JPH0352314A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
- Publication number
- JPH0352314A JPH0352314A JP18677889A JP18677889A JPH0352314A JP H0352314 A JPH0352314 A JP H0352314A JP 18677889 A JP18677889 A JP 18677889A JP 18677889 A JP18677889 A JP 18677889A JP H0352314 A JPH0352314 A JP H0352314A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- electrode
- dimension
- piezoelectric substrate
- external
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、厚み縦振動の２倍波を用いた圧電共振子に関
する． 〔背景技術コ 第５図に厚み縦振動を利用した２倍波の圧電共振子（例
えば２倍波圧電発振子〉を示す．従来の２倍波圧電共振
子Ｃは、一対のグリーンシ一ト５１，５２を積層して形
成される圧電基板５３の内部に一方向に延びたストライ
プ状の内部電極５４を設け、圧電基板５３の両外面に内
部電極５４と対向させて円形もしくは多角形の外部電極
５５，５６（外部電極５６は，グリーンシ一ト５２の下
面を投影した破線の枠内に示してある．）を設けていた
．即ち、従来の２倍波圧電共振千〇にあっては、圧電基
板５３の両面に設けられた外部電極５５．５６はいずれ
も、内部電極の長さ方向と幅方向に対応する寸法が等し
くなっていた．［発明が解決しようとする課題コ 上記のような従来構造の２倍波圧電共振子の周波数一イ
ンピーダンス特性を第６図に示す．第６図において、縦
軸はインピーダンスＺ、横軸は周波数ｆである． このインピーダンス特性から明らかなように、従来の２
倍波共振子にあっては、反共振点Ａよりも少し高周波側
にスプリアスＳが発生しており、共振子の特性を損ねる
という問題がある．しかして、本発明は叙上の従来例の
欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ
ろはインピーダンス特性において、反共振点よりも少し
高周波側に発生していたスプリアスを抑圧することので
きる２倍波圧電共振子を提供することにある． ［課題を解決するための手段］ このため本発明の圧電共振子は、圧電基板内部の厚み方
向ほぼ中央において一方向に延びた圧電基板の外面と平
行な内部電極を設け、内部電極と対向させて圧電基板の
両外面にそれぞれ外部電極を設けた厚み縦振動の２倍波
を用いたエネルギー閉じ込め型圧電共振子において、圧
電基板両外面の前記外部電極のうち、いずれか一方の外
部電極について、内部電極長さ方向に沿った方向の寸法
を内部電極幅方向に沿った方向の寸法よりも短くしたこ
とを特徴としている． ［作用コ 本発明にあっては、圧電基板の内部に内部電極を設け、
両外面に内部電極と対向させて、それぞれ外部電極を設
けた２倍波圧電共振子において、いずれか一方の外部電
極の内部電極長さ方向の寸法を内部電極幅方向の寸法よ
りも短くしたところ、従来の圧電共振子の周波数一イン
ピーダンス特性に表れていた反共振点の近くのスブリア
スを消失させることができた。
する． 〔背景技術コ 第５図に厚み縦振動を利用した２倍波の圧電共振子（例
えば２倍波圧電発振子〉を示す．従来の２倍波圧電共振
子Ｃは、一対のグリーンシ一ト５１，５２を積層して形
成される圧電基板５３の内部に一方向に延びたストライ
プ状の内部電極５４を設け、圧電基板５３の両外面に内
部電極５４と対向させて円形もしくは多角形の外部電極
５５，５６（外部電極５６は，グリーンシ一ト５２の下
面を投影した破線の枠内に示してある．）を設けていた
．即ち、従来の２倍波圧電共振千〇にあっては、圧電基
板５３の両面に設けられた外部電極５５．５６はいずれ
も、内部電極の長さ方向と幅方向に対応する寸法が等し
くなっていた．［発明が解決しようとする課題コ 上記のような従来構造の２倍波圧電共振子の周波数一イ
ンピーダンス特性を第６図に示す．第６図において、縦
軸はインピーダンスＺ、横軸は周波数ｆである． このインピーダンス特性から明らかなように、従来の２
倍波共振子にあっては、反共振点Ａよりも少し高周波側
にスプリアスＳが発生しており、共振子の特性を損ねる
という問題がある．しかして、本発明は叙上の従来例の
欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ
ろはインピーダンス特性において、反共振点よりも少し
高周波側に発生していたスプリアスを抑圧することので
きる２倍波圧電共振子を提供することにある． ［課題を解決するための手段］ このため本発明の圧電共振子は、圧電基板内部の厚み方
向ほぼ中央において一方向に延びた圧電基板の外面と平
行な内部電極を設け、内部電極と対向させて圧電基板の
両外面にそれぞれ外部電極を設けた厚み縦振動の２倍波
を用いたエネルギー閉じ込め型圧電共振子において、圧
電基板両外面の前記外部電極のうち、いずれか一方の外
部電極について、内部電極長さ方向に沿った方向の寸法
を内部電極幅方向に沿った方向の寸法よりも短くしたこ
とを特徴としている． ［作用コ 本発明にあっては、圧電基板の内部に内部電極を設け、
両外面に内部電極と対向させて、それぞれ外部電極を設
けた２倍波圧電共振子において、いずれか一方の外部電
極の内部電極長さ方向の寸法を内部電極幅方向の寸法よ
りも短くしたところ、従来の圧電共振子の周波数一イン
ピーダンス特性に表れていた反共振点の近くのスブリア
スを消失させることができた。
［実施例］
以下、本発明の実施例を添付図に基づいて詳述する．
第ｌ図に示すように、圧電基板１は圧電セラミックスの
一対のグリーンシ一ト５，６を積層することによって形
威されている．一対のグリーンシ一ト５，６のうち、一
方のグリーンシ一ト５の上面には導電ペースト７を印刷
することにより、外部電極３と引き出し電極８が形成さ
れている。
一対のグリーンシ一ト５，６を積層することによって形
威されている．一対のグリーンシ一ト５，６のうち、一
方のグリーンシ一ト５の上面には導電ペースト７を印刷
することにより、外部電極３と引き出し電極８が形成さ
れている。
また、他方のグリーンシ一ト６の上面には導電ペースト
７を印刷することにより、端から端まで延びたストライ
プ状の内部電極２が形戒されており、その下面には導電
ペースト７を印刷することにより外部電極４と引き出し
電極９（第１図では、グリーンシ一ト６の下面を投影し
た破線の枠内に示してある．）が形成されている．しか
して、各電極の位置を合わせて上記グリーンシ一ト５，
６を積層し、圧着させて圧電基板ｌを形成し、この後全
体を焼戒し、さらに圧電基板１の厚み方向に分極処理を
施して圧電共振千Ｂが製作される． こうして製作された２倍波圧電共振子Ｂは、第２図（ａ
＞（ｂ）に示すように圧電基板１の内部にストライプ状
の内部電極２を有し、圧電基板１の両外面に内部電極２
と対向するようにして外部電極３，４が形成されている
．一方の外部電極３は、第２図（ａ）に示すように内部
電極２の幅よりも若干大きな直径ｄの円形をしている．
もう一方の外部電極４は、第２図（ｂ）に示すように、
内部電極２の幅よりも若干大きな直径の円形から想像線
で囲んだ部分１０を除去した形状となっており、このた
め内部電極長さ方向の寸法Ｃが内部電極幅方向の寸法ｄ
よりも短くなっている．ここで外部電極４の面積は、元
の円形の面積（除去部分１０の面積を含めたもの）の５
０％ないし９０％程度となっている． 第３図に示すものは、両側の部分１０を削除された外部
電極４の電極面積（元の円形の面積に対する百分率で表
してある．）と主振動のレスポンスα及びスブリアスの
レスポンスβとの関係を示すグラフである．このグラフ
から明らかなように、外部電極４を削除する面積が１０
％程度以下（電極面積９０％程度以上）の場合にはスブ
リアスのレスポンスβが十分に小さくならず、スブリア
スの抑圧効果が小さい．また、外部電極４を５０％程度
以上削った場合（電極面積が５０％以下の場合）には、
主振動が分割する。従って、外部！極の面積としては、
元の円形の面積に対して５０％〜９０％程度が好適であ
る． こうして、一方の外部電極４を元の円形の面積から１０
％ないし５０％程度削除したところ、第４図に示すよう
に、従来の圧電共振子のインビーダンス特性において反
共振点Ａの少し高周波側に表れていたスブリアスＳが抑
圧され、第４図のように共振点Ｒと反共振点Ａの近くに
スプリアスの発生しない良好なインピーダンス特性が得
られた． なお、本発明は上記実施例以外にも種々設計変更可能で
あり、たとえば外部電極の形状は、円形でなく多角形と
なっていても良い。この場合も一方の外部電極について
は、内部電極長さ方向の寸法と内部電極幅方向の寸法が
等しくなっており、他方の外部電極については、内部電
極長さ方向の寸法が内部電極幅方向の寸法よりも短くな
っている。
７を印刷することにより、端から端まで延びたストライ
プ状の内部電極２が形戒されており、その下面には導電
ペースト７を印刷することにより外部電極４と引き出し
電極９（第１図では、グリーンシ一ト６の下面を投影し
た破線の枠内に示してある．）が形成されている．しか
して、各電極の位置を合わせて上記グリーンシ一ト５，
６を積層し、圧着させて圧電基板ｌを形成し、この後全
体を焼戒し、さらに圧電基板１の厚み方向に分極処理を
施して圧電共振千Ｂが製作される． こうして製作された２倍波圧電共振子Ｂは、第２図（ａ
＞（ｂ）に示すように圧電基板１の内部にストライプ状
の内部電極２を有し、圧電基板１の両外面に内部電極２
と対向するようにして外部電極３，４が形成されている
．一方の外部電極３は、第２図（ａ）に示すように内部
電極２の幅よりも若干大きな直径ｄの円形をしている．
もう一方の外部電極４は、第２図（ｂ）に示すように、
内部電極２の幅よりも若干大きな直径の円形から想像線
で囲んだ部分１０を除去した形状となっており、このた
め内部電極長さ方向の寸法Ｃが内部電極幅方向の寸法ｄ
よりも短くなっている．ここで外部電極４の面積は、元
の円形の面積（除去部分１０の面積を含めたもの）の５
０％ないし９０％程度となっている． 第３図に示すものは、両側の部分１０を削除された外部
電極４の電極面積（元の円形の面積に対する百分率で表
してある．）と主振動のレスポンスα及びスブリアスの
レスポンスβとの関係を示すグラフである．このグラフ
から明らかなように、外部電極４を削除する面積が１０
％程度以下（電極面積９０％程度以上）の場合にはスブ
リアスのレスポンスβが十分に小さくならず、スブリア
スの抑圧効果が小さい．また、外部電極４を５０％程度
以上削った場合（電極面積が５０％以下の場合）には、
主振動が分割する。従って、外部！極の面積としては、
元の円形の面積に対して５０％〜９０％程度が好適であ
る． こうして、一方の外部電極４を元の円形の面積から１０
％ないし５０％程度削除したところ、第４図に示すよう
に、従来の圧電共振子のインビーダンス特性において反
共振点Ａの少し高周波側に表れていたスブリアスＳが抑
圧され、第４図のように共振点Ｒと反共振点Ａの近くに
スプリアスの発生しない良好なインピーダンス特性が得
られた． なお、本発明は上記実施例以外にも種々設計変更可能で
あり、たとえば外部電極の形状は、円形でなく多角形と
なっていても良い。この場合も一方の外部電極について
は、内部電極長さ方向の寸法と内部電極幅方向の寸法が
等しくなっており、他方の外部電極については、内部電
極長さ方向の寸法が内部電極幅方向の寸法よりも短くな
っている。
また、内部電極長さ方向で短くなった外部電極を形成す
る場合には、上記説明のように圧電基板の外面に円形等
の電極を設けた後、この円形等の電極の縁部を部分的に
削除することによって形成してもよく、あるいは初めか
ら内部電極長さ方向に短縮された形状の電極となるよう
に形成してもよい。また、各電極は、真空蒸着やスパッ
タリング等の方法によって設けてもよい。
る場合には、上記説明のように圧電基板の外面に円形等
の電極を設けた後、この円形等の電極の縁部を部分的に
削除することによって形成してもよく、あるいは初めか
ら内部電極長さ方向に短縮された形状の電極となるよう
に形成してもよい。また、各電極は、真空蒸着やスパッ
タリング等の方法によって設けてもよい。
［発明の効果］
本発明によれば、従来の２倍波共振子のインピーダンス
特性において反共振点の高周波測に生じていたスブリア
スを抑圧することができ、良好な特性を有する厚み縦振
動２倍波圧電共振子を得ることができた。
特性において反共振点の高周波測に生じていたスブリア
スを抑圧することができ、良好な特性を有する厚み縦振
動２倍波圧電共振子を得ることができた。
第１図は本発明の一実施例における圧電共振子の製造過
程を示す斜視図、第２図（ａ）（ｂ）は同上の圧電共振
子の上面図及び下面図、第３図は一方の外部電極の電極
面積と主振動及びスブリアスのレスポンスとの関係を示
すグラフ、第４図は同上の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフ、第５図は従来例の製造過程における斜視
図、第６図は同上の周波数一インピーダンス特性を示す
グラフである． １・・・圧電基板 ２・・・内部電極３．４・
・・外部電極 第 ３ 図 第 ４ 図
程を示す斜視図、第２図（ａ）（ｂ）は同上の圧電共振
子の上面図及び下面図、第３図は一方の外部電極の電極
面積と主振動及びスブリアスのレスポンスとの関係を示
すグラフ、第４図は同上の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフ、第５図は従来例の製造過程における斜視
図、第６図は同上の周波数一インピーダンス特性を示す
グラフである． １・・・圧電基板 ２・・・内部電極３．４・
・・外部電極 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- （１）圧電基板内部の厚み方向ほぼ中央において一方向
に延びた圧電基板の外面と平行な内部電極を設け、内部
電極と対向させて圧電基板の両外面にそれぞれ外部電極
を設けた厚み縦振動の２倍波を用いたエネルギー閉じ込
め型圧電共振子において、 圧電基板両外面の前記外部電極のうち、いずれか一方の
外部電極について、内部電極長さ方向に沿った方向の寸
法を内部電極幅方向に沿った方向の寸法よりも短くした
ことを特徴とする圧電共振子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186778A JPH0834402B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
| US07/554,783 US5065066A (en) | 1989-07-19 | 1990-07-18 | Piezoelectric resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186778A JPH0834402B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352314A true JPH0352314A (ja) | 1991-03-06 |
| JPH0834402B2 JPH0834402B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=16194441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186778A Expired - Fee Related JPH0834402B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0834402B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04365213A (ja) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置 |
| US8587735B2 (en) | 2009-01-09 | 2013-11-19 | Sony Corporation | Stereoscopic glasses |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
| JPH01117409A (ja) * | 1987-06-26 | 1989-05-10 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪共振装置 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP1186778A patent/JPH0834402B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
| JPH01117409A (ja) * | 1987-06-26 | 1989-05-10 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪共振装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04365213A (ja) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置 |
| US8587735B2 (en) | 2009-01-09 | 2013-11-19 | Sony Corporation | Stereoscopic glasses |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0834402B2 (ja) | 1996-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |