JPS60137115A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS60137115A JPS60137115A JP58248825A JP24882583A JPS60137115A JP S60137115 A JPS60137115 A JP S60137115A JP 58248825 A JP58248825 A JP 58248825A JP 24882583 A JP24882583 A JP 24882583A JP S60137115 A JPS60137115 A JP S60137115A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric vibrator
- vibration
- vibrator
- piezoelectric
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- Granted
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 3
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、恒弾性金属で作られた振動基板と圧電薄膜と
振動電極とを有する拡かり振動モードの圧電振動子に関
する。
振動電極とを有する拡かり振動モードの圧電振動子に関
する。
従来、この種の圧電振動子の圧電振動子は正方形または
円形に形成されるのが通例である。しかし、この場合、
振動周波数Ｆ。と圧電振動子の拡がり振動方向の１辺ま
たは直径の長さＬｌとの関係は、 δ：ポアソン比。
円形に形成されるのが通例である。しかし、この場合、
振動周波数Ｆ。と圧電振動子の拡がり振動方向の１辺ま
たは直径の長さＬｌとの関係は、 δ：ポアソン比。
Ｅ：ヤング率。
ρ：密度。
Ｌｌ：周波数設定用対向端縁間の距離。
である。したがって、周波数力惰１くなるにつれ圧電振
動子の形状が小型化し、製造工程などにおいて取り扱い
にくくなる欠点がある。
動子の形状が小型化し、製造工程などにおいて取り扱い
にくくなる欠点がある。
本発明は、上述に鑑み、圧電振動子の形状が製造工程な
どにおいて取り扱いやすく、また支持がやりやすい適度
な大きさの圧電振動子を提供することを目的とする。
どにおいて取り扱いやすく、また支持がやりやすい適度
な大きさの圧電振動子を提供することを目的とする。
本発明は、前記の目的のために、恒弾性金属で作られた
振動基板と圧電薄膜と振動電極とを有する拡がり振動モ
ードの圧電振動子において、前記圧電振動子を短辺が拡
がり振動する長方形に形成し、その長辺の短辺に対する
比を該圧電振動子の容量比がその特性線の極小点または
その近傍となるように設定する。
振動基板と圧電薄膜と振動電極とを有する拡がり振動モ
ードの圧電振動子において、前記圧電振動子を短辺が拡
がり振動する長方形に形成し、その長辺の短辺に対する
比を該圧電振動子の容量比がその特性線の極小点または
その近傍となるように設定する。
以下、本発明を図示の実施例に基づと詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子を示す斜視
図である。この図において、１は圧電振動子であり、こ
の圧電振動子１はエリンバ−からなる振動基板２の一面
に２１１０などよりなる圧電薄膜３をスパッタリングな
どの手法により形成し、さらに振動電極膜４を蒸着など
の手法により圧電薄膜３に重ねて形成させてなる。前記
圧電振動子１は、長方形状に形成され、その短辺の拡が
り振動が利用される。第３図はこの圧電振動子１０等価
匣略図である。この図において、ＬＯは共振コイル、Ｒ
ｏは直列抵抗、ＣＯは直列容量、ｃｏは並列容量である
。振動特性は、この並列容量ＣＤの直列容量Ｃｏに対す
る比、すなわち容量比γ（＝ＣＤ／Ｃｏ）が小さい方が
振動特性がよい。
図である。この図において、１は圧電振動子であり、こ
の圧電振動子１はエリンバ−からなる振動基板２の一面
に２１１０などよりなる圧電薄膜３をスパッタリングな
どの手法により形成し、さらに振動電極膜４を蒸着など
の手法により圧電薄膜３に重ねて形成させてなる。前記
圧電振動子１は、長方形状に形成され、その短辺の拡が
り振動が利用される。第３図はこの圧電振動子１０等価
匣略図である。この図において、ＬＯは共振コイル、Ｒ
ｏは直列抵抗、ＣＯは直列容量、ｃｏは並列容量である
。振動特性は、この並列容量ＣＤの直列容量Ｃｏに対す
る比、すなわち容量比γ（＝ＣＤ／Ｃｏ）が小さい方が
振動特性がよい。
ところで、この圧電振動子１の短辺の長さＬ＋に対する
長辺の長さＬ２を変化させると、前記容量比γ（＝ＣＤ
／ＣＯ）はたとえば第３図に示すように変化する。すな
わち、γ（二Ｃ８／Ｃｏ）が極小となる点が図には４つ
有り、ｊ２／Ｌ＋を各極小点またはその近傍の値に設定
すれば振動特性が比較的良好になる。ちなみに、この実
施例では、Ｌｚ／Ｉ７１か２．５〜３．０．３．６〜４
．６．５．０〜５゜５．６．２５〜７．２５の範囲が上
述の振動特性が比較的良好な範囲といえ、振動特性がこ
れらの範囲よりも良好になるＬ２／ＬＩ＝１〜１．７５
の範囲もまた、それらの範囲と同様に考えれらる。
長辺の長さＬ２を変化させると、前記容量比γ（＝ＣＤ
／ＣＯ）はたとえば第３図に示すように変化する。すな
わち、γ（二Ｃ８／Ｃｏ）が極小となる点が図には４つ
有り、ｊ２／Ｌ＋を各極小点またはその近傍の値に設定
すれば振動特性が比較的良好になる。ちなみに、この実
施例では、Ｌｚ／Ｉ７１か２．５〜３．０．３．６〜４
．６．５．０〜５゜５．６．２５〜７．２５の範囲が上
述の振動特性が比較的良好な範囲といえ、振動特性がこ
れらの範囲よりも良好になるＬ２／ＬＩ＝１〜１．７５
の範囲もまた、それらの範囲と同様に考えれらる。
また、第４図に示すように、この範囲では、共振周波数
と反共振周波数との偏差ΔＦが大トくなっており、この
ことからも振動特性が比較的良好になっていることがわ
かる。
と反共振周波数との偏差ΔＦが大トくなっており、この
ことからも振動特性が比較的良好になっていることがわ
かる。
以−１−説明したように、本発明に係る圧電振動子は、
上述のように、長方形の圧電振動子の長辺の短辺に対す
る比を該圧電振動子の容量比がその特性線の極小点また
はその近傍となるように設定するので、正方形や円形に
形成された従来品に比べると、使用する拡がり振動方向
と直角の方向に大きくなり、製造工程などにおいて取り
扱い易くなる。また、圧電振動子が大型化されるので、
それを基板と一体形成した枠体に支持させる場合にその
支持点と７一ド点とを合わせやすくなる。
上述のように、長方形の圧電振動子の長辺の短辺に対す
る比を該圧電振動子の容量比がその特性線の極小点また
はその近傍となるように設定するので、正方形や円形に
形成された従来品に比べると、使用する拡がり振動方向
と直角の方向に大きくなり、製造工程などにおいて取り
扱い易くなる。また、圧電振動子が大型化されるので、
それを基板と一体形成した枠体に支持させる場合にその
支持点と７一ド点とを合わせやすくなる。
第１図本発明の一実施例の斜視図、第２図はその等価回
路図、第３図はその長短辺長比と容量比との関係図、第
４図はその長短辺長比とΔＦとの関係図である。 １・・・圧電振動子、２・・・振動基板、３・・・圧電
薄膜。 特許出願人 株式会社村田製作所
路図、第３図はその長短辺長比と容量比との関係図、第
４図はその長短辺長比とΔＦとの関係図である。 １・・・圧電振動子、２・・・振動基板、３・・・圧電
薄膜。 特許出願人 株式会社村田製作所
Claims (1)
- （１）恒弾性金属で作られた振動基板と圧電薄膜と振動
電極膜とを有する拡がり振動モードの圧電振動子におい
て、前記圧電振動子を短辺か拡がり振動する長方形に形
成し、その長辺の短辺に則する比を該圧電振動子の容量
比がその特性線の極小点またはその近傍となるように設
定してなる圧電振動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248825A JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
| US06/682,165 US4562372A (en) | 1983-12-26 | 1984-12-17 | Piezoelectric vibrating element having a rectangular configuration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248825A JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137115A true JPS60137115A (ja) | 1985-07-20 |
| JPH0329205B2 JPH0329205B2 (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=17183977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248825A Granted JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4562372A (ja) |
| JP (1) | JPS60137115A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4713572A (en) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Accuray Corporation | Ultrasonic transducers for on-line applications |
| DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| DE4419085C2 (de) * | 1993-05-31 | 1999-09-02 | Murata Manufacturing Co | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5451498A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-23 | Western Electric Co | Electromechanical resonator |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3209176A (en) * | 1961-06-16 | 1965-09-28 | Bosch Arma Corp | Piezoelectric vibration transducer |
| US3634787A (en) * | 1968-01-23 | 1972-01-11 | Westinghouse Electric Corp | Electromechanical tuning apparatus particularly for microelectronic components |
| JPS58119218A (ja) * | 1982-01-07 | 1983-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248825A patent/JPS60137115A/ja active Granted
-
1984
- 1984-12-17 US US06/682,165 patent/US4562372A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5451498A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-23 | Western Electric Co | Electromechanical resonator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4562372A (en) | 1985-12-31 |
| JPH0329205B2 (ja) | 1991-04-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |