JP2790177B2 - 電歪共振素子 - Google Patents
電歪共振素子Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、厚み縦振動モードを利用した周波数低下
型のエネルギ閉込め型電歪共振素子の改良に関する。 ［従来の技術］ 従来より、PZT系圧電セラミックスを用いた厚み縦振
動モードを利用したエネルギ閉込め型の圧電共振子が知
られている。この種のエネルギ閉込め型の圧電共振子
は、第２図に示すよに、圧電セラミックス21の両面に該
圧電セラミックスより小さな面積の電極22,23を形成す
ることにより構成されている。圧電セラミックス21とし
ては、PZT系のように実効ポアソン比が1/3以上の材料が
用いられていた。これは、実効ポアソン比が1/3未満の
材料を用いた場合には、周波数低下型のエネルギ閉込め
ができなかったからである。 ［発明が解決しようとする問題点］ 上記した圧電共振子において、より高周波域で使用し
得るものが望まれている。より高周波域で振動させるに
は、圧電セラミックス21の厚みを薄くすればよい。しか
しながら、取扱い上200μｍ程度とすることが限界であ
り、それ以上薄くすることは実用上困難であった。よっ
て、現実には、厚み縦基本振動の使用周波数範囲は10MH
z以下であった。 他方、厚み縦振動の３次高調波を利用すれば、高周波
域で使用することが可能であると考えられる。しかしな
がら、３次高調波は、基本振動に比べて応答レベルがか
なり小さい。したがって該３次高調波の利用は特定の用
途に限られていた。 さらに、従来の厚み縦基本振動モードを利用した電歪
共振素子では、上述したように実効ポアソン比が1/3以
上の材料を用いなければ周波数低下型でエネルギを閉込
めることができなかった。よって、材料選択の範囲も限
られていた。 また、圧電材料として知られているチタン酸ジルコン
酸鉛系セラミクスでは、厚み縦基本振動のエネルギ閉込
め可能で実効ポアソン比が1/3以上となる組成は、結晶
系が正方晶系と菱面体晶系の境界となる組成付近のもの
に限られている。このため、高周波数の使用に適した低
誘電率のものが得られず、温度安定性に欠けるという問
題があった。 よって、この発明の目的は、より高周波域で使用する
ことができ、かつより広範囲の電歪材料を用いることが
可能な構造を備えた電歪共振素子を提供することにあ
る。 ［問題点解決するための手段］ この発明は、厚み縦振動モードの高調波を利用した、
周波数低下型のエネルギ閉込め型電歪共振素子であっ
て、下記の構成を備えるものである。 まず、電歪材料よりなる板状の本体と、前記本体の厚
み方向において電歪材料層を介して互いに重なり合うよ
うに配置された３以上の電極とを備えている。そして、
電歪材料は、実効ポアソン比が1/3未満の材料からな
り、前記電極のうち少なくとも１つの電極は、エネルギ
閉込めが可能なように前記本体の主面より小さな面積を
有するように形成されている。 ［作用］ この発明の電歪共振素子は、周波数低下型のエネルギ
閉込め型であって、３以上の電極が電歪材料層を介して
厚み方向において互いに重なり合うように配置されてい
る。したがって、全体の厚みが同じである場合、厚み縦
振動基本波は、従来の単板型の電歪共振素子に比べて
（ｎ−１）倍［ｎは電極の数を示す］の周波数位置に発
生する。よって、より高周波域で使用し得る電歪共振素
子を提供することができる。 また、電歪材料は、厚み縦基本振動の周波数低下型の
エネルギ閉込めができない材料からなるとともに、３以
上の電極を用いて電歪材料層を複数層に分割するもので
あるため、従来はエネルギを閉込めることが不可能であ
った実効ポアソン比が1/3未満の電歪材料を用いた場合
に厚み縦振動のエネルギーを閉込めることが可能とな
る。 ［実施例の説明］ 第１図は、この発明の一実施例を示す。ここでは、厚
み縦振動モードを利用したエネルギ閉込め型の電歪共振
素子として、電歪材料よりなる板状の本体１の両主面1
a,1b上に電極2,3が形成されている。電極2,3は、主面1
a,1bより小さな面積を有し、かつ本体１の端縁に至らな
いように形成されている。さらに、本体１内には、厚み
方向中央部に電極2,3と対向するように電極４が形成さ
れている。 したがって、この実施例では、３個の電極２〜４が、
そそれぞれ、電歪材料層を介して厚み方向において互い
に重なり合うように配置されている。 そして、電極２と電極３との間の電歪材料層および電
極３と電極４との間の電歪材料層は、それぞれ、図示の
矢印の方向に分極処理されている。 第１図実施例は、たとえば第３図に示した２枚のセラ
ミックグリーンシート11,12を用いて得ることができ
る。すなわち、セラミックグリーンシート11の一方主面
の中央に電極２となる電極ペースト13を塗布しておく。
また、セラミックグリーンシート12の一方主面には、電
極４を構成するための電極ペースト14を塗布する。この
電極ペースト14は、セラミックグリーンシート12の１つ
の端縁に至る引出部14aを有する。この引出部14aは、分
極時または駆動時に電極４（第１図）に電圧を印加する
ために形成されているものである。 他方、セラミックグリーンシート12の他方面には、第
３図の下方においてセラミックグリーンシート12を透視
した状態で示すように電極ペースト15が塗布される。こ
の電極ペースト15は、電極３を構成するためのものであ
る。第３図のセラミックグリーンシート11,12を図示の
状態のまま重ね合わせ、圧着し一体焼成する。そして、
第１図の状態において電極４に＋の電位を電極2,3に−
の電位を与えれば、図示の矢印の方向に分極処理するこ
とができる。 次に、第１図実施例の動作につき説明する。電極2,3
の間に交番電界を印加して駆動する。電極2,3がエネル
ギ閉込めが可能なように電歪材料本体１の主面1a,1bよ
りも小さな面積で形成されているので、厚み縦振動が閉
込められる。その結果、第４図に示すインピーダンス−
周波数特性を示す。 なお、第２図に示した同じ厚みの従来の単板型の電歪
効果素子についてのインピーダンス−周波数特性を第４
図に破線で示す。両者の特性曲線の比較から、第１図実
施例では、厚み縦振動で励振される最低次モードの共振
点および反共振点が高周波側に大きくシフトされている
ことがわかる。これは、第２図の従来例では、λを波長
として電極22,23間の距離がλ/2となる厚み縦振動の基
本波が発生するのに対し、第１図実施例では、電極2,4
間あるいは電極3,4間の距離がλ/2となる厚み縦振動の
高調波が発生するからである。すなわち、全体の厚みを
同じとした場合、周波数が２倍の高調波振動が発生す
る。よって、電気的に励振可能な最低次の厚み縦振動の
共振点および反共振点は、第４図に示したように高周波
域側に大きくシフトする。 したがって、第１図実施例のように、３枚の電極２〜
４を形成することにより、同じ厚みでありながらより高
周波域で使用し得る電歪効果素子を実現し得ることがわ
かる。 さらに、第１図の実施例で、圧電共振素子の最低次の
モード（２次高調波）の３倍の周波数で共振する振動モ
ード（６次高調波）を使えば、さらに高調波の圧電共振
素子が得られる。 ［別の実施例］ （ａ） 第５図に示す構成を採用することもできる。こ
こでは、分極方向が図示の矢印で示すように、電極４の
上下に位置する電歪材料層の分極方向が等しくされてい
る。よって、図示のように電極2,3の電位差を等しく
し、電極４との間に交番電界を印加すれば、第１図実施
例と同様に高周波域で使用し得る電歪共振素子とするこ
とができる。なお、この第５図の実施例では、第１図実
施例に比べてインピーダンスを低くすることができる。 （ｂ） 第６図に示す構成を採用することもできる。こ
こでは、重なり合う複数の電極２〜４のうち最外層に位
置する電極2,3が電歪材料よりなる本体１内に埋込まれ
ている。その他の点は、第１図の実施例と同様であるた
め、相当の参照番号を付することによりその説明を省略
する。第６図の実施例から明らかなように、最外層に位
置する電極のいずれか一方あるいは双方が、電歪材料よ
りなる本体１内に埋込まれていても、第１図の実施例と
同様に厚み縦振動を閉込めることができる。 （ｃ） 各々別の実施例である第７〜第11図に示す構成
を作用することもできる。各図において、第１図の実施
例に相当する箇所には同一符号が付されている。なお、
第９〜第11図の実施例では内部電極４が２つ設けられて
いるので、その夫々に4a,4bが付されている。 いずれも、厚み縦振動モードを利用したエネルギ閉込
め型の電歪共振素子である。 第７図、第８図は２層構造のものであり、いずれも電
極2,3は概ね本体１の主体全面に設けられているが、電
極４は本体１の中心部にのみ設けられている。第７図の
分極方向は同一方向であるが、第８図では互いに逆方向
となっている。 第９〜第11図は３層構造のものであり、各層の分極方
向はそれぞれ矢印で示すとおりである。また、第９図の
場合は全ての電極2,3,4a,4bが小型で、第10図の場合は
電極4aのみが大型で、第11図の場合は電極4bのみが大型
である。 これらの実施例によっても従来の単板型の電歪共振素
子に比べて、より高周波域で使用し得る等、本発明の作
用・効果を同様に得ることができる。 （ｄ） 上述してきた各実施例では、重なり合う電極と
して、３〜４枚の電極を形成した例につき説明してきた
が、５以上の電極を電歪材料層を介して重なり合うよう
に配置してもよく、それによってより高周波域で使用し
得る電歪共振素子を実現することができる。 （ｅ） 最外層に位置する電極以外の電極、すなわち内
側に形成される電極（例えば電極４）については、最外
層に形成される電極2,3と異なり、電歪材料よりなる本
体１の端縁に至るように全面電極の形態で形成してもよ
い。もっとも、内側に形成される電極を全面電極とした
場合には、スプリアスが生じるため、好ましくは、上述
してきた実施例のように最外層に位置する電極と略等し
い面積を有するように形成した方が良い。 （ｆ） 第１図実施例の製造方法の説明においては、セ
ラミックスグリーンシートを複数枚用意し、積層し一体
焼成して得られたものを例示したが、これに限らず既に
焼結された電歪材料シートを、絶縁性接着材を用いて貼
り付けることによっても、この発明の電歪効果素子を得
ることができる。同様に、セラミックスに限らず、単結
晶や水晶等の電歪効果材料を用いることも可能である。
またスパッタリング、真空蒸着法などの薄膜形成技術に
より、ZnO等の圧電配向膜で形成してもよい。 ところで、本願発明者達の実験によれば、上述してき
たすべての実施例において、ポアソン比が1/3未満で厚
み縦基本振動で周波数低下型エネルギ閉込めができない
材料、たとえばPbTiO3、LiTaO3、LiNbO3、Li2B4O7等の
圧電性材料を用いた場合であっても、高調波を励振する
ことによって厚み縦振動を閉込め得ることがわかった。
また、これらの材料はチタン酸ジルコン酸鉛系の材料に
くらべて温度安定性がよく、誘電性が小さく、高周波域
での利用に適している。よって、この発明によれば、よ
り広範囲な電歪材料を用いて、各使用目的に応じたエネ
ルギ閉込め型の電歪共振素子を得ることができる。 ［発明の効果］ この発明では、３以上の電極が電歪材料からなる本体
の厚み方向において、電歪材料層を介して互いに重なり
合うように配置されているので、同じ厚みの従来の単板
型の電歪共振素子に比べて、より高周波域で使用し得る
電歪共振素子を得ることができる。また、最低次の励振
モードの共振周波数の約３倍の周波数で共振するモード
を利用すると、さらに高周波での応用が可能となる。 さらに、従来は厚み縦振動モードを閉込めることが不
可能であった電歪材料を用いて、上述したような高周波
域で使用し得るエネルギ閉込め型の電歪共振素子を構成
することができる。 したがって、種々の用途に応じた発振子や圧電フィル
タ等を容易に得ることができる。
型のエネルギ閉込め型電歪共振素子の改良に関する。 ［従来の技術］ 従来より、PZT系圧電セラミックスを用いた厚み縦振
動モードを利用したエネルギ閉込め型の圧電共振子が知
られている。この種のエネルギ閉込め型の圧電共振子
は、第２図に示すよに、圧電セラミックス21の両面に該
圧電セラミックスより小さな面積の電極22,23を形成す
ることにより構成されている。圧電セラミックス21とし
ては、PZT系のように実効ポアソン比が1/3以上の材料が
用いられていた。これは、実効ポアソン比が1/3未満の
材料を用いた場合には、周波数低下型のエネルギ閉込め
ができなかったからである。 ［発明が解決しようとする問題点］ 上記した圧電共振子において、より高周波域で使用し
得るものが望まれている。より高周波域で振動させるに
は、圧電セラミックス21の厚みを薄くすればよい。しか
しながら、取扱い上200μｍ程度とすることが限界であ
り、それ以上薄くすることは実用上困難であった。よっ
て、現実には、厚み縦基本振動の使用周波数範囲は10MH
z以下であった。 他方、厚み縦振動の３次高調波を利用すれば、高周波
域で使用することが可能であると考えられる。しかしな
がら、３次高調波は、基本振動に比べて応答レベルがか
なり小さい。したがって該３次高調波の利用は特定の用
途に限られていた。 さらに、従来の厚み縦基本振動モードを利用した電歪
共振素子では、上述したように実効ポアソン比が1/3以
上の材料を用いなければ周波数低下型でエネルギを閉込
めることができなかった。よって、材料選択の範囲も限
られていた。 また、圧電材料として知られているチタン酸ジルコン
酸鉛系セラミクスでは、厚み縦基本振動のエネルギ閉込
め可能で実効ポアソン比が1/3以上となる組成は、結晶
系が正方晶系と菱面体晶系の境界となる組成付近のもの
に限られている。このため、高周波数の使用に適した低
誘電率のものが得られず、温度安定性に欠けるという問
題があった。 よって、この発明の目的は、より高周波域で使用する
ことができ、かつより広範囲の電歪材料を用いることが
可能な構造を備えた電歪共振素子を提供することにあ
る。 ［問題点解決するための手段］ この発明は、厚み縦振動モードの高調波を利用した、
周波数低下型のエネルギ閉込め型電歪共振素子であっ
て、下記の構成を備えるものである。 まず、電歪材料よりなる板状の本体と、前記本体の厚
み方向において電歪材料層を介して互いに重なり合うよ
うに配置された３以上の電極とを備えている。そして、
電歪材料は、実効ポアソン比が1/3未満の材料からな
り、前記電極のうち少なくとも１つの電極は、エネルギ
閉込めが可能なように前記本体の主面より小さな面積を
有するように形成されている。 ［作用］ この発明の電歪共振素子は、周波数低下型のエネルギ
閉込め型であって、３以上の電極が電歪材料層を介して
厚み方向において互いに重なり合うように配置されてい
る。したがって、全体の厚みが同じである場合、厚み縦
振動基本波は、従来の単板型の電歪共振素子に比べて
（ｎ−１）倍［ｎは電極の数を示す］の周波数位置に発
生する。よって、より高周波域で使用し得る電歪共振素
子を提供することができる。 また、電歪材料は、厚み縦基本振動の周波数低下型の
エネルギ閉込めができない材料からなるとともに、３以
上の電極を用いて電歪材料層を複数層に分割するもので
あるため、従来はエネルギを閉込めることが不可能であ
った実効ポアソン比が1/3未満の電歪材料を用いた場合
に厚み縦振動のエネルギーを閉込めることが可能とな
る。 ［実施例の説明］ 第１図は、この発明の一実施例を示す。ここでは、厚
み縦振動モードを利用したエネルギ閉込め型の電歪共振
素子として、電歪材料よりなる板状の本体１の両主面1
a,1b上に電極2,3が形成されている。電極2,3は、主面1
a,1bより小さな面積を有し、かつ本体１の端縁に至らな
いように形成されている。さらに、本体１内には、厚み
方向中央部に電極2,3と対向するように電極４が形成さ
れている。 したがって、この実施例では、３個の電極２〜４が、
そそれぞれ、電歪材料層を介して厚み方向において互い
に重なり合うように配置されている。 そして、電極２と電極３との間の電歪材料層および電
極３と電極４との間の電歪材料層は、それぞれ、図示の
矢印の方向に分極処理されている。 第１図実施例は、たとえば第３図に示した２枚のセラ
ミックグリーンシート11,12を用いて得ることができ
る。すなわち、セラミックグリーンシート11の一方主面
の中央に電極２となる電極ペースト13を塗布しておく。
また、セラミックグリーンシート12の一方主面には、電
極４を構成するための電極ペースト14を塗布する。この
電極ペースト14は、セラミックグリーンシート12の１つ
の端縁に至る引出部14aを有する。この引出部14aは、分
極時または駆動時に電極４（第１図）に電圧を印加する
ために形成されているものである。 他方、セラミックグリーンシート12の他方面には、第
３図の下方においてセラミックグリーンシート12を透視
した状態で示すように電極ペースト15が塗布される。こ
の電極ペースト15は、電極３を構成するためのものであ
る。第３図のセラミックグリーンシート11,12を図示の
状態のまま重ね合わせ、圧着し一体焼成する。そして、
第１図の状態において電極４に＋の電位を電極2,3に−
の電位を与えれば、図示の矢印の方向に分極処理するこ
とができる。 次に、第１図実施例の動作につき説明する。電極2,3
の間に交番電界を印加して駆動する。電極2,3がエネル
ギ閉込めが可能なように電歪材料本体１の主面1a,1bよ
りも小さな面積で形成されているので、厚み縦振動が閉
込められる。その結果、第４図に示すインピーダンス−
周波数特性を示す。 なお、第２図に示した同じ厚みの従来の単板型の電歪
効果素子についてのインピーダンス−周波数特性を第４
図に破線で示す。両者の特性曲線の比較から、第１図実
施例では、厚み縦振動で励振される最低次モードの共振
点および反共振点が高周波側に大きくシフトされている
ことがわかる。これは、第２図の従来例では、λを波長
として電極22,23間の距離がλ/2となる厚み縦振動の基
本波が発生するのに対し、第１図実施例では、電極2,4
間あるいは電極3,4間の距離がλ/2となる厚み縦振動の
高調波が発生するからである。すなわち、全体の厚みを
同じとした場合、周波数が２倍の高調波振動が発生す
る。よって、電気的に励振可能な最低次の厚み縦振動の
共振点および反共振点は、第４図に示したように高周波
域側に大きくシフトする。 したがって、第１図実施例のように、３枚の電極２〜
４を形成することにより、同じ厚みでありながらより高
周波域で使用し得る電歪効果素子を実現し得ることがわ
かる。 さらに、第１図の実施例で、圧電共振素子の最低次の
モード（２次高調波）の３倍の周波数で共振する振動モ
ード（６次高調波）を使えば、さらに高調波の圧電共振
素子が得られる。 ［別の実施例］ （ａ） 第５図に示す構成を採用することもできる。こ
こでは、分極方向が図示の矢印で示すように、電極４の
上下に位置する電歪材料層の分極方向が等しくされてい
る。よって、図示のように電極2,3の電位差を等しく
し、電極４との間に交番電界を印加すれば、第１図実施
例と同様に高周波域で使用し得る電歪共振素子とするこ
とができる。なお、この第５図の実施例では、第１図実
施例に比べてインピーダンスを低くすることができる。 （ｂ） 第６図に示す構成を採用することもできる。こ
こでは、重なり合う複数の電極２〜４のうち最外層に位
置する電極2,3が電歪材料よりなる本体１内に埋込まれ
ている。その他の点は、第１図の実施例と同様であるた
め、相当の参照番号を付することによりその説明を省略
する。第６図の実施例から明らかなように、最外層に位
置する電極のいずれか一方あるいは双方が、電歪材料よ
りなる本体１内に埋込まれていても、第１図の実施例と
同様に厚み縦振動を閉込めることができる。 （ｃ） 各々別の実施例である第７〜第11図に示す構成
を作用することもできる。各図において、第１図の実施
例に相当する箇所には同一符号が付されている。なお、
第９〜第11図の実施例では内部電極４が２つ設けられて
いるので、その夫々に4a,4bが付されている。 いずれも、厚み縦振動モードを利用したエネルギ閉込
め型の電歪共振素子である。 第７図、第８図は２層構造のものであり、いずれも電
極2,3は概ね本体１の主体全面に設けられているが、電
極４は本体１の中心部にのみ設けられている。第７図の
分極方向は同一方向であるが、第８図では互いに逆方向
となっている。 第９〜第11図は３層構造のものであり、各層の分極方
向はそれぞれ矢印で示すとおりである。また、第９図の
場合は全ての電極2,3,4a,4bが小型で、第10図の場合は
電極4aのみが大型で、第11図の場合は電極4bのみが大型
である。 これらの実施例によっても従来の単板型の電歪共振素
子に比べて、より高周波域で使用し得る等、本発明の作
用・効果を同様に得ることができる。 （ｄ） 上述してきた各実施例では、重なり合う電極と
して、３〜４枚の電極を形成した例につき説明してきた
が、５以上の電極を電歪材料層を介して重なり合うよう
に配置してもよく、それによってより高周波域で使用し
得る電歪共振素子を実現することができる。 （ｅ） 最外層に位置する電極以外の電極、すなわち内
側に形成される電極（例えば電極４）については、最外
層に形成される電極2,3と異なり、電歪材料よりなる本
体１の端縁に至るように全面電極の形態で形成してもよ
い。もっとも、内側に形成される電極を全面電極とした
場合には、スプリアスが生じるため、好ましくは、上述
してきた実施例のように最外層に位置する電極と略等し
い面積を有するように形成した方が良い。 （ｆ） 第１図実施例の製造方法の説明においては、セ
ラミックスグリーンシートを複数枚用意し、積層し一体
焼成して得られたものを例示したが、これに限らず既に
焼結された電歪材料シートを、絶縁性接着材を用いて貼
り付けることによっても、この発明の電歪効果素子を得
ることができる。同様に、セラミックスに限らず、単結
晶や水晶等の電歪効果材料を用いることも可能である。
またスパッタリング、真空蒸着法などの薄膜形成技術に
より、ZnO等の圧電配向膜で形成してもよい。 ところで、本願発明者達の実験によれば、上述してき
たすべての実施例において、ポアソン比が1/3未満で厚
み縦基本振動で周波数低下型エネルギ閉込めができない
材料、たとえばPbTiO3、LiTaO3、LiNbO3、Li2B4O7等の
圧電性材料を用いた場合であっても、高調波を励振する
ことによって厚み縦振動を閉込め得ることがわかった。
また、これらの材料はチタン酸ジルコン酸鉛系の材料に
くらべて温度安定性がよく、誘電性が小さく、高周波域
での利用に適している。よって、この発明によれば、よ
り広範囲な電歪材料を用いて、各使用目的に応じたエネ
ルギ閉込め型の電歪共振素子を得ることができる。 ［発明の効果］ この発明では、３以上の電極が電歪材料からなる本体
の厚み方向において、電歪材料層を介して互いに重なり
合うように配置されているので、同じ厚みの従来の単板
型の電歪共振素子に比べて、より高周波域で使用し得る
電歪共振素子を得ることができる。また、最低次の励振
モードの共振周波数の約３倍の周波数で共振するモード
を利用すると、さらに高周波での応用が可能となる。 さらに、従来は厚み縦振動モードを閉込めることが不
可能であった電歪材料を用いて、上述したような高周波
域で使用し得るエネルギ閉込め型の電歪共振素子を構成
することができる。 したがって、種々の用途に応じた発振子や圧電フィル
タ等を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は従
来の電歪共振素子を示す断面図、第３図は第１図実施例
を製造するのに用いるセラミックグリーンシートおよび
電極ペーストの塗布パターンを示す斜視図、第４図は第
１図実施例および従来例のインピーダンス−周波数特性
を示す図、第５図〜第11図はそれぞれこの発明の第２〜
第８の実施例を示す断面図である。 図において、１は電歪材料よりなる本体、1a,1bは主
面、2,3は最外層に位置する電極、４は電極を示す。
来の電歪共振素子を示す断面図、第３図は第１図実施例
を製造するのに用いるセラミックグリーンシートおよび
電極ペーストの塗布パターンを示す斜視図、第４図は第
１図実施例および従来例のインピーダンス−周波数特性
を示す図、第５図〜第11図はそれぞれこの発明の第２〜
第８の実施例を示す断面図である。 図において、１は電歪材料よりなる本体、1a,1bは主
面、2,3は最外層に位置する電極、４は電極を示す。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
合議体
審判長 鈴木 康仁
審判官 鈴木 朗
審判官 鈴木 匡明
(56)参考文献 特開 昭56−132010（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−65510（ＪＰ，Ａ)
実開 昭59−169126（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．厚み縦振動モードの高調波を利用した周波数低下型
のエネルギ閉込め型の電歪共振素子であって、 電歪材料よりなる板状の本体と、 前記本体の厚み方向において電歪材料層を介して互いに
重なり合うように配置された３以上の電極とを備え、 前記電歪材料は、実効ポアソン比が1/3未満の材料から
なり、 前記電極のうち少なくとも１つの電極は、エネルギ閉込
めが可能なように前記本体の主面より小さな面積を有す
るように形成されている、電歪共振素子。 ２．前記電極の形成領域に含まれ、電極の間に存在する
電歪材料層の分極方向は交互であり、駆動時には前記３
以上の電極のうち最外層の電極を用いる、特許請求の範
囲第１項記載の電歪共振素子。 ３．前記電歪材料層の分極方向は、各層とも同じであ
り、かつ前記３以上の電極は２つの電極群に分けられ、
隣り合う電極は互いに異なる電極群に属し、同じ電極群
に属する電極群は互いに電気接続されており、駆動時に
各電極群に電圧を印加する、特許請求の範囲第１項記載
の電歪共振素子。 ４．前記電極は３以上の奇数であり、偶数時の高調波を
利用することにより基本波のスプリアスを抑制する、特
許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに該当の電
歪共振素子。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP62168491A JP2790177B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 電歪共振素子 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62168491A JP2790177B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 電歪共振素子 |
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|---|---|
| JPS6412609A JPS6412609A (en) | 1989-01-17 |
| JP2790177B2 true JP2790177B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=15869073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62168491A Expired - Lifetime JP2790177B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 電歪共振素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2790177B2 (ja) |
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-
1987
- 1987-07-06 JP JP62168491A patent/JP2790177B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-07-06 US US07/215,549 patent/US4900970A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| JPS6412609A (en) | 1989-01-17 |
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