JPH0210670Y2 - - Google Patents
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- JPH0210670Y2 JPH0210670Y2 JP8219383U JP8219383U JPH0210670Y2 JP H0210670 Y2 JPH0210670 Y2 JP H0210670Y2 JP 8219383 U JP8219383 U JP 8219383U JP 8219383 U JP8219383 U JP 8219383U JP H0210670 Y2 JPH0210670 Y2 JP H0210670Y2
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- crystal
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- Expired
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、エツチング加工によりスプリアスを
抑圧した水晶振動子に関する。
抑圧した水晶振動子に関する。
水晶振動子は、高いＱ値、安定な周波数を供給
するため各種の基準や信号源として、クロツクを
はじめカラーテレビ、VTR等各方面に幅広く使
用されている。これらに使用される水晶振動子に
は、主振動の他に不要振動と呼ばれるスプリアス
が存在しており、このスプリアスが主振動より大
きくなつたり、このスプリアスがあるために主振
動の直列共振抵抗値が高くなり、また周波数温度
特性においては、不要振動との結合等があり、デ
イツプ現象として、ある温度で周波数が急激に変
化するか、直列共振抵抗値が異常に高くなり発振
を停止する場合がある。
するため各種の基準や信号源として、クロツクを
はじめカラーテレビ、VTR等各方面に幅広く使
用されている。これらに使用される水晶振動子に
は、主振動の他に不要振動と呼ばれるスプリアス
が存在しており、このスプリアスが主振動より大
きくなつたり、このスプリアスがあるために主振
動の直列共振抵抗値が高くなり、また周波数温度
特性においては、不要振動との結合等があり、デ
イツプ現象として、ある温度で周波数が急激に変
化するか、直列共振抵抗値が異常に高くなり発振
を停止する場合がある。
この為、従来から主振動を安定に励振しやすく
する為と、主振動の直列共振抵抗値を小さくする
為に振動変位を中央に集中させる方法があり、第
１図ｂに示すように水晶板１の主面端部をある球
面を持たせて厚みを減少させていく、いわゆるベ
ベル加工が施されている。なお水晶板１には、励
振電極３と引出電極３′を載置している。
する為と、主振動の直列共振抵抗値を小さくする
為に振動変位を中央に集中させる方法があり、第
１図ｂに示すように水晶板１の主面端部をある球
面を持たせて厚みを減少させていく、いわゆるベ
ベル加工が施されている。なお水晶板１には、励
振電極３と引出電極３′を載置している。
しかし、ベベル加工は従来、球面Ｒを持つた容
器に研摩剤をいれ水晶板を１枚１枚手で球面に押
し当てることにより主面端部を研摩するため作業
性が悪く品質もばらつく欠点があつた。また、他
の方法として円筒状容器に水晶板と研摩剤を投入
し、それを回転させることにより主面端部を研摩
する方法は時間がかかるということと、水晶板の
主面も研摩されるという欠点を有していた。また
これら水晶振動子はこれから益々小型化・薄型化
される傾向にあり、ベベル加工しないで価格で安
く、性能のすぐれた特性の得られる振動子が望ま
れていた。
器に研摩剤をいれ水晶板を１枚１枚手で球面に押
し当てることにより主面端部を研摩するため作業
性が悪く品質もばらつく欠点があつた。また、他
の方法として円筒状容器に水晶板と研摩剤を投入
し、それを回転させることにより主面端部を研摩
する方法は時間がかかるということと、水晶板の
主面も研摩されるという欠点を有していた。また
これら水晶振動子はこれから益々小型化・薄型化
される傾向にあり、ベベル加工しないで価格で安
く、性能のすぐれた特性の得られる振動子が望ま
れていた。
本考案は、水晶板の主面端部にエツチングによ
り複数個の凹部を設け、該凹部が主面端部から中
心部に向い漸次狭くなり、かつ残存部の幅が中心
部に向い漸次広く、かつ複数個の該凹部が鋸歯状
であることを主構成とし、前述した欠点を除去し
安定な水晶振動子を提供することを目的とする。
また本考案による振動子は、従来のようなベベル
加工のような機械的な加工によるものではなくエ
ツチング技術によりベベル加工による振動子と同
様の効果が得られるものであり以下、実施例を挙
げて説明する。
り複数個の凹部を設け、該凹部が主面端部から中
心部に向い漸次狭くなり、かつ残存部の幅が中心
部に向い漸次広く、かつ複数個の該凹部が鋸歯状
であることを主構成とし、前述した欠点を除去し
安定な水晶振動子を提供することを目的とする。
また本考案による振動子は、従来のようなベベル
加工のような機械的な加工によるものではなくエ
ツチング技術によりベベル加工による振動子と同
様の効果が得られるものであり以下、実施例を挙
げて説明する。
第２図は、水晶板１にレジスト膜２，２′，
２″を施した時の部分断面図である。水晶板１の
溶解させない部分に、レジスト膜２，２′，２″を
塗布する。おのおののレジスト膜とレジスト膜と
の間隔は中心部に向い漸次狭くし、幅は漸次広く
するか、ないしほぼ同一幅とする。レジスト膜の
材質としては、例えばゴム系樹脂又はエツチング
液に溶解しない金属例えば金や他の金属との組合
せたものを利用する。レジスト膜２，２′，２″の
乾燥した後、周知のエツチング工程を行い、レジ
スト膜２を塗布した以外の部分を溶解し、水晶板
の主面端部に鋸歯状の凹部を形成する。エツチン
グには、エツチヤントとしてフツ化アンモン又は
フツ化水素混液等を利用する。
２″を施した時の部分断面図である。水晶板１の
溶解させない部分に、レジスト膜２，２′，２″を
塗布する。おのおののレジスト膜とレジスト膜と
の間隔は中心部に向い漸次狭くし、幅は漸次広く
するか、ないしほぼ同一幅とする。レジスト膜の
材質としては、例えばゴム系樹脂又はエツチング
液に溶解しない金属例えば金や他の金属との組合
せたものを利用する。レジスト膜２，２′，２″の
乾燥した後、周知のエツチング工程を行い、レジ
スト膜２を塗布した以外の部分を溶解し、水晶板
の主面端部に鋸歯状の凹部を形成する。エツチン
グには、エツチヤントとしてフツ化アンモン又は
フツ化水素混液等を利用する。
レジスト膜２の幅寸法S01は、振動板１の中心
部に向いレジスト膜２′の幅寸法S02に比べ等しい
かまたは小さくしてある。また各レジスト膜の間
隔はレジスト膜２とレジスト膜２′の間隔W01が、
エツジ部とレジスト膜２との間隔W00に比べ小さ
くしてある。第３図ａは、このようなレジスト膜
を設けエツチングをして所要箇所を溶解したの
ち、さらに蒸着等により励振電極３と引出電極
３′を施した振動板の正面図である。また第３図
ａのBBの部分断面図を第３図ｂに示す。同図に
よれば、エツチングで形成された凹部４，４′，
４″の幅寸法をW0，W1，W2とし、残存部５，
５′の幅寸法をS1，S2とすれば、それぞれ次式の
ような関係で表わされる。
部に向いレジスト膜２′の幅寸法S02に比べ等しい
かまたは小さくしてある。また各レジスト膜の間
隔はレジスト膜２とレジスト膜２′の間隔W01が、
エツジ部とレジスト膜２との間隔W00に比べ小さ
くしてある。第３図ａは、このようなレジスト膜
を設けエツチングをして所要箇所を溶解したの
ち、さらに蒸着等により励振電極３と引出電極
３′を施した振動板の正面図である。また第３図
ａのBBの部分断面図を第３図ｂに示す。同図に
よれば、エツチングで形成された凹部４，４′，
４″の幅寸法をW0，W1，W2とし、残存部５，
５′の幅寸法をS1，S2とすれば、それぞれ次式の
ような関係で表わされる。
W0＞W1＞W2 …(1)
S1≦S2 …(2)
すなわち、凹部４，４′，４″は水晶板１の中心
に向い狭くなり、かつ残存部５，５′の幅は水晶
板１の中心に向い同等かまたは広くなつている。
これは、水晶板の持つ主振動以外の振動を水晶板
１に施した励振電極３以外の部分で発振又は伝搬
させないためにエツチングにより複数個の凹部を
設け、また、特に該凹部を鋸歯状にし、そのピツ
チをλ＝2t（ｔ：水晶振動子の厚み）より決まる
波長にしたことにより、不要振動を効率よく吸収
させることができ、不要振動を水晶板の主面端部
に伝搬させないことと鋸歯状部分で吸収させるこ
とにより、これら主振動以外の振動であるスプリ
アス群を減衰させている。
に向い狭くなり、かつ残存部５，５′の幅は水晶
板１の中心に向い同等かまたは広くなつている。
これは、水晶板の持つ主振動以外の振動を水晶板
１に施した励振電極３以外の部分で発振又は伝搬
させないためにエツチングにより複数個の凹部を
設け、また、特に該凹部を鋸歯状にし、そのピツ
チをλ＝2t（ｔ：水晶振動子の厚み）より決まる
波長にしたことにより、不要振動を効率よく吸収
させることができ、不要振動を水晶板の主面端部
に伝搬させないことと鋸歯状部分で吸収させるこ
とにより、これら主振動以外の振動であるスプリ
アス群を減衰させている。
そして本考案の幅及び間隔の凹部を設け、特性
のすぐれた振動子が得られた。なお凹部の深さ
は、水晶板の板厚ｔに対しｔ／２までとすること
が好ましい。またＷ及びＳの寸法は振動板の大き
さ、厚み、周波数、励振電極等を考慮して設計さ
れる。もちろん、水晶板の両面に凹部を施す他、
片面のみに凹部を設けても同様の効果が得られ
る。
のすぐれた振動子が得られた。なお凹部の深さ
は、水晶板の板厚ｔに対しｔ／２までとすること
が好ましい。またＷ及びＳの寸法は振動板の大き
さ、厚み、周波数、励振電極等を考慮して設計さ
れる。もちろん、水晶板の両面に凹部を施す他、
片面のみに凹部を設けても同様の効果が得られ
る。
次に本考案による効果を列挙すると
イ エツチングで加工するため、加工精度が極め
て良く、均一で指定する寸法の溝が構成でき
る。
て良く、均一で指定する寸法の溝が構成でき
る。
ロ 加工精度がよいため、小型化、薄型化に対し
ても十分に対応していける。
ても十分に対応していける。
ハ 歩留り、量産性に格段にすぐれており、自動
化にも最適である。
化にも最適である。
以上の結果、量産性のすぐれた安定な振動子を
得られるようになつた。なお、実施例ではフオト
エツチングを取り挙げたが、スクリーン印刷によ
りレジスト膜を成形しても効果は同様である。ま
た本考案の凹部は、水晶板の中心部に施されてい
る励振電極より外周部に設けることが好ましい。
得られるようになつた。なお、実施例ではフオト
エツチングを取り挙げたが、スクリーン印刷によ
りレジスト膜を成形しても効果は同様である。ま
た本考案の凹部は、水晶板の中心部に施されてい
る励振電極より外周部に設けることが好ましい。
他の実施例として第４図は、凹部を表裏で交互
になつている例を示す部分断面図である。また、
第５図は、鋸歯状のピツチの位置を内側と外側で
ずらせた例を示しており、ともに効果は前述した
ものと同様である。
になつている例を示す部分断面図である。また、
第５図は、鋸歯状のピツチの位置を内側と外側で
ずらせた例を示しており、ともに効果は前述した
ものと同様である。
第１図ａは、従来の水晶振動子を示す正面図。
第１図ｂは、同図ａの水晶板の断面図。第２図
は、水晶板にレジスト膜塗布後の部分断面図。第
３図ａは、本考案の水晶板を示す正面図、同図ｂ
は、同図ａの水晶板の部分断面図である。第４図
は、表裏で凹部が交互である部分断面図。第５図
は、鋸歯状の凹部ピツチをずらした正面図。 １……水晶板、３……励振電極、４，４′，
４″……凹部、５，５′，５″……残存部。
第１図ｂは、同図ａの水晶板の断面図。第２図
は、水晶板にレジスト膜塗布後の部分断面図。第
３図ａは、本考案の水晶板を示す正面図、同図ｂ
は、同図ａの水晶板の部分断面図である。第４図
は、表裏で凹部が交互である部分断面図。第５図
は、鋸歯状の凹部ピツチをずらした正面図。 １……水晶板、３……励振電極、４，４′，
４″……凹部、５，５′，５″……残存部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水晶板の主面端部にエツチングにより複数個
の凹部を設け、該凹部が主面端部から中心部に
向い漸次狭くなり、かつ残存部の幅が中心部に
向い漸次広く、かつ複数個の該凹部が鋸歯状で
あることを特徴とする水晶振動子。 (2) 該凹部が水晶板の主面端部の両面もしくは片
面に設けられた実用新案登録請求の範囲第１項
の水晶振動子。 (3) 該凹部が水晶板の表裏で対向しているか、も
しくは交互になつている実用新案登録請求の範
囲第１項の水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8219383U JPS59189326U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8219383U JPS59189326U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59189326U JPS59189326U (ja) | 1984-12-15 |
| JPH0210670Y2 true JPH0210670Y2 (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=30212145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8219383U Granted JPS59189326U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59189326U (ja) |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP8219383U patent/JPS59189326U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59189326U (ja) | 1984-12-15 |
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