JPH0144047B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0144047B2 JPH0144047B2 JP57122412A JP12241282A JPH0144047B2 JP H0144047 B2 JPH0144047 B2 JP H0144047B2 JP 57122412 A JP57122412 A JP 57122412A JP 12241282 A JP12241282 A JP 12241282A JP H0144047 B2 JPH0144047 B2 JP H0144047B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrode
- electrodes
- terminal
- piezoelectric resonant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/176—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of ceramic material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、スプリアス特性が優れた二端子型
圧電共振部品に関する。
圧電共振部品に関する。
この発明の要旨は、一方主面において長さ方向
に延びる直線溝が形成された圧電板と、この圧電
板の直線溝が形成された面において該直線溝に両
側に形成された第１、第２の電極と、圧電板の他
方主面に形成された第３の電極とを有する長さ振
動モードを利用した圧電共振素子と、この圧電共
振素子の第１、第２の電極を電気的に接続する接
続部材とを備え、接続部材で接続された第１、第
２の電極が一方端子に接続され、第３の電極が他
方端子に接続されるように構成されていることを
特徴とする二端子型圧電共振部品である。
に延びる直線溝が形成された圧電板と、この圧電
板の直線溝が形成された面において該直線溝に両
側に形成された第１、第２の電極と、圧電板の他
方主面に形成された第３の電極とを有する長さ振
動モードを利用した圧電共振素子と、この圧電共
振素子の第１、第２の電極を電気的に接続する接
続部材とを備え、接続部材で接続された第１、第
２の電極が一方端子に接続され、第３の電極が他
方端子に接続されるように構成されていることを
特徴とする二端子型圧電共振部品である。
以下にこの発明の実施例について説明する。
第１図は圧電共振部品の構成素子である圧電共
振素子１を示す。図において、２は圧電セラミツ
ク基板で、その一方主表面に長さｌ方向に沿つた
直線溝３が設けられており、この溝３によつて一
方主表面が長さｌ方向に二等分されている。ま
た、長さｌ方向と交差する方向に溝４，５がそれ
ぞれ長さｌ方向の中心から1/3ｌの位置に設けて
ある。したがつて基板２の一方主表面には、第１
の電極６、第２の電極７、独立電極８〜１１が、
溝３〜５で区切られて設けられている。また、基
板２の他方主表面には、第３の電極として全面電
極１２が設けられている。そして長さｌ方向に伸
縮する長さ振動モードを用いることとし、基板２
における各部寸法は、たとえば使用周波数が
450KHzのとき、長さｌが約4.05mm、幅が0.6mm、
厚みが0.3mm、溝３の深さが0.15mm、溝３の幅が
0.15mm、溝４，５の深さと幅は、電極６，７を電
極８もしくは９，１０もしくは１１から電気的に
分離させるだけのものであるから適当でよい。第
２図は第１図に示す圧電共振素子１の電気的シン
ボルを示す。このように第１図に示す圧電共振素
子１は、長さ方向の単一モードの振動を用いた三
端子型フイルタ素子としても使えるが、本発明で
は、第５図に示すように、電極６，７を接続して
しまい、二端子型共振子として用いるのである。
くわしくは後述するとして、まず、この圧電共振
子１の製造方法を以下に説明する。
振素子１を示す。図において、２は圧電セラミツ
ク基板で、その一方主表面に長さｌ方向に沿つた
直線溝３が設けられており、この溝３によつて一
方主表面が長さｌ方向に二等分されている。ま
た、長さｌ方向と交差する方向に溝４，５がそれ
ぞれ長さｌ方向の中心から1/3ｌの位置に設けて
ある。したがつて基板２の一方主表面には、第１
の電極６、第２の電極７、独立電極８〜１１が、
溝３〜５で区切られて設けられている。また、基
板２の他方主表面には、第３の電極として全面電
極１２が設けられている。そして長さｌ方向に伸
縮する長さ振動モードを用いることとし、基板２
における各部寸法は、たとえば使用周波数が
450KHzのとき、長さｌが約4.05mm、幅が0.6mm、
厚みが0.3mm、溝３の深さが0.15mm、溝３の幅が
0.15mm、溝４，５の深さと幅は、電極６，７を電
極８もしくは９，１０もしくは１１から電気的に
分離させるだけのものであるから適当でよい。第
２図は第１図に示す圧電共振素子１の電気的シン
ボルを示す。このように第１図に示す圧電共振素
子１は、長さ方向の単一モードの振動を用いた三
端子型フイルタ素子としても使えるが、本発明で
は、第５図に示すように、電極６，７を接続して
しまい、二端子型共振子として用いるのである。
くわしくは後述するとして、まず、この圧電共振
子１の製造方法を以下に説明する。
一辺が数cmオーダーの矩形板状のセラミツク焼
結体１０１をラツピングして表面を整える。対向
主表面に電極を設ける。この電極は分極処理用の
電極であるとともに、電極６〜１２になるもので
ある。分極処理によつて圧電性を付与されたセラ
ミツク焼結体１０１は、第３図に示すように、製
造能率を上げるために、多数集結させて、ダイシ
ングソー１３を用いて所定寸法の圧電共振素子１
を切り出すと同時に、溝３〜５を形成する。すな
わち、ダイシングソー１３によれば、カツト精度
が±2μｍと高いため、正確な長さｌを有する圧
電共振素子１を切り出すことができ、従来の製造
方法に比べ、周波数選別、周波数調整といつた工
程が省略できる。たとえば使用周波数455KHzの
ものを得たいとき、中心周波数のバラツキは最大
1.2KHz内におさめられた。また、溝３〜５を形
成することによつて必要な外形寸法を有する電極
６、電極７が分極電極を流用して得られる。この
点、従来の製造方法では、分極後、分極電極に振
動電極のパターンをレジストインキで印刷し、エ
ツチングするといつた工程があり、あきらかに本
発明の方が簡単であるといえる。溝４，５は、電
極６、電極７の長さｌ方向の長さを2/3．にす
るもので、必要に応じ設けられ、第３高調波を抑
圧する作用効果を有する。したがつて、電極８〜
１１は遊んでいることになる。ダイシシングソー
１３は、刃が高速回転しながら第４図の矢印Ａ方
向に移動するもので、深くは切れないが、本発明
が対象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。
また、第４図の矢印のＢ方向にダイシングソー１
３を動かして適当な値に設定することによつて、
切断ができたり、任意深さの溝が形成される。し
たがつて、切断したり、溝を形成する一方法とし
ては、第３図に示すように、複数の圧電エレメン
ト１を集結仮固定してまとめて図の左右方向に設
けるべき溝形成や、切断を行なつたのち、図の上
下方向に設けるべき溝形成や、切断を行なうと能
率的である。
結体１０１をラツピングして表面を整える。対向
主表面に電極を設ける。この電極は分極処理用の
電極であるとともに、電極６〜１２になるもので
ある。分極処理によつて圧電性を付与されたセラ
ミツク焼結体１０１は、第３図に示すように、製
造能率を上げるために、多数集結させて、ダイシ
ングソー１３を用いて所定寸法の圧電共振素子１
を切り出すと同時に、溝３〜５を形成する。すな
わち、ダイシングソー１３によれば、カツト精度
が±2μｍと高いため、正確な長さｌを有する圧
電共振素子１を切り出すことができ、従来の製造
方法に比べ、周波数選別、周波数調整といつた工
程が省略できる。たとえば使用周波数455KHzの
ものを得たいとき、中心周波数のバラツキは最大
1.2KHz内におさめられた。また、溝３〜５を形
成することによつて必要な外形寸法を有する電極
６、電極７が分極電極を流用して得られる。この
点、従来の製造方法では、分極後、分極電極に振
動電極のパターンをレジストインキで印刷し、エ
ツチングするといつた工程があり、あきらかに本
発明の方が簡単であるといえる。溝４，５は、電
極６、電極７の長さｌ方向の長さを2/3．にす
るもので、必要に応じ設けられ、第３高調波を抑
圧する作用効果を有する。したがつて、電極８〜
１１は遊んでいることになる。ダイシシングソー
１３は、刃が高速回転しながら第４図の矢印Ａ方
向に移動するもので、深くは切れないが、本発明
が対象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。
また、第４図の矢印のＢ方向にダイシングソー１
３を動かして適当な値に設定することによつて、
切断ができたり、任意深さの溝が形成される。し
たがつて、切断したり、溝を形成する一方法とし
ては、第３図に示すように、複数の圧電エレメン
ト１を集結仮固定してまとめて図の左右方向に設
けるべき溝形成や、切断を行なつたのち、図の上
下方向に設けるべき溝形成や、切断を行なうと能
率的である。
このような構造をもつ圧電共振素子１は、第５
図に示すように、電極６，７を接続して、二端子
型共振子として用いる。このようにすると、圧電
セラミツク基板２の厚み寸法や、幅方向寸法に不
連続な箇所が溝３の存在によつて生じることにな
り、これら厚み寸法や幅方向寸法によつて定まる
厚み振動や幅方向振動のレスポンスが小さくな
り、特に発振子として用いる場合、不必要な周波
数域での発振が生じにくくなるといつた利点を有
する。電極６，７を外部で接続するには、接続部
材として、ワイヤボンデングによつたり、金属端
子板、導電性ゴムシートなどを用いて行なう。
図に示すように、電極６，７を接続して、二端子
型共振子として用いる。このようにすると、圧電
セラミツク基板２の厚み寸法や、幅方向寸法に不
連続な箇所が溝３の存在によつて生じることにな
り、これら厚み寸法や幅方向寸法によつて定まる
厚み振動や幅方向振動のレスポンスが小さくな
り、特に発振子として用いる場合、不必要な周波
数域での発振が生じにくくなるといつた利点を有
する。電極６，７を外部で接続するには、接続部
材として、ワイヤボンデングによつたり、金属端
子板、導電性ゴムシートなどを用いて行なう。
以上の実施例からもあきらかなようにこの発明
によると、長さ振動モードを用いた圧電共振素子
で構成した二端子型圧電共振部品において、圧電
板の一方の面に、長さ方向に沿つた直線溝が形成
され、この両側に形成された第１、第２の電極を
有し、他方主面に第３の電極が形成された圧電共
振素子を用い、第１、第２の電極同士を接続部材
により接続して一方端子に接続されるように構成
されているので、厚み振動モードや幅方向振動モ
ードのスプリアスが抑圧される。
によると、長さ振動モードを用いた圧電共振素子
で構成した二端子型圧電共振部品において、圧電
板の一方の面に、長さ方向に沿つた直線溝が形成
され、この両側に形成された第１、第２の電極を
有し、他方主面に第３の電極が形成された圧電共
振素子を用い、第１、第２の電極同士を接続部材
により接続して一方端子に接続されるように構成
されているので、厚み振動モードや幅方向振動モ
ードのスプリアスが抑圧される。
第１図は、圧電共振素子の斜視図、第２図は、
第１図示のものの電気シンボル図、第３図は、セ
ラミツク焼結体複数の正面図、第４図は本発明を
説明するために要する側面説面図、第５図は本発
明の一実施例回路図である。 １は圧電共振素子、２は圧電セラミツク基板、
３は溝、６は電極、７は電極、１２は全面電極。
第１図示のものの電気シンボル図、第３図は、セ
ラミツク焼結体複数の正面図、第４図は本発明を
説明するために要する側面説面図、第５図は本発
明の一実施例回路図である。 １は圧電共振素子、２は圧電セラミツク基板、
３は溝、６は電極、７は電極、１２は全面電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一方主面において長さ方向に延びる直線溝が
形成された圧電板と、 前記圧電板の直線溝が形成された面において該
直線溝の両側に形成された第１、第２の電極と、 前記圧電板の他方主面に形成された第３の電極
とを有する、長さ振動モードを利用した圧電共振
素子と、 前記圧電共振素子の第１、第２の電極を電気的
に接続する接続部材とを備え、 前記接続部材で接続された第１、第２の電極が
一方端子に接続され、前記第３の電極が他方端子
に接続されるように構成されていることを特徴と
する、二端子型の圧電共振部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12241282A JPS5912613A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 二端子型圧電共振部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12241282A JPS5912613A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 二端子型圧電共振部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912613A JPS5912613A (ja) | 1984-01-23 |
| JPH0144047B2 true JPH0144047B2 (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=14835164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12241282A Granted JPS5912613A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 二端子型圧電共振部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912613A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102011396B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2019-08-16 | 송수복 | 로고 발광 신발 갑피 및 상기 로고 발광 신발 갑피를 포함하는 신발 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5037514A (ja) * | 1973-08-11 | 1975-04-08 | ||
| JPS5333030A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-28 | Nec Corp | Multi-mode vibrator |
-
1982
- 1982-07-13 JP JP12241282A patent/JPS5912613A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5037514A (ja) * | 1973-08-11 | 1975-04-08 | ||
| JPS5333030A (en) * | 1976-09-09 | 1978-03-28 | Nec Corp | Multi-mode vibrator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102011396B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2019-08-16 | 송수복 | 로고 발광 신발 갑피 및 상기 로고 발광 신발 갑피를 포함하는 신발 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5912613A (ja) | 1984-01-23 |
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