JP2011041070A - 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子および水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】平板状に形成された平面視略長方形の水晶片と、前記水晶片の上面および下面の中央部に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記水晶片の上面および下面に設けられ、前期駆動電極に電気的に接続された実装電極と、前記駆動電極と前記水晶片の長手方向外周部との間に対向配置されるとともに、エッチングに対して安定な面で形成された断面略V字状の凹部と、を備えたことを特徴とする水晶振動子とする。
【選択図】図1
Description
以下、本発明にかかる第1実施形態を、図1から図5を参照して説明する。図1は、第1実施形態にかかる水晶振動子1を示す平面図であり、図2は図1のAA線における断面図、図3は図1のBB線における断面図を示している。また、図4は図2の第一の開口部5を拡大した断面図、図5は図3の第二の開口部5を拡大した断面図を示している。
(第二実施形態)
次に、本発明にかかる第二の実施形態を、図9から図13を参照して説明する。第2実施形態においては、第1実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2 水晶片
3 駆動電極
4 実装電極
5 第一の凹部
6 第二の凹部
11 水晶平板
12 保護膜
13 水晶片分離開口部
14 第一の開口部
15 第二の開口部
101 従来の水晶振動子
102 水晶片
103 駆動電極
104 実装電極
105 凹部
Claims (17)
- 平板状に形成された平面視略長方形の水晶片と、
前記水晶片の上面および下面の中央部に配置された導電性材料からなる駆動電極と、
前記水晶片の上面および下面に設けられ、前記駆動電極に電気的に接続された実装電極と、
前記駆動電極と前記水晶片の長手方向外周部との間に対向配置されるとともに、エッチングに対して安定な面で形成された断面略V字状の凹部と、
を備えたことを特徴とする水晶振動子。 - 前記凹部は、さらに前記水晶片の前記駆動電極と短手方向外周部との間にも対向配置されることを特徴とした請求項1に記載の水晶振動子。
- 前記凹部は、さらに環状に配置されることを特徴とする請求項2に記載の水晶振動子。
- 前記凹部は、前記水晶片の外周部と前記駆動電極との間に複数配置されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 複数の前記凹部は、前記駆動電極に近いほど浅く、前記水晶片の外周部に近いほど深くなるように形成されたことを特徴とする請求項4に記載の水晶振動子。
- 前記水晶片の側壁が前記凹部の側壁と平行であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記凹部は、前記水晶片の上面および下面に配置されることを特徴とする請求項6に記載の水晶振動子。
- 前記凹部は、前記水晶片の外周部に対して平行に配置されることを特徴とする請求項7に記載の水晶振動子。
- 水晶平板の上面および下面に水晶片分離開口部および凹部形成開口部を備えた保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記開口部に位置する前記水晶平板を除去して水晶片および凹部を形成する工程と、
前記水晶片の上面および下面の中央部に導電性薄膜からなる駆動電極を形成する電極形成工程と、
を備えたことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記保護膜形成工程は前記水晶片分離開口部および前記凹部形成開口部を同時に形成することを特徴とする請求項9に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記水晶片および前記凹部を形成する工程は、前記水晶平板をフッ酸またはフッ化アンモニウムの少なくとも一方を含む水溶液に浸漬して、前記水晶平板の前記開口部に水晶片及び凹部を形成することを特徴とする請求項10に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記凹部形成開口部は、前記水晶片の長手方向と略平行に配置された開口部を備えることを特徴とする請求項11に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記凹部形成開口部は、前記水晶片の長手方向と略平行に配置された第一の開口部と、
前記水晶片の短手方向と略平行に配置された第二の開口部とを備えることを特徴とする請求項12に記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記水晶片および前記凹部を形成する工程は、断面略V字状の前記凹部を形成することを特徴とする請求項13に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記保護膜形成工程は、複数の前記凹部形成開口部を備えた保護膜を形成することを特徴とする請求項9から14のいずれか一項に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記保護膜形成工程は、水晶片の外周部に近いほど広い幅の前記凹部形成開口部を形成することを特徴とする請求項15に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記水晶片および前記凹部を形成する工程は、前記水晶片と前記凹部とが平行な側壁を形成することを特徴とする請求項9から16のいずれか一項に記載の水晶振動子の製造方法。
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