JPH0117857Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0117857Y2 JPH0117857Y2 JP164682U JP164682U JPH0117857Y2 JP H0117857 Y2 JPH0117857 Y2 JP H0117857Y2 JP 164682 U JP164682 U JP 164682U JP 164682 U JP164682 U JP 164682U JP H0117857 Y2 JPH0117857 Y2 JP H0117857Y2
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- JP
- Japan
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- degrees
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- piezoelectric substrate
- range
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はＸカツトタンタル酸リチウムLiTaO3
から成る圧電基板を具えた圧電振動子に関する。
から成る圧電基板を具えた圧電振動子に関する。
ＸカツトLiTaO3は電気機械結合係数が大きく
広い可変幅を有する電圧制御発振器（VCO）用
等の圧電材料として有望視されている。このＸカ
ツトLiTaO3を基板材料とする圧電振動子は変位
方向が互いに直交し電気機械結合係数の異なる二
つの厚みすべり振動が同時に励振される為に、片
方の振動が副振動となつて存在し種々の不都合を
生ぜしめる原因となつていた。
広い可変幅を有する電圧制御発振器（VCO）用
等の圧電材料として有望視されている。このＸカ
ツトLiTaO3を基板材料とする圧電振動子は変位
方向が互いに直交し電気機械結合係数の異なる二
つの厚みすべり振動が同時に励振される為に、片
方の振動が副振動となつて存在し種々の不都合を
生ぜしめる原因となつていた。
そこで変位方向が互いに直交していることに着
目して電気機械結合係数の小さい振動の変位方向
を支持固定することによつて強制的に上記副振動
を抑圧する方法が例えば日本音響学会講演論文集
３−４−９「LiTaO3X板振動子の保持位置による
副振動抑圧法」昭和52年４月発行、並びに実開昭
53−85972号公報に開示されている。
目して電気機械結合係数の小さい振動の変位方向
を支持固定することによつて強制的に上記副振動
を抑圧する方法が例えば日本音響学会講演論文集
３−４−９「LiTaO3X板振動子の保持位置による
副振動抑圧法」昭和52年４月発行、並びに実開昭
53−85972号公報に開示されている。
然し乍ら、斯る論文並びに公開公報によれば副
振動の抑圧についてのみ考慮され、温度特性に関
しては何ら配慮されていないのが実情である。
振動の抑圧についてのみ考慮され、温度特性に関
しては何ら配慮されていないのが実情である。
本考案は斯る温度特性並びに副振動に鑑みて為
されたものであり、以下に図面を参照して本考案
の一実施例につき詳述する。
されたものであり、以下に図面を参照して本考案
の一実施例につき詳述する。
第１図は本考案の圧電振動子を示し、１はＸカ
ツトLiTaO3から成る方形状の圧電基板で、上記
Ｘカツトとは基板面がIRE（Institute of Radio
Engineers）標準のＸ軸±10度に垂直になつたも
のであり、Ｙ軸はIRE標準の真のＹ軸を上記Ｘカ
ツトの範囲内に於ける基板内に投影したものであ
る。２，３は上記圧電基板１の表裏両面に対向す
る如く設けられた対向電極、４，５は圧電基板１
を支持すると共に上記対向電極２，３と電気的に
連なる支持線で、支持部４ａ，５ａはクリツプ状
を成し上記圧電基板１の端部を挾持する。
ツトLiTaO3から成る方形状の圧電基板で、上記
Ｘカツトとは基板面がIRE（Institute of Radio
Engineers）標準のＸ軸±10度に垂直になつたも
のであり、Ｙ軸はIRE標準の真のＹ軸を上記Ｘカ
ツトの範囲内に於ける基板内に投影したものであ
る。２，３は上記圧電基板１の表裏両面に対向す
る如く設けられた対向電極、４，５は圧電基板１
を支持すると共に上記対向電極２，３と電気的に
連なる支持線で、支持部４ａ，５ａはクリツプ状
を成し上記圧電基板１の端部を挾持する。
斯る構造の圧電振動子は伝送系に於いて第２図
に示す如き周波数特性を示す。同図に於いて、Ｒ
は共振点あり、この共振点Ｒから副振動スプリア
スS1，S2，S3が離れているほど、また減衰量が大
きいほど望ましい。上記副振動スプリアスの減衰
量が圧電基板１の支持方位Ｏにより変化すること
は前記音響学会論文集並びに公開公報にも開示さ
れており、ＸカツトLiTaO3の圧電基板１では第
３図の如き減衰特性を本考案者は得ている。即
ち、ＸカツトLiTaO3圧電基板１に於いて副振動
スプリアスの減衰特性に着目し、閾値を−30
（dB）とすれば該基板１の支持方位θは第１図の
如くＹ軸に対し約25度〜50度の範囲が好適であ
る。
に示す如き周波数特性を示す。同図に於いて、Ｒ
は共振点あり、この共振点Ｒから副振動スプリア
スS1，S2，S3が離れているほど、また減衰量が大
きいほど望ましい。上記副振動スプリアスの減衰
量が圧電基板１の支持方位Ｏにより変化すること
は前記音響学会論文集並びに公開公報にも開示さ
れており、ＸカツトLiTaO3の圧電基板１では第
３図の如き減衰特性を本考案者は得ている。即
ち、ＸカツトLiTaO3圧電基板１に於いて副振動
スプリアスの減衰特性に着目し、閾値を−30
（dB）とすれば該基板１の支持方位θは第１図の
如くＹ軸に対し約25度〜50度の範囲が好適であ
る。
次に本考案者は上記減衰特性の好適な範囲に対
して温度特性について調べたところ第４図乃至第
８図の如き結果を得た。第４図は支持方位θに対
する共振周波数の温度係数の変化を示すもので、
Ｙ軸に対しＺ軸方向に約36度並びに39.5度に於い
て上記温度係数が０となつた。即ち、Ｘカツト
LiTaO3の圧電基板１の支持方位θを36度若しく
は39.5度近傍とすれば、温度変化による共振周波
数の変動がなくなると共に、副振動スプリアスに
ついても最低値にまで抑圧することができる。
して温度特性について調べたところ第４図乃至第
８図の如き結果を得た。第４図は支持方位θに対
する共振周波数の温度係数の変化を示すもので、
Ｙ軸に対しＺ軸方向に約36度並びに39.5度に於い
て上記温度係数が０となつた。即ち、Ｘカツト
LiTaO3の圧電基板１の支持方位θを36度若しく
は39.5度近傍とすれば、温度変化による共振周波
数の変動がなくなると共に、副振動スプリアスに
ついても最低値にまで抑圧することができる。
第５図乃至第８図は共振周波数の温度変化を共
振周波数6.3（ＭHz）；25℃を基準に各支持方位θ
について調べたものである。第５図は支持方位θ
が32度、第６図がθ＝36度若しくは39.5度、第７
図はθ＝37度、そして第８図がθ＝45度である。
即ち、第６図のθ＝36度若しくは39.5度は温度係
数が０であるものの若干の周波数変化が見られる
程度で実質的に問題はなく、またθ＝32度、37度
についても共振周波数の変動幅は±２（ＫHz）に
抑えることができると共に、その変動も直線的で
あり必要に応じて容易に補正することができる。
一方、θ＝45度については±２（ＫHz）を変動幅
が超えると共に、直線性に欠け補正が困難なため
に不適である。
振周波数6.3（ＭHz）；25℃を基準に各支持方位θ
について調べたものである。第５図は支持方位θ
が32度、第６図がθ＝36度若しくは39.5度、第７
図はθ＝37度、そして第８図がθ＝45度である。
即ち、第６図のθ＝36度若しくは39.5度は温度係
数が０であるものの若干の周波数変化が見られる
程度で実質的に問題はなく、またθ＝32度、37度
についても共振周波数の変動幅は±２（ＫHz）に
抑えることができると共に、その変動も直線的で
あり必要に応じて容易に補正することができる。
一方、θ＝45度については±２（ＫHz）を変動幅
が超えると共に、直線性に欠け補正が困難なため
に不適である。
この実験結果から支持方位θ＝36度近傍では32
〜37度が共振周波数の変動幅を±２（ＫHz）以内
に抑圧することができ、しかもこの周波数変動は
回路的に補正することができるので、温度係数が
０である36度並びに39.5度と共に実用可能であ
る。
〜37度が共振周波数の変動幅を±２（ＫHz）以内
に抑圧することができ、しかもこの周波数変動は
回路的に補正することができるので、温度係数が
０である36度並びに39.5度と共に実用可能であ
る。
第９図は上記支持方位θと共振尖鋭度Ｑとの関
係を示す特性図であり、このＱ値もθ＝32〜37度
の範囲で最高値を得ることができる。
係を示す特性図であり、このＱ値もθ＝32〜37度
の範囲で最高値を得ることができる。
本考案は以上の説明から明らかな如く、Ｘカツ
トLiTaO3の圧電基板の支持方位をＹ軸に対し36
度若しくは39.5度近傍としたので、副振動の抑圧
のみならず温度特性の良好な圧電振動子を得るこ
とができる。また36度の支持方位近傍、具体的に
は約32度〜37度の範囲に於いても共振周波数の温
度変化を実用レベル以下とすることができ、しか
も斯る範囲内に於いては共振周波数は直線的に変
化するために必要とあれば補正回路を付加するこ
とにより上記共振周波数の温度変化を補正するこ
とができる。
トLiTaO3の圧電基板の支持方位をＹ軸に対し36
度若しくは39.5度近傍としたので、副振動の抑圧
のみならず温度特性の良好な圧電振動子を得るこ
とができる。また36度の支持方位近傍、具体的に
は約32度〜37度の範囲に於いても共振周波数の温
度変化を実用レベル以下とすることができ、しか
も斯る範囲内に於いては共振周波数は直線的に変
化するために必要とあれば補正回路を付加するこ
とにより上記共振周波数の温度変化を補正するこ
とができる。
第１図は本考案圧電振動子の斜視図、第２図は
基本的な圧電振動子の伝送損失と周波数との関係
を示す曲線図、第３図はＸカツトタンタル酸リチ
ウムの支持方位θと副振動減衰量との関係を示す
曲線図、第４図乃至第８図は各支持方位別の温度
と共振周波数変化との関係を示す曲線図、第９図
は支持方位θと共振尖鋭度Ｑとの関係を示す曲線
図である。 １……圧電基板、２，３……対向電極。
基本的な圧電振動子の伝送損失と周波数との関係
を示す曲線図、第３図はＸカツトタンタル酸リチ
ウムの支持方位θと副振動減衰量との関係を示す
曲線図、第４図乃至第８図は各支持方位別の温度
と共振周波数変化との関係を示す曲線図、第９図
は支持方位θと共振尖鋭度Ｑとの関係を示す曲線
図である。 １……圧電基板、２，３……対向電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) Ｘカツトタンタル酸リチウムから成る圧電基
板の表裏両面に対向電極を配置せしめた圧電振
動子に於いて、上記圧電基板の支持方位をＹ軸
に対し36度若しくは39.5度またはそれ等の近傍
としたことを特徴とする圧電振動子。 (2) 上記Ｙ軸に対し36度近傍の支持方位とは約32
度乃至37度の範囲であることを特徴とした実用
新案登録請求の範囲第１項記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP164682U JPS58104021U (ja) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP164682U JPS58104021U (ja) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58104021U JPS58104021U (ja) | 1983-07-15 |
| JPH0117857Y2 true JPH0117857Y2 (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=30014651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP164682U Granted JPS58104021U (ja) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58104021U (ja) |
-
1982
- 1982-01-08 JP JP164682U patent/JPS58104021U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58104021U (ja) | 1983-07-15 |
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