JP2014147091A - 圧電振動片および圧電振動子 - Google Patents
圧電振動片および圧電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014147091A JP2014147091A JP2014056309A JP2014056309A JP2014147091A JP 2014147091 A JP2014147091 A JP 2014147091A JP 2014056309 A JP2014056309 A JP 2014056309A JP 2014056309 A JP2014056309 A JP 2014056309A JP 2014147091 A JP2014147091 A JP 2014147091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- vibrating piece
- piezoelectric vibrating
- piezoelectric
- excitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】本発明に係る圧電振動片は、ATカット水晶基板からなり、Y´軸に平行な方向を厚み方向とする圧電基板10と、圧電基板10の両主面の振動領域に表裏で対向するように配置された励振電極20と、を含み、圧電基板20は、X軸に平行な辺を長辺とし、Z´軸に平行な辺を短辺とする矩形の励振部14と、励振部14より小さい厚みを有し、励振部14の周辺に形成された周辺部12と、を有し、励振部14のX軸に平行な方向に延びる側面14a,14bの各々は、1つの平面内にあり、励振部14のZ´軸に平行な方向に延びる側面14c,14dの各々は、段差を有する。
【選択図】図1
Description
より、レジストパターンの形状および電極材料の十分な厚さでの成膜が容易になり、さらに、厚膜中央部がコンベックス形状に近づくので、エネルギー閉じ込め効果を高めることができることが開示されている。
水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ´軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY´軸とし、前記X軸と前記Z´軸に平行な面で構成され、前記Y´軸に平行な方向を厚みとするATカット
水晶基板からなり、前記Y´軸に平行な方向を厚み方向とする圧電基板と、
前記圧電基板の両主面の振動領域に表裏で対向するように配置された励振電極と、
を含み、
前記圧電基板は、
前記X軸に平行な辺を長辺とし、前記Z´軸に平行な辺を短辺とする矩形の励振部と、
前記励振部より小さい厚みを有し、前記励振部の周辺に形成された周辺部と、
を有し、
前記励振部の前記X軸に平行な方向に延びる側面の各々は、1つの平面内にあり、
前記励振部の前記Z´軸に平行な方向に延びる側面の各々は、段差を有する。
前記圧電基板の前記Z´軸に平行な方向の寸法をZとし、前記励振部の短辺の寸法をMzとし、前記励振部の厚みをtとすると、
8≦Z/t≦11、かつ、0.6≦Mz/Z≦0.8の関係を満たしてもよい。
前記圧電基板の前記X軸に平行な方向の寸法をXとすると、
X/t≦17の関係を満たしてもよい。
前記励振部は、
第1部分と、前記第1部分より小さい厚みを有する第2部分と、を有し、
前記Z´軸方向に延びる側面の前記段差は、前記第1部分および前記第2部分の厚みの差によって形成されていてもよい。
前記励振部は、前記第2部分より小さい厚みを有する第3部分を、さらに有し、
前記Z´軸方向に延びる側面の前記段差は、前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分の厚みの差によって形成されていてもよい。
本発明に係る圧電振動片と、
前記圧電振動片が収容されたパッケージと、
を含む。
を図ることができる。
まず、本実施形態に係る圧電振動片について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧電振動片100を模式的に示す平面図である。図2および図3は、本実施形態に係る圧電振動片100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図であり、図3は、図1のIII−III線断面図である。
ト水晶基板101は、XZ平面を、X軸周りに角度θだけ回転させた平面に沿って、圧電材料(例えば、人工水晶)から切り出された平板である。ここで、θ=35°15′である。なお、Y軸およびZ軸もX軸周りにθ回転させて、それぞれY´軸およびZ´軸とする。したがって、ATカット水晶基板101は、結晶軸(X,Y´,Z´)軸を有する。ATカット水晶基板101は、Y´軸に直交するXZ´面(X軸およびZ´軸を含む面)が主面(励振面)となり、厚み滑り振動を主振動として振動することができる。このATカット水晶基板101を加工して、圧電基板10を得ることができる。
、このような水晶結晶のm面による凹凸を有する側面についても、「1つの平面内」にあるとしている。便宜上、図1および図2では、m面による凹凸の図示を省略している。なお、レーザーによってATカット水晶基板を加工することにより、水晶結晶のR面のみを露出することも可能である。
8≦Z/t≦11、かつ、0.6≦Mz/Z≦0.8 ・・・ (1)
X/t≦17 ・・・ (2)
にない圧電振動片(後述の図16参照)に比べて、CI値の低減を図ることができる(詳細は後述)。
次に、本実施形態に係る圧電振動片の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図5〜図11は、本実施形態に係る圧電振動片100の製造工程を模式的に示す図である。なお、図5〜図11において、(a)は平面図であり、(b)は(a)のB−B線断面図であり、(c)は(a)のC−C線断面図である。
次に、本実施形態の変形例に係る圧電振動片について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態の変形例に係る圧電振動片200を模式的に示す平面図である。図13および図14は、本実施形態の変形例に係る圧電振動片200を模式的に示す断面図である。なお、図13は、図12のXIII−XIII線断面図であり、図14は、図12のXIV−XIV線断面図である。以下、本実施形態の変形例に係る圧電振動片200において、本実施形態に係る圧電振動片100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
、側面14c,14dは、第1部分15のY´Z´平面に平行な面と、第2部分16のXZ´平面に平行な面と、第2部分16のY´Z´平面に平行な面と、第3部分17のXZ´平面に平行な面と、第3部分17のY´Z´平面に平行な面と、によって構成されている。
次に、本実施形態に係る圧電振動子について、図面を参照しながら説明する。図15は、本実施形態に係る圧電振動子300を模式的に示す断面図である。
以下に実験例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実験例によってなんら限定されるものではない。
実施例1として、図1〜図3に示す2段型のメサ構造を有する圧電振動片100を用いた。実施例1では、フッ酸を含む溶液によるウェットエッチングによりATカット水晶板を加工し、周辺部12および励振部14を有する圧電基板10を形成した。圧電基板10は、対称の中心となる点(図示せず)に関して点対称に形成した。励振部14(第1部分15)の厚みtを0.065mmとし、振動周波数を24MHzに設定した。また、圧電基板10の長辺の寸法Xを1.1mm(すなわち、X辺比X/tを17)とし、圧電基板10の短辺の寸法Zを0.629mm(すなわち、Z辺比Z/tを9.7)とし、励振部12の短辺の寸法Mzを0.43mmとし、X軸方向に延びる側面14a,14bの各々を1つの平面内に形成した。
上述の実施例1および比較例1を、それぞれ200個ずつ形成し、これらをパッケージに収容してCI値(室温)を測定した。図17は、測定個数に対するCI値を示したグラフであり、図17(a)は実施例1の測定結果であり、図17(b)は比較例1の測定結果である。すなわち、図17は、実施例1および比較例1におけるCI値の分布を示している。
実施例1の圧電振動片において、励振部14の厚みtを0.065mm、および励振部14の短辺の寸法Mzを0.43mmに固定し、圧電基板10の短辺の寸法Zを0.46mm、0.5mm、0.54mm、0.59mm、0.65mm、0.72mm、0.81mm、0.92mmと振って、CI値(室温)を測定した。測定は、圧電振動片をパッケージに収容して行った。図18は、Mz/ZとCI値との関係を示したグラフである。
電振動片、およびMzを0.48mmとしZを0.6mmとした(すなわちMz/Z=0.8)圧電振動片についてもCI値を測定したところ、ともに60Ω程度であった。このことから、Mz=0.43mmの場合に限定されることなく、上記式(1)を満たす限り、CI値の低減を図ることができるといえる。
14a,14b X軸方向に延びる側面、14c,14d Z´軸方向に延びる側面、
15 第1部分、16 第2部分、17 第3部分、20 励振電極、22 引出電極、24 パッド、30 耐蝕膜、40 レジスト膜、42 感光部、50 パッケージ、
52 キャビティー、60 導電性接着剤、100 圧電振動片、
101 ATカット水晶基板、200 圧電振動片、300 圧電振動子
Claims (6)
- 水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ´軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY´軸とし、前記X軸と前記Z´軸に平行な面で構成され、前記Y´軸に平行な方向を厚みとするATカット水晶基板からなり、前記Y´軸に平行な方向を厚み方向とする圧電基板と、
前記圧電基板の両主面の振動領域に表裏で対向するように配置された励振電極と、
を含み、
前記圧電基板は、
前記X軸に平行な辺を長辺とし、前記Z´軸に平行な辺を短辺とする矩形の励振部と、
前記励振部より小さい厚みを有し、前記励振部の周辺に形成された周辺部と、
を有し、
前記励振部の前記X軸に平行な方向に延びる側面の各々は、1つの平面内にあり、
前記励振部の前記Z´軸に平行な方向に延びる側面の各々は、段差を有する、圧電振動片。 - 請求項1において、
前記圧電基板の前記Z´軸に平行な方向の寸法をZとし、前記励振部の短辺の寸法をMzとし、前記励振部の厚みをtとすると、
8≦Z/t≦11、かつ、0.6≦Mz/Z≦0.8の関係を満たす、圧電振動片。 - 請求項2において、
前記圧電基板の前記X軸に平行な方向の寸法をXとすると、
X/t≦17の関係を満たす、圧電振動片。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記励振部は、
第1部分と、前記第1部分より小さい厚みを有する第2部分と、を有し、
前記Z´軸方向に延びる側面の前記段差は、前記第1部分および前記第2部分の厚みの差によって形成されている、圧電振動片。 - 請求項4において、
前記励振部は、前記第2部分より小さい厚みを有する第3部分を、さらに有し、
前記Z´軸方向に延びる側面の前記段差は、前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分の厚みの差によって形成されている、圧電振動片。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片が収容されたパッケージと、
を含む、圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014056309A JP5741876B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014056309A JP5741876B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010259177A Division JP5589167B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015091240A Division JP6008151B2 (ja) | 2015-04-28 | 2015-04-28 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014147091A true JP2014147091A (ja) | 2014-08-14 |
JP5741876B2 JP5741876B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=51426968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014056309A Active JP5741876B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5741876B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9431995B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-08-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
US9837982B2 (en) | 2011-03-09 | 2017-12-05 | Seiko Epson Corporation | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section |
US9948275B2 (en) | 2011-03-18 | 2018-04-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
US9960751B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, electronic apparatus, and vehicle |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6170425U (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-14 | ||
JP2005094410A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造とその製造方法 |
JP2006014270A (ja) * | 2004-05-21 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子 |
JP2006340023A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Epson Toyocom Corp | メサ型水晶振動子 |
JP2007124441A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008306594A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片およびメサ型振動デバイス |
JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Atカット水晶振動片、atカット水晶振動子及び発振器 |
-
2014
- 2014-03-19 JP JP2014056309A patent/JP5741876B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6170425U (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-14 | ||
JP2005094410A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造とその製造方法 |
JP2006014270A (ja) * | 2004-05-21 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子 |
JP2006340023A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Epson Toyocom Corp | メサ型水晶振動子 |
JP2007124441A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP2008306594A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片およびメサ型振動デバイス |
JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Atカット水晶振動片、atカット水晶振動子及び発振器 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9837982B2 (en) | 2011-03-09 | 2017-12-05 | Seiko Epson Corporation | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section |
US9948275B2 (en) | 2011-03-18 | 2018-04-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
US9431995B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-08-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
US9716484B2 (en) | 2014-07-31 | 2017-07-25 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
US9960751B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, electronic apparatus, and vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5741876B2 (ja) | 2015-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5589167B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP5505647B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
US9837982B2 (en) | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section | |
JP4714770B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 | |
TWI506950B (zh) | 壓電振動片以及壓電組件 | |
JP5741876B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP5772082B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス | |
US20130241358A1 (en) | Quartz crystal device and method for fabricating the same | |
JP2018074267A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5772081B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス | |
JP2007318350A (ja) | 圧電振動片及びその製造方法 | |
JP2008206000A (ja) | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 | |
JP2002374146A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP6008151B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
US10771038B2 (en) | Crystal unit | |
JP4825952B2 (ja) | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス | |
JP5871144B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6327307B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2013162265A (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 | |
JP2017060054A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP4784699B2 (ja) | Atカット水晶振動子 | |
JP7274386B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2011135614A (ja) | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20140619 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150414 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5741876 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |