JPH04127709A - Ａｔカット水晶振動子 - Google Patents
Ａｔカット水晶振動子Info
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- JPH04127709A JPH04127709A JP24965290A JP24965290A JPH04127709A JP H04127709 A JPH04127709 A JP H04127709A JP 24965290 A JP24965290 A JP 24965290A JP 24965290 A JP24965290 A JP 24965290A JP H04127709 A JPH04127709 A JP H04127709A
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 22
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＡ丁カット水晶振動子の形状に関する。
［従来の技術］
第２図に従来の矩形状ＡＴカット水晶振動子の形状図を
示す。第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）は側面図で
ある。第２図において１１は所定のカットアングル、厚
みに切り出された水晶振動片、２１は水晶振動片１１の
表裏主面に金属膜で形成された励振用電極、３１は外部
接続用に形成されたマウント電極である。外部からマウ
ント電極３１を通じて電圧を印加すると、主面の表裏に
形成された励振用電極２１のあいだに電界を生し、水晶
振動片１１が振動する。
示す。第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）は側面図で
ある。第２図において１１は所定のカットアングル、厚
みに切り出された水晶振動片、２１は水晶振動片１１の
表裏主面に金属膜で形成された励振用電極、３１は外部
接続用に形成されたマウント電極である。外部からマウ
ント電極３１を通じて電圧を印加すると、主面の表裏に
形成された励振用電極２１のあいだに電界を生し、水晶
振動片１１が振動する。
励振用電極２１は、水晶振動片１１に電界を与える他に
、水晶振動片１１の振動にとって、重りの働きをする。
、水晶振動片１１の振動にとって、重りの働きをする。
従って励振用電極２１部での振動周波数は他の励振用電
極２１の形成されていない部分の水晶振動片１１の固有
振動数より低く、励振用電極２１部での振動は他へ伝播
しにくい、これをエネルギー閉じ込めといい、ＡＴカッ
ト水晶振動子が安定的に振動するに不可欠である。
極２１の形成されていない部分の水晶振動片１１の固有
振動数より低く、励振用電極２１部での振動は他へ伝播
しにくい、これをエネルギー閉じ込めといい、ＡＴカッ
ト水晶振動子が安定的に振動するに不可欠である。
［発明が解決しようとする課題１
しかし、前述の従来技術では、水晶振動片を小型化して
くると、水晶振動片の外形に対する励振用電極の面積比
が大きくなり、エネルギーとし込め効果が充分でなくな
る。その結果、クリスタルインピーダンス（以下ＣＩ値
）の低いＡＴカット水晶振動子が製造できないという課
題を有する。
くると、水晶振動片の外形に対する励振用電極の面積比
が大きくなり、エネルギーとし込め効果が充分でなくな
る。その結果、クリスタルインピーダンス（以下ＣＩ値
）の低いＡＴカット水晶振動子が製造できないという課
題を有する。
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、その
目的とするところは、ＣＩ値の低い、小型のＡＴカット
水晶振動子を提供するところにある。
目的とするところは、ＣＩ値の低い、小型のＡＴカット
水晶振動子を提供するところにある。
［課題を解決するための手段１
本発明のＡＴカット水晶振動子は、水晶原石がら所定の
カットアングル及び所定の厚みの水晶振動片を切り出し
てなるＡＴカット水晶振動子において、水晶振動片の厚
み形状が、励振用電極部と他部との境目付近に、他部の
厚みが薄くなる方向に段差を持つことを特徴とする。
カットアングル及び所定の厚みの水晶振動片を切り出し
てなるＡＴカット水晶振動子において、水晶振動片の厚
み形状が、励振用電極部と他部との境目付近に、他部の
厚みが薄くなる方向に段差を持つことを特徴とする。
［実 施 例］
第１図は本発明の実施例におけるＡＴカット水晶振動子
の形状図であって、第１図（ａ）は平面図、第１図（ｂ
）は垂直方向断面図、第１図（ｃ）は励振用電極部の水
平方向断面図である。
の形状図であって、第１図（ａ）は平面図、第１図（ｂ
）は垂直方向断面図、第１図（ｃ）は励振用電極部の水
平方向断面図である。
第１図において、１は水晶振動片、２は励振用電極、３
はマウント電極であり第２図と同様である。４は、水晶
振動片１が有する段差である。励振用電極２及びマウン
ト電極３が形成されている部分の水晶振動片１の厚みは
、厚く、それ以外の箇所の厚みは薄い。
はマウント電極であり第２図と同様である。４は、水晶
振動片１が有する段差である。励振用電極２及びマウン
ト電極３が形成されている部分の水晶振動片１の厚みは
、厚く、それ以外の箇所の厚みは薄い。
従来の技術で説明したように、励振用電極２はエネルギ
ー閉し込め効果があるが、第１図のＡＴカット水晶振動
子では、段差４によるエネルギー閉し込め効果をも追加
される。励振用電極２下の水晶振動片１の厚みと、その
周囲の厚みが異なるため、各々の固有振動数の違いから
、励振用電極２下で発生した振動は周囲に伝播されない
。
ー閉し込め効果があるが、第１図のＡＴカット水晶振動
子では、段差４によるエネルギー閉し込め効果をも追加
される。励振用電極２下の水晶振動片１の厚みと、その
周囲の厚みが異なるため、各々の固有振動数の違いから
、励振用電極２下で発生した振動は周囲に伝播されない
。
マウント電極３の部分も励振用電極２の部分と同じ厚み
になっているのは、製造上の容易さのためであり、前述
のエネルギー閉し込め効果とは無関係である。
になっているのは、製造上の容易さのためであり、前述
のエネルギー閉し込め効果とは無関係である。
製造方法としては、第２図の従来のＡＴカット水晶振動
子と同様に、水晶原石をいわゆるＡＴカットと言われる
カットアングルで切り出し、目的の発振周波数で決まる
厚みに研磨する。次に、平面形状を形成し、電極を金属
膜を付着することにより形成する。ここまでは従来のＡ
Ｔカット水晶振動子と変わらない６次に、電極膜を耐食
膜として、水晶振動片１をエツチングし、段差４を形成
する。エツチングとしては、フッ酸等を用いたウェット
エツチング、あるいはドライエツチングで行う。
子と同様に、水晶原石をいわゆるＡＴカットと言われる
カットアングルで切り出し、目的の発振周波数で決まる
厚みに研磨する。次に、平面形状を形成し、電極を金属
膜を付着することにより形成する。ここまでは従来のＡ
Ｔカット水晶振動子と変わらない６次に、電極膜を耐食
膜として、水晶振動片１をエツチングし、段差４を形成
する。エツチングとしては、フッ酸等を用いたウェット
エツチング、あるいはドライエツチングで行う。
第３区は、本発明の他の実施例におけるＡＴカット水晶
振動子の形状図であって第３図（ａ）は平面図、第３図
（ｂ）は側面図である。第３図において、１２は水晶振
動片、２２は励振用電極、３２はマウント電極、４２は
段差である。第３図のＡＴカット水晶振動子は、比較的
周波数の低い振動子で長さ方向端面にベベル加工を施し
である。ベベル加工は、特にエネルギー閉じ込めが必要
な振動子に用いられる６段差４２は、さらにエネルギー
閉じ込めを行うことができる、本明細書では図示しない
が、端面にコンベックス加工を施しであるものも同様で
ある。
振動子の形状図であって第３図（ａ）は平面図、第３図
（ｂ）は側面図である。第３図において、１２は水晶振
動片、２２は励振用電極、３２はマウント電極、４２は
段差である。第３図のＡＴカット水晶振動子は、比較的
周波数の低い振動子で長さ方向端面にベベル加工を施し
である。ベベル加工は、特にエネルギー閉じ込めが必要
な振動子に用いられる６段差４２は、さらにエネルギー
閉じ込めを行うことができる、本明細書では図示しない
が、端面にコンベックス加工を施しであるものも同様で
ある。
第４図は、本発明のさらに他の実施例におけるＡＴカッ
ト水晶振動子の形状図であって第４図（ａ）は平面図、
第４図（ｂ）は中央部断面図である。第４図において１
３は水晶振動片、２３は励振用電極、３３はマウント電
極、４３は段差である。第４図のＡＴカット水晶振動子
は、円板状であるが、段差４３により同様のエネルギー
閉し込め効果がある。
ト水晶振動子の形状図であって第４図（ａ）は平面図、
第４図（ｂ）は中央部断面図である。第４図において１
３は水晶振動片、２３は励振用電極、３３はマウント電
極、４３は段差である。第４図のＡＴカット水晶振動子
は、円板状であるが、段差４３により同様のエネルギー
閉し込め効果がある。
本発明において、段差の位置は、励振用電極の輪かくと
、同一位置でなく、多少、周辺よりでも、中心よりでも
効果があり、同一位置に限定するものではない。
、同一位置でなく、多少、周辺よりでも、中心よりでも
効果があり、同一位置に限定するものではない。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、水晶振動片の厚み形
状が励振用電極部と他部との境目付近に他部の厚みが薄
くなる方向に段差を設けたため、エネルギー閉じ込め効
果が大きく、ＣＩ値の低い良好なＡＴカット水晶振動子
を提供できた。特に小型化した場合に、極めて大きな効
果を有し、高性能の小型ＡＴカット水晶振動子を提供で
きた。
状が励振用電極部と他部との境目付近に他部の厚みが薄
くなる方向に段差を設けたため、エネルギー閉じ込め効
果が大きく、ＣＩ値の低い良好なＡＴカット水晶振動子
を提供できた。特に小型化した場合に、極めて大きな効
果を有し、高性能の小型ＡＴカット水晶振動子を提供で
きた。
第１図は本発明のＡＴカット水晶振動子の一実施例を示
す形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は垂直方向断面図、 （ｃ）は励振用電極部の水平方向断面図。 第２図は、従来のＡＴカット水晶振動子の形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は断面図。 第３図は本発明のＡＴカット水晶振動子の他の実施例を
示す形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は側面図。 第４図は本発明のＡＴカット水晶振動子のさらに他の実
施例を示す形状図で、 （ａ）平面図、 （ｂ）は中央部断面図。 １１． ２ ｌ 、 ３１． ４ ｌ 、 １２、１３ ２２、２３ ・ ３２ 、３３ ・ ４２、４３ ・ 水晶振動片 励振用電極 マウント電極 段差 以上
す形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は垂直方向断面図、 （ｃ）は励振用電極部の水平方向断面図。 第２図は、従来のＡＴカット水晶振動子の形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は断面図。 第３図は本発明のＡＴカット水晶振動子の他の実施例を
示す形状図で、 （ａ）は平面図、 （ｂ）は側面図。 第４図は本発明のＡＴカット水晶振動子のさらに他の実
施例を示す形状図で、 （ａ）平面図、 （ｂ）は中央部断面図。 １１． ２ ｌ 、 ３１． ４ ｌ 、 １２、１３ ２２、２３ ・ ３２ 、３３ ・ ４２、４３ ・ 水晶振動片 励振用電極 マウント電極 段差 以上
Claims (1)
- （１）ａ）水晶原石から所定のカットアングル及び所定
の厚みの水晶振動片を切り出してなるＡＴカット水晶振
動子において、 ｂ）水晶振動片の厚み形状が、励振用電極部と他部との
境目付近に他部の厚みが薄くなる方向に段差を持つこと
を特徴とするＡＴカット水晶振動子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24965290A JPH04127709A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
| DE69129957T DE69129957T2 (de) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren |
| EP91303877A EP0459631B1 (en) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | AT-cut crystal oscillating element and method of making the same |
| US07/860,667 US5376861A (en) | 1990-04-27 | 1992-03-30 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,293 US5314577A (en) | 1990-04-26 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,287 US5304459A (en) | 1990-04-27 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24965290A JPH04127709A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04127709A true JPH04127709A (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=17196207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24965290A Pending JPH04127709A (ja) | 1990-04-26 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04127709A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
| JP2005094410A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造とその製造方法 |
| JP2006108949A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
| WO2007037455A1 (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-05 | Epson Toyocom Corporation | 水晶基板 |
| JP2010109526A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Epson Toyocom Corp | 水晶振動片およびその製造方法 |
| JP2010147625A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
| JP2013162265A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
| JP2014027506A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
| JP2014147127A (ja) * | 2014-05-07 | 2014-08-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子 |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP24965290A patent/JPH04127709A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
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| JP4558433B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2010-10-06 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
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| JP2014027506A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
| JP2014147127A (ja) * | 2014-05-07 | 2014-08-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子 |
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