JPH04282911A - 圧電振動素子 - Google Patents
圧電振動素子Info
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- JPH04282911A JPH04282911A JP4641491A JP4641491A JPH04282911A JP H04282911 A JPH04282911 A JP H04282911A JP 4641491 A JP4641491 A JP 4641491A JP 4641491 A JP4641491 A JP 4641491A JP H04282911 A JPH04282911 A JP H04282911A
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- Japan
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- piezoelectric
- slits
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- piezoelectric vibrating
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、厚みすべり振動モード
を利用した圧電振動素子に関し、振動領域を構成する圧
電基板部分の構造が改良された圧電振動素子に関する。
を利用した圧電振動素子に関し、振動領域を構成する圧
電基板部分の構造が改良された圧電振動素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】厚みすべり振動モードを利用した圧電振
動素子として、図２に示す構造のものが周知である。圧
電振動素子１は、圧電基板２の両主面に振動電極３，４
を形成した構造を有する。振動電極３と振動電極４とは
、圧電基板２の中央領域で圧電基板２を介して表裏対向
するように形成されており、該振動電極３，４が対向し
合っている部分が振動領域とされている。
動素子として、図２に示す構造のものが周知である。圧
電振動素子１は、圧電基板２の両主面に振動電極３，４
を形成した構造を有する。振動電極３と振動電極４とは
、圧電基板２の中央領域で圧電基板２を介して表裏対向
するように形成されており、該振動電極３，４が対向し
合っている部分が振動領域とされている。
【０００３】圧電振動素子１は、例えば図３に示すよう
に、絶縁性材料よりなるケース５内に収納され、圧電振
動部品として構成される。ケース５には、圧電振動素子
１を収納するための凹部５ａが形成されている。また、
ケース５には、斜線のハッチングを付して示す部分に電
極が形成されている。該ケース５では、中間高さ位置に
支持部５ｂが形成されており、該支持部５ｂ上に圧電振
動素子１が配置される。これは、圧電振動素子１とケー
ス５の凹部５ａの底面との間に空隙を形成し、それによ
って圧電振動素子１の振動を妨げないようにするためで
ある。特に、図示はしないが、ケース５には、凹部５ａ
を閉成する蓋材が積層される。
に、絶縁性材料よりなるケース５内に収納され、圧電振
動部品として構成される。ケース５には、圧電振動素子
１を収納するための凹部５ａが形成されている。また、
ケース５には、斜線のハッチングを付して示す部分に電
極が形成されている。該ケース５では、中間高さ位置に
支持部５ｂが形成されており、該支持部５ｂ上に圧電振
動素子１が配置される。これは、圧電振動素子１とケー
ス５の凹部５ａの底面との間に空隙を形成し、それによ
って圧電振動素子１の振動を妨げないようにするためで
ある。特に、図示はしないが、ケース５には、凹部５ａ
を閉成する蓋材が積層される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３の
ケース５を用いて部品を製作しようとすると、圧電振動
素子の挿入や導電ペーストによる接合等の非常に煩雑な
作業を強いられるという問題があった。他方、圧電振動
素子１の上面及び下面に直接にケース基板を貼り合わせ
て値部品とすれば、上記のような煩雑な作業を省略する
ことができる。
ケース５を用いて部品を製作しようとすると、圧電振動
素子の挿入や導電ペーストによる接合等の非常に煩雑な
作業を強いられるという問題があった。他方、圧電振動
素子１の上面及び下面に直接にケース基板を貼り合わせ
て値部品とすれば、上記のような煩雑な作業を省略する
ことができる。
【０００５】しかしながら、図２の圧電振動素子１の幅
寸法Ｗは、圧電振動素子１の共振周波数によってかなり
変動している。例えば、６．０ＭＨｚの共振周波数を有
するものでは、幅寸法Ｗは０．９ｍｍであり、４．０Ｍ
Ｈｚのものでは、幅寸法Ｗは０．９５ｍｍであり、３．
０ＭＨｚのものでは、幅寸法Ｗは１．２０ｍｍである。 従って、圧電振動素子の上下面に直接ケース基板を貼り
合わせて積層しようとすると、共振周波数によって幅寸
法の異なる部品しか得られないことになり、部品寸法の
統一を果たすことができず、また、種々の幅寸法のケー
ス基板を用意しなければならない。
寸法Ｗは、圧電振動素子１の共振周波数によってかなり
変動している。例えば、６．０ＭＨｚの共振周波数を有
するものでは、幅寸法Ｗは０．９ｍｍであり、４．０Ｍ
Ｈｚのものでは、幅寸法Ｗは０．９５ｍｍであり、３．
０ＭＨｚのものでは、幅寸法Ｗは１．２０ｍｍである。 従って、圧電振動素子の上下面に直接ケース基板を貼り
合わせて積層しようとすると、共振周波数によって幅寸
法の異なる部品しか得られないことになり、部品寸法の
統一を果たすことができず、また、種々の幅寸法のケー
ス基板を用意しなければならない。
【０００６】本発明の目的は、共振周波数が異なる場合
であっても、一定の部品寸法のチップ型圧電振動部品を
容易に構成し得る圧電振動素子を提供することにある。
であっても、一定の部品寸法のチップ型圧電振動部品を
容易に構成し得る圧電振動素子を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、矩形の圧電基
板の両主面に、該圧電基板の中央領域で圧電基板を介し
て表裏対向するように第１，第２の振動電極が形成され
ており、かつ厚みすべり振動モードを利用した圧電振動
素子において、前記圧電基板の第１，第２の振動電極が
対向している領域において、所定距離を隔てて圧電基板
の長さ方向に延びる第１，第２のスリットが形成されて
おり、該第１，第２のスリットで挟まれている部分が振
動領域とされていることを特徴とする圧電振動素子であ
る。
板の両主面に、該圧電基板の中央領域で圧電基板を介し
て表裏対向するように第１，第２の振動電極が形成され
ており、かつ厚みすべり振動モードを利用した圧電振動
素子において、前記圧電基板の第１，第２の振動電極が
対向している領域において、所定距離を隔てて圧電基板
の長さ方向に延びる第１，第２のスリットが形成されて
おり、該第１，第２のスリットで挟まれている部分が振
動領域とされていることを特徴とする圧電振動素子であ
る。
【０００８】
【作用】本発明では、第１，第２のスリットを圧電基板
に形成し、該第１，第２のスリットで挟まれた部分を振
動領域として用いることにより、圧電基板の幅寸法に関
わらず、種々の共振周波数の圧電振動素子を得ることが
可能とされている。すなわち、一定の幅寸法の圧電基板
を用い、第１，第２のスリットが形成される位置、すな
わち第１，第２のスリットの間の距離を選択することに
より、種々の共振周波数の圧電振動素子が得られる。
に形成し、該第１，第２のスリットで挟まれた部分を振
動領域として用いることにより、圧電基板の幅寸法に関
わらず、種々の共振周波数の圧電振動素子を得ることが
可能とされている。すなわち、一定の幅寸法の圧電基板
を用い、第１，第２のスリットが形成される位置、すな
わち第１，第２のスリットの間の距離を選択することに
より、種々の共振周波数の圧電振動素子が得られる。
【０００９】
【実施例の説明】図１は本発明の一実施例の圧電振動素
子を示す斜視図である。圧電振動素子１１は、矩形の圧
電基板１２の両主面に第１，第２の振動電極１３，１４
を形成した構造を有する。第１の振動電極１３は、圧電
基板１２の一方端１２ａから中央領域側に向かって延び
るように形成されており、他方、第２の振動電極１４は
圧電基板１２の他端１２ｂから中央領域に向かって延び
るように形成されている。そして、第１，第２の振動電
極１３，１４は圧電基板１２の中央領域において該圧電
基板１２を介して表裏対向するように配置されている。
子を示す斜視図である。圧電振動素子１１は、矩形の圧
電基板１２の両主面に第１，第２の振動電極１３，１４
を形成した構造を有する。第１の振動電極１３は、圧電
基板１２の一方端１２ａから中央領域側に向かって延び
るように形成されており、他方、第２の振動電極１４は
圧電基板１２の他端１２ｂから中央領域に向かって延び
るように形成されている。そして、第１，第２の振動電
極１３，１４は圧電基板１２の中央領域において該圧電
基板１２を介して表裏対向するように配置されている。
【００１０】本実施例の圧電振動素子１１の特徴は、圧
電基板１２に第１，第２のスリット１５，１６が形成さ
れていることによる。第１，第２のスリット１５，１６
は圧電基板１２を厚み方向に貫通するように形成されて
いる。また、本実施例では、第１，第２のスリット１５
，１６は圧電基板１２の長さ方向に延び、かつ互いに平
行に形成されている。
電基板１２に第１，第２のスリット１５，１６が形成さ
れていることによる。第１，第２のスリット１５，１６
は圧電基板１２を厚み方向に貫通するように形成されて
いる。また、本実施例では、第１，第２のスリット１５
，１６は圧電基板１２の長さ方向に延び、かつ互いに平
行に形成されている。
【００１１】第１，第２のスリット１５，１６が上記の
ように形成されているため、圧電振動素子１１の振動領
域は、第１，第２の振動電極１３，１４が圧電基板１２
を介して重なり合っている領域のうち、第１，第２のス
リット１５，１６で挟まれた部分となる。従って、第１
，第２のスリット１５，１６間の距離を変更することよ
り、種々の共振周波数の圧電振動素子を同一幅寸法Ｗ１
の圧電基板１２を用いて構成することができる。
ように形成されているため、圧電振動素子１１の振動領
域は、第１，第２の振動電極１３，１４が圧電基板１２
を介して重なり合っている領域のうち、第１，第２のス
リット１５，１６で挟まれた部分となる。従って、第１
，第２のスリット１５，１６間の距離を変更することよ
り、種々の共振周波数の圧電振動素子を同一幅寸法Ｗ１
の圧電基板１２を用いて構成することができる。
【００１２】なお、第１，第２のスリット１５，１６は
、図１に示したように平行に形成する必要は必ずしもな
い。また、第１，第２スリット１５，１６の長さは、図
１に示した例に限らない。すなわち、第１，第２のスリ
ット１５，１６は、図示の状態よりも両端が長く延長さ
れていてもよく、或いは第１，第２のスリット１５，１
６の両端が振動電極１３，１４の端縁１３ａ，１４ａと
一致されていてもよい。要するに、圧電基板１２の長さ
方向に沿って両振動電極１３，１４が対向し合っている
領域を貫く長さにさえ形成されておればよい。
、図１に示したように平行に形成する必要は必ずしもな
い。また、第１，第２スリット１５，１６の長さは、図
１に示した例に限らない。すなわち、第１，第２のスリ
ット１５，１６は、図示の状態よりも両端が長く延長さ
れていてもよく、或いは第１，第２のスリット１５，１
６の両端が振動電極１３，１４の端縁１３ａ，１４ａと
一致されていてもよい。要するに、圧電基板１２の長さ
方向に沿って両振動電極１３，１４が対向し合っている
領域を貫く長さにさえ形成されておればよい。
【００１３】次に、図１に示した圧電振動素子１１を用
いてチップ型圧電振動部品を構成した例を図４〜図９を
参照して説明する。図４に示すように、圧電振動素子１
１の上方及び下方にケース材１７，１８を貼り合わせ、
両端面に外部電極１９，２０を形成することにより、チ
ップ型の圧電振動部品２１を得ることができる。この場
合、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である図５から明らか
なように、ケース材１７，１８には、それぞれ、凹部１
７ａ，１８ａが形成されている。凹部１７ａ，１８ａは
、圧電振動素子１１の振動を妨げない空間を設けるため
に形成されている。
いてチップ型圧電振動部品を構成した例を図４〜図９を
参照して説明する。図４に示すように、圧電振動素子１
１の上方及び下方にケース材１７，１８を貼り合わせ、
両端面に外部電極１９，２０を形成することにより、チ
ップ型の圧電振動部品２１を得ることができる。この場
合、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である図５から明らか
なように、ケース材１７，１８には、それぞれ、凹部１
７ａ，１８ａが形成されている。凹部１７ａ，１８ａは
、圧電振動素子１１の振動を妨げない空間を設けるため
に形成されている。
【００１４】なお、外部電極１９，２０は、図示のよう
にチップ型圧電振動部品２１の両端面に成形する必要は
必ずしもない。すなわち、圧電振動素子１１の第１，第
２の振動電極１３，１４を外部に接続し得る限り、圧電
振動部品２１の外表面の適宜の部分に形成され得る。ま
た、図４に示したチップ型圧電振動部品２１では、外部
電極１９，２０を形成することにより、第１，第２の振
動電極１３，１４とケース電極である外部電極１９，２
０とが電気的に接続される。外部電極１９，２０は導電
ペーストを塗布・焼き付ける方法以外に、蒸着またはメ
ッキ等の生産性に優れた方法により形成することができ
る。
にチップ型圧電振動部品２１の両端面に成形する必要は
必ずしもない。すなわち、圧電振動素子１１の第１，第
２の振動電極１３，１４を外部に接続し得る限り、圧電
振動部品２１の外表面の適宜の部分に形成され得る。ま
た、図４に示したチップ型圧電振動部品２１では、外部
電極１９，２０を形成することにより、第１，第２の振
動電極１３，１４とケース電極である外部電極１９，２
０とが電気的に接続される。外部電極１９，２０は導電
ペーストを塗布・焼き付ける方法以外に、蒸着またはメ
ッキ等の生産性に優れた方法により形成することができ
る。
【００１５】上記圧電振動部品２１は、図６に示すマザ
ーの圧電振動素子２２を用いて効率よく生産し得る。マ
ザーの圧電振動素子２２では、圧電母基板２３の両主面
にマザーの振動電極２４，２５が形成されている。そし
て、図６のマザーの圧電振動素子２２に、図７に示すよ
うに複数対の第１，第２のスリット１５，１６を、例え
ばダイシング・ソーを用いて形成する。なお、図７にお
ける一点鎖線Ｂは、個々の圧電振動素子の境界部分を示
すために図示されているものである。
ーの圧電振動素子２２を用いて効率よく生産し得る。マ
ザーの圧電振動素子２２では、圧電母基板２３の両主面
にマザーの振動電極２４，２５が形成されている。そし
て、図６のマザーの圧電振動素子２２に、図７に示すよ
うに複数対の第１，第２のスリット１５，１６を、例え
ばダイシング・ソーを用いて形成する。なお、図７にお
ける一点鎖線Ｂは、個々の圧電振動素子の境界部分を示
すために図示されているものである。
【００１６】次に、図７に示したマザーの圧電振動素子
２２の両主面に、マザーのケース材２６，２７を貼り合
わせる。ケース材２６，２７は、図４に示したケース材
１７，１８を複数個一体化した構造を有する。すなわち
、図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である図９から明らかな
ように、各ケース材２６，２７には、複数の凹部１７ａ
，１８ａが設けられている。従って、図９の一点鎖線Ｄ
に沿って切断することにより、図４に示した圧電振動部
品２１を効率よく得ることができる。
２２の両主面に、マザーのケース材２６，２７を貼り合
わせる。ケース材２６，２７は、図４に示したケース材
１７，１８を複数個一体化した構造を有する。すなわち
、図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である図９から明らかな
ように、各ケース材２６，２７には、複数の凹部１７ａ
，１８ａが設けられている。従って、図９の一点鎖線Ｄ
に沿って切断することにより、図４に示した圧電振動部
品２１を効率よく得ることができる。
【００１７】なお、図７に示した第１，第２のスリット
１５，１６を形成する工程において、第１，第２のスリ
ット１５，１６間の幅を異ならせれば、異なる共振周波
数を有する圧電振動部品を得ることができ、また同一の
圧電母基板２３内において、第１，第２のスリット１５
，１６間の距離を種々異ならせることにより、図９の一
点鎖線Ｄで切断した後に同一圧電母基板から種々の共振
周波数の圧電振動部品を得ることも可能である。
１５，１６を形成する工程において、第１，第２のスリ
ット１５，１６間の幅を異ならせれば、異なる共振周波
数を有する圧電振動部品を得ることができ、また同一の
圧電母基板２３内において、第１，第２のスリット１５
，１６間の距離を種々異ならせることにより、図９の一
点鎖線Ｄで切断した後に同一圧電母基板から種々の共振
周波数の圧電振動部品を得ることも可能である。
【００１８】
【発明の効果】本発明では、矩形の圧電基板の第１，第
２の振動領域が対向している領域において所定距離を隔
てて第１，第２のスリットが形成されて、該第１，第２
のスリットで挟まれた部分が振動領域とされているため
、第１，第２のスリットの幅を変更することにより、同
一幅寸法の圧電基板を用いながら種々の共振周波数の圧
電振動素子を得ることができる。従って、同一形状及び
同一寸法のケースを用いて、チップ型圧電振動部品を製
造することができる。よって、チップ型圧電振動部品の
量産性を大幅に高めることが可能となる。
２の振動領域が対向している領域において所定距離を隔
てて第１，第２のスリットが形成されて、該第１，第２
のスリットで挟まれた部分が振動領域とされているため
、第１，第２のスリットの幅を変更することにより、同
一幅寸法の圧電基板を用いながら種々の共振周波数の圧
電振動素子を得ることができる。従って、同一形状及び
同一寸法のケースを用いて、チップ型圧電振動部品を製
造することができる。よって、チップ型圧電振動部品の
量産性を大幅に高めることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例の圧電振動素子を示す斜視図
である。
である。
【図２】従来の圧電振動素子を示す斜視図である。
【図３】従来の圧電振動素子をチップ型圧電振動部品と
して構成する工程を説明するための斜視図である。
して構成する工程を説明するための斜視図である。
【図４】図１に示した圧電振動素子を用いて構成された
チップ型圧電振動部品を示す斜視図である。
チップ型圧電振動部品を示す斜視図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】圧電母基板の両主面にマザーの振動電極を形成
した状態を示す斜視図である。
した状態を示す斜視図である。
【図７】図６の圧電母基板に第１，第２のスリットを形
成した状態を示す平面図である。
成した状態を示す平面図である。
【図８】マザーの圧電振動素子にケースを貼り合わせた
積層体を示す斜視図である。
積層体を示す斜視図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
１１…圧電振動素子
１２…圧電基板
１３…第１の振動電極
１４…第２の振動電極
１５…第１のスリット
１６…第２のスリット。
Claims (1)
- 【請求項１】 矩形の圧電基板の両主面に、該圧電基
板の中央領域において該圧電基板を介して表裏対向する
ように第１，第２の振動電極が形成されており、かつ厚
みすべり振動モードを利用した圧電振動素子において、
前記圧電基板の第１，第２の振動電極が対向している領
域において、所定距離を隔てて圧電基板の長さ方向に延
びる第１，第２のスリットが形成されており、該第１，
第２のスリットで挟まれた部分が振動領域とされている
ことを特徴とする圧電振動素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4641491A JPH04282911A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 圧電振動素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4641491A JPH04282911A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 圧電振動素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04282911A true JPH04282911A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12746494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4641491A Pending JPH04282911A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 圧電振動素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04282911A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06237141A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品 |
| JPH07154198A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154195A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154197A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023954A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
| JPH0257621B2 (ja) * | 1983-12-26 | 1990-12-05 | Onoda Cement Co Ltd |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP4641491A patent/JPH04282911A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023954A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
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| JPH07154195A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154198A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154197A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
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