JP3244238B2 - 圧電共振装置 - Google Patents
圧電共振装置Info
- Publication number
- JP3244238B2 JP3244238B2 JP03703493A JP3703493A JP3244238B2 JP 3244238 B2 JP3244238 B2 JP 3244238B2 JP 03703493 A JP03703493 A JP 03703493A JP 3703493 A JP3703493 A JP 3703493A JP 3244238 B2 JP3244238 B2 JP 3244238B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric ceramic
- ceramic body
- fundamental wave
- piezoelectric resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 32
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 23
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 12
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1042—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a housing formed by a cavity in a resin
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、厚み縦振動モードを利
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振装置に関するもの
である。
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電セラミック材料を用いた
厚み縦振動モードのエネルギー閉じ込め型圧電共振子が
知られている。図５および図６は、このような従来の圧
電共振子を示しており、図５は平面図であり、図６は図
５のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図５および図６を
参照して、圧電セラミック素体１の両側の主面の中心部
には、励振電極２および３が設けられている。この励振
電極２および３には、圧電セラミック素体１の側端縁に
延びる接続導電部４および５が接続されている。圧電セ
ラミック素体１は、図６に示すように、全体として厚み
方向の１方向に分極処理されている。
厚み縦振動モードのエネルギー閉じ込め型圧電共振子が
知られている。図５および図６は、このような従来の圧
電共振子を示しており、図５は平面図であり、図６は図
５のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図５および図６を
参照して、圧電セラミック素体１の両側の主面の中心部
には、励振電極２および３が設けられている。この励振
電極２および３には、圧電セラミック素体１の側端縁に
延びる接続導電部４および５が接続されている。圧電セ
ラミック素体１は、図６に示すように、全体として厚み
方向の１方向に分極処理されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような圧電共振子
においては、例えば１０〜１５ＭＨｚのような高周波数
帯で使用し得るものが望まれている。従来から、このよ
うな厚み縦振動モードの圧電共振子の圧電セラミック材
料としてはＰＺＴ系の圧電セラミックが用いられている
が、ＰＺＴ系の圧電セラミックの基本波は６〜１３ＭＨ
ｚの範囲であり、より高周波数帯で振動させるために
は、圧電セラミック素体の厚みを薄くする必要がある。
しかしながら、このようなＰＺＴ系圧電セラミックは、
耐熱性および温度特性ならびに耐衝撃性が悪く、高周波
数域のものを量産すると、不良率が高くなるという問題
があった。
においては、例えば１０〜１５ＭＨｚのような高周波数
帯で使用し得るものが望まれている。従来から、このよ
うな厚み縦振動モードの圧電共振子の圧電セラミック材
料としてはＰＺＴ系の圧電セラミックが用いられている
が、ＰＺＴ系の圧電セラミックの基本波は６〜１３ＭＨ
ｚの範囲であり、より高周波数帯で振動させるために
は、圧電セラミック素体の厚みを薄くする必要がある。
しかしながら、このようなＰＺＴ系圧電セラミックは、
耐熱性および温度特性ならびに耐衝撃性が悪く、高周波
数域のものを量産すると、不良率が高くなるという問題
があった。
【０００４】また、厚み縦振動の３次高調波を利用し高
周波数域での圧電共振子を製造することが考えられる。
このような３次高調波を利用する圧電共振子の圧電セラ
ミック材料としては、チタン酸鉛系の材料が考えられ
る。このようなチタン酸鉛系圧電セラミック材料の３次
高調波は、１２〜４０ＭＨｚの範囲である。従って、１
０〜１５ＭＨｚの周波数帯とするためには、圧電セラミ
ック素体の厚みを厚くする必要があり、ダンピング効果
が大きくなり、形状が大きくなってしまうという問題が
あった。
周波数域での圧電共振子を製造することが考えられる。
このような３次高調波を利用する圧電共振子の圧電セラ
ミック材料としては、チタン酸鉛系の材料が考えられ
る。このようなチタン酸鉛系圧電セラミック材料の３次
高調波は、１２〜４０ＭＨｚの範囲である。従って、１
０〜１５ＭＨｚの周波数帯とするためには、圧電セラミ
ック素体の厚みを厚くする必要があり、ダンピング効果
が大きくなり、形状が大きくなってしまうという問題が
あった。
【０００５】しかしながら、チタン酸鉛系の圧電材料は
比誘電率が低く、比較的大きな圧電性を有し、高い機械
的品質係数Ｑｍが得られる。また、キューリー温度が高
く、高温でも劣化しにくいなどの優れた特徴を有してい
る。従って、このようなチタン酸鉛系の圧電材料を使用
することが好ましく、セラミック素体の厚みを厚くせず
に１０〜１５ＭＨｚの周波数帯を利用するためには、チ
タン酸鉛系圧電材料の厚み縦振動の基本波のエネルギー
を閉じ込めることが好ましい。
比誘電率が低く、比較的大きな圧電性を有し、高い機械
的品質係数Ｑｍが得られる。また、キューリー温度が高
く、高温でも劣化しにくいなどの優れた特徴を有してい
る。従って、このようなチタン酸鉛系の圧電材料を使用
することが好ましく、セラミック素体の厚みを厚くせず
に１０〜１５ＭＨｚの周波数帯を利用するためには、チ
タン酸鉛系圧電材料の厚み縦振動の基本波のエネルギー
を閉じ込めることが好ましい。
【０００６】しかしながら、チタン酸鉛系圧電材料のポ
アソン比は１／３以下であるため、一般的な構造では基
本波を閉じ込めることができないことが知られている。
このようなポアソン比１／３以下の圧電材料で基本波を
閉じ込めるためには、例えば、図７に示すように、圧電
セラミック素体１の中央の厚みを薄くし、励振電極２お
よび３で挟まれる部分の厚みを薄くする構造としなけれ
ばならない。また、図８に示すように、励振電極２のま
わりに励振電極２と電気的に接続のない別の電極６を設
け、セラミック素体１の両側においてこれらの電極を短
絡させるなどの構造としなければならない。このような
構造は複雑であり、加工が困難であるという欠点を有し
ている。
アソン比は１／３以下であるため、一般的な構造では基
本波を閉じ込めることができないことが知られている。
このようなポアソン比１／３以下の圧電材料で基本波を
閉じ込めるためには、例えば、図７に示すように、圧電
セラミック素体１の中央の厚みを薄くし、励振電極２お
よび３で挟まれる部分の厚みを薄くする構造としなけれ
ばならない。また、図８に示すように、励振電極２のま
わりに励振電極２と電気的に接続のない別の電極６を設
け、セラミック素体１の両側においてこれらの電極を短
絡させるなどの構造としなければならない。このような
構造は複雑であり、加工が困難であるという欠点を有し
ている。
【０００７】本発明の目的は、このような従来の問題点
を解消し、簡易な構造でチタン酸鉛系圧電セラミック材
料などのポアソン比１／３以下の圧電材料の基本波を閉
じ込めることのできる、厚み縦振動モードのエネルギー
閉じ込め型圧電共振装置を提供することにある。
を解消し、簡易な構造でチタン酸鉛系圧電セラミック材
料などのポアソン比１／３以下の圧電材料の基本波を閉
じ込めることのできる、厚み縦振動モードのエネルギー
閉じ込め型圧電共振装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電共振装置
は、ポアソン比が１／３以下の圧電材料からなる圧電セ
ラミック素体と、圧電セラミック素材を挟み対向して設
けられる一対の励振電極と、励振電極と圧電セラミック
素体の側端縁とを結ぶ接続導電部とを備えており、励振
電極に挟まれる圧電セラミック素体の部分が他の部分の
分極方向と逆方向に分極されている、厚み縦振動モード
の基本波を用いたエネルギー閉じ込め型の圧電共振装置
であることを特徴としている。
は、ポアソン比が１／３以下の圧電材料からなる圧電セ
ラミック素体と、圧電セラミック素材を挟み対向して設
けられる一対の励振電極と、励振電極と圧電セラミック
素体の側端縁とを結ぶ接続導電部とを備えており、励振
電極に挟まれる圧電セラミック素体の部分が他の部分の
分極方向と逆方向に分極されている、厚み縦振動モード
の基本波を用いたエネルギー閉じ込め型の圧電共振装置
であることを特徴としている。
【０００９】
【作用】本発明者は、チタン酸鉛系圧電セラミック材料
などのポアソン比が１／３以下の材料を用いて、基本波
を閉じ込め得る共振子構造について検討した結果、励振
電極に挟まれる圧電セラミック素体の部分の分極方向
と、その他の部分の分極方向とを逆方向にすることによ
り、基本波を閉じ込め得ることを見出した。
などのポアソン比が１／３以下の材料を用いて、基本波
を閉じ込め得る共振子構造について検討した結果、励振
電極に挟まれる圧電セラミック素体の部分の分極方向
と、その他の部分の分極方向とを逆方向にすることによ
り、基本波を閉じ込め得ることを見出した。
【００１０】すなわち、本発明では、励振電極に挟まれ
る圧電セラミック素体の部分の分極方向と、他の部分の
分極方向とが逆方向であるため、励振電極下とその周辺
部との誘起電荷の正負が逆転し、位相が１８０°異なる
ことになり、基本波定在波が励振される。
る圧電セラミック素体の部分の分極方向と、他の部分の
分極方向とが逆方向であるため、励振電極下とその周辺
部との誘起電荷の正負が逆転し、位相が１８０°異なる
ことになり、基本波定在波が励振される。
【００１１】
【実施例】図１および図２は、本発明に従う一実施例を
示しており、図２は平面図、図１は図２のＢ−Ｂ線に沿
う断面図である。図１および図２を参照して、チタン酸
鉛系圧電セラミック材料からなる圧電セラミック素体１
１の両側主面の中心部には、それぞれ励振電極１２およ
び１３が圧電セラミック素体１１を挟み対向するように
設けられている。励振電極１２および１３には、圧電セ
ラミック素体１１の側端縁と結ぶ接続導電部１４および
１５が接続されている。接続導電部１４および１５は、
異なる方向に延び、圧電セラミック素体１１の両側で互
いに重なり合わないように設けられている。
示しており、図２は平面図、図１は図２のＢ−Ｂ線に沿
う断面図である。図１および図２を参照して、チタン酸
鉛系圧電セラミック材料からなる圧電セラミック素体１
１の両側主面の中心部には、それぞれ励振電極１２およ
び１３が圧電セラミック素体１１を挟み対向するように
設けられている。励振電極１２および１３には、圧電セ
ラミック素体１１の側端縁と結ぶ接続導電部１４および
１５が接続されている。接続導電部１４および１５は、
異なる方向に延び、圧電セラミック素体１１の両側で互
いに重なり合わないように設けられている。
【００１２】図１に示されるように、圧電セラミック素
体１１の分極方向は、励振電極１２および１３で挟まれ
る部分は矢印Ｂ方向であり、その他の領域の部分は、逆
方向の矢印Ａ方向である。従って、励振電極１２および
１３で挟まれる圧電セラミック素体１１の部分が、他の
部分の分極方向と逆方向に分極されている。
体１１の分極方向は、励振電極１２および１３で挟まれ
る部分は矢印Ｂ方向であり、その他の領域の部分は、逆
方向の矢印Ａ方向である。従って、励振電極１２および
１３で挟まれる圧電セラミック素体１１の部分が、他の
部分の分極方向と逆方向に分極されている。
【００１３】図３は、図１および図２に示す実施例の圧
電共振子の基本波近傍のインピーダンス−周波数特性を
示す図である。比較として図５および図６に示すような
圧電セラミック素体全体が同一方向に分極処理されてい
る圧電共振子のインピーダンス−周波数特性を一点鎖線
で示している。図３から明らかなように、本発明に従う
実施例の圧電共振子においては、厚み縦振動モードの基
本波のエネルギーが閉じ込められていることがわかる。
電共振子の基本波近傍のインピーダンス−周波数特性を
示す図である。比較として図５および図６に示すような
圧電セラミック素体全体が同一方向に分極処理されてい
る圧電共振子のインピーダンス−周波数特性を一点鎖線
で示している。図３から明らかなように、本発明に従う
実施例の圧電共振子においては、厚み縦振動モードの基
本波のエネルギーが閉じ込められていることがわかる。
【００１４】図４は、図１および図２に示す実施例の３
倍波のインピーダンス−周波数特性を示す図である。図
４においても同様に、比較の圧電共振子のインピーダン
ス−周波数特性を一点鎖線で示している。図４から明ら
かなように、比較例の圧電共振子では、厚み縦振動モー
ドの３倍波のエネルギーが閉じ込められているのに対
し、本発明に従う圧電共振子では、３倍波のエネルギー
が閉じ込められていない。
倍波のインピーダンス−周波数特性を示す図である。図
４においても同様に、比較の圧電共振子のインピーダン
ス−周波数特性を一点鎖線で示している。図４から明ら
かなように、比較例の圧電共振子では、厚み縦振動モー
ドの３倍波のエネルギーが閉じ込められているのに対
し、本発明に従う圧電共振子では、３倍波のエネルギー
が閉じ込められていない。
【００１５】以上のように、本発明に従えば、従来のよ
うな複雑な構造を採用することなく、励振電極に挟まれ
た圧電セラミック素体の部分の分極方向を他の部分の分
極方向と逆方向にすることによって、基本波のエネルギ
ーを閉じ込めることができる。
うな複雑な構造を採用することなく、励振電極に挟まれ
た圧電セラミック素体の部分の分極方向を他の部分の分
極方向と逆方向にすることによって、基本波のエネルギ
ーを閉じ込めることができる。
【００１６】本発明に従い励振電極に挟まれる圧電セラ
ミック素体の部分を逆方向に分極処理する方法は特に限
定されるものではないが、例えば以下の方法により分極
処理することができる。
ミック素体の部分を逆方向に分極処理する方法は特に限
定されるものではないが、例えば以下の方法により分極
処理することができる。
【００１７】１つの方法としては、圧電セラミック素体
の両側主面の全面に電極を形成し、厚み方向、例えば図
１に示すＡ方向に分極処理した後、図１および図２に示
す励振電極１２，１３および接続導電部１４，１５以外
の部分をエッチングなどによって除去し、次に励振電極
１２，１３の間に電圧を印加して矢印Ｂ方向に分極処理
し、励振電極１２，１３間の分極方向を逆方向にする。
の両側主面の全面に電極を形成し、厚み方向、例えば図
１に示すＡ方向に分極処理した後、図１および図２に示
す励振電極１２，１３および接続導電部１４，１５以外
の部分をエッチングなどによって除去し、次に励振電極
１２，１３の間に電圧を印加して矢印Ｂ方向に分極処理
し、励振電極１２，１３間の分極方向を逆方向にする。
【００１８】他の方法として、分極処理のための電極を
励振電極の上と、それ以外の領域の上に別個に形成し、
分極方向が逆になるように電圧を印加してもよい。本発
明において、圧電セラミック素体に電圧印加し分極処理
する方法は、上述の方法に限定されるものではなく、そ
の他さまざまな方法によって分極処理することができ
る。
励振電極の上と、それ以外の領域の上に別個に形成し、
分極方向が逆になるように電圧を印加してもよい。本発
明において、圧電セラミック素体に電圧印加し分極処理
する方法は、上述の方法に限定されるものではなく、そ
の他さまざまな方法によって分極処理することができ
る。
【００１９】
【発明の効果】本発明に従えば、励振電極に挟まれる圧
電セラミック素体の部分の分極方向を、他の部分の分極
方向と逆方向に分極することにより、実効ポアソン比が
１／３以下の圧電材料であっても、その基本波のエネル
ギーを閉じ込める構造とすることができる。従って、チ
タン酸鉛系圧電セラミック材料を用いることができる。
チタン酸鉛系圧電セラミック材料は、ＰＺＴ系の圧電セ
ラミック材料に比べ、硬い材料であるため、厚みを薄く
することができ、取り扱い容易な圧電共振装置とするこ
とができる。また、結合係数がＰＺＴ系圧電セラミック
材料に比べ小さいので狭帯域の圧電共振装置とすること
ができる。また温度特性に優れており、スプリアス（高
次モード）が小さいので、周波数飛びなどの異常発振の
ない圧電共振装置とすることがてきる。
電セラミック素体の部分の分極方向を、他の部分の分極
方向と逆方向に分極することにより、実効ポアソン比が
１／３以下の圧電材料であっても、その基本波のエネル
ギーを閉じ込める構造とすることができる。従って、チ
タン酸鉛系圧電セラミック材料を用いることができる。
チタン酸鉛系圧電セラミック材料は、ＰＺＴ系の圧電セ
ラミック材料に比べ、硬い材料であるため、厚みを薄く
することができ、取り扱い容易な圧電共振装置とするこ
とができる。また、結合係数がＰＺＴ系圧電セラミック
材料に比べ小さいので狭帯域の圧電共振装置とすること
ができる。また温度特性に優れており、スプリアス（高
次モード）が小さいので、周波数飛びなどの異常発振の
ない圧電共振装置とすることがてきる。
【００２０】また、誘電率が小さく端子間容量を小さく
することができるので、消費電力の少ない圧電極共振装
置とすることができる。
することができるので、消費電力の少ない圧電極共振装
置とすることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図。
【図２】本発明の一実施例を示す平面図。
【図３】図１および図２に示す実施例の圧電共振子の基
本波近傍のインピーダンス−周波数特性を示す図。
本波近傍のインピーダンス−周波数特性を示す図。
【図４】図１および図２に示す実施例の３倍波近傍のイ
ンピーダンス−周波数特性を示す図。
ンピーダンス−周波数特性を示す図。
【図５】従来の圧電共振装置を示す平面図。
【図６】従来の圧電共振装置を示す断面図。
【図７】実効ポアソン比１／３以下の材料を用い基本波
を閉じ込めるための比較の圧電共振装置の構造の一例を
示す断面図。
を閉じ込めるための比較の圧電共振装置の構造の一例を
示す断面図。
【図８】実効ポアソン比１／３以下の材料を用い基本波
を閉じ込めるための比較の圧電共振装置の構造の他の例
を示す斜視図。
を閉じ込めるための比較の圧電共振装置の構造の他の例
を示す斜視図。
１１…圧電セラミック素体 １２，１３…励振電極 １４，１５…接続導電部
Claims (1)
- 【請求項１】 ポアソン比が１／３以下の圧電材料から
なる圧電セラミック素体と； 前記圧電セラミック素体を挟み対向して設けられる一対
の励振電極と； 前記励振電極と前記圧電セラミック素材の側端縁とを結
ぶ接続導電部とを備え； 前記励振電極に挟まれる圧電セラミック素体の部分が他
の部分の分極方向と逆方向に分極されている、厚み縦振
動モードの基本波を用いたエネルギー閉じ込め型の圧電
共振装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03703493A JP3244238B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 圧電共振装置 |
| US08/201,923 US5444326A (en) | 1993-02-25 | 1994-02-24 | Piezoelectric-resonance device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03703493A JP3244238B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 圧電共振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252688A JPH06252688A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3244238B2 true JP3244238B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=12486348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03703493A Expired - Lifetime JP3244238B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 圧電共振装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5444326A (ja) |
| JP (1) | JP3244238B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69423667T2 (de) * | 1993-03-01 | 2000-11-23 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Piezoelektrischer Vibrator und diesen verwendenden Beschleunigungssensor |
| JP3387601B2 (ja) * | 1993-12-29 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 圧電部品の分極方法 |
| JPH0929169A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-04 | Canon Inc | 振動伝達板及びその製造方法及び座標入力装置 |
| DE19540204C2 (de) * | 1995-10-28 | 1999-11-11 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezokeramischer Resonator |
| JP3991364B2 (ja) * | 1997-01-13 | 2007-10-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法並びに圧電振動子ユニット |
| EP1025641A1 (en) * | 1997-10-20 | 2000-08-09 | Coretech Co. Ltd. | Piezoelectric ceramic resonator and fabrication method thereof |
| JPH11177375A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH11343171A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電セラミック、圧電セラミックの製造方法、および圧電発振子 |
| KR20010021135A (ko) | 1999-08-05 | 2001-03-15 | 사토 히로시 | 압전공진자 및 압전공진부 |
| JP3446677B2 (ja) * | 1999-09-07 | 2003-09-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルタ装置 |
| JPWO2005020435A1 (ja) * | 2003-08-26 | 2007-10-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
| WO2007091376A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動子 |
| FR2936100B1 (fr) * | 2008-09-18 | 2010-09-17 | Direction Generale Pour L Arme | Dispositif a ondes acoustiques d'interfaces. |
| JP2011129740A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ分割装置およびレーザー加工機 |
| TWI489765B (zh) * | 2012-06-27 | 2015-06-21 | 中原大學 | Composite piezoelectric actuator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0678575A (ja) * | 1992-05-07 | 1994-03-18 | Sanyo Denki Co Ltd | サーボ系のノッチフィルタ自動調整方法及び装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3374367A (en) * | 1966-01-21 | 1968-03-19 | John V. Cowan | Electroacoustic transducers |
| US3961210A (en) * | 1973-04-19 | 1976-06-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric dot resonator driven at a harmonic overtone |
| US4109359A (en) * | 1976-06-07 | 1978-08-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of making ferroelectric crystals having tailored domain patterns |
| JPS5595417A (en) * | 1979-01-11 | 1980-07-19 | Noto Denshi Kogyo Kk | Piezoelectric oscillating element and piezoelectric oscillator using it |
| JPS6021941B2 (ja) * | 1981-01-28 | 1985-05-30 | 株式会社村田製作所 | 圧電性磁器組成物 |
| JPS5885610A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-23 | Murata Mfg Co Ltd | 三端子型発振子 |
| US4564782A (en) * | 1983-09-02 | 1986-01-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic filter using multiple thin piezoelectric layers |
| US4633204A (en) * | 1984-08-29 | 1986-12-30 | Fujitsu Limited | Mechanical filter |
| US4714848A (en) * | 1987-03-02 | 1987-12-22 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Electrically induced mechanical precompression of ferroelectric plates |
| JP2790178B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1998-08-27 | 株式会社村田製作所 | 電歪共振装置 |
| JP2790180B2 (ja) * | 1987-12-29 | 1998-08-27 | 株式会社村田製作所 | 電歪共振装置 |
| JPH07109971B2 (ja) * | 1989-02-20 | 1995-11-22 | 株式会社村田製作所 | フイルタ装置 |
| JP3074389B2 (ja) * | 1990-05-21 | 2000-08-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 高周波用ラダー型圧電フィルタ |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP03703493A patent/JP3244238B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-02-24 US US08/201,923 patent/US5444326A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0678575A (ja) * | 1992-05-07 | 1994-03-18 | Sanyo Denki Co Ltd | サーボ系のノッチフィルタ自動調整方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5444326A (en) | 1995-08-22 |
| JPH06252688A (ja) | 1994-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3244238B2 (ja) | 圧電共振装置 | |
| US20220216842A1 (en) | Acoustic wave device and filter device | |
| JP2790177B2 (ja) | 電歪共振素子 | |
| JP2790180B2 (ja) | 電歪共振装置 | |
| JP3378775B2 (ja) | 圧電共振子およびその周波数調整方法 | |
| US3699484A (en) | Width extensional resonator and coupled mode filter | |
| US6362561B1 (en) | Piezoelectric vibration device and piezoelectric resonance component | |
| US5057801A (en) | Filter device of piezo-electric type including divided co-planar electrodes | |
| JP2001211052A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP3695615B2 (ja) | エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子 | |
| NL1010853C2 (nl) | Piezo-elektrische resonator ingericht voor het opwekken van een harmonische golf in een in dikte varierende vibratiemode. | |
| US6232698B1 (en) | Thickness extensional vibration mode piezoelectric resonator | |
| JPH0590894A (ja) | 圧電フイルタ | |
| JPH11168346A (ja) | 圧電共振子、圧電共振子の周波数調整方法および通信機器 | |
| JPS6357967B2 (ja) | ||
| US5274293A (en) | Piezoelectric filter | |
| JPH01191508A (ja) | 電歪共振装置 | |
| WO2002101923A1 (fr) | Lame vibrante piezo-electrique et filtre utilisant cette derniere | |
| JP4070169B2 (ja) | 圧電発振子 | |
| JP2881251B2 (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS61199316A (ja) | メカニカルフイルタ | |
| JP2006270545A (ja) | 圧電共振部品 | |
| JPH08148967A (ja) | 圧電共振子及びその製造方法 | |
| JPH0638572B2 (ja) | 電歪共振装置 | |
| JPH0537533Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071026 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131026 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |