JP2006166390A - 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 厚みすべり振動が主面11の中心部12から外周部11へ伝播することを抑制するための複数の溝13,14が、少なくとも一方の前記主面11の中心部12を囲む概周状に設けられていることを特徴とする圧電振動片。
【選択図】 図1
Description
振動片は、振動片の外周部をセラミック等から形成される収納器に固着されて保持されるため、この固着によって伝播した振動が抑制される。この伝播した振動の抑制が主振動である厚みすべり振動に影響して、クリスタルインピーダンス(以下、「CI値」という。)が低下したり、他の振動モードを誘発し発振周波数の安定性を低下させたりする。
なお、特許文献1、特許文献2においては、溝の深さ、溝の形状、及び溝の配置については、何ら開示されていない。
本発明の圧電振動片によれば、主面の中心部を囲む概周状に複数の溝を設けることにより、振動片のすべての方向に対して厚みすべり振動を主面の中心部から主面の外周部に向かって段階的に減衰させることから、急激な振動の減衰による主振動の電気的特性の影響を防ぐことができ、周波数可変量を確保することが可能となる。
このようにすれば、最も外周側に形成された溝により、中心部から外周部への厚みすべり振動の伝播を確実に抑制することが可能となる。
このようにすれば、振動片を支持する方向の振動の抑制をさらに高め、振動片を支持することによる主振動への影響をさらに少なくすることが可能となる。
このようにすれば、主振動に近い部分での減衰を急激に起こさないことが可能となり、主振動の電気特性に対する影響を少なくすることが可能となる。
このようにすれば、主振動に近い部分での減衰を急激に起こさないことが可能となり、主振動の電気特性に対する影響を少なくすることが可能となる。
本発明の圧電振動片によれば、圧電基板の厚みの寸法と同等以上の幅の溝を一つ設けることにより、主面の中心部の厚みすべり振動の外周部への伝播を主振動に影響しないレベルまで抑制することが可能となる。さらに、溝を主面の中心部を囲む概周状に設けることにより、振動片のすべての方向において振動の伝播を抑制することが可能となる。即ち、本発明の圧電振動片によれば、振動片のすべての方向において、主面の中心部の厚みすべり振動の外周部への伝播を主振動に影響しないレベルまで抑制することが可能となる。
ω、ωS:メサ部分の角周波数および振動片の角周波数、
α、β:X、Z´方向それぞれへの伝播定数、C55、C66:弾性スティフネス(所定の
結晶方向における弾性率を表すマトリックスの中の定数)、
s11、s13、s33:弾性コンプライアンス(所定の結晶方向における弾性率を表すマト
リックスの中の定数)、
j:虚数単位、t:時間、x:X方向の距離、z´:Z´方向の距離。
図2は、振動片の主振動たる厚みすべり振動の減衰を示す模式図である。なお、本実施例では、2つの溝によって振動片の外周部を保持しても主振動である厚みすべり振動の特性に影響を与えない振動の変位量まで減衰させる例について説明する。
図5に示す本実施例の有限要素法(FEM)による変位分布の計算結果によれば、図5(a)に示すX軸方向(振動片の支持方向)の変位分布、及び図5(b)に示すZ´軸方向の変位分布ともに、2つの溝により減衰が行われている。そして、主振動部分の振動変位を確保しつつ、振動片の外周端部では、殆んど振動の変位量がなくなっていることがわかる。
さらに、複数の周状の溝を同じ深さで形成することで、複数の溝の形成をエッチング等の加工で同時に形成することが可能となる。
<変形例>
複数の溝は、図3(a)及び図3(b)に示すように、周状に設けられた複数の溝の一部に溝を有していない構成でも良い。図3(a)は、4つのコーナー部C1、C2、C3及びC4に溝がない構成であり、図3(b)は、Z´軸方向の一部に溝がない部分Fを有する構成である。なお、溝がない部分は、振動の減衰に影響がなければ、位置、個数は任意に設定することができる。
また、溝の幅が辺の途中で部分的に広くなっている部分24を有してもよく、さらに図示しないが、溝の幅が部分的に狭くなっている部分を有してもよい。
図4に示すような、溝8が振動片10の中心部を囲むように周状に設けられており、急激な減衰を避けなければならない方向(本実施例では、振動片の支持方向)における溝8にほぼ沿った位置(本実施例では、溝8の外周側)に、溝9、溝10(溝幅w3)を設ける構成も用いることができる。
本実施例のように、振動領域に近接する部分での溝と溝との間隔を広く形成し、外周部に向かって順次狭くするように形成することにより、振動変位の大きい、即ち、主振動に近接する領域での振動の減衰はゆっくりとなり、急激な振動の減衰を起こすことなく外周部に向かって徐々に減衰を行う。したがって、主振動である厚みすべり振動の電気特性に影響させることなく外周部への振動の伝播を抑制することができる。
さらに、複数の溝の形状及び配置を変えることにより振動の減衰状態をコントロールして最良の減衰カーブを得ることができることから、主振動の特性を確保しながら振動の減衰領域を小さくすることが可能となる。即ち、振動片の小型化にも寄与することが可能となる。
本発明の圧電振動片の一実施例としての、溝幅が振動片の厚み寸法より大きい振動片について、図10を用いて説明する。図10は、実施例4を説明するための振動片の概略図であり、図10(a)は、振動片の斜視図、図10(b)は、振動片の平面図、図10(c)は、図10(b)に示す振動片のA−A´断面図である。
<変形例>
本発明の圧電振動片の変形例としての振動片について、図13を用いて説明する。図13は、実施例4の変形例を説明するための振動片の概略図であり、図13(a)は、振動片の平面図、図13(b)は、図13(a)に示す振動片のA−A´断面図である。
振動片41の表裏に設けられた主面42には、主面42の中心部43を囲み、振動片41の外形形状にほぼ沿った周状の、内側の溝45(溝幅w4)及び外側の溝46(溝幅2w)の2つの溝が設けられている。内側の溝45は溝幅w4を50μm、深さを3μmに形成している。外側の溝46は溝幅2wを60μm、深さを3μmに形成している。この、外側の溝46は溝幅2wは振動片41の厚さ2bより大きく、溝幅2w>振動片厚み2bとなる溝46が形成されている。
図15および図16は、実施例1にて説明した振動片に電極として励振電極と支持電極を形成した実施例である。
図15において、図15(a)は電極を形成した振動片の平面図、図15(b)は同図(a)に示す振動片のA―A´断面図である。
図16において、図16(a)は電極を配置した振動片の平面図、図16(b)は同図(a)に示す振動片のA―A´断面図である。
振動片10の表裏に設けられた主面11には、主面11の中心部12を囲み、振動片10の外形形状にほぼ沿った周状の、内側の溝13及び外側の溝14の2つの溝が設けられている。励振電極62は、中心部12および溝13を経て、溝13と溝14の間の中間部15まで広がり、矩形状に形成されている。さらに、振動片10の表裏に形成された励振電極62から振動片10の外周部に向かい、外部と接続される支持電極63が形成されている。
Claims (9)
- 圧電基板の表裏に前記圧電基板を振動させるための励振電極が形成される主面を設け、厚みすべり振動を主振動とする圧電振動片において、
前記厚みすべり振動の前記主面の中心部から外周部への伝播を抑制するための複数の溝が、少なくとも一方の前記主面の中心部を囲む概周状に設けられていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記複数の溝のうち、前記主面の最も外周側に位置する溝の幅は、前記圧電基板の厚み以上であることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
一つの溝と異なる溝が、前記圧電振動片が支持される方向の前記一つの溝の一部に沿って設けられていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記複数の溝は、溝が3列以上形成され、前記複数の溝は、隣り合う溝と溝との間隔を、前記主面の中心部から外周部に向かい順次狭くして形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記複数の溝は、前記主面の中心部に最も近い溝から外周部に向かい溝の幅を順次広く形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電基板の表裏に前記圧電基板を振動させるための励振電極が形成される主面を設け、厚みすべり振動を主振動とする圧電振動片において、
前記厚みすべり振動の前記主面の外周部への伝播を抑制するための溝が、少なくとも一方の前記主面の中心部を囲む概周状に設けられており、
前記溝の幅は、前記圧電基板の厚み以上であることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の圧電振動片において、
少なくとも前記圧電振動片の主面の中心部に、任意の形状の励振電極及び前記励振電極と接続される支持電極とが形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項7に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片を固着して接続を行う保持部と、
を有することを特徴とする圧電振動子。 - 請求項7に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片を駆動するための回路部と、
前記圧電振動片及び前記回路部を固着して接続を行う固着部を有する保持部と、
を有することを特徴とする圧電発振器。
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