する為と、主振動の直列共振抵抗値を小さくする
為に振動変位を中央に集中させる方法があり、第
１図ｂに示すように水晶板１の主面端部をある球
面を持たせて厚みを減少させていく、いわゆるベ
ベル加工が施されている。なお水晶板１には、励
振電極３と引出電極３′を載置している。
する為と、主振動の直列共振抵抗値を小さくする
為に振動変位を中央に集中させる方法があり、第
１図ｂに示すように水晶板１の主面端部をある球
面を持たせて厚みを減少させていく、いわゆるベ
ベル加工が施されている。なお水晶板１には、励
振電極３と引出電極３′を載置している。
しかし、ベベル加工は従来、球面Ｒを持つた容
器に研摩剤をいれ水晶振動子を１枚１枚手で球面
に押し当てることにより主面端部を研摩するため
作業性が悪く品質もばらつく欠点があつた。ま
た、他の方法として円筒状容器に水晶振動子と研
摩剤を投入し、これを回転させることにより主面
端部を研摩する方法は時間がかかるということ
と、水晶振動子の主面も研摩されるという欠点を
有していた。またこれら水晶振動子はこれから
益々小型化・薄型化される傾向にあり、ベベル加
工しないで価格で安く、性能のすぐれた特性の得
られる振動子が望まれていた。
器に研摩剤をいれ水晶振動子を１枚１枚手で球面
に押し当てることにより主面端部を研摩するため
作業性が悪く品質もばらつく欠点があつた。ま
た、他の方法として円筒状容器に水晶振動子と研
摩剤を投入し、これを回転させることにより主面
端部を研摩する方法は時間がかかるということ
と、水晶振動子の主面も研摩されるという欠点を
有していた。またこれら水晶振動子はこれから
益々小型化・薄型化される傾向にあり、ベベル加
工しないで価格で安く、性能のすぐれた特性の得
られる振動子が望まれていた。
本考案は、厚みすべり振動すべき励振電極を設
けた水晶振動子において、水晶板の主面の両面ま
たは片面端部に、エツチングにより複数個の凹部
を設け、該凹部の幅が主面端部から中心部に向い
漸次狭くなり、かつ複数個の残存部の幅が、それ
ぞれ等しいかまたは中心部に向い漸次広くなるこ
とを主構成とし前述した欠点を除去し、安定な水
晶振動子を提供することを目的とする。また本考
案による振動子は、従来のようなベベル加工のよ
うな機械的な加工によるものではなくエツチング
技術によりベベル加工による振動子と同様の効果
が得られるものであり以下、実施例を挙げて説明
する。
けた水晶振動子において、水晶板の主面の両面ま
たは片面端部に、エツチングにより複数個の凹部
を設け、該凹部の幅が主面端部から中心部に向い
漸次狭くなり、かつ複数個の残存部の幅が、それ
ぞれ等しいかまたは中心部に向い漸次広くなるこ
とを主構成とし前述した欠点を除去し、安定な水
晶振動子を提供することを目的とする。また本考
案による振動子は、従来のようなベベル加工のよ
うな機械的な加工によるものではなくエツチング
技術によりベベル加工による振動子と同様の効果
が得られるものであり以下、実施例を挙げて説明
する。
第２図ａは、水晶板１にレジスト膜２，２′，
２″を施した時の部分断面図である。水晶板１の
溶解させない部分に、レジスト膜２，２′，２″を
塗布する。おのおののレジスト膜とレジスト膜の
の間隔は中心部に向い漸次狭くし、幅は漸次広く
するか、ないしほぼ同一幅とする。レジスト膜の
材質としては、例えばゴム系樹脂又はエツチング
液に溶解しない金属例えば金や他の金属との組合
せたものを利用する。レジスト膜２，２′，２″の
乾燥した後、周知のエツチング工程を行い、レジ
スト膜２を塗布した以外の部分を溶解し、水晶振
動子の主面端部に凹部を形成する。エツチングに
は、エツチヤントとしてフツ化アンモン又はフツ
化水素混液等を利用する。
２″を施した時の部分断面図である。水晶板１の
溶解させない部分に、レジスト膜２，２′，２″を
塗布する。おのおののレジスト膜とレジスト膜の
の間隔は中心部に向い漸次狭くし、幅は漸次広く
するか、ないしほぼ同一幅とする。レジスト膜の
材質としては、例えばゴム系樹脂又はエツチング
液に溶解しない金属例えば金や他の金属との組合
せたものを利用する。レジスト膜２，２′，２″の
乾燥した後、周知のエツチング工程を行い、レジ
スト膜２を塗布した以外の部分を溶解し、水晶振
動子の主面端部に凹部を形成する。エツチングに
は、エツチヤントとしてフツ化アンモン又はフツ
化水素混液等を利用する。
レジスト膜２の幅寸法S01は、振動板１の中心
部に向いレジスト膜２′の幅寸法S02に比べ等しい
かまたは小さく、レジスト膜２′の幅寸法S02は、
レジスト膜２″の幅寸法S03に比べ、やはり等しい
かまたは小さくしてある。また各レジスト膜の間
隔はレジスト膜２とレジスト膜２′の間隔W01が、
エツジ部とレジスト膜２との間隔W00に比べ小さ
くしてある。第２図ｂは、このようなレジスト膜
を設けエツチングをして所要箇所を溶解したの
ち、さらに蒸着等により励振電極３と引出電極
３′を施した振動板の正面図である。また第２図
ｂのAAの部分断面図を第２図ｃに示す。同図に
よれば、エツチングで形成された凹部４，４′，
４″，４及び残存部５，５′，５″の幅寸法は、
それぞれ次式で表わされる。
部に向いレジスト膜２′の幅寸法S02に比べ等しい
かまたは小さく、レジスト膜２′の幅寸法S02は、
レジスト膜２″の幅寸法S03に比べ、やはり等しい
かまたは小さくしてある。また各レジスト膜の間
隔はレジスト膜２とレジスト膜２′の間隔W01が、
エツジ部とレジスト膜２との間隔W00に比べ小さ
くしてある。第２図ｂは、このようなレジスト膜
を設けエツチングをして所要箇所を溶解したの
ち、さらに蒸着等により励振電極３と引出電極
３′を施した振動板の正面図である。また第２図
ｂのAAの部分断面図を第２図ｃに示す。同図に
よれば、エツチングで形成された凹部４，４′，
４″，４及び残存部５，５′，５″の幅寸法は、
それぞれ次式で表わされる。
W0＞W1＞W2＞W3 …(1)
S1≦S2≦S3 …(2)
すなわち、凹部４，４′，４″，４は振動板１
の中心に向い狭くなり、かつ残存部５，５′，
５″は振動板１の中心に向い同等かまたは広くな
つている。これは、振動板の持つ主振動以外の振
動を振動板１に施した励振電極３以外の部分で発
振又は伝搬させないためにエツチングにより複数
個の凹部を設け、これら主振動以外の振動である
スプリアス群を減衰させている。
の中心に向い狭くなり、かつ残存部５，５′，
５″は振動板１の中心に向い同等かまたは広くな
つている。これは、振動板の持つ主振動以外の振
動を振動板１に施した励振電極３以外の部分で発
振又は伝搬させないためにエツチングにより複数
個の凹部を設け、これら主振動以外の振動である
スプリアス群を減衰させている。
そして本考案の幅及び間隔の凹部を設け、特性
のすぐれた振動子が得られた。なお凹部の深さ
は、水晶板の板厚ｔに対しｔ／２までとすること
が好ましい。またＷ及びＳの寸法は振動板の大き
さ、厚み、周波数、励振電極等を考慮して設計さ
れる。もちろん、水晶板の両面に凹部を施す他、
片面のみに凹部を設けても同様の効果が得られ
る。
のすぐれた振動子が得られた。なお凹部の深さ
は、水晶板の板厚ｔに対しｔ／２までとすること
が好ましい。またＷ及びＳの寸法は振動板の大き
さ、厚み、周波数、励振電極等を考慮して設計さ
れる。もちろん、水晶板の両面に凹部を施す他、
片面のみに凹部を設けても同様の効果が得られ
る。
次に本考案による効果を列挙すると
イ エツチングで加工するため、加工精度が極め
て良く、指定する寸法の溝が構成できる。
て良く、指定する寸法の溝が構成できる。
ロ 加工精度がよいため、小型化、薄型化に対し
ても十分に対応していける。
ても十分に対応していける。
ハ 歩留り、量産性に格段にすぐれており、自動
化にも最適である。
化にも最適である。
以上の結果、量産性のすぐれた安定な振動子を
得られるようになつた。なお、実施例ではフオト
エツチングを取り挙げたが、スクリーン印刷によ
りレジスト膜を成形しても効果は同様である。ま
た、本考案の凹部は、振動板の中心部に施されて
いる励振電極より外周部に設けることが好まし
い。第３図ａ，ｂに他の実施例を示す。第３図ａ
は、角板の水晶板に凹部を施した例を示し第３図
ｂは、短冊状振動子に凹部を施している。
得られるようになつた。なお、実施例ではフオト
エツチングを取り挙げたが、スクリーン印刷によ
りレジスト膜を成形しても効果は同様である。ま
た、本考案の凹部は、振動板の中心部に施されて
いる励振電極より外周部に設けることが好まし
い。第３図ａ，ｂに他の実施例を示す。第３図ａ
は、角板の水晶板に凹部を施した例を示し第３図
ｂは、短冊状振動子に凹部を施している。
さらに他の実施例として、前述した振動子主面
全周にわたり凹部を設ける他、凹部により励振電
極３から導かれる引出電極３′は、凹部の深さが
深い場合、切れてしまう場合があり、これを解決
するため引出電極３′の部分に凹部を設けないよ
うにする。第４図は、実施例を示す正面図であ
る。この際、引出電極３′の幅Ｗは、出来るだけ
小さくすることが好ましい。また第５図に示すよ
うに凹部を断続的にしても効果は同様である。
全周にわたり凹部を設ける他、凹部により励振電
極３から導かれる引出電極３′は、凹部の深さが
深い場合、切れてしまう場合があり、これを解決
するため引出電極３′の部分に凹部を設けないよ
うにする。第４図は、実施例を示す正面図であ
る。この際、引出電極３′の幅Ｗは、出来るだけ
小さくすることが好ましい。また第５図に示すよ
うに凹部を断続的にしても効果は同様である。
第１図ａは、従来の水晶振動子を示す正面図。
第１図ｂは、同図ａの水晶板の断面図。第２図ａ
は、レジスト膜塗布後の部分断面図。同図ｂは、
本考案の振動板を示す正面図、同図ｃは、同図ｂ
の水晶板の部分断面図である。第３図ａ，ｂは、
角型、短冊状の水晶板についての実施例を示す正
面図である。第４図、第５図は、他の実施例を示
す正面図である。 １……水晶板、３……励振電極、４，４′，
４″，４……凹部、５，５′，５″，５……残
存部。
第１図ｂは、同図ａの水晶板の断面図。第２図ａ
は、レジスト膜塗布後の部分断面図。同図ｂは、
本考案の振動板を示す正面図、同図ｃは、同図ｂ
の水晶板の部分断面図である。第３図ａ，ｂは、
角型、短冊状の水晶板についての実施例を示す正
面図である。第４図、第５図は、他の実施例を示
す正面図である。 １……水晶板、３……励振電極、４，４′，
４″，４……凹部、５，５′，５″，５……残
存部。
Claims (1)
- 厚みすべり振動すべき励振電極を設けた水晶振
動子において、水晶板の主面の両面または片面端
部に、エツチングにより複数個の凹部を設け、該
凹部の幅が主面端部から中心部に向い漸次狭くな
り、かつ複数個の残存部の幅が、それぞれ等しい
かまたは中心部に向い漸次広くなることを特徴と
する水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785683U JPS59183025U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785683U JPS59183025U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59183025U JPS59183025U (ja) | 1984-12-06 |
| JPH0210669Y2 true JPH0210669Y2 (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=30207874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7785683U Granted JPS59183025U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59183025U (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006166390A (ja) * | 2004-02-05 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
| JP4613498B2 (ja) * | 2004-03-01 | 2011-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
| JP2005286992A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
| JP2005260692A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
| JP2006166275A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスの製造方法 |
| JP5155620B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2013-03-06 | セイコーインスツル株式会社 | 厚み滑り振動片の製造方法 |
| JP5285495B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2013-09-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動子の製造方法 |
| JP5377152B2 (ja) * | 2009-08-12 | 2013-12-25 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 |
| JP4803299B2 (ja) * | 2009-12-03 | 2011-10-26 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
| JP5136635B2 (ja) * | 2010-12-20 | 2013-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
| JP5621590B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2014-11-12 | 日本電波工業株式会社 | エッチング量センサ及びエッチング量測定方法 |
-
1983
- 1983-05-23 JP JP7785683U patent/JPS59183025U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59183025U (ja) | 1984-12-06 |
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