JP4802714B2 - バルク音波共振器 - Google Patents
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Description
また、上述した交差領域の外周部形状と上述した孔との組み合わせによれば、外周部形状を極端な非方形にする必要がないので、平面サイズを特許文献1によるものほど大きくしなくてもよい。
図1〜図3は本発明の実施形態1に係るバルク音波共振器とその変形例、図4は実施形態2、図5は実施形態3、図6はその変形例を示す。
(実施形態1)
(実施形態1の変形例)
図2は、第1の変形例としての頂部電極60を模式的に示している。複数の孔61は、図に示すように、円形ではあるが、不規則な大きさで不規則に配設されている。
(実施形態2)
なお、交差領域の外周形状は、四角形に限らず、対向する辺が平行にならない多角形や、一部が不規則な多角形の一部を有する形状としてもよい。
(実施形態3)
図5は、本実施形態に係るバルク音波共振器10の一部を示す断面図である。図5において、頂部電極60の外周周縁部には、周縁部以外の平面部分の厚さよりも薄い段部65が形成されている。
(実施形態3の変形例)
図6は、実施形態3の変形例による頂部電極を模式的に示す平面図である。図6において、頂部電極60の外周周縁部には、他の平面よりも厚さが薄い段部65が設けられ、内部には、不規則な大きさの円形の孔61が不規則に配列されている。
また、この変形例は、前述した実施形態2による頂部電極60(交差領域)の外周形状を非方形とし、この外周周縁部に段部65を設ける構成としてもよい。
以上説明した本発明のバルク音波共振器は、高速無線通信におけるデュプレクサ、バンドパス・フィルタ、発振器、センサ等に利用するのに好適である。
Claims (3)
- 支持枠上に積層される圧電体と、
前記圧電体の前記支持枠側の主面に形成される底部電極と、
前記圧電体の他方の主面に形成される頂部電極と、を備え、
前記底部電極と前記頂部電極の少なくともそれぞれの一部が平面的に重なり合う交差領域が設けられ、
前記交差領域の前記頂部電極に複数個の孔が設けられ、前記複数個の孔それぞれが不規則な形状または不規則な大きさを有し、不規則に配設され、
前記複数個の孔それぞれは、前記頂部電極を貫通しない凹部であり、前記それぞれの凹部の深さが不規則に形成されていることを特徴とするバルク音波共振器。 - 請求項1に記載のバルク音波共振器において、
前記交差領域の少なくともその一部が、少なくとも1対の対向する2辺のそれぞれが非平行な多角形の一部を構成する外周を有することを特徴とするバルク音波共振器。 - 支持枠上に積層される圧電体と、
前記圧電体の前記支持枠側の主面に形成される底部電極と、
前記圧電体の他方の主面に形成される頂部電極と、を備え、
前記底部電極と前記頂部電極の少なくともそれぞれの一部が平面的に重なり合う交差領域が設けられ、
前記交差領域の前記頂部電極の周縁部に、他より厚さが薄い段部が設けられ、
前記他より厚さが薄い段部と、前記交差領域の前記頂部電極に複数個の孔が設けられ、前記複数個の孔それぞれが不規則な形状または不規則な大きさを有し、不規則に配設され、
前記複数個の孔それぞれは、前記頂部電極を貫通しない凹部であり、前記それぞれの凹部の深さが不規則に形成されていることを特徴とするバルク音波共振器。
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