JPH0637567A - 厚み系水晶振動子の電極形成方法 - Google Patents
厚み系水晶振動子の電極形成方法Info
- Publication number
- JPH0637567A JPH0637567A JP21329092A JP21329092A JPH0637567A JP H0637567 A JPH0637567 A JP H0637567A JP 21329092 A JP21329092 A JP 21329092A JP 21329092 A JP21329092 A JP 21329092A JP H0637567 A JPH0637567 A JP H0637567A
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- Japan
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- plate
- electrode
- mask plate
- crystal
- mask
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 水晶板の中央部分に対して端部の厚みが小さ
く形成された水晶板に対して、所望の電極パターンを精
度良く形成し、意図した電気的特性の得られる厚み系水
晶振動子の電極形成方法を提供することを目的とする。 【構成】 水晶板１はＡＴカット水晶板で、バイコンベ
ックス加工が施されている。このような水晶板への電極
形成は、水晶板に形成する電極パターンと同形状の窓４
０，４１，４２，４３を有する第１のマスク板４と、こ
のマスク板４の下に励振電極パターン、引出電極パター
ン部分に、水晶板の幅寸法より大となる幅寸法を有する
窓５０，５２，５３を設け、それ以外の部分は第１のマ
スク板と同じパターンの窓５１を有する第２のマスク板
５を、それぞれ水晶板の両面に配置して、真空蒸着法を
行うことにより形成される。
く形成された水晶板に対して、所望の電極パターンを精
度良く形成し、意図した電気的特性の得られる厚み系水
晶振動子の電極形成方法を提供することを目的とする。 【構成】 水晶板１はＡＴカット水晶板で、バイコンベ
ックス加工が施されている。このような水晶板への電極
形成は、水晶板に形成する電極パターンと同形状の窓４
０，４１，４２，４３を有する第１のマスク板４と、こ
のマスク板４の下に励振電極パターン、引出電極パター
ン部分に、水晶板の幅寸法より大となる幅寸法を有する
窓５０，５２，５３を設け、それ以外の部分は第１のマ
スク板と同じパターンの窓５１を有する第２のマスク板
５を、それぞれ水晶板の両面に配置して、真空蒸着法を
行うことにより形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は通信機器あるいはコンピ
ューターのクロック源として用いられる水晶振動子の電
極形成方法に関するものである。
ューターのクロック源として用いられる水晶振動子の電
極形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来技術を図６、図７とともに説明す
る。図６は水晶板を蒸着マスクにて被覆した状態を示す
断面図、図７は電極形成した水晶板を示す平面図であ
る。水晶板７は矩形形状のＡＴカット水晶板であり、そ
の表裏面の中央部分には励振電極７０が設けられ、この
励振電極７０に続いて引出電極（連結電極７１、接続電
極７２）が設けられている（裏面については図示、説明
せず）。このような励振電極の形成は通常真空蒸着法を
用いて行っている。すなわち、水晶板７をスペーサ８３
の水晶板収納部分に設置し、その上下面を所定の電極パ
ターンに対応した窓の形成された蒸着マスク板８１，８
２で狭持し、真空蒸着あるいはスパッタリングを行う。
これにより、例えば、図７に示すような励振電極等の電
極パターンが形成される。
る。図６は水晶板を蒸着マスクにて被覆した状態を示す
断面図、図７は電極形成した水晶板を示す平面図であ
る。水晶板７は矩形形状のＡＴカット水晶板であり、そ
の表裏面の中央部分には励振電極７０が設けられ、この
励振電極７０に続いて引出電極（連結電極７１、接続電
極７２）が設けられている（裏面については図示、説明
せず）。このような励振電極の形成は通常真空蒸着法を
用いて行っている。すなわち、水晶板７をスペーサ８３
の水晶板収納部分に設置し、その上下面を所定の電極パ
ターンに対応した窓の形成された蒸着マスク板８１，８
２で狭持し、真空蒸着あるいはスパッタリングを行う。
これにより、例えば、図７に示すような励振電極等の電
極パターンが形成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】厚み系水晶板はその共
振周波数がその厚みで決定され、共振周波数と厚みは反
比例するが、共振周波数の低い場合すなわち厚みが厚い
場合、振動エネルギーをより効率よく閉じこめる必要が
あるため、その周囲をコンベックス加工、あるいはベベ
ル加工を行う。ところが、このような加工を行うと水晶
板の中心部分と端部では厚みが大きく異なってくるの
で、図６に示すように端部付近の蒸着マスク板の窓部か
ら所望の電極形成部分以外の部分に蒸着電極材料が侵入
し、電極面積が広がってしまうことがあった。特に、ス
パッタリングにより電極形成を行った場合、このような
傾向が顕著に現れていた。このように電極が所定部分以
外へ形成されてしまうことにより、クリスタルインピー
ダンスの悪化等、水晶振動子としての意図した電気的特
性が得られない場合があった。
振周波数がその厚みで決定され、共振周波数と厚みは反
比例するが、共振周波数の低い場合すなわち厚みが厚い
場合、振動エネルギーをより効率よく閉じこめる必要が
あるため、その周囲をコンベックス加工、あるいはベベ
ル加工を行う。ところが、このような加工を行うと水晶
板の中心部分と端部では厚みが大きく異なってくるの
で、図６に示すように端部付近の蒸着マスク板の窓部か
ら所望の電極形成部分以外の部分に蒸着電極材料が侵入
し、電極面積が広がってしまうことがあった。特に、ス
パッタリングにより電極形成を行った場合、このような
傾向が顕著に現れていた。このように電極が所定部分以
外へ形成されてしまうことにより、クリスタルインピー
ダンスの悪化等、水晶振動子としての意図した電気的特
性が得られない場合があった。
【０００４】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、コンベックス加工、ベベル加工等、水晶板
の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水晶
板に対して、所望の電極パターンを精度良く形成し、意
図した電気的特性の得られる厚み系水晶振動子の電極形
成方法を提供することを目的とするものである。
れたもので、コンベックス加工、ベベル加工等、水晶板
の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水晶
板に対して、所望の電極パターンを精度良く形成し、意
図した電気的特性の得られる厚み系水晶振動子の電極形
成方法を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明による水晶振動子の電極形成方法は、水晶
板の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水
晶板の表裏面に、励振電極並びにこの励振電極から水晶
板端部に延びる引出電極を形成する厚み系水晶振動子の
電極形成方法であって、所定の励振電極パターン並びに
引出電極パターンに対応する窓の設けられた第１のマス
ク板と、この第１のマスク板の下方に近接して、水晶板
の端部近傍で前記引出電極形成のための窓以外の部分に
できる間隙を埋める第２のマスク板とで水晶板を狭持
し、薄膜形成手段により電極形成したことを特徴とする
ものである。
めに、本発明による水晶振動子の電極形成方法は、水晶
板の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水
晶板の表裏面に、励振電極並びにこの励振電極から水晶
板端部に延びる引出電極を形成する厚み系水晶振動子の
電極形成方法であって、所定の励振電極パターン並びに
引出電極パターンに対応する窓の設けられた第１のマス
ク板と、この第１のマスク板の下方に近接して、水晶板
の端部近傍で前記引出電極形成のための窓以外の部分に
できる間隙を埋める第２のマスク板とで水晶板を狭持
し、薄膜形成手段により電極形成したことを特徴とする
ものである。
【０００６】
【作用】厚みの薄くなる端部付近に第２のマスク板が介
在するので、蒸着時に電極材料が水晶板と第１のマスク
板間に侵入して、意図しない電極を形成することを防止
する。
在するので、蒸着時に電極材料が水晶板と第１のマスク
板間に侵入して、意図しない電極を形成することを防止
する。
【０００７】
【実施例】本発明について、図面を参照して説明する。
図１は電極形成された水晶板を示す平面図であり、図２
は図１の側面図、図３は第１のマスク板を示す平面図、
図４は第２のマスク板を示す平面図、図５は図３、図４
に示すマスク板を使用した場合のＡ−Ａ断面図である。
水晶板１は矩形形状のＡＴカット水晶板であり、長手方
向の中央部分から端部にかけてその厚みが漸次小さくな
るようバイコンベックス加工が施されている。そして、
厚みすべり振動を行なわしめるようその表裏面の中央部
分には励振電極２，３が設けられ、また水晶板の長手方
向端部には外部接続を行うための接続電極２２が、励振
電極２と接続電極２２とを連結する連結電極２１がそれ
ぞれ設けられ、引出電極を構成している（裏面について
は一部図示、説明せず）。このような水晶板への電極形
成は、片面２枚、両面で４枚の蒸着マスク板を用いて真
空蒸着法を用いて行う。すなわち、図３に示すように上
方に位置する第１のマスク板には、水晶板に形成する励
振電極パターンと同形状の窓４０，４１が形成されてお
り、引出電極パターン部分には水晶板の幅寸法（図面の
上下方向寸法）より若干長い窓４２，４３が形成されて
いる。また、図４に示すように下方に位置する（すなわ
ち水晶板に接する）第２のマスク板には励振電極パター
ン、引出電極パターン部分に、水晶板の幅寸法より大と
なる幅寸法を有する窓５０，５２，５３を設け、それ以
外の部分は第１のマスク板と同じパターンの窓５１が形
成されている。図５に示すように水晶板１をスペーサ６
の水晶板収納部分に設置し、その上下面を上述の第２の
マスク板５、第１のマスク板４の順で狭持し、真空蒸着
を行う。これにより、図１に示すような励振電極等の電
極パターンが形成される。本発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく、例えば水晶板は円板形のものであっ
てもよい。
図１は電極形成された水晶板を示す平面図であり、図２
は図１の側面図、図３は第１のマスク板を示す平面図、
図４は第２のマスク板を示す平面図、図５は図３、図４
に示すマスク板を使用した場合のＡ−Ａ断面図である。
水晶板１は矩形形状のＡＴカット水晶板であり、長手方
向の中央部分から端部にかけてその厚みが漸次小さくな
るようバイコンベックス加工が施されている。そして、
厚みすべり振動を行なわしめるようその表裏面の中央部
分には励振電極２，３が設けられ、また水晶板の長手方
向端部には外部接続を行うための接続電極２２が、励振
電極２と接続電極２２とを連結する連結電極２１がそれ
ぞれ設けられ、引出電極を構成している（裏面について
は一部図示、説明せず）。このような水晶板への電極形
成は、片面２枚、両面で４枚の蒸着マスク板を用いて真
空蒸着法を用いて行う。すなわち、図３に示すように上
方に位置する第１のマスク板には、水晶板に形成する励
振電極パターンと同形状の窓４０，４１が形成されてお
り、引出電極パターン部分には水晶板の幅寸法（図面の
上下方向寸法）より若干長い窓４２，４３が形成されて
いる。また、図４に示すように下方に位置する（すなわ
ち水晶板に接する）第２のマスク板には励振電極パター
ン、引出電極パターン部分に、水晶板の幅寸法より大と
なる幅寸法を有する窓５０，５２，５３を設け、それ以
外の部分は第１のマスク板と同じパターンの窓５１が形
成されている。図５に示すように水晶板１をスペーサ６
の水晶板収納部分に設置し、その上下面を上述の第２の
マスク板５、第１のマスク板４の順で狭持し、真空蒸着
を行う。これにより、図１に示すような励振電極等の電
極パターンが形成される。本発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく、例えば水晶板は円板形のものであっ
てもよい。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、厚みの薄くなる端部付
近に第２のマスク板が介在するので、蒸着時に電極材料
が水晶板と第１のマスク板間に侵入して、意図しない電
極が形成されることを防止することができ、所望の電極
パターンを精度良く形成し、意図した電気的特性の得ら
れる厚み系水晶振動子を得ることができる。
近に第２のマスク板が介在するので、蒸着時に電極材料
が水晶板と第１のマスク板間に侵入して、意図しない電
極が形成されることを防止することができ、所望の電極
パターンを精度良く形成し、意図した電気的特性の得ら
れる厚み系水晶振動子を得ることができる。
【図１】電極形成された水晶板を示す平面図
【図２】図１の側面図
【図３】第１のマスク板を示す平面図
【図４】第２のマスク板を示す平面図
【図５】図３、図４に示すマスク板を使用した場合のＡ
−Ａ断面図
−Ａ断面図
【図６】従来のマスク板を使用した場合の断面図
【図７】従来の電極パターンを示す図
１，７ 水晶板 ２．３，７０ 励振電極 ２１，７１ 連結電極 ２２，７２ 接続電極 ４ 第１のマスク板 ５ 第２のマスク板
Claims (1)
- 【請求項１】 水晶板の中央部分に対して端部の厚みが
小さく形成された水晶板の表裏面に励振電極並びにこの
励振電極から水晶板端部に延びる引出電極を形成する厚
み系水晶振動子の電極形成方法であって、所定の励振電
極パターン並びに引出電極パターンに対応する窓の設け
られた第１のマスク板と、この第１のマスク板の下方に
近接して、水晶板の端部近傍で前記引出電極形成のため
の窓以外の部分にできる間隙を埋める第２のマスク板と
で水晶板を狭持し、薄膜形成手段により電極形成したこ
とを特徴とする厚み系水晶振動子の電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21329092A JPH0637567A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21329092A JPH0637567A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637567A true JPH0637567A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16636673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21329092A Pending JPH0637567A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637567A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4864365A (en) * | 1987-05-29 | 1989-09-05 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Automated image duplicating apparatus |
| US6789520B2 (en) | 2001-09-17 | 2004-09-14 | Denso Corporation | System for cranking internal combustion engine |
| CN103208977A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 湖南英思特晶体电波有限公司 | 柱状晶体电极设计方法 |
-
1992
- 1992-07-17 JP JP21329092A patent/JPH0637567A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4864365A (en) * | 1987-05-29 | 1989-09-05 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Automated image duplicating apparatus |
| US6789520B2 (en) | 2001-09-17 | 2004-09-14 | Denso Corporation | System for cranking internal combustion engine |
| CN103208977A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 湖南英思特晶体电波有限公司 | 柱状晶体电极设计方法 |
| CN103208977B (zh) * | 2012-01-11 | 2016-01-06 | 湖南英思特晶体电波有限公司 | 柱状晶体电极 |
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