JPS61123211A - 圧電振動子および圧電振動子の振動周波数調整方法 - Google Patents

圧電振動子および圧電振動子の振動周波数調整方法

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JPS61123211A
JPS61123211A JP59245625A JP24562584A JPS61123211A JP S61123211 A JPS61123211 A JP S61123211A JP 59245625 A JP59245625 A JP 59245625A JP 24562584 A JP24562584 A JP 24562584A JP S61123211 A JPS61123211 A JP S61123211A
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JP
Japan
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vibration
slot
piezoelectric
vibrating
trimming
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JP59245625A
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Takeshi Nakamura
武 中村
Ikuo Matsumoto
松本　伊久夫
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、圧電板自体の寸法で振動周波数が定まる圧
電振動子や圧電トランスジューサと機械振動板とからな
る圧電振動子の構造および振動周波数の調整方法に関す
る。
（従来の技術） 中心から周辺方向への拡がり振動モードを用いた圧電振
動子としては、水晶振動子や圧電セラミック振動子が主
流であった。このようなものの振動周波数を所望の値に
するには、円板や角板（正方形や長方形）の端面を削っ
て辺長をかえたり、振動面に質量を付加したりしていた
が、振動子のバランスがくずれやすく、共振特性に悪影
響を及ぼし、また調整がむつかしく、調整指数がかかつ
ていた。たとえば第３図に示す角板の振動子１（電極は
省略）の端面を削る方法をとるときは、四辺を同時に等
置割ればよいが作業性が悪いので、通常は、Ｉ２ｔ　＝
９２の状態で、り１、ρ２を等置割る方法がとられてい
るが、支持点２が中心からずれてしまうため、共振特性
の劣化やトリミング精度を上げることができなかった。
またトリミング中、測定が困難なことも、精度があがら
ず、また、１個づつトリミングするため、トリミング時
間（指数）を費やす原因であった。
（発明が解決しようとする問題点） それゆえに、この発明では、振動周波数を低くできる構
造の圧電共振子を提供しようとする。
また、この発明では、共振特性に影響を与えず、簡単で
、正確な周波数トリミング方法を提供しようとする。
（問題点を解決するための手段） そこで、この発明では、拡がりモードを用いた振動板の
中心ないしその近傍において、振動に寄与する辺と交差
する方向に溝が形成されていて振動伝搬速度が溝のない
ときに比べ遅くなるようにした。
また、この発明では、拡がり振動モードを用いた振動板
の中心ないしその近傍において、振動に寄与する辺と交
差する方向に振動周波数調整用の溝を形成して＠動伝搬
速度が溝のないときに比べ遅くなるようにすることによ
り振動周波数を所望の値に設定するようにした。
（作用） このような溝を設けると溝と交差する方向に振動が伝搬
する関係上、溝と交差する方向の振動の一伝搬速度が遅
くなり、いいかえると振動周波数に寄与する表面有効長
が長くなり、振動周波数が溝のない場合に比べ低下する
。そこでこのことを利用して振動周波数を所望の値とす
る。
（実施例） 第１．２図はエリンバ−等の恒弾性金属板からなる機械
振動部３、結合部４、フレーム部５が一体に形成された
ものの機械振動部３の一面にｚｎｏなどの圧電源１９６
を設けさらにその上に電極膜７を設け、電極１１１７と
フレーム部５簡に電気信号を印加して機械振動を生じさ
せるものの一例を示す。この構造のものでは、短辺方向
の寸法で定まる振動モードを利用する。８は複数本の溝
で、溝８は圧電源１１６や電極［１７が設けていない方
の機械振動部３表面の中心から長さ方向、つまり利用振
動方向と交差、好ましくは直交する方向に延びている。
一本で足りないときは、中央の溝の両側に対称的に設け
るのがバランスの点で好ましい。
溝の形成はレーザトリミング等が考えられる。このよう
にすると表面の実効的な長さが溝が設けられていないと
きに比べ長くなって振動の伝搬速度が遅くなり振動周波
数が低くなる。
この発明は上述のような、四懺県動子に圧電トランスジ
ューサを組合せたものに限定されず、圧電板に電極を設
は圧電板自体の寸法で振動周波数が定まる構造にも適用
可能である。
（効果） 以、Ｆの実施例からあきらかなように、この発明による
と、以下の効果が得られる。■周波数測定回路に接続し
た状態でトリミングができるから、高精度でまた調整時
間が短かい。■振動子の中心ないしその近傍をトリミン
グするため振動バランスがくずれにくい。■たとえばレ
ーザーのパワー微調整か゛必要に応じ簡単゛に使いわけ
半連続可変ができる。■−たん粗調整をした上で、その
溝内にさらに微調整用の溝を形成することもでき、調整
作業を簡単に自動化できる。■トリミング個所が振動子
平面を利用するため、振動子（ｌ＠合子及びτ瞬 トリミングが出来、従来の１個づつのトリミングに比ベ
トリミング時間、作業指数を大巾に削減出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例斜視図、第２図は第１図Ａ
−Ａ線断面図、第３図は従来例斜視図。 ３は機械振動部、４は結合部、５はフレーム部、６は圧
電薄膜、７は電極膜、８は溝。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）拡がり振動モードを用いた振動板の中心ないしそ
    の近傍において、振動に寄与する辺と交差する方向に溝
    が形成されていて振動伝搬速度が溝のないときに比べ遅
    くなるようにした圧電振動子。
  2. （２）拡がり振動モードを用いた振動板の中心ないしそ
    の近傍において、振動に寄与する辺と交差する方向に振
    動周波数調整用の溝を形成して振動伝搬速度が溝のない
    ときに比べ遅くなるようにすることにより振動周波数を
    所望の値に設定することを特徴とする、圧電振動子の振
    動周波数調整方法。
JP59245625A 1984-11-19 1984-11-19 圧電振動子および圧電振動子の振動周波数調整方法 Granted JPS61123211A (ja)

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US06/798,026 US4658173A (en) 1984-11-19 1985-11-14 Piezoelectric vibrator and method of adjusting vibrating frequency thereof

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JPS61123211A true JPS61123211A (ja) 1986-06-11
JPH0414882B2 JPH0414882B2 (ja) 1992-03-16

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US4658173A (en) 1987-04-14

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