JP2012142974A - メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メサ型振動片10は、肉厚部14および肉薄部16を有している。励振電極22は、肉厚部14の主面と、メサ型振動片10に励起される主振動の変位方向に肉厚部14から延設した方向にある肉薄部16の主面とに設けてある。そして主振動の変位方向における励振電極22の一方の端部、肉厚部14の一方の端部、肉厚部14の他方の端部、および励振電極22の他方の端部は、不要振動の腹の位置に配設してある。そして隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。
【選択図】図1
Description
L4=(mλ/2)±0.05λ (mは正の整数)
L5=(pλ/2)±0.05λ (pは正の整数)
L4−L5=q×λ (qは整数)
の各関係を満たしていることを特徴としている。メサ型振動片は、励振電極が大きくなるのに伴って等価直列容量C1も大きくなるので、等価直列容量C1に比例する周波数可変感度を高くできる。これによりメサ型振動片を発振させ易くでき、負荷容量に対する周波数変化の幅を広くできる。また隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。これによりメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L1=(n+1/2)λ (nは正の整数)
の関係を満たしていることを特徴としている。これにより主振動の変位方向における肉厚部の端部同士では、不要振動の腹の凸になる方向が異なる。よってメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L2−L1=nλ±0.1λ ・・・(1)
ここでnは正の整数、λは屈曲振動の波長である。このλは、λ=2.6/F(Fはメサ型振動片10に生じる厚み滑り振動の共振周波数)の関係を満たすようになっている。
L4=(mλ/2)±0.05λ ・・・(2)
L5=(pλ/2)±0.05λ ・・・(3)
L4−L5=q×λ ・・・・・・・・(4)
ここでm,pは正の整数であり、qは整数である。
L1=(n+1/2)λ ・・・(5)
ここでnは正の整数である。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動として励振する肉厚部と、前記肉厚部の厚みよりも厚みが薄く、少なくとも前記主振動の変位方向に沿って配置されている肉薄部と、を含む素板と、前記肉厚部の主面と前記肉薄部の主面に設けられている励振電極と、を含み、前記主振動の変位方向における前記励振電極の一方の端部と、前記肉厚部の一方の端部と、前記肉厚部の他方の端部と、前記励振電極の他方の端部とが、順に前記素板に配置されており、前記励振電極の前記一方の端部と前記肉厚部の前記一方の端部との間の距離をL4とし、前記肉厚部の前記他方の端部と前記励振電極の前記他方の端部との間の距離をL5とし、前記主振動の変位方向に沿って前記素板に生じる屈曲振動の波長をλとしたとき、(mλ/2)−0.05λ≦L4≦(mλ/2)+0.05λ、但し、mは正の整数、(pλ/2)−0.05λ≦L5≦(pλ/2)+0.05λ、但し、pは正の整数、L4−L5=q×λ、但し、qは整数、を満たし、前記肉厚部の外形は、平面視で、矩形、円形、楕円形及び台形の少なくとも何れかであることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記励振電極は、前記肉厚部の主面と、前記肉厚部を基点として、前記主振動の変位方向に沿った方向及び前記主振動の変位方向に対して直交する方向の肉薄部の主面と、に設けられていることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記肉厚部の前記一方の端部と前記他方の端部との間の距離をL1としたとき、L1=(n+1/2)λ、但し、nは正の整数、を満たしていることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記励振電極における前記一方の端部と前記他方の端部との距離をL2とし、前記肉厚部の厚さをtとしたとき、L2/t≦11を満たしていることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記素板は水晶素板であることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記水晶素板はATカット水晶素板であることを特徴としている。
本発明の別のある実施形態に係るメサ型圧電振動片は、前記主振動の変位方向は、水晶結晶のX軸方向であることを特徴としている。
本発明のある実施形態に係るメサ型圧電振動デバイスは、前記メサ型圧電振動片と、前記メサ型圧電振動片を収容するパッケージと、を含むことを特徴としている。
本発明のある実施形態に係る発振器は、前記メサ型圧電振動片と、発振回路と、を備えていることを特徴としている。
本発明のある実施形態に係る電子機器は、前記メサ型圧電振動片を備えていることを特徴としている。
[適用例1]適用例1に係るメサ型振動片は、肉厚部と、この肉厚部に隣接して設けた肉薄部とを備えた素板を有し、肉厚部の主面と、素板に励振される主振動の変位方向に沿って肉厚部の主面から延長した方向の肉薄部の主面とに励振電極を設け、主振動の変位方向における励振電極の一方の端部と、肉厚部の一方の端部と、肉厚部の他方の端部と、励振電極の他方の端部とをそれぞれ不要振動の腹となる位置に配設し、励振電極の一方の端部に不要振動の一方の方向に凸となる腹を配設し、肉厚部の一方の端部に不要振動の他方の方向に凸となる腹を配設し、肉厚部の他方の端部に不要振動の一方の方向に凸となる腹を配設し、励振電極の他方の端部に不要振動の他方の方向に凸となる腹を配設したことを特徴としている。メサ型振動片は、励振電極が大きくなるのに伴って等価直列容量C1も大きくなるので、等価直列容量C1に比例する周波数可変感度を高くできる。これによりメサ型振動片を発振させ易くでき、負荷容量に対する周波数変化の幅を広くできる。また隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。これによりメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L4=(mλ/2)±0.05λ (mは正の整数)
L5=(pλ/2)±0.05λ (pは正の整数)
L4−L5=q×λ (qは整数)
の各関係を満たしていることを特徴としている。メサ型振動片は、励振電極が大きくなるのに伴って等価直列容量C1も大きくなるので、等価直列容量C1に比例する周波数可変感度を高くできる。これによりメサ型振動片を発振させ易くでき、負荷容量に対する周波数変化の幅を広くできる。また隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。これによりメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L1=(n+1/2)λ (nは正の整数)
の関係を満たしていることを特徴としている。これにより主振動の変位方向における肉厚部の端部同士では、不要振動の腹の凸になる方向が異なる。よってメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
Claims (6)
- 肉厚部と、前記肉厚部に隣接して設けた肉薄部とを備えた素板を有し、
前記肉厚部の主面と、前記素板に励振される主振動の変位方向に沿って前記肉厚部の主面から延長した方向の前記肉薄部の主面とに励振電極を設け、
前記主振動の変位方向における前記励振電極の一方の端部と、前記肉厚部の一方の端部と、前記肉厚部の他方の端部と、前記励振電極の他方の端部とをそれぞれ不要振動の腹となる位置に配設し、
前記励振電極の前記一方の端部に前記不要振動の一方の方向に凸となる腹を配設し、前記肉厚部の前記一方の端部に前記不要振動の他方の方向に凸となる腹を配設し、前記肉厚部の前記他方の端部に前記不要振動の一方の方向に凸となる腹を配設し、前記励振電極の前記他方の端部に前記不要振動の他方の方向に凸となる腹を配設した、
ことを特徴とするメサ型振動片。 - 肉厚部と、前記肉厚部に隣接して設けた肉薄部とを備えた素板を有し、
前記肉厚部の主面と、前記素板に励振される主振動の変位方向に沿って前記肉厚部の主面から延長した方向の前記肉薄部の主面とに励振電極を設け、
前記主振動の変位方向における前記励振電極の一方の端部と、前記肉厚部の一方の端部と、前記肉厚部の他方の端部と、前記励振電極の他方の端部とをこの順に前記素板に配設し、
前記励振電極の前記一方の端部と前記肉厚部の前記一方の端部との間の距離をL4とし、前記肉厚部の前記他方の端部と前記励振電極の前記他方の端部との間の距離をL5とし、不要振動の波長をλとすると、
L4=(mλ/2)±0.05λ (mは正の整数)
L5=(pλ/2)±0.05λ (pは正の整数)
L4−L5=q×λ (qは整数)
の各関係を満たしていることを特徴とするメサ型振動片。 - 前記肉厚部の前記一方の端部と前記他方の端部との間の距離をL1とすると、
L1=(n+1/2)λ (nは正の整数)
の関係を満たしていることを特徴とする請求項2に記載のメサ型振動片。 - 前記励振電極における前記一方の端部と前記他方の端部との距離をL2とし、前記肉厚部の厚さをtとすると、前記L2と前記tは、
L2/t≦11
の関係を満たすことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のメサ型振動片。 - 前記素板は、水晶結晶から切り出されたATカット水晶素板であり、
前記肉薄部は、前記肉厚部の周囲に設けてあり、
前記主振動は、前記水晶結晶のX軸方向に変位する厚み滑り振動であり、
前記不要振動は屈曲振動である、
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のメサ型振動片。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のメサ型振動片をパッケージに収容したことを特徴とするメサ型振動デバイス。
Priority Applications (1)
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JP2012142974A true JP2012142974A (ja) | 2012-07-26 |
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