JP3446677B2 - 圧電フィルタ装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 49
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/60—Electric coupling means therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、厚み縦振動の２倍
波を利用したエネルギー閉込め型の圧電フィルタ装置に
関し、特に、２個の圧電フィルタを中継容量を介して電
気的に接続した構成を有する圧電フィルタ装置に関す
る。
波を利用したエネルギー閉込め型の圧電フィルタ装置に
関し、特に、２個の圧電フィルタを中継容量を介して電
気的に接続した構成を有する圧電フィルタ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図１０を参照して、厚み縦振動モードの
２倍波を用いた従来のエネルギー閉込め型の圧電フィル
タを説明する。
２倍波を用いた従来のエネルギー閉込め型の圧電フィル
タを説明する。
【０００３】図１０に示すように、圧電フィルタ５１で
は、厚み方向に分極処理された圧電基板５２が用いられ
る。圧電基板５２の厚み方向中央にはアース電極５３が
配置されている。圧電基板５２の上面には、アース電極
５３の一部と圧電基板層を介して対向するように入力電
極５４が形成されている。他方、圧電基板５２の下面に
は、出力電極５５が形成されている。出力電極５５は、
アース電極５３の一部に対し、圧電基板層を介して対向
するように形成されている。また、出力電極５５は、入
力電極５４と圧電基板５２を介して重なり合わない位置
に形成されている。
は、厚み方向に分極処理された圧電基板５２が用いられ
る。圧電基板５２の厚み方向中央にはアース電極５３が
配置されている。圧電基板５２の上面には、アース電極
５３の一部と圧電基板層を介して対向するように入力電
極５４が形成されている。他方、圧電基板５２の下面に
は、出力電極５５が形成されている。出力電極５５は、
アース電極５３の一部に対し、圧電基板層を介して対向
するように形成されている。また、出力電極５５は、入
力電極５４と圧電基板５２を介して重なり合わない位置
に形成されている。
【０００４】入力電極５４とアース電極５３との間に入
力を印加すると、圧電フィルタ５１は厚み縦振動の２倍
波を利用した二重モードフィルタとして動作し、出力電
極５５から出力を取り出すことができる。
力を印加すると、圧電フィルタ５１は厚み縦振動の２倍
波を利用した二重モードフィルタとして動作し、出力電
極５５から出力を取り出すことができる。
【０００５】また、従来、上記圧電フィルタ５１を２個
用い、２個の圧電フィルタ５１と接地電位との間に中継
容量を電気的に接続した圧電フィルタ装置が知られてい
る。
用い、２個の圧電フィルタ５１と接地電位との間に中継
容量を電気的に接続した圧電フィルタ装置が知られてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、２個の
圧電フィルタ５１を中継容量を介して接続してなる従来
の圧電フィルタ装置では、２個の圧電フィルタ５１にお
けるアース電極５３の高さ位置のばらつきにより、安定
なフィルタ特性を得ることが困難であるという問題があ
った。
圧電フィルタ５１を中継容量を介して接続してなる従来
の圧電フィルタ装置では、２個の圧電フィルタ５１にお
けるアース電極５３の高さ位置のばらつきにより、安定
なフィルタ特性を得ることが困難であるという問題があ
った。
【０００７】すなわち、圧電フィルタ５１においては、
アース電極５３は、圧電基板５２の厚み方向中央に配置
されている。他方、圧電フィルタ５１は、通常、マザー
の圧電基板を切り出すことにより、得られている。とこ
ろが、マザーの圧電基板では、微妙な反りやうねりが生
じざるを得なかった。従って、通常、マザーの圧電基板
の反りやうねりを解消するために、マザーの圧電基板段
階でマザーの圧電基板の主面を平面研磨する。
アース電極５３は、圧電基板５２の厚み方向中央に配置
されている。他方、圧電フィルタ５１は、通常、マザー
の圧電基板を切り出すことにより、得られている。とこ
ろが、マザーの圧電基板では、微妙な反りやうねりが生
じざるを得なかった。従って、通常、マザーの圧電基板
の反りやうねりを解消するために、マザーの圧電基板段
階でマザーの圧電基板の主面を平面研磨する。
【０００８】ところが、最終的に得られた圧電フィルタ
５１においては、上記のような平面研磨により、アース
電極５３の高さ位置がばらつきがちであった。従って、
２個の圧電フィルタ５１を中継容量を介して接続してな
る圧電フィルタ装置では、２個の圧電フィルタ５１にお
けるアース電極５３の高さばらつきにより、安定な特性
を得ることが困難であった。
５１においては、上記のような平面研磨により、アース
電極５３の高さ位置がばらつきがちであった。従って、
２個の圧電フィルタ５１を中継容量を介して接続してな
る圧電フィルタ装置では、２個の圧電フィルタ５１にお
けるアース電極５３の高さばらつきにより、安定な特性
を得ることが困難であった。
【０００９】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、圧電基板内にアース電極を有する厚み縦振動
の２倍波を利用した２個のエネルギー閉込め型圧電フィ
ルタを中継容量を介して接続してなる構成を有し、安定
なフィルタ特性を得ることが可能な圧電フィルタ装置を
提供することにある。
を解消し、圧電基板内にアース電極を有する厚み縦振動
の２倍波を利用した２個のエネルギー閉込め型圧電フィ
ルタを中継容量を介して接続してなる構成を有し、安定
なフィルタ特性を得ることが可能な圧電フィルタ装置を
提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、厚み縦振動モ
ードの２倍波を用いた第１，第２の圧電フィルタが中継
容量を介して電気的に接続された圧電フィルタ装置であ
って、前記第１，第２の圧電フィルタが、厚み方向に分
極処理されており、かつ対向し合う第１，第２の主面を
有する圧電基板と、前記圧電基板の内部に形成されたア
ース電極と、前記圧電基板層を介してアース電極の一部
に対向するように圧電基板の第１の主面に形成された入
力電極と、圧電基板層を介して前記アース電極の前記一
部以外の他の部分に対向するように圧電基板の第２の主
面に形成された出力電極とを備え、前記第１の圧電フィ
ルタの第１の主面と前記アース電極との間の距離をｔａ
1、第１の圧電フィルタの第２の主面とアース電極との
間の距離をｔｂ1 、第２の圧電フィルタの第２の主面と
アース電極との間の距離をｔａ2 、第２の圧電フィルタ
の第１の主面とアース電極との間の距離をｔｂ2 、第
１，第２の圧電フィルタの圧電基板の厚みをそれぞれＴ
１，Ｔ２としたときに、ｔｂ1 −ｔａ1 が０．０５Ｔ 1
〜０．１Ｔ1 、かつｔｂ2 −ｔａ2 が０．０３Ｔ 2 〜
０．１Ｔ2 の範囲、あるいはｔｂ1 −ｔａ1 が−０．１
Ｔ1 〜−０．０３Ｔ 1 かつｔｂ2 −ｔａ2 が−０．１Ｔ
2 〜−０．００５Ｔ 2 の範囲にあることを特徴とする。
ードの２倍波を用いた第１，第２の圧電フィルタが中継
容量を介して電気的に接続された圧電フィルタ装置であ
って、前記第１，第２の圧電フィルタが、厚み方向に分
極処理されており、かつ対向し合う第１，第２の主面を
有する圧電基板と、前記圧電基板の内部に形成されたア
ース電極と、前記圧電基板層を介してアース電極の一部
に対向するように圧電基板の第１の主面に形成された入
力電極と、圧電基板層を介して前記アース電極の前記一
部以外の他の部分に対向するように圧電基板の第２の主
面に形成された出力電極とを備え、前記第１の圧電フィ
ルタの第１の主面と前記アース電極との間の距離をｔａ
1、第１の圧電フィルタの第２の主面とアース電極との
間の距離をｔｂ1 、第２の圧電フィルタの第２の主面と
アース電極との間の距離をｔａ2 、第２の圧電フィルタ
の第１の主面とアース電極との間の距離をｔｂ2 、第
１，第２の圧電フィルタの圧電基板の厚みをそれぞれＴ
１，Ｔ２としたときに、ｔｂ1 −ｔａ1 が０．０５Ｔ 1
〜０．１Ｔ1 、かつｔｂ2 −ｔａ2 が０．０３Ｔ 2 〜
０．１Ｔ2 の範囲、あるいはｔｂ1 −ｔａ1 が−０．１
Ｔ1 〜−０．０３Ｔ 1 かつｔｂ2 −ｔａ2 が−０．１Ｔ
2 〜−０．００５Ｔ 2 の範囲にあることを特徴とする。
【００１１】好ましくは、上記第１，第２の圧電フィル
タの圧電基板の厚みＴ１、Ｔ２はほぼ等しくされる。ま
た、より好ましくは、第１，第２の圧電フィルタの圧電
基板の厚みＴ１，Ｔ２が等しく、その厚みをＴとしたと
きに、ｔｂ1 −ｔａ1 とｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交
座標系において、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が
図１における領域Ａまたは領域Ｂの範囲にある。
タの圧電基板の厚みＴ１、Ｔ２はほぼ等しくされる。ま
た、より好ましくは、第１，第２の圧電フィルタの圧電
基板の厚みＴ１，Ｔ２が等しく、その厚みをＴとしたと
きに、ｔｂ1 −ｔａ1 とｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交
座標系において、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が
図１における領域Ａまたは領域Ｂの範囲にある。
【００１２】本発明に係る圧電フィルタ装置では、第
１，第２の圧電フィルタは、別体であってもよく、圧電
振動部の振動を妨げないようにして積層されて一体化さ
れていてもよい。
１，第２の圧電フィルタは、別体であってもよく、圧電
振動部の振動を妨げないようにして積層されて一体化さ
れていてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
挙げることにより、本発明を明らかにする。図２は、本
発明の一実施例に係る圧電フィルタ装置の概略構成図で
ある。
挙げることにより、本発明を明らかにする。図２は、本
発明の一実施例に係る圧電フィルタ装置の概略構成図で
ある。
【００１４】圧電フィルタ装置１は、第１，第２の圧電
フィルタ２，３と、中継容量４とを有する。第１，第２
の圧電フィルタ２，３は、厚み縦振動モードの２倍波を
利用したエネルギー閉込め型の二重モード圧電フィルタ
である。
フィルタ２，３と、中継容量４とを有する。第１，第２
の圧電フィルタ２，３は、厚み縦振動モードの２倍波を
利用したエネルギー閉込め型の二重モード圧電フィルタ
である。
【００１５】第１の圧電フィルタ２は、圧電基板５を有
する。圧電基板５は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クスのような圧電セラミックスにより構成することがで
き、厚み方向に一様に分極処理されている。
する。圧電基板５は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クスのような圧電セラミックスにより構成することがで
き、厚み方向に一様に分極処理されている。
【００１６】圧電基板５内には、第１，第２の主面５
ａ，５ｂと平行な方向に延びるように、アース電極６が
配置されている。また、圧電基板５の第１の主面５ａに
は、入力電極７が形成されている。入力電極７は、アー
ス電極６の一部と圧電基板層を介して対向されている。
ａ，５ｂと平行な方向に延びるように、アース電極６が
配置されている。また、圧電基板５の第１の主面５ａに
は、入力電極７が形成されている。入力電極７は、アー
ス電極６の一部と圧電基板層を介して対向されている。
【００１７】圧電基板５の第２の主面５ｂには出力電極
８が形成されている。出力電極８は、アース電極６と圧
電基板層を介して対向されており、かつ出力電極８は、
圧電基板５を介して入力電極７とは対向しないように形
成されている。
８が形成されている。出力電極８は、アース電極６と圧
電基板層を介して対向されており、かつ出力電極８は、
圧電基板５を介して入力電極７とは対向しないように形
成されている。
【００１８】上記アース電極６、入力電極７及び出力電
極８は、それぞれ、導電ペーストの塗布・焼付け、ある
いは蒸着、スパッタリング等の薄膜形成法により形成す
ることができる。
極８は、それぞれ、導電ペーストの塗布・焼付け、ある
いは蒸着、スパッタリング等の薄膜形成法により形成す
ることができる。
【００１９】具体的には、図３に示すように、圧電セラ
ミックスを主体とするグリーンシート９〜１１を用意す
る。グリーンシート９〜１１上に、それぞれ、導電ペー
ストを印刷することにより、入力電極７、アース電極６
及び出力電極８を印刷する。しかる後、グリーンシート
９〜１１を積層し、厚み方向に加圧した後焼成すること
により圧電フィルタ２を得ることができる。
ミックスを主体とするグリーンシート９〜１１を用意す
る。グリーンシート９〜１１上に、それぞれ、導電ペー
ストを印刷することにより、入力電極７、アース電極６
及び出力電極８を印刷する。しかる後、グリーンシート
９〜１１を積層し、厚み方向に加圧した後焼成すること
により圧電フィルタ２を得ることができる。
【００２０】もっとも、通常、量産性を高めるために、
マザーのグリーンシートを用い、マザーの積層体を得た
後に、該マザーの積層体を焼成した後切断することによ
り、個々の圧電フィルタ２が得られている。
マザーのグリーンシートを用い、マザーの積層体を得た
後に、該マザーの積層体を焼成した後切断することによ
り、個々の圧電フィルタ２が得られている。
【００２１】他方、第２の圧電フィルタ３についても、
第１の圧電フィルタ２と同様に構成されている。すなわ
ち、第２の圧電フィルタ３は、圧電基板１５を有し、圧
電基板１５内にアース電極１６が形成されている。ま
た、圧電基板１５の第１の主面１５ａに入力電極１７
が、第２の主面１５ｂ上に出力電極１８が形成されてい
る。
第１の圧電フィルタ２と同様に構成されている。すなわ
ち、第２の圧電フィルタ３は、圧電基板１５を有し、圧
電基板１５内にアース電極１６が形成されている。ま
た、圧電基板１５の第１の主面１５ａに入力電極１７
が、第２の主面１５ｂ上に出力電極１８が形成されてい
る。
【００２２】また、第１の圧電フィルタ２の出力電極８
と、第２の圧電フィルタ１５の入力電極１７とが電気的
に接続されており、該電気的接続部分の接続点Ａと接地
電位との間に中継容量４が電気的に接続されている。
と、第２の圧電フィルタ１５の入力電極１７とが電気的
に接続されており、該電気的接続部分の接続点Ａと接地
電位との間に中継容量４が電気的に接続されている。
【００２３】中継容量４については、別体のコンデンサ
で構成してもよく、あるいは第１，第２の圧電フィルタ
２，３のいずれかにあるいは双方に一体的に構成しても
よい。
で構成してもよく、あるいは第１，第２の圧電フィルタ
２，３のいずれかにあるいは双方に一体的に構成しても
よい。
【００２４】本実施例の圧電フィルタ装置１の特徴は、
上記第１の圧電フィルタ２の第１の主面５ａとアース電
極６との間の距離をｔａ1 、第２の主面５ｂとアース電
極６との間の距離をｔｂ1 、第２の圧電フィルタ３の第
２の主面１５ｂとアース電極１６との間の距離をｔ
ａ2 、第１の主面１５ａとアース電極１６との間の距離
をｔｂ2 とし、圧電基板５，１５の厚みをそれぞれＴ
１，Ｔ２としたときに、ｔｂ 1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔ
ａ2 が下記の範囲にあることを特徴とする。
上記第１の圧電フィルタ２の第１の主面５ａとアース電
極６との間の距離をｔａ1 、第２の主面５ｂとアース電
極６との間の距離をｔｂ1 、第２の圧電フィルタ３の第
２の主面１５ｂとアース電極１６との間の距離をｔ
ａ2 、第１の主面１５ａとアース電極１６との間の距離
をｔｂ2 とし、圧電基板５，１５の厚みをそれぞれＴ
１，Ｔ２としたときに、ｔｂ 1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔ
ａ2 が下記の範囲にあることを特徴とする。
【００２５】すなわち、ｔｂ1 −ｔａ1 が０．０５Ｔ 1
〜０．１Ｔ 1 であり、かつｔｂ2 −ｔａ2 が０．０３Ｔ 2
〜０．１Ｔ 2 の範囲、あるいはｔｂ1 −ｔａ1 が−０．
１Ｔ 1 〜−０．０３Ｔ 1 かつｔｂ2 −ｔａ2 が−０．１Ｔ
2 〜−０．００５Ｔ 2 の範囲にある。
〜０．１Ｔ 1 であり、かつｔｂ2 −ｔａ2 が０．０３Ｔ 2
〜０．１Ｔ 2 の範囲、あるいはｔｂ1 −ｔａ1 が−０．
１Ｔ 1 〜−０．０３Ｔ 1 かつｔｂ2 −ｔａ2 が−０．１Ｔ
2 〜−０．００５Ｔ 2 の範囲にある。
【００２６】好ましくは、図１において、ｔｂ1 −ｔａ
1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が、領域Ａまたは領域Ｂの範囲に
ある。本実施例の圧電フィルタ１では、ｔｂ1 −ｔａ1
及びｔｂ2 −ｔａ2 が上記範囲にあるので、フィルタ特
性のばらつきを低減することができる。これは、本願発
明者により実験的に確かめられたものであり、ｔｂ1 −
ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が上記範囲外の場合には、良
好なフィルタ特性を得ることができない。
1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が、領域Ａまたは領域Ｂの範囲に
ある。本実施例の圧電フィルタ１では、ｔｂ1 −ｔａ1
及びｔｂ2 −ｔａ2 が上記範囲にあるので、フィルタ特
性のばらつきを低減することができる。これは、本願発
明者により実験的に確かめられたものであり、ｔｂ1 −
ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が上記範囲外の場合には、良
好なフィルタ特性を得ることができない。
【００２７】圧電フィルタ２，３として、圧電基板５，
１５の寸法が、３．０×３．０×厚み０．３５ｍｍであ
り、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなるもの
を用意した。第１，第２の圧電フィルタ２，３におい
て、入出力電極面積はそれぞれ０．４８ｍｍ2 、アース
電極は幅１．７ｍｍのストライプ状とした。上記第１，
第２の圧電フィルタ２，３を図２のように容量７０ｐＦ
の中継容量４と接続して圧電フィルタ装置１を構成し
た。
１５の寸法が、３．０×３．０×厚み０．３５ｍｍであ
り、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなるもの
を用意した。第１，第２の圧電フィルタ２，３におい
て、入出力電極面積はそれぞれ０．４８ｍｍ2 、アース
電極は幅１．７ｍｍのストライプ状とした。上記第１，
第２の圧電フィルタ２，３を図２のように容量７０ｐＦ
の中継容量４と接続して圧電フィルタ装置１を構成し
た。
【００２８】上記圧電フィルタ装置１において、ｔｂ1
−ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 を種々異ならせたものを用
意した。このようにして用意した各圧電フィルタ装置の
フィルタ特性を、図４（ａ），（ｂ）〜図８（ａ），
（ｂ）にそれぞれ示す。なお、図４（ａ），（ｂ）〜図
８（ａ），（ｂ）に示したフィルタ特性は、それぞれ、
上記ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が下記の表１に
示す値とされている。また、図４〜図８の一点鎖線は群
遅延時間を示す。
−ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 を種々異ならせたものを用
意した。このようにして用意した各圧電フィルタ装置の
フィルタ特性を、図４（ａ），（ｂ）〜図８（ａ），
（ｂ）にそれぞれ示す。なお、図４（ａ），（ｂ）〜図
８（ａ），（ｂ）に示したフィルタ特性は、それぞれ、
上記ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が下記の表１に
示す値とされている。また、図４〜図８の一点鎖線は群
遅延時間を示す。
【００２９】
【表１】
【００３０】また、上記各圧電フィルタ装置のｔｂ1 −
ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 の位置を、図９にｔｂ1 −ｔ
ａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交座標系にプロッ
トした。
ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 の位置を、図９にｔｂ1 −ｔ
ａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交座標系にプロッ
トした。
【００３１】図４〜図９から明らかなように、ｔｂ1 −
ｔａ1 が上記特定の範囲にある場合に、良好なフィルタ
特性の得られていることがわかる。また、上記特定の範
囲外の場合には、通過帯域においてリップルが現れてい
ることがわかる。
ｔａ1 が上記特定の範囲にある場合に、良好なフィルタ
特性の得られていることがわかる。また、上記特定の範
囲外の場合には、通過帯域においてリップルが現れてい
ることがわかる。
【００３２】なお、上記実験例では、第１，第２の圧電
フィルタ２，３の圧電基板５，１５の厚みＴ１，Ｔ２は
等しくしたが、厚みＴ１，Ｔ２は等しくなくともよい。
また、上記実験例では、圧電フィルタ２，３として、そ
れぞれ圧電フィルタ素子を用意し、中継容量４と電気的
に接続したが、第１，第２の圧電フィルタ２，３を積層
し、一体化した構造としてもよい。この場合、中継容量
４は、第１，第２の圧電フィルタ２，３を構成している
圧電基板に対向電極を形成することにより構成すること
ができる。
フィルタ２，３の圧電基板５，１５の厚みＴ１，Ｔ２は
等しくしたが、厚みＴ１，Ｔ２は等しくなくともよい。
また、上記実験例では、圧電フィルタ２，３として、そ
れぞれ圧電フィルタ素子を用意し、中継容量４と電気的
に接続したが、第１，第２の圧電フィルタ２，３を積層
し、一体化した構造としてもよい。この場合、中継容量
４は、第１，第２の圧電フィルタ２，３を構成している
圧電基板に対向電極を形成することにより構成すること
ができる。
【００３３】
【発明の効果】本発明に係る圧電フィルタ装置では、上
記ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2が上記特定の範囲
とされているので、フィルタ特性の安定化を図ることが
できる。すなわち、厚み縦振動モードの２倍波を用いた
第１，第２の圧電フィルタが中継容量を介して電気的に
接続された圧電フィルタ装置において、フィルタ特性の
ばらつきを効果的に低減することができる。
記ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2が上記特定の範囲
とされているので、フィルタ特性の安定化を図ることが
できる。すなわち、厚み縦振動モードの２倍波を用いた
第１，第２の圧電フィルタが中継容量を介して電気的に
接続された圧電フィルタ装置において、フィルタ特性の
ばらつきを効果的に低減することができる。
【００３４】特に、第１，第２の圧電フィルタの圧電基
板の厚みＴ１，Ｔ２が等しく、その厚みをＴとしたとき
に、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交
座標系において、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が
図１の領域Ａまたは領域Ｂの範囲にある場合には、フィ
ルタ特性をより一層安定化することができる。
板の厚みＴ１，Ｔ２が等しく、その厚みをＴとしたとき
に、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交
座標系において、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が
図１の領域Ａまたは領域Ｂの範囲にある場合には、フィ
ルタ特性をより一層安定化することができる。
【００３５】本発明に係る圧電フィルタ装置において、
第１，第２の圧電フィルタが圧電振動部の振動を妨げな
いようにして積層されて一体化されている場合には、フ
ィルタ特性が安定であり、さらに小型の圧電フィルタ装
置を提供することができる。
第１，第２の圧電フィルタが圧電振動部の振動を妨げな
いようにして積層されて一体化されている場合には、フ
ィルタ特性が安定であり、さらに小型の圧電フィルタ装
置を提供することができる。
【図１】本発明の圧電フィルタ装置におけるｔｂ1 −ｔ
ａ1 と、ｔｂ2 −ｔａ2 との関係を示す図。
ａ1 と、ｔｂ2 −ｔａ2 との関係を示す図。
【図２】本発明の一実施例に係る圧電フィルタ装置の概
略構成図。
略構成図。
【図３】図２に示した圧電フィルタ装置の第１の圧電フ
ィルタの電極構造を説明するための分解斜視図。
ィルタの電極構造を説明するための分解斜視図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、実験例で作製した圧電フ
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、実験例で作製した圧電フ
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、実験例で作製した圧電フ
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、実験例で作製した圧電フ
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、実験例で作製した圧電フ
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
ィルタ装置のフィルタ特性を示す図。
【図９】実験例で作製した各圧電フィルタ装置のｔｂ1
−ｔａ1 とｔｂ2 −ｔａ2 との関係を示す図。
−ｔａ1 とｔｂ2 −ｔａ2 との関係を示す図。
【図１０】従来の圧電フィルタの一例を示す断面図。
１…圧電フィルタ装置
２，３…第１，第２の圧電フィルタ
４…中継容量
５…圧電基板
５ａ…第１の主面
５ｂ…第２の主面
６…アース電極
７…入力電極
８…出力電極
１５…圧電基板
１５ａ…第１の主面
１５ｂ…第２の主面
１６…アース電極
１７…入力電極
１８…出力電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/54
H03H 9/17
H03H 9/205
Claims (4)
- 【請求項１】 厚み縦振動モードの２倍波を用いた第
１，第２の圧電フィルタが中継容量を介して電気的に接
続された圧電フィルタ装置であって、 前記第１，第２の圧電フィルタが、厚み方向に分極処理
されており、かつ対向し合う第１，第２の主面を有する
圧電基板と、前記圧電基板の内部に形成されたアース電
極と、前記圧電基板層を介してアース電極の一部に対向
するように圧電基板の第１の主面に形成された入力電極
と、圧電基板層を介して前記アース電極の前記一部以外
の他の部分に対向するように圧電基板の第２の主面に形
成された出力電極とを備え、 前記第１の圧電フィルタの第１の主面と前記アース電極
との間の距離をｔａ1、第１の圧電フィルタの第２の主
面とアース電極との間の距離をｔｂ1 、第２の圧電フィ
ルタの第２の主面とアース電極との間の距離をｔａ2 、
第２の圧電フィルタの第１の主面とアース電極との間の
距離をｔｂ2 、第１，第２の圧電フィルタの圧電基板の
厚みをそれぞれＴ１，Ｔ２としたときに、ｔｂ1 −ｔａ
1 が０．０５Ｔ 1 〜０．１Ｔ1 、かつｔｂ2 −ｔａ2 が
０．０３Ｔ 2 〜０．１Ｔ2 の範囲、あるいはｔｂ1 −ｔ
ａ1 が−０．１Ｔ1 〜−０．０３Ｔ 1 かつｔｂ2 −ｔａ
2 が−０．１Ｔ2 〜−０．００５Ｔ 2 の範囲にあること
を特徴とする、圧電フィルタ装置。 - 【請求項２】 第１，第２の圧電フィルタの圧電基板の
厚みＴ１，Ｔ２が等しい、請求項１に記載の圧電フィル
タ装置。 - 【請求項３】 第１，第２の圧電フィルタの圧電基板の
厚みＴ１，Ｔ２が等しく、その厚みをＴとしたときに、
ｔｂ1 −ｔａ1 とｔｂ2 −ｔａ2 とからなる直交座標系
において、ｔｂ1 −ｔａ1 及びｔｂ2 −ｔａ2 が下記の
図１における領域Ａまたは領域Ｂの範囲にあることを特
徴とする、請求項１に記載の圧電フィルタ装置。 【図１】 - 【請求項４】 第１，第２の圧電フィルタが圧電振動部
の振動を妨げないようにして積層されて一体化されてい
ることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の
圧電フィルタ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25311299A JP3446677B2 (ja) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | 圧電フィルタ装置 |
| DE10041306A DE10041306A1 (de) | 1999-09-07 | 2000-08-23 | Piezoelektrische Filtervorrichtung |
| US09/656,105 US6466106B1 (en) | 1999-09-07 | 2000-09-06 | Piezoelectric filter device with a ground electrode that is not centered in the thickness direction of the filter |
| CNB001263692A CN1156971C (zh) | 1999-09-07 | 2000-09-07 | 压电滤波器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25311299A JP3446677B2 (ja) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | 圧電フィルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001077665A JP2001077665A (ja) | 2001-03-23 |
| JP3446677B2 true JP3446677B2 (ja) | 2003-09-16 |
Family
ID=17246675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25311299A Expired - Fee Related JP3446677B2 (ja) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | 圧電フィルタ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6466106B1 (ja) |
| JP (1) | JP3446677B2 (ja) |
| CN (1) | CN1156971C (ja) |
| DE (1) | DE10041306A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3838024B2 (ja) * | 2000-11-27 | 2006-10-25 | 株式会社村田製作所 | 縦結合型マルチモード圧電フィルタ |
| KR100602907B1 (ko) * | 2000-11-27 | 2006-07-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 복합 진동 장치 |
| DE10321701B4 (de) * | 2002-05-24 | 2009-06-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Längsgekoppelte piezoelektrische Multi-Mode-Volumenwellenfiltervorrichtung, längsgekoppelter piezoelektrischer Multi-Mode-Volumenwellenfilter und elektronische Komponente |
| US7098757B2 (en) * | 2002-09-23 | 2006-08-29 | Georgia Tech Research Corporation | Electrically-coupled micro-electro-mechanical filter systems and methods |
| WO2007029280A1 (ja) * | 2005-03-28 | 2007-03-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 厚み縦圧電共振子 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5084647A (en) * | 1989-07-19 | 1992-01-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter |
| US5065066A (en) * | 1989-07-19 | 1991-11-12 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Piezoelectric resonator |
| US5274293A (en) * | 1989-07-19 | 1993-12-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter |
| JPH0397314A (ja) * | 1989-09-09 | 1991-04-23 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型圧電共振部品 |
| JP3175116B2 (ja) * | 1991-09-26 | 2001-06-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルタ |
| JPH05259805A (ja) * | 1992-03-16 | 1993-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JP3244238B2 (ja) * | 1993-02-25 | 2002-01-07 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振装置 |
-
1999
- 1999-09-07 JP JP25311299A patent/JP3446677B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-23 DE DE10041306A patent/DE10041306A1/de not_active Withdrawn
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001077665A (ja) | 2001-03-23 |
| CN1287409A (zh) | 2001-03-14 |
| DE10041306A1 (de) | 2001-04-12 |
| CN1156971C (zh) | 2004-07-07 |
| US6466106B1 (en) | 2002-10-15 |
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Legal Events
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