JPS59212A - 圧電共振素子とその製造方法 - Google Patents
圧電共振素子とその製造方法Info
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- JPS59212A JPS59212A JP11019382A JP11019382A JPS59212A JP S59212 A JPS59212 A JP S59212A JP 11019382 A JP11019382 A JP 11019382A JP 11019382 A JP11019382 A JP 11019382A JP S59212 A JPS59212 A JP S59212A
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- piezoelectric resonant
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
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- H03H9/05—Holders; Supports
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- H03H9/0533—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of wire
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- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は圧電共振素子およびその製造方法に関する。
たとえばへＭ受信機用圧電フィルタにおいては、従来は
第１図（こ示すように、中心に点状の突゛起１を設けた
電ＦＭ板２ａ、２ｂで、圧電素子３をその両面から弾力
的に挾み、上記突起１を圧電素子３に当接して、該圧電
素子３を所定位置に支持していた。しかしながら、上述
のような、従来の圧電素子の支持方法では、電極板側に
突起を設けているので、圧電フィルタの組立時において
電極板の突起１と圧電素子３との相対位置を正確に定め
るのが困難である。また上記電極板と圧電素子とは単に
接離可能に当接させて、支持しているだけであるので、
圧電フィルタの使用中に、振動等によって圧電素子と上
記電極板の突起との相対位置がずれることがあり、その
ため所望の電気的特性が得られない場合が生じるという
欠点があった。
第１図（こ示すように、中心に点状の突゛起１を設けた
電ＦＭ板２ａ、２ｂで、圧電素子３をその両面から弾力
的に挾み、上記突起１を圧電素子３に当接して、該圧電
素子３を所定位置に支持していた。しかしながら、上述
のような、従来の圧電素子の支持方法では、電極板側に
突起を設けているので、圧電フィルタの組立時において
電極板の突起１と圧電素子３との相対位置を正確に定め
るのが困難である。また上記電極板と圧電素子とは単に
接離可能に当接させて、支持しているだけであるので、
圧電フィルタの使用中に、振動等によって圧電素子と上
記電極板の突起との相対位置がずれることがあり、その
ため所望の電気的特性が得られない場合が生じるという
欠点があった。
この発明は上述の欠点を排除するためになされたもので
あって、圧電共振素子の表面の所定の位ｆｉｔこ棒状電
極を固着した構成とすることにより、正確な共振特性を
容易に、かつ確実に得ることのできる圧電共振素子およ
びその製造方法を提供することを目的とするものである
。
あって、圧電共振素子の表面の所定の位ｆｉｔこ棒状電
極を固着した構成とすることにより、正確な共振特性を
容易に、かつ確実に得ることのできる圧電共振素子およ
びその製造方法を提供することを目的とするものである
。
以下にこの発明の一実施例を図面とともに説明する。
第２図において、１０は圧電共振素子、１０はセラミッ
ク基板の両面に電極膜を形成して、圧電機能を付加した
圧電基板であり、この圧電共振素子１０はその長手４万
回の振動を利用する、長さ振動モードを有する。
ク基板の両面に電極膜を形成して、圧電機能を付加した
圧電基板であり、この圧電共振素子１０はその長手４万
回の振動を利用する、長さ振動モードを有する。
圧電基板ｌＯの長さｌ方向の中心線１番こは、長さｌ方
向と直角方向に、断面形状が円形の棒状電極１１が、ハ
ンダ付等により固着されている。各棒状電極１１は圧電
基板１０の両面に設けられる。
向と直角方向に、断面形状が円形の棒状電極１１が、ハ
ンダ付等により固着されている。各棒状電極１１は圧電
基板１０の両面に設けられる。
なお第２図には２個の圧電共振素子が示され、一点鎖線
Ａで切断される。圧電基板１０の一方主表面に長さｌ方
向に沿った溝１３が設けてあり、この溝３によって一方
主表面が長さ４方回（こ三等分されている。また、長さ
４方向と直交する方向に溝１４がそれぞれ長さ４方向の
中心から１／３１の位置に設けである。したがって基板
１０の一方主表面には、入力電極１６、出力電極１７、
独立電極１８〜２１が、溝１３て区切られて設けられて
いる。士だ、基板１０の他方主表面には、全面電極１２
が設けられている。そして長さｅ万回番こ伸縮する長さ
振動モードを用いることとし、基板１０における各部寸
法は、たとえば中心周波数が４５０ ＫＨｚのとき、長
さｌが約４．０５闘、幅が０．６騎、厚みが０．３朋、
溝１３の深さが０．１５朋、溝１３の幅が０．１５市、
溝１４の深さと幅は、電極１６．１７を電極１８もしく
は１９．２０もしくは２１から電気的に分離させるだけ
のものであるから適当でよい。第３図は第２図に示す圧
電共振２図に示す圧電共振素子１０は、長′さ方向の単
一△ モードの振動を用いたフィルタ素子として使える。
Ａで切断される。圧電基板１０の一方主表面に長さｌ方
向に沿った溝１３が設けてあり、この溝３によって一方
主表面が長さ４方回（こ三等分されている。また、長さ
４方向と直交する方向に溝１４がそれぞれ長さ４方向の
中心から１／３１の位置に設けである。したがって基板
１０の一方主表面には、入力電極１６、出力電極１７、
独立電極１８〜２１が、溝１３て区切られて設けられて
いる。士だ、基板１０の他方主表面には、全面電極１２
が設けられている。そして長さｅ万回番こ伸縮する長さ
振動モードを用いることとし、基板１０における各部寸
法は、たとえば中心周波数が４５０ ＫＨｚのとき、長
さｌが約４．０５闘、幅が０．６騎、厚みが０．３朋、
溝１３の深さが０．１５朋、溝１３の幅が０．１５市、
溝１４の深さと幅は、電極１６．１７を電極１８もしく
は１９．２０もしくは２１から電気的に分離させるだけ
のものであるから適当でよい。第３図は第２図に示す圧
電共振２図に示す圧電共振素子１０は、長′さ方向の単
一△ モードの振動を用いたフィルタ素子として使える。
また棒状電極１１を基板１０上に固着しているので、該
基板の幅方向（４方向に直交する方向）の振動が抑圧さ
れる。
基板の幅方向（４方向に直交する方向）の振動が抑圧さ
れる。
この圧電共振素子１０の製造方法を以下に説明する。−
辺が数Ｃｍオーダーの矩形板状のセラミック焼結体１０
１をラッピングして表面を整える。
辺が数Ｃｍオーダーの矩形板状のセラミック焼結体１０
１をラッピングして表面を整える。
対向主表面に電極膜を設ける。この電極膜は分極処理用
の電極であるとともに、電極１２．１６〜２１になるも
のである。分極処理によってセラミック焼結体１０１に
は圧電性が付与される。
の電極であるとともに、電極１２．１６〜２１になるも
のである。分極処理によってセラミック焼結体１０１に
は圧電性が付与される。
なお電極膜を付されたセラミック焼結体を円圧電板とい
う。
う。
この円圧電板 １０の両表面には、断面形状が円形の棒
状電極１１が複数本所定の等間隔で、互いに平行にして
ハンダ付等により固着される。棒状電極１１の固着位置
は、第５図に一点鎖線Ａに沿って切り出される各圧電共
振素子１０の長さｌ方向のはｙ中心線上となる位置をこ
相当する。
状電極１１が複数本所定の等間隔で、互いに平行にして
ハンダ付等により固着される。棒状電極１１の固着位置
は、第５図に一点鎖線Ａに沿って切り出される各圧電共
振素子１０の長さｌ方向のはｙ中心線上となる位置をこ
相当する。
次いで、円圧電板１０の一方の面上に細線Ｂで示した線
（こ沿って、長さ４方向に溝１３が切り込まれる。この
時各棒状電極１１は第２図に１５で示すように切断され
る。
（こ沿って、長さ４方向に溝１３が切り込まれる。この
時各棒状電極１１は第２図に１５で示すように切断され
る。
次いで円圧電板１０の上記一方の面において細線Ｃで示
した線に沿って長さ４に対して直交する方向に溝１４が
切り込まれる。
した線に沿って長さ４に対して直交する方向に溝１４が
切り込まれる。
然る後１点鎖線Ａに沿って円圧電板１０を切断すること
により、第２図に示した圧電共振素子１０が得られる。
により、第２図に示した圧電共振素子１０が得られる。
なお第２図の圧電共振素子において、各棒状電極１１に
は、外部回路との接続端子として、平板状の端子板を固
定してもよいし、リード線を）１ンダ付等により固着し
てもよい。
は、外部回路との接続端子として、平板状の端子板を固
定してもよいし、リード線を）１ンダ付等により固着し
てもよい。
以上詳述したように、この発明の圧電共振素子は、長さ
振動モードの素子において、素子の長さ方向と交差する
方向に棒状電極を固着したものであるから、圧電共振素
子の幅方向の振動を抑圧することができ、振動特性を改
善することができるとともに、圧電共振素子への振動供
給点を正確に素子の中心に維持することができるので、
正確な共振特性をもった圧電共振素子を容易に製造する
ことができる。また上記棒状電極の位置ずれが生じるこ
とがなく、良好な特性を維持することができる。
振動モードの素子において、素子の長さ方向と交差する
方向に棒状電極を固着したものであるから、圧電共振素
子の幅方向の振動を抑圧することができ、振動特性を改
善することができるとともに、圧電共振素子への振動供
給点を正確に素子の中心に維持することができるので、
正確な共振特性をもった圧電共振素子を容易に製造する
ことができる。また上記棒状電極の位置ずれが生じるこ
とがなく、良好な特性を維持することができる。
またこの発明の圧電共振素子の製造方法においては円圧
電板に長い棒状電極を固着した後、所定寸法に切断して
素子を得るようにしたものであるから、電極位置を正確
１こ固定した圧電共振素子を高い能率で製造することが
できるとともに、均一な特性を有する素子を提供するこ
とができる。
電板に長い棒状電極を固着した後、所定寸法に切断して
素子を得るようにしたものであるから、電極位置を正確
１こ固定した圧電共振素子を高い能率で製造することが
できるとともに、均一な特性を有する素子を提供するこ
とができる。
第１図は従来の圧電共振素子の一例を示す側面図、第２
図はこの発明の圧電共振素子の一実施例を示す斜視図、
第３図は第２図の圧電共振素子の等価回路を示す図、第
４図と第５図は第２図に示す圧電共振素子の製造工程を
示す斜視図である。 １０・・・・・・円圧電板 １０・・・・・・圧電共振
素子１１・・・・・・棒状電極 １３，１４・・・・・
・溝。 特許出願人 株式会社 村田製作所
図はこの発明の圧電共振素子の一実施例を示す斜視図、
第３図は第２図の圧電共振素子の等価回路を示す図、第
４図と第５図は第２図に示す圧電共振素子の製造工程を
示す斜視図である。 １０・・・・・・円圧電板 １０・・・・・・圧電共振
素子１１・・・・・・棒状電極 １３，１４・・・・・
・溝。 特許出願人 株式会社 村田製作所
Claims (5)
- （１）長さ振動モードで構成された圧電共振素子の少な
くとも一方の表面に、上記素子の長さ方向と交差する方
向の棒状電極を固着したことをル徴とする圧電共振素子
。 - （２）圧電共振素子の上記一方の表面に、素子の長さ方
向に延在する溝を素子の幅方向の中心線に沿って設けた
特許請求の範囲第１項に記載の圧電共振素子ｂ - （３）棒状電極は上記溝に対応する部分で切断されてい
る特許請求の範囲第１項に記載の圧電共振素子。 - （４） ｌＢ圧電板の両面の所定位置にそれぞれ棒状
電極を平行に接着して後、該棒状電極が圧電共振素子の
中心を通るような寸法で上記円圧電板を切断することを
特徴とする圧電共振素子の製造方法。 - （５）棒状電極を接着した後に、各圧電共振素子の長さ
方向に延在する第１の溝および圧電共振素子の幅方向に
沿う第２の溝を形成するよう番こした特許請求の範囲第
４項に記載の圧電共振素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11019382A JPS59212A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電共振素子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11019382A JPS59212A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電共振素子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59212A true JPS59212A (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=14529405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11019382A Pending JPS59212A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電共振素子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59212A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4658173A (en) * | 1984-11-19 | 1987-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator and method of adjusting vibrating frequency thereof |
| JPH02224515A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Tdk Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP11019382A patent/JPS59212A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4658173A (en) * | 1984-11-19 | 1987-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator and method of adjusting vibrating frequency thereof |
| JPH02224515A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Tdk Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
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