JP3227767B2 - 圧電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法 - Google Patents
圧電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法Info
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- JP3227767B2 JP3227767B2 JP06834592A JP6834592A JP3227767B2 JP 3227767 B2 JP3227767 B2 JP 3227767B2 JP 06834592 A JP06834592 A JP 06834592A JP 6834592 A JP6834592 A JP 6834592A JP 3227767 B2 JP3227767 B2 JP 3227767B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発振回路やディスクリ
ミネータ回路等に使用される容量内蔵型圧電部品が複数
集合し、最終的に圧電部品毎に分割されて使用される圧
電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧
電部品の製造方法に関する。
ミネータ回路等に使用される容量内蔵型圧電部品が複数
集合し、最終的に圧電部品毎に分割されて使用される圧
電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧
電部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】容量内蔵型圧電部品の小型化に伴
って、例えば図４に示すように、圧電体マザー基板３０
の表裏面に圧電共振子電極３５，３６とコンデンサ電極
４５，４６，４７，４８が配置されたものが考えられ
る。圧電体マザー基板３０は、カット代部分３４によっ
て矩形状に設定されたエレメント部分３３（一点鎖線３
２によって囲まれた部分）を有している。
って、例えば図４に示すように、圧電体マザー基板３０
の表裏面に圧電共振子電極３５，３６とコンデンサ電極
４５，４６，４７，４８が配置されたものが考えられ
る。圧電体マザー基板３０は、カット代部分３４によっ
て矩形状に設定されたエレメント部分３３（一点鎖線３
２によって囲まれた部分）を有している。
【０００３】ところで、この圧電体マザー基板３０か
ら、エレメント部分３３を切り出す際、円盤型カッター
刃のセット位置のずれ等によりカッター刃がカット代部
分３４から少し外れた部分を切削することがある。特
に、カッター刃がエレメント部分３３の長手方向のカッ
ト代部分３４から少し外れた部分（図中斜線で示した部
分）を切断した場合、エレメント部分３３の一方の側の
縁部に備わっているコンデンサ電極４７，４８の一部が
カッター刃によって削除され、コンデンサ電極４５と４
６の間及びコンデンサ電極４７と４８の間に形成される
容量のトータル値がばらつくという問題がある。
ら、エレメント部分３３を切り出す際、円盤型カッター
刃のセット位置のずれ等によりカッター刃がカット代部
分３４から少し外れた部分を切削することがある。特
に、カッター刃がエレメント部分３３の長手方向のカッ
ト代部分３４から少し外れた部分（図中斜線で示した部
分）を切断した場合、エレメント部分３３の一方の側の
縁部に備わっているコンデンサ電極４７，４８の一部が
カッター刃によって削除され、コンデンサ電極４５と４
６の間及びコンデンサ電極４７と４８の間に形成される
容量のトータル値がばらつくという問題がある。
【０００４】そこで、本発明の課題は、内蔵されている
容量のトータル値のばらつきが小さい圧電部品を得るこ
とにある。
容量のトータル値のばらつきが小さい圧電部品を得るこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段と作用】以上の課題を解決
するため、本発明に係る圧電体マザー基板は、（ａ）矩形状の エレメント部分が、エレメント部分の中
央部表裏面に設けた少なくとも１対の圧電共振子電極
と、エレメント部分の両側縁部表裏面に設けた２対のコ
ンデンサ電極とを備え、（ｂ） 前記コンデンサ電極が前記カット代部分に延在
し、 （ｃ）前記エレメント部分の中央部表面に設けた圧電共
振子電極がエレメント部分の一方の側の縁部表面に設け
た一方のコンデンサ電極に接続するとともに、該一方の
コンデンサ電極がエレメント部分の表面に設けた引出し
電極を介してエレメント部分の他方の側の縁部表面に設
けた他方のコンデンサ電極に接続し、 （ｄ）前記エレメント部分の中央部裏面に設けた圧電共
振子電極がエレメント部分の他方の側の縁部裏面に設け
た他方のコンデンサ電極に接続するとともに、該他方の
コンデンサ電極がエレメント部分の裏面に設けた引出し
電極を介してエレメント部分の一方の側の縁部裏面に設
けた一方のコンデンサ電極に接続し、 （ｅ）前記エレメント部分の一方の側の縁部表面に設け
た一方のコンデンサ電極が、エレメント部分の一方の側
の縁部裏面に設けた一方のコンデンサ電極と、圧電体マ
ザー基板を挟んで対向し、 （ｆ）前記エレメント部分の他方の側の縁部表面に設け
た他方のコンデンサ電極が、エレメント部分の他方の側
の縁部裏面に設けた他方のコンデンサ電極と、圧電体マ
ザー基板を挟んで対向 していること、を特徴とする。
するため、本発明に係る圧電体マザー基板は、（ａ）矩形状の エレメント部分が、エレメント部分の中
央部表裏面に設けた少なくとも１対の圧電共振子電極
と、エレメント部分の両側縁部表裏面に設けた２対のコ
ンデンサ電極とを備え、（ｂ） 前記コンデンサ電極が前記カット代部分に延在
し、 （ｃ）前記エレメント部分の中央部表面に設けた圧電共
振子電極がエレメント部分の一方の側の縁部表面に設け
た一方のコンデンサ電極に接続するとともに、該一方の
コンデンサ電極がエレメント部分の表面に設けた引出し
電極を介してエレメント部分の他方の側の縁部表面に設
けた他方のコンデンサ電極に接続し、 （ｄ）前記エレメント部分の中央部裏面に設けた圧電共
振子電極がエレメント部分の他方の側の縁部裏面に設け
た他方のコンデンサ電極に接続するとともに、該他方の
コンデンサ電極がエレメント部分の裏面に設けた引出し
電極を介してエレメント部分の一方の側の縁部裏面に設
けた一方のコンデンサ電極に接続し、 （ｅ）前記エレメント部分の一方の側の縁部表面に設け
た一方のコンデンサ電極が、エレメント部分の一方の側
の縁部裏面に設けた一方のコンデンサ電極と、圧電体マ
ザー基板を挟んで対向し、 （ｆ）前記エレメント部分の他方の側の縁部表面に設け
た他方のコンデンサ電極が、エレメント部分の他方の側
の縁部裏面に設けた他方のコンデンサ電極と、圧電体マ
ザー基板を挟んで対向 していること、を特徴とする。
【０００６】以上の構成において、例えば図１に示す圧
電体マザー基板が形成される。この圧電体マザー基板を
カット代部分に沿って円盤型カッター等によってカット
することにより、圧電体マザー基板からエレメント部分
が切り出される。このとき、カッター刃のセット位置の
ずれやカット時のカッター刃の振れが生じてカッター刃
が各カット代部分から同じように少し外れ、各エレメン
ト部分の縁部に設けられた一方の１対のコンデンサ電極
の面積が一部削除され、減少しても、他方の１対のコン
デンサ電極がカット代部分に延在している部分にてその
減少分を補償することになる。
電体マザー基板が形成される。この圧電体マザー基板を
カット代部分に沿って円盤型カッター等によってカット
することにより、圧電体マザー基板からエレメント部分
が切り出される。このとき、カッター刃のセット位置の
ずれやカット時のカッター刃の振れが生じてカッター刃
が各カット代部分から同じように少し外れ、各エレメン
ト部分の縁部に設けられた一方の１対のコンデンサ電極
の面積が一部削除され、減少しても、他方の１対のコン
デンサ電極がカット代部分に延在している部分にてその
減少分を補償することになる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る圧電体マザー基板及びそ
の圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法につ
いて説明する。図１はカット代部分４によって矩形状に
設定された複数のエレメント部分３（一点鎖線２によっ
て囲まれた部分）を有している圧電体マザー基板１の外
観を示すものである。エレメント部分３にはその中央部
表裏面に円形状の１対の圧電共振子電極５，６が形成さ
れ、１個の圧電共振子が設けられている。圧電共振子電
極５，６の対向部分にてエネルギー閉じ込め厚み縦振動
が発生する。圧電共振子電極５は、エレメント部分３の
左側領域に形成されている引出し電極１０に、コンデン
サ電極１５を介して接続されている。同様に、圧電共振
子電極６は、エレメント部分３の右側領域に形成されて
いる引出し電極１１に、コンデンサ電極１８を介して接
続されている。
の圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法につ
いて説明する。図１はカット代部分４によって矩形状に
設定された複数のエレメント部分３（一点鎖線２によっ
て囲まれた部分）を有している圧電体マザー基板１の外
観を示すものである。エレメント部分３にはその中央部
表裏面に円形状の１対の圧電共振子電極５，６が形成さ
れ、１個の圧電共振子が設けられている。圧電共振子電
極５，６の対向部分にてエネルギー閉じ込め厚み縦振動
が発生する。圧電共振子電極５は、エレメント部分３の
左側領域に形成されている引出し電極１０に、コンデン
サ電極１５を介して接続されている。同様に、圧電共振
子電極６は、エレメント部分３の右側領域に形成されて
いる引出し電極１１に、コンデンサ電極１８を介して接
続されている。
【０００８】コンデンサ電極１５，１８はそれぞれエレ
メント部分３の上辺及び下辺の縁部に配設されている。
各コンデンサ電極１５，１８は、圧電体マザー基板１を
挟んで対向した位置に設けたコンデンサ電極１６，１７
とで２個のコンデンサを形成している。コンデンサ電極
１６，１７はそれぞれ引出し電極１０，１１に接続して
いる。カット代部分４の幅寸法ｄは少なくともカッター
の刃の厚さ分は必要である。このカット代部分４のう
ち、エレメント部分３の長手方向のカット代部分４に
は、コンデンサ電極１５，１６，１７，１８の延在部分
１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａが設けられている。
メント部分３の上辺及び下辺の縁部に配設されている。
各コンデンサ電極１５，１８は、圧電体マザー基板１を
挟んで対向した位置に設けたコンデンサ電極１６，１７
とで２個のコンデンサを形成している。コンデンサ電極
１６，１７はそれぞれ引出し電極１０，１１に接続して
いる。カット代部分４の幅寸法ｄは少なくともカッター
の刃の厚さ分は必要である。このカット代部分４のう
ち、エレメント部分３の長手方向のカット代部分４に
は、コンデンサ電極１５，１６，１７，１８の延在部分
１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａが設けられている。
【０００９】以上の構成からなる圧電体マザー基板１を
円盤型カッターにてカット代部分４に沿ってカットし、
圧電体マザー基板１からエレメント部分３が切り出され
る。このとき、カッター刃がカット代部分４から外れな
ければ、内蔵されている容量のトータル値が一定のエレ
メント部分３が圧電体マザー基板１から切り出される。
しかし、図２に示すように、カッター刃のセット位置が
ずれて、各エレメント部分３に対して同じように、カッ
ター刃がエレメント部分３の長手方向のカット代部分４
から少し外れた部分（図中斜線で示した部分）を切断し
たとすると、コンデンサ電極１７，１８がカッター刃に
よって一部削除され、コンデンサ電極１７，１８が形成
する容量が減少する。一方、コンデンサ電極１５，１６
は、エレメント部分３に配設される部分とカット代部分
４に延在した部分１５ａ，１６ａの一部を加えたものと
なる。この一部の延在部分１５ａ，１６ａの面積は、コ
ンデンサ電極１７，１８から削除された部分の面積と等
しくなる。すなわち、コンデンサ電極１７，１８が形成
する容量が減少しても、その減少分はコンデンサ電極１
５，１６の延在部分１５ａ，１６ａの一部にて形成され
る容量にて補償されることになる。この結果、コンデン
サ電極１５と１６の間及びコンデンサ電極１７，１８の
間に形成される容量のトータル値は常に一定に維持され
る。
円盤型カッターにてカット代部分４に沿ってカットし、
圧電体マザー基板１からエレメント部分３が切り出され
る。このとき、カッター刃がカット代部分４から外れな
ければ、内蔵されている容量のトータル値が一定のエレ
メント部分３が圧電体マザー基板１から切り出される。
しかし、図２に示すように、カッター刃のセット位置が
ずれて、各エレメント部分３に対して同じように、カッ
ター刃がエレメント部分３の長手方向のカット代部分４
から少し外れた部分（図中斜線で示した部分）を切断し
たとすると、コンデンサ電極１７，１８がカッター刃に
よって一部削除され、コンデンサ電極１７，１８が形成
する容量が減少する。一方、コンデンサ電極１５，１６
は、エレメント部分３に配設される部分とカット代部分
４に延在した部分１５ａ，１６ａの一部を加えたものと
なる。この一部の延在部分１５ａ，１６ａの面積は、コ
ンデンサ電極１７，１８から削除された部分の面積と等
しくなる。すなわち、コンデンサ電極１７，１８が形成
する容量が減少しても、その減少分はコンデンサ電極１
５，１６の延在部分１５ａ，１６ａの一部にて形成され
る容量にて補償されることになる。この結果、コンデン
サ電極１５と１６の間及びコンデンサ電極１７，１８の
間に形成される容量のトータル値は常に一定に維持され
る。
【００１０】同様にして、図３に示すように、カッター
刃が振れて、各エレメント部分３に対して同じように、
カッター刃がカット代部分４に対して斜行した部分（図
中斜線で示した部分）を切断した場合であっても、コン
デンサ電極１７，１８が形成する容量の減少分はコンデ
ンサ電極１５，１６が補償するので、コンデンサ電極１
５と１６の間及びコンデンサ電極１７，１８の間に形成
される容量のトータル値は常に一定に維持される。
刃が振れて、各エレメント部分３に対して同じように、
カッター刃がカット代部分４に対して斜行した部分（図
中斜線で示した部分）を切断した場合であっても、コン
デンサ電極１７，１８が形成する容量の減少分はコンデ
ンサ電極１５，１６が補償するので、コンデンサ電極１
５と１６の間及びコンデンサ電極１７，１８の間に形成
される容量のトータル値は常に一定に維持される。
【００１１】こうして切り出された容量内蔵型圧電共振
子は引出し電極１０，１１に外部端子を半田付け等の手
段にて接続された後、圧電共振子電極５，６の表面及び
その周囲部に振動空間形成用ワックスが付与される。次
に、圧電共振子を、溶融した外装用樹脂にディッピング
して、外装用樹脂を付着させた後、圧電共振子に付着し
た外装用樹脂を加熱硬化させ、ワックスを溶解させると
共に外装用樹脂に吸収させ、振動空間を形成させる。こ
うして、内部に振動空間を有する樹脂製外装材を備えた
圧電部品が得られる。
子は引出し電極１０，１１に外部端子を半田付け等の手
段にて接続された後、圧電共振子電極５，６の表面及び
その周囲部に振動空間形成用ワックスが付与される。次
に、圧電共振子を、溶融した外装用樹脂にディッピング
して、外装用樹脂を付着させた後、圧電共振子に付着し
た外装用樹脂を加熱硬化させ、ワックスを溶解させると
共に外装用樹脂に吸収させ、振動空間を形成させる。こ
うして、内部に振動空間を有する樹脂製外装材を備えた
圧電部品が得られる。
【００１２】なお、本発明に係る圧電体マザー基板及び
その圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法は
前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内
で種々に変形することができる。特に、前記実施例で
は、コンデンサ電極は隣接するコンデンサ電極との間に
隙間を有しているが、カット代部分に延在している部分
をさらに延ばして隣接するコンデンサ電極との間に隙間
を有さないようにすることもできる。
その圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法は
前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内
で種々に変形することができる。特に、前記実施例で
は、コンデンサ電極は隣接するコンデンサ電極との間に
隙間を有しているが、カット代部分に延在している部分
をさらに延ばして隣接するコンデンサ電極との間に隙間
を有さないようにすることもできる。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、コンデンサ電極をカット代部分に延在させることに
より、圧電体マザー基板からエレメント部分を切り出す
際にカットずれやカット振れが生じてカッター刃が各カ
ット代部分から同じように少し外れ、各エレメント部分
の縁部に設けられた一方の１対のコンデンサ電極が一部
削除され、その面積が減少しても、他方の１対のコンデ
ンサ電極がカット代部分に延在している部分にてその減
少分を補償するので、内蔵されている容量のトータル値
が常に一定に維持される。この結果、内蔵容量のトータ
ル値のばらつきが小さい圧電部品が得られる。
は、コンデンサ電極をカット代部分に延在させることに
より、圧電体マザー基板からエレメント部分を切り出す
際にカットずれやカット振れが生じてカッター刃が各カ
ット代部分から同じように少し外れ、各エレメント部分
の縁部に設けられた一方の１対のコンデンサ電極が一部
削除され、その面積が減少しても、他方の１対のコンデ
ンサ電極がカット代部分に延在している部分にてその減
少分を補償するので、内蔵されている容量のトータル値
が常に一定に維持される。この結果、内蔵容量のトータ
ル値のばらつきが小さい圧電部品が得られる。
【図１】本発明に係る圧電体マザー基板の一実施例を示
す平面図。
す平面図。
【図２】図１に示した圧電体マザー基板からエレメント
部分を切り出す状態を説明するための平面図。
部分を切り出す状態を説明するための平面図。
【図３】図１に示した圧電体マザー基板からエレメント
部分を切り出す別の状態を説明するための平面図。
部分を切り出す別の状態を説明するための平面図。
【図４】従来の圧電体マザー基板からエレメント部分を
切り出す状態を説明するための平面図。
切り出す状態を説明するための平面図。
１…圧電体マザー基板 ３…エレメント部分 ４…カット代部分 ５，６…圧電共振子電極 １５，１６，１７，１８…コンデンサ電極 １５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ…延在部分
Claims (2)
- 【請求項１】 カツト代部分によって所定の形状に設定
された複数のエレメント部分を有する圧電体マザー基板
において、矩形状の 前記エレメント部分が、エレメント部分の中央
部表裏面に設けた少なくとも１対の圧電共振子電極と、
エレメント部分の両側縁部表裏面に設けた２対のコンデ
ンサ電極とを備え、 前記コンデンサ電極が前記カット代部分に延在し、 前記エレメント部分の中央部表面に設けた圧電共振子電
極がエレメント部分の一方の側の縁部表面に設けた一方
のコンデンサ電極に接続するとともに、該一方のコンデ
ンサ電極がエレメント部分の表面に設けた引出し電極を
介してエレメント部分の他方の側の縁部表面に設けた他
方のコンデンサ電極に接続し、 前記エレメント部分の中央部裏面に設けた圧電共振子電
極がエレメント部分の他方の側の縁部裏面に設けた他方
のコンデンサ電極に接続するとともに、該他方のコンデ
ンサ電極がエレメント部分の裏面に設けた引出し電極を
介してエレメント部分の一方の側の縁部裏面に設けた一
方のコンデンサ電極に接続し、 前記エレメント部分の一方の側の縁部表面に設けた一方
のコンデンサ電極が、エレメント部分の一方の側の縁部
裏面に設けた一方のコンデンサ電極と、圧電体マザー基
板を挟んで対向し、 前記エレメント部分の他方の側の縁部表面に設けた他方
のコンデンサ電極が、エレメント部分の他方の側の縁部
裏面に設けた他方のコンデンサ電極と、圧電体マザー基
板を挟んで対向していること、 を特徴とする圧電体マザー基板 - 【請求項２】 請求項１記載の圧電体マザー基板をカッ
ト代部分に沿ってカットすることにより、圧電体マザー
基板からエレメント部分を切り出すと共に、エレメント
部分に設けた一方の１対のコンデンサ電極の面積が減少
した際に、他方の１対のコンデンサ電極がカット代部分
に延在している部分にて前記一方の１対のコンデンサ電
極の面積の減少分を補償することを特徴とする圧電部品
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06834592A JP3227767B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 圧電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06834592A JP3227767B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 圧電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275956A JPH05275956A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3227767B2 true JP3227767B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=13371157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06834592A Expired - Fee Related JP3227767B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 圧電体マザー基板及びその圧電体マザー基板を使用した圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227767B2 (ja) |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP06834592A patent/JP3227767B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05275956A (ja) | 1993-10-22 |
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|---|---|---|---|
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