JP2005094410A - 圧電振動子の構造とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】図1(a)は上面図を示し、図1(b)はA方向からの側面図を示しており、メサ構造を有する圧電振動子21は、圧電基板22の両主面に凸部23を形成した後、凸部23の表裏に励振電極24を形成してリード電極25を介してパッド電極26に接続したものである。図1に示すように、本実施例によれば、励振電極24は、圧電基板22の凸部23より拡大して形成しており、従って、電極寸法(大きさ)で決まる容量C0が増加して圧電振動子の容量比が増加する。又、励振電極24の、凸部23より拡大した部分の面積(電極量)を可変することにより、メサ構造を有する圧電振動子の容量比を任意に設定することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
図6は、従来の圧電振動子の第一の外観構造例であり、図6(a)は上面図を示し、図6(b)はA方向からの側面図を示す。メサ構造を有する圧電振動子7は、圧電基板8の両主面のほぼ中央部に凸部9を形成した後、凸部9の表裏に励振電極10を形成してリード電極11を介してパッド電極12に接続したものである。このようなメサ構造を有する圧電振動子を製造する際は、エッチングの手段により凸部を形成するが、エッチングの耐性膜として、Cr+Au+フォトレジスト等を組み合わせて使用することが多い。凸部に形成する励振電極は、耐性膜として使用したCr+Au膜をそのまま励振電極として使用する場合と、Cr+Au膜を剥離した後Ni+Au膜を形成する場合とが有る。
図7は、従来の圧電振動子の第二の外観構造例であり、図7(a)は上面図を示し、図7(b)はA方向からの側面図を示す。図7は、図6と比べて水晶基板の形状が小型化され、水晶基板に形成する励振電極の水晶基板に占める面積の割合が相対的に大きくなった場合の圧電振動子の外観構造例を示す。図7においても図6と同様に、メサ構造を有する圧電振動子13は、圧電基板14の両主面に凸部15を形成した後、凸部15の表裏に励振電極16を形成してリード電極17を介してパッド電極18に接続したものである。
図8は、従来のメサ構造を形成した圧電基板母材の外観例であり、図8(a)は上面図を示し、図8(b)はA方向からの側面図を示す。そこで、圧電基板を製造する際は、大型の圧電基板母材19の凸部20を形成する位置に、Cr+Au+フォトレジスト等を組み合わせてエッチングの耐性膜を生成し、エッチング加工によりメサ構造を形成する。その後、ワックス等で圧電基板母材をガラス基板等に固着させた上で、図8に示した点線の位置おいてダイシングを行い個片のメサ構造を有する圧電基板を製造している。
図6に示した従来の圧電振動子の問題点について説明すると、一般的に圧電振動子の構造をメサ構造とすると、べべリング、及コンベックス構造の圧電振動子と比べて容量比γが低下すると言う問題を生じる。圧電振動子の容量比γとは、電極寸法(大きさ)で決まる容量C0を、振動子の実質的な振動領域で決まる容量C1で除したものであり、例えば、べべリング構造であれば、図5(a)に示した如く構成され、一方、メサ構造であれば、図5(c)に示した如く構成されており、べべリング構造は、励振電極の内側に振動領域が形成されているが、メサ構造の圧電振動子は、励振電極と振動領域はほぼ同一の位置にあり、電極寸法に係わるC0に対する振動領域に係わるC1の割合が大きくなり、従って、容量比γは低下する。
本発明は上述したような問題を解決するためになされたものであって、容量比の低下を防ぐと共に精度の良い電極の形成と、小型化に適した構造を有し、量産に適した圧電振動子とその製造方法を提供することを目的とする。
請求項1記載の圧電振動子は、圧電基板の両主面の相対向する位置に所定の形状の凸部を設け、該凸部上面に励振電極を形成すると共に、該励振電極と前記圧電基板端部に配置したパッド電極とを接続するためのリード電極を備えた圧電振動子において、前記励振電極を、圧電基板の端部に向って前記凸部の段差部より外側の領域まで拡大するよう構成する。
図1は、本発明に係る圧電振動子の第一の実施例を示す外観構造である。本実施例は、図6により説明した従来例の問題を解決するためになされたものであって、メサ構造を有する圧電振動子が、べべリング、コンベックス構造の圧電振動子と比べて容量比が低下すると言う問題と、Ni+Auを電極として用いる場合、メサ形状と同じ形状の励振電極を位置精度良く形成することは非常に困難であるという問題を解決するため、励振電極を凸部の段差部より圧電基板の端面に向かって所定の位置まで拡大させた。
更に、励振電極24を、圧電基板22の凸部23より拡大して形成したため、従来、励振電極より導出していたリード電極が、凸部分のエッジ部(段差部)で断線し易いと言った問題の解決が図られた。
本実施例においては、励振電極36は、圧電基板34の凸部35より拡大して形成すると共に、励振電極36の中心線をBからB’に移動させたものである。
本実施例は、圧電振動子を量産する際に障害となっていた圧電基板母材から圧電基板の個片に切り分けるダイシング工程を止め、圧電基板母材に形成した凸部の周囲に、所望の矩形状の個片の圧電基板が得られるよう所定の寸法で3辺のスリット状の貫通孔をエッチングにより形成し、残された1方向には貫通孔を形成しないで個片の圧電基板を保持し、圧電基板母材から個片の圧電基板を分離する際は、非貫通部を折り割ることで個片に分離した。
従って、ダイシング工程をこのような新たな工程に変更したことにより、バッチ処理化が可能となると共に、ダイシング工程にかかる費用が大幅に削減することが出来る。
2・・励振電極
3・・圧電基板
4・・励振電極
5・・圧電基板
6・・励振電極
7・・圧電振動子
8・・圧電基板
9・・凸部
10・・励振電極
11・・リード電極
12・・パッド電極
13・・圧電振動子
14・・圧電基板
15・・凸部
16・・励振電極
17・・リード電極
18・・パッド電極
19・・圧電基板母材
20・・凸部
21・・圧電振動子
22・・圧電基板
23・・凸部
24・・励振電極
25・・リード電極
26・・パッド電極
27・・圧電振動子
28・・圧電基板
29・・凸部
30・・励振電極
31・・リード電極
32・・パッド電極
33・・圧電振動子
34・・圧電基板
35・・凸部
36・・励振電極
37・・リード電極
38・・パッド電極
39・・圧電基板母材
40・・凸部
41・・貫通孔
42・・非貫通部
Claims (5)
- 圧電基板の両主面の相対向する位置に所定の形状の凸部を設け、該凸部上面に励振電極を形成すると共に、該励振電極と前記圧電基板端部に配置したパッド電極とを接続するためのリード電極を備えた圧電振動子において、
前記励振電極を、圧電基板の端部に向って前記凸部の段差部より外側の領域まで拡大したことを特徴とする圧電振動子の構造。 - 前記凸部の段差部より外側に拡大した領域の前記励振電極の面積を調整することにより並列容量を可変し、圧電振動子の容量比γ(並列容量C0/直列容量C1)を任意の値に設定したことを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の構造。
- 圧電基板の両主面の相対向する位置に所定の形状の凸部を設け、該凸部上面に励振電極を形成すると共に、該励振電極と前記圧電基板端部に配置したパッド電極とを接続するためのリード電極を備えた圧電振動子において、
前記凸部の中央部が、前記圧電基板の中央部より前記パッド電極から遠ざかる方向にずれていることを特徴とする圧電振動子の構造。 - 圧電基板の両主面の相対向する位置に所定の形状の凸部を設け、該凸部上面に励振電極を形成すると共に、該励振電極と前記圧電基板端部に配置したパッド電極とを接続するためのリード電極を備えた圧電振動子において、
前記励振電極を、圧電基板の端部に向って前記凸部の段差部より外側の領域まで拡大し、該拡大した領域の前記励振電極の面積を調整することにより並列容量を可変し、圧電振動子の容量比γを任意の値に設定する共に、前記凸部の中央部が、前記圧電基板の中央部より前記パッド電極から遠ざかる方向にずれていることを特徴とする圧電振動子の構造。 - 大型の圧電基板母材の所定の位置に複数の凸部を形成する工程と、
該圧電基板母材に形成した凸部の周囲に、矩形状の個片の圧電基板に対応し分離できるよう3辺にスリット状の貫通孔をエッチングにより形成する工程と、
圧電基板母材から複数の個片の圧電基板に分離するため、非貫通部を折り割る工程とを含むことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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---|---|
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Cited By (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006108949A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2007189431A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2007189414A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008306594A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片およびメサ型振動デバイス |
US7608987B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-10-27 | Epson Toyocom Corporation | AT cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Atカット水晶振動片、atカット水晶振動子及び発振器 |
JP2011205516A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、及び圧電振動子 |
JP2012114496A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2012142974A (ja) * | 2012-02-27 | 2012-07-26 | Seiko Epson Corp | メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 |
JP2012161108A (ja) * | 2012-06-01 | 2012-08-23 | Seiko Epson Corp | 振動片 |
JP2012199861A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス及び水晶デバイスの検査方法 |
JP2013042396A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス |
JP2013085298A (ja) * | 2013-01-31 | 2013-05-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子用素子、水晶振動子及び電子部品 |
JP2013197826A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2013201887A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-10-03 | Canon Inc | 振動型駆動装置及び撮像装置 |
JP2013207338A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 |
JP2013255052A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法 |
JP2014027505A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
JP2014030113A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014030114A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014030116A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014075848A (ja) * | 2014-01-14 | 2014-04-24 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動子 |
US8710715B2 (en) | 2005-10-31 | 2014-04-29 | Seiko Epson Corporation | Mesa-shaped piezoelectric resonator element |
JP2014086983A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ |
JP2014123990A (ja) * | 2014-03-19 | 2014-07-03 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2014147091A (ja) * | 2014-03-19 | 2014-08-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2015073300A (ja) * | 2014-11-20 | 2015-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動デバイスおよび振動片の製造方法 |
US9209379B2 (en) | 2012-02-20 | 2015-12-08 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric vibration element and piezoelectric device |
JP2016174301A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2017046055A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶素板、水晶振動素子及び水晶デバイス |
JP2017077029A (ja) * | 2017-01-20 | 2017-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2017085386A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
US10075171B2 (en) | 2015-03-27 | 2018-09-11 | Seiko Epson Corporation | Oscillator, electronic apparatus, and moving object |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102684636B (zh) | 2011-03-09 | 2015-12-16 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器以及电子设备 |
JP5708089B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
JP6390836B2 (ja) | 2014-07-31 | 2018-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57151023U (ja) * | 1981-03-16 | 1982-09-22 | ||
JPH02231808A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-13 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の電極構造 |
JPH0316310A (ja) * | 1988-12-12 | 1991-01-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JPH04127709A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-28 | Seiko Epson Corp | Atカット水晶振動子 |
JPH04175004A (ja) * | 1990-03-28 | 1992-06-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | オーバトーン圧電発振子 |
JPH0652230U (ja) * | 1992-12-11 | 1994-07-15 | シチズン時計株式会社 | 圧電振動子 |
JP2001223557A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の電極形成方法及び水晶振動子 |
JP2001230655A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2001326554A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003325560A patent/JP4506135B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57151023U (ja) * | 1981-03-16 | 1982-09-22 | ||
JPH0316310A (ja) * | 1988-12-12 | 1991-01-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JPH02231808A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-13 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の電極構造 |
JPH04175004A (ja) * | 1990-03-28 | 1992-06-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | オーバトーン圧電発振子 |
JPH04127709A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-28 | Seiko Epson Corp | Atカット水晶振動子 |
JPH0652230U (ja) * | 1992-12-11 | 1994-07-15 | シチズン時計株式会社 | 圧電振動子 |
JP2001223557A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の電極形成方法及び水晶振動子 |
JP2001230655A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2001326554A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
Cited By (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006108949A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP4558433B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2010-10-06 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
US9543922B2 (en) | 2005-10-31 | 2017-01-10 | Seiko Epson Corporation | Mesa-shaped piezoelectric resonator element |
US8710715B2 (en) | 2005-10-31 | 2014-04-29 | Seiko Epson Corporation | Mesa-shaped piezoelectric resonator element |
JP2007189431A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2007189414A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
US7608987B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-10-27 | Epson Toyocom Corporation | AT cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
US8084926B2 (en) | 2006-08-09 | 2011-12-27 | Seiko Epson Corporation | At cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
US7861389B2 (en) | 2006-08-09 | 2011-01-04 | Epson Toyocom Corporation | AT cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
EP2372908A1 (en) | 2006-08-09 | 2011-10-05 | Epson Toyocom Corporation | At cut quartz crystal resonator element |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008306594A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片およびメサ型振動デバイス |
JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Atカット水晶振動片、atカット水晶振動子及び発振器 |
JP2011205516A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、及び圧電振動子 |
JP2012114496A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2012199861A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス及び水晶デバイスの検査方法 |
JP2013042396A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス |
US9209379B2 (en) | 2012-02-20 | 2015-12-08 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric vibration element and piezoelectric device |
JP2013201887A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-10-03 | Canon Inc | 振動型駆動装置及び撮像装置 |
JP2012142974A (ja) * | 2012-02-27 | 2012-07-26 | Seiko Epson Corp | メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 |
JP2013197826A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2013207338A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 |
JP2012161108A (ja) * | 2012-06-01 | 2012-08-23 | Seiko Epson Corp | 振動片 |
US11495727B2 (en) | 2012-06-06 | 2022-11-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
US10680158B2 (en) | 2012-06-06 | 2020-06-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
CN110011630A (zh) * | 2012-06-06 | 2019-07-12 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
US10147867B2 (en) | 2012-06-06 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
JP2013255052A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法 |
CN110011630B (zh) * | 2012-06-06 | 2023-07-07 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子器件、电子设备以及移动体 |
JP2014027505A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
JP2014030116A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014030113A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014030114A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
JP2014086983A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ |
JP2013085298A (ja) * | 2013-01-31 | 2013-05-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子用素子、水晶振動子及び電子部品 |
JP2014075848A (ja) * | 2014-01-14 | 2014-04-24 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動子 |
JP2014123990A (ja) * | 2014-03-19 | 2014-07-03 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2014147091A (ja) * | 2014-03-19 | 2014-08-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2015073300A (ja) * | 2014-11-20 | 2015-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動デバイスおよび振動片の製造方法 |
JP2016174301A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
US9787281B2 (en) | 2015-03-17 | 2017-10-10 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
US10075171B2 (en) | 2015-03-27 | 2018-09-11 | Seiko Epson Corporation | Oscillator, electronic apparatus, and moving object |
JP2017046055A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶素板、水晶振動素子及び水晶デバイス |
JP2017085386A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
JP2017077029A (ja) * | 2017-01-20 | 2017-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
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