JP3454197B2 - 圧電共振子及び圧電共振部品 - Google Patents
圧電共振子及び圧電共振部品Info
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 84
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
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-
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- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー閉込め
型の圧電共振子に関し、より詳細には、エネルギー閉込
め型の圧電振動部と互いに対向し合う一対の容量電極か
らなるコンデンサとを有する圧電共振子、及び該圧電共
振子を用いたチップ型圧電共振部品に関する。
型の圧電共振子に関し、より詳細には、エネルギー閉込
め型の圧電振動部と互いに対向し合う一対の容量電極か
らなるコンデンサとを有する圧電共振子、及び該圧電共
振子を用いたチップ型圧電共振部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＦＭ受信機や携帯電話などの移動体通信
機器の中間周波段において、帯域フィルタとして圧電フ
ィルタが広く用いられている。
機器の中間周波段において、帯域フィルタとして圧電フ
ィルタが広く用いられている。
【０００３】特開平１０−２８４９８５号公報には、上
記のような圧電フィルタの一例が示されている。この従
来の圧電フィルタを、図７及び図８を参照して説明す
る。図７に示すように、この圧電フィルタでは、第１，
第２の圧電基板７１，７２が用いられている。第１の圧
電基板７１の上面には、共振電極７３ａ，７３ｂが、形
成されている。また、第１の圧電基板７１の下面には、
共振電極７３ａ，７３ｂと表裏対向する位置に共通電極
としての共振電極が形成されている。この両主面に形成
された共振電極により厚み縦振動モードを利用したエネ
ルギー閉込め型の圧電振動部が構成されている。
記のような圧電フィルタの一例が示されている。この従
来の圧電フィルタを、図７及び図８を参照して説明す
る。図７に示すように、この圧電フィルタでは、第１，
第２の圧電基板７１，７２が用いられている。第１の圧
電基板７１の上面には、共振電極７３ａ，７３ｂが、形
成されている。また、第１の圧電基板７１の下面には、
共振電極７３ａ，７３ｂと表裏対向する位置に共通電極
としての共振電極が形成されている。この両主面に形成
された共振電極により厚み縦振動モードを利用したエネ
ルギー閉込め型の圧電振動部が構成されている。
【０００４】他方、一方の共振電極７３ｂには、容量電
極７５ａが接続されている。容量電極７５ａは、圧電基
板７１の端縁７１ａに沿うように形成されている。他
方、第２の圧電基板７２の上面には、共通電極としての
共振電極７３ｃが形成されている。また、共振電極７３
ｃには、容量電極７５ｂが電気的に接続されている。容
量電極７５ｂは、圧電基板７２の端縁７２ａに沿うよう
に形成されている。ところで、圧電基板７１と圧電基板
７２とは、同じ電極構造を有する。すなわち、圧電基板
７１の下面には、圧電基板７２の上面に形成されている
電極構造と同じ電極構造が形成されている。逆に、圧電
基板７２の下面には、圧電基板７１の上面に形成されて
いる電極構造と同じ電極構造が形成されている。従っ
て、同じ電極には、同じ参照番号を両圧電基板７１，７
２において用いる。
極７５ａが接続されている。容量電極７５ａは、圧電基
板７１の端縁７１ａに沿うように形成されている。他
方、第２の圧電基板７２の上面には、共通電極としての
共振電極７３ｃが形成されている。また、共振電極７３
ｃには、容量電極７５ｂが電気的に接続されている。容
量電極７５ｂは、圧電基板７２の端縁７２ａに沿うよう
に形成されている。ところで、圧電基板７１と圧電基板
７２とは、同じ電極構造を有する。すなわち、圧電基板
７１の下面には、圧電基板７２の上面に形成されている
電極構造と同じ電極構造が形成されている。逆に、圧電
基板７２の下面には、圧電基板７１の上面に形成されて
いる電極構造と同じ電極構造が形成されている。従っ
て、同じ電極には、同じ参照番号を両圧電基板７１，７
２において用いる。
【０００５】すなわち、この圧電フィルタでは、同じよ
うに構成された第１，第２の圧電基板７１，７２が、共
通電極としての共振電極７３ｃが形成されている側が向
かい合うようにして積層されている。なお、７７〜７９
はスペーサーを示し、各スペーサー７７〜７９の中央に
は圧電振動部の振動を妨げないための開口７７ａ〜７９
ａが形成されている。また、８０，８１は封止基板を示
す。
うに構成された第１，第２の圧電基板７１，７２が、共
通電極としての共振電極７３ｃが形成されている側が向
かい合うようにして積層されている。なお、７７〜７９
はスペーサーを示し、各スペーサー７７〜７９の中央に
は圧電振動部の振動を妨げないための開口７７ａ〜７９
ａが形成されている。また、８０，８１は封止基板を示
す。
【０００６】上記圧電フィルタでは、図８に示す回路構
成が実現されている。すなわち、第１，第２の圧電基板
７１，７２からなる圧電フィルタ部が、中継容量を介し
て電気的に接続されている。この中継容量は、各圧電基
板７１，７２において、容量電極７５ａ，７５ｂ間の静
電容量で構成されている。
成が実現されている。すなわち、第１，第２の圧電基板
７１，７２からなる圧電フィルタ部が、中継容量を介し
て電気的に接続されている。この中継容量は、各圧電基
板７１，７２において、容量電極７５ａ，７５ｂ間の静
電容量で構成されている。
【０００７】上記圧電フィルタでは、図８に示す回路構
成が実現されているが、第１，第２の圧電フィルタ部が
第１，第２の圧電基板７１，７２に分割されており、第
１，第２の圧電基板７１，７２が積層されているので、
実装面積の低減を図ることができる。
成が実現されているが、第１，第２の圧電フィルタ部が
第１，第２の圧電基板７１，７２に分割されており、第
１，第２の圧電基板７１，７２が積層されているので、
実装面積の低減を図ることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、第１，第２
の圧電基板７１，７２を得るにあたっては、従来、図９
に示す圧電基板８２を用意し、該圧電基板８２を分割す
ることにより、第１，第２の圧電基板７１，７２が得ら
れていた。もっとも、実際の製造に際しては、量産性を
高めるために、圧電基板８２をさらに主面と平行な方向
に複数連ねたマザーの圧電基板が用いられている。
の圧電基板７１，７２を得るにあたっては、従来、図９
に示す圧電基板８２を用意し、該圧電基板８２を分割す
ることにより、第１，第２の圧電基板７１，７２が得ら
れていた。もっとも、実際の製造に際しては、量産性を
高めるために、圧電基板８２をさらに主面と平行な方向
に複数連ねたマザーの圧電基板が用いられている。
【０００９】圧電基板８２を図９の一点鎖線Ａ−Ａに沿
って分割することにより、第１，第２の圧電基板７１，
７２が得られる。この場合、分割により圧電基板７１，
７２の容量電極７５ａ，７５ａが形成される。
って分割することにより、第１，第２の圧電基板７１，
７２が得られる。この場合、分割により圧電基板７１，
７２の容量電極７５ａ，７５ａが形成される。
【００１０】しかしながら、上記分割位置がずれた場
合、一方の圧電基板７１に形成される容量電極７５ａ
と、他方の圧電基板７２に形成される容量電極７５ａの
分割線に直交する方向の寸法がばらつくことになる。従
って、圧電基板８２を２分割するにあたっては、圧電基
板８２を高精度に分割しなければならなかった。
合、一方の圧電基板７１に形成される容量電極７５ａ
と、他方の圧電基板７２に形成される容量電極７５ａの
分割線に直交する方向の寸法がばらつくことになる。従
って、圧電基板８２を２分割するにあたっては、圧電基
板８２を高精度に分割しなければならなかった。
【００１１】しかしながら、実際には、圧電基板８２を
高精度に２分割することは困難であり、得られた圧電基
板７１，７２において、容量電極７５ａの寸法がばらつ
かざるを得なかった。そのため、上述した圧電フィルタ
を構成した場合、圧電フィルタのフィルタ特性にばらつ
きが生じがちであった。
高精度に２分割することは困難であり、得られた圧電基
板７１，７２において、容量電極７５ａの寸法がばらつ
かざるを得なかった。そのため、上述した圧電フィルタ
を構成した場合、圧電フィルタのフィルタ特性にばらつ
きが生じがちであった。
【００１２】本発明の目的は、エネルギー閉込め型の圧
電振動部と、圧電板を介して容量電極が対向されたコン
デンサ部とを備える圧電共振子であって、該コンデンサ
部における容量のばらつきが生じがたく、従って、所望
の共振特性やフィルタ特性を高精度に発揮し得る圧電共
振子及び圧電フィルタを提供することにある。
電振動部と、圧電板を介して容量電極が対向されたコン
デンサ部とを備える圧電共振子であって、該コンデンサ
部における容量のばらつきが生じがたく、従って、所望
の共振特性やフィルタ特性を高精度に発揮し得る圧電共
振子及び圧電フィルタを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、エネルギー閉込め型の圧電共振子であって、第１，
第２の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の第１，
第２の主面に形成されており、エネルギー閉込め型の圧
電振動部を構成する第１，第２の共振電極と、前記圧電
基板の第１，第２の主面に形成されており、該圧電基板
を介して重なり合うように配置された第１，第２の容量
電極とを備え、第１，第２の容量電極が圧電基板の第
１，第２の主面において端縁に引き出されており、第１
の容量電極が、圧電基板の上記端縁に引き出されている
部分を除いて該端縁から所定のマージン領域を隔てて後
退されており、かつ前記第１の容量電極の圧電基板端縁
から後退されている部分の外側端縁と、第２の容量電極
の外側端縁との間の前記第１の容量電極が後退されてい
る方向に沿う距離が、圧電基板の厚み以上とされている
ことを特徴とする、圧電共振子が提供される。
ば、エネルギー閉込め型の圧電共振子であって、第１，
第２の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の第１，
第２の主面に形成されており、エネルギー閉込め型の圧
電振動部を構成する第１，第２の共振電極と、前記圧電
基板の第１，第２の主面に形成されており、該圧電基板
を介して重なり合うように配置された第１，第２の容量
電極とを備え、第１，第２の容量電極が圧電基板の第
１，第２の主面において端縁に引き出されており、第１
の容量電極が、圧電基板の上記端縁に引き出されている
部分を除いて該端縁から所定のマージン領域を隔てて後
退されており、かつ前記第１の容量電極の圧電基板端縁
から後退されている部分の外側端縁と、第２の容量電極
の外側端縁との間の前記第１の容量電極が後退されてい
る方向に沿う距離が、圧電基板の厚み以上とされている
ことを特徴とする、圧電共振子が提供される。
【００１４】
【００１５】また、本発明の別の特定の局面によれば、
前記圧電共振子が、エネルギー閉込め型の圧電フィルタ
であり、前記第１の共振電極が、圧電基板の第１の主面
上において、所定のギャップを隔てて形成された一対の
共振電極であり、前記第２の共振電極が、圧電基板の第
２の主面において、第１の主面に形成された一対の第１
の共振電極と表裏対向するように配置された共通電極で
あり、前記第１，第２の容量電極が、第１または第２の
共振電極に電気的に接続されている。
前記圧電共振子が、エネルギー閉込め型の圧電フィルタ
であり、前記第１の共振電極が、圧電基板の第１の主面
上において、所定のギャップを隔てて形成された一対の
共振電極であり、前記第２の共振電極が、圧電基板の第
２の主面において、第１の主面に形成された一対の第１
の共振電極と表裏対向するように配置された共通電極で
あり、前記第１，第２の容量電極が、第１または第２の
共振電極に電気的に接続されている。
【００１６】この場合、好ましくは、上記圧電フィルタ
を構成する２枚の圧電共振子が、互いの圧電振動部の振
動を妨げないように、かつ共通電極同士が対向されるよ
うに積層されている。
を構成する２枚の圧電共振子が、互いの圧電振動部の振
動を妨げないように、かつ共通電極同士が対向されるよ
うに積層されている。
【００１７】本発明の別の特定の局面では、前記圧電基
板において、前記第１，第２の容量電極が表裏対向され
ている部分が未分極とされている。本発明に係るチップ
型圧電部品は、本発明に係る圧電共振子と、前記圧電共
振子の振動を妨げないための空隙を残して前記圧電共振
子の上下に積層された第１，第２のケース基板とを備え
ることを特徴とする。
板において、前記第１，第２の容量電極が表裏対向され
ている部分が未分極とされている。本発明に係るチップ
型圧電部品は、本発明に係る圧電共振子と、前記圧電共
振子の振動を妨げないための空隙を残して前記圧電共振
子の上下に積層された第１，第２のケース基板とを備え
ることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
【００１９】図１は、本発明の一実施例に係る圧電共振
子を示す斜視図である。圧電共振子１は、厚み縦振動モ
ードを利用したエネルギー閉込め型の圧電共振子であ
る。圧電共振子１は、矩形板状の圧電板２を有する。圧
電板２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのよう
な圧電セラミックス、または水晶やＬｉＴａＯ3 などの
圧電単結晶により構成され、圧電セラミックスで構成さ
れている場合、厚み方向に一様に分極処理されている。
子を示す斜視図である。圧電共振子１は、厚み縦振動モ
ードを利用したエネルギー閉込め型の圧電共振子であ
る。圧電共振子１は、矩形板状の圧電板２を有する。圧
電板２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのよう
な圧電セラミックス、または水晶やＬｉＴａＯ3 などの
圧電単結晶により構成され、圧電セラミックスで構成さ
れている場合、厚み方向に一様に分極処理されている。
【００２０】圧電板２の上面２ａの中央には、第１の共
振電極３ａ，３ｂが所定のギャップを隔てて対向配置さ
れている。圧電板２の下面には、共振電極３ａ，３ｂと
圧電板２を介して表裏対向するように共通電極としての
第２の共振電極３ｃが形成されている。
振電極３ａ，３ｂが所定のギャップを隔てて対向配置さ
れている。圧電板２の下面には、共振電極３ａ，３ｂと
圧電板２を介して表裏対向するように共通電極としての
第２の共振電極３ｃが形成されている。
【００２１】圧電板２の上面２ａにおいて、共振電極３
ａは、コーナー部分に形成された引出電極５ａに電気的
に接続されている。共振電極３ｂは、第１の容量電極５
ｂに電気的に接続されている。第１の容量電極５ｂは、
圧電板２の上面２ａにおいて、端縁２ｂに引き出されて
いる引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を有する。すなわち、引出部
５ｂ1 ，５ｂ2 を除いて、第１の容量電極５ｂは、端縁
２ｂからマージン領域２ｃだけ後退されている。第１の
容量電極５ｂの後退されている量、すなわち引出部５ｂ
1 ，５ｂ2 を除いた残りの部分の外側端縁５ｂ3 と、端
縁２ｂとの間の距離を以下、後退距離Ｒとする。
ａは、コーナー部分に形成された引出電極５ａに電気的
に接続されている。共振電極３ｂは、第１の容量電極５
ｂに電気的に接続されている。第１の容量電極５ｂは、
圧電板２の上面２ａにおいて、端縁２ｂに引き出されて
いる引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を有する。すなわち、引出部
５ｂ1 ，５ｂ2 を除いて、第１の容量電極５ｂは、端縁
２ｂからマージン領域２ｃだけ後退されている。第１の
容量電極５ｂの後退されている量、すなわち引出部５ｂ
1 ，５ｂ2 を除いた残りの部分の外側端縁５ｂ3 と、端
縁２ｂとの間の距離を以下、後退距離Ｒとする。
【００２２】他方、圧電板２の下面においては、第２の
共振電極３ｃが、引出電極５ｃ，５ｄ，５ｅに接続され
ている。また、第２の共振電極３ｃには、第２の容量電
極５ｆが接続されている。第２の容量電極５ｆは、圧電
板２の端縁２ｂの下方に位置する端縁２ｄに沿うように
形成されている。第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆが形
成されている領域においては、圧電板２は未分極とされ
ており、かつ第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆ間におい
てコンデンサが構成されている。
共振電極３ｃが、引出電極５ｃ，５ｄ，５ｅに接続され
ている。また、第２の共振電極３ｃには、第２の容量電
極５ｆが接続されている。第２の容量電極５ｆは、圧電
板２の端縁２ｂの下方に位置する端縁２ｄに沿うように
形成されている。第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆが形
成されている領域においては、圧電板２は未分極とされ
ており、かつ第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆ間におい
てコンデンサが構成されている。
【００２３】本実施例の圧電共振子１では、第１，第２
の容量電極５ｂ，５ｆ間で構成されるコンデンサの静電
容量のばらつきが小さいことを、図２を参照して製造方
法を説明することにより明らかにする。
の容量電極５ｂ，５ｆ間で構成されるコンデンサの静電
容量のばらつきが小さいことを、図２を参照して製造方
法を説明することにより明らかにする。
【００２４】圧電共振子１を製造するに際しては、図２
に示すマザーの圧電基板１２を用意する。マザーの圧電
基板１２は、２個の圧電共振子１を、マージン領域２ｃ
を背中合わせにして連ねた形状に相当する。なお、マザ
ーの圧電基板１２では、さらにマージン領域２ｃを連ね
た方向と直交する方向に圧電共振子１が連ねられていて
もよい。
に示すマザーの圧電基板１２を用意する。マザーの圧電
基板１２は、２個の圧電共振子１を、マージン領域２ｃ
を背中合わせにして連ねた形状に相当する。なお、マザ
ーの圧電基板１２では、さらにマージン領域２ｃを連ね
た方向と直交する方向に圧電共振子１が連ねられていて
もよい。
【００２５】マザーの圧電基板１２では、上面及び下面
に、圧電共振子１の上面及び下面の電極構造を２個連ね
た電極構造が構成されている。図１と同じ部分について
は、図２においては同じ参照番号を付することにより、
各電極構造の詳細については、図１を参照して行った説
明を援用することにより省略する。
に、圧電共振子１の上面及び下面の電極構造を２個連ね
た電極構造が構成されている。図１と同じ部分について
は、図２においては同じ参照番号を付することにより、
各電極構造の詳細については、図１を参照して行った説
明を援用することにより省略する。
【００２６】マザーの圧電基板１２を一点鎖線Ｂ−Ｂに
沿って切断することにより、図１に示した圧電共振子１
が２個得られる。この場合、隣合う圧電共振子１，１間
は、マージン領域２ｃを背中合わせにして連ねられてい
る。従って、一点鎖線Ｂ−Ｂで示す切断線が、若干いず
れかの圧電共振子側にずれたとしても、第１の容量電極
５ｂの引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除く部分の面積はほとん
ど変動しない。従って、マザーの圧電基板１２を２分割
することにより得られた各圧電共振子１では、コンデン
サ部の容量ばらつきが生じ難い。
沿って切断することにより、図１に示した圧電共振子１
が２個得られる。この場合、隣合う圧電共振子１，１間
は、マージン領域２ｃを背中合わせにして連ねられてい
る。従って、一点鎖線Ｂ−Ｂで示す切断線が、若干いず
れかの圧電共振子側にずれたとしても、第１の容量電極
５ｂの引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除く部分の面積はほとん
ど変動しない。従って、マザーの圧電基板１２を２分割
することにより得られた各圧電共振子１では、コンデン
サ部の容量ばらつきが生じ難い。
【００２７】なお、マザーの圧電基板１２の下面におい
ては、第２の容量電極５ｆ同士が背中合わせとされてお
り、切断線の位置ずれにより２個の圧電共振子１，１に
おいて第２の容量電極の面積が変動する。しかしなが
ら、各圧電共振子１におけるコンデンサ部の静電容量
は、第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆの対向面積に依存
するので、切断位置がずれたとしても、上記のように得
られる静電容量のばらつきは生じ難い。
ては、第２の容量電極５ｆ同士が背中合わせとされてお
り、切断線の位置ずれにより２個の圧電共振子１，１に
おいて第２の容量電極の面積が変動する。しかしなが
ら、各圧電共振子１におけるコンデンサ部の静電容量
は、第１，第２の容量電極５ｂ，５ｆの対向面積に依存
するので、切断位置がずれたとしても、上記のように得
られる静電容量のばらつきは生じ難い。
【００２８】すなわち、本実施例の圧電共振子１の特徴
は、圧電板２を介して対向されている第１，第２の容量
電極５ｂ，５ｆのうち、第１の容量電極５ｂにおいて、
引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除いてマージン領域２ｃを設け
ることにより、マザーの圧電基板１２から切断するにあ
たっての切断位置のずれによる静電容量のばらつきを低
減したことにある。
は、圧電板２を介して対向されている第１，第２の容量
電極５ｂ，５ｆのうち、第１の容量電極５ｂにおいて、
引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除いてマージン領域２ｃを設け
ることにより、マザーの圧電基板１２から切断するにあ
たっての切断位置のずれによる静電容量のばらつきを低
減したことにある。
【００２９】なお、図３に部分切欠拡大平面図で示すよ
うに圧電板２の端縁２ｂから引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除
く第１の容量電極５ｂの外側端縁５ｂ3 と、第２の容量
電極５ｆの外側端縁、本実施例では圧電板２の端縁２ｄ
との間の距離は、圧電板２の厚み以上とされる。上記距
離を圧電板２の厚み以上とすることにより、加工バラツ
キを考慮しても、静電容量値のバラツキを狙い値の１０
％以下におさえることができる。
うに圧電板２の端縁２ｂから引出部５ｂ1 ，５ｂ2 を除
く第１の容量電極５ｂの外側端縁５ｂ3 と、第２の容量
電極５ｆの外側端縁、本実施例では圧電板２の端縁２ｄ
との間の距離は、圧電板２の厚み以上とされる。上記距
離を圧電板２の厚み以上とすることにより、加工バラツ
キを考慮しても、静電容量値のバラツキを狙い値の１０
％以下におさえることができる。
【００３０】次に、本実施例の圧電共振子を用いたチッ
プ型圧電フィルタを図４〜図６を参照して説明する。本
実施例の圧電フィルタは、チップ型圧電共振部品として
構成される。また、本実施例では、図１に示した圧電共
振子１が２枚積層される。すなわち、第１，第２の圧電
共振子１，１は、共通電極である第２の共振電極３ｃ同
士が向かい合うように積層されている。また、第１，第
２の圧電共振子１間には、スペーサー８が介在されてい
る。スペーサー８には、中央に圧電振動部の振動を妨げ
ないための開口８ａが形成されている。さらに、第１，
第２の圧電共振子１，１の積層方向外側には、スペーサ
ー７，９を介して封止基板１０，１１が積層される。ス
ペーサー７，８にも、圧電振動部の振動を妨げないため
の開口７ａ，９ａが形成されている。
プ型圧電フィルタを図４〜図６を参照して説明する。本
実施例の圧電フィルタは、チップ型圧電共振部品として
構成される。また、本実施例では、図１に示した圧電共
振子１が２枚積層される。すなわち、第１，第２の圧電
共振子１，１は、共通電極である第２の共振電極３ｃ同
士が向かい合うように積層されている。また、第１，第
２の圧電共振子１間には、スペーサー８が介在されてい
る。スペーサー８には、中央に圧電振動部の振動を妨げ
ないための開口８ａが形成されている。さらに、第１，
第２の圧電共振子１，１の積層方向外側には、スペーサ
ー７，９を介して封止基板１０，１１が積層される。ス
ペーサー７，８にも、圧電振動部の振動を妨げないため
の開口７ａ，９ａが形成されている。
【００３１】スペーサー７〜９は、接着剤フィルムを用
いて構成することができる。あるいはスペーサー７〜９
は樹脂フィルムにより構成されてもよく、その場合に
は、絶縁性接着剤を用いて圧電共振子１，１と、封止基
板１０，１１とを接着してもよい。さらに、封止基板１
０，１１の内面側に振動を妨げないための凹部を形成し
た場合には、スペーサー７，９は省略してもよい。
いて構成することができる。あるいはスペーサー７〜９
は樹脂フィルムにより構成されてもよく、その場合に
は、絶縁性接着剤を用いて圧電共振子１，１と、封止基
板１０，１１とを接着してもよい。さらに、封止基板１
０，１１の内面側に振動を妨げないための凹部を形成し
た場合には、スペーサー７，９は省略してもよい。
【００３２】本実施例の圧電フィルタでは、第１，第２
の圧電共振子１，１がそれぞれ、図５（ａ）及び（ｂ）
に示す回路を構成している。従って、図６に示すよう
に、外部電極２２ａ〜２２ｆを形成することにより、第
１，第２の圧電共振子１，１を電気的に接続し、図８に
示した回路構成を実現することができる。
の圧電共振子１，１がそれぞれ、図５（ａ）及び（ｂ）
に示す回路を構成している。従って、図６に示すよう
に、外部電極２２ａ〜２２ｆを形成することにより、第
１，第２の圧電共振子１，１を電気的に接続し、図８に
示した回路構成を実現することができる。
【００３３】なお、上記実施例では、２枚の圧電共振子
１，１を積層し、それによって図８に示したように中継
容量を介して２個の圧電フィルタ部が接続されている圧
電フィルタが構成されているが、本発明は、これに限定
されるものではない。例えば、容量内蔵型圧電発振子に
も本発明を適用することができる。
１，１を積層し、それによって図８に示したように中継
容量を介して２個の圧電フィルタ部が接続されている圧
電フィルタが構成されているが、本発明は、これに限定
されるものではない。例えば、容量内蔵型圧電発振子に
も本発明を適用することができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明に係る圧電共振子では、エネルギ
ー閉込め型の圧電振動部と第１，第２の容量電極を有す
るコンデンサ部が構成されており、第１の容量電極が圧
電板の端縁に引き出されている部分を除いて該端縁から
所定のマージン領域を隔てて後退されており、第１の容
量電極の圧電基板端縁から後退されている部分の外側端
縁と、第２の容量電極の外側端縁との間の距離が、圧電
基板の厚み以上とされているので、マザーの圧電基板に
電極を形成し、マザーの圧電基板を該第１の容量電極が
連なっている部分において切断した場合、切断位置がず
れたとしても、第１，第２の容量電極間で取り出される
静電容量の変化が生じ難い。従って、コンデンサ部の容
量ばらつきが少ない圧電共振子を提供することができ
る。
ー閉込め型の圧電振動部と第１，第２の容量電極を有す
るコンデンサ部が構成されており、第１の容量電極が圧
電板の端縁に引き出されている部分を除いて該端縁から
所定のマージン領域を隔てて後退されており、第１の容
量電極の圧電基板端縁から後退されている部分の外側端
縁と、第２の容量電極の外側端縁との間の距離が、圧電
基板の厚み以上とされているので、マザーの圧電基板に
電極を形成し、マザーの圧電基板を該第１の容量電極が
連なっている部分において切断した場合、切断位置がず
れたとしても、第１，第２の容量電極間で取り出される
静電容量の変化が生じ難い。従って、コンデンサ部の容
量ばらつきが少ない圧電共振子を提供することができ
る。
【００３５】
【００３６】本発明に係る圧電共振子において、第１の
共振電極が、圧電基板の第１の主面上において所定のギ
ャップを隔てて形成された一対の共振電極であり、第２
の共振電極が圧電基板の第２の主面において第１の主面
に形成された一対の第１の共振電極と表裏対向するよう
に配置された共通電極であり、第１，第２の容量電極
が、第１，第２の共振電極に電気的に接続されている場
合には、１つの圧電フィルタ部と、１つのコンデンサ部
とが接続された圧電フィルタを提供することができる。
従って、この圧電フィルタを２個用意し、両者のコンデ
ンサ部同士を電気的に接続することにより、中継容量を
介して２個の圧電フィルタ部が接続された圧電フィルタ
装置を容易に提供することができる。
共振電極が、圧電基板の第１の主面上において所定のギ
ャップを隔てて形成された一対の共振電極であり、第２
の共振電極が圧電基板の第２の主面において第１の主面
に形成された一対の第１の共振電極と表裏対向するよう
に配置された共通電極であり、第１，第２の容量電極
が、第１，第２の共振電極に電気的に接続されている場
合には、１つの圧電フィルタ部と、１つのコンデンサ部
とが接続された圧電フィルタを提供することができる。
従って、この圧電フィルタを２個用意し、両者のコンデ
ンサ部同士を電気的に接続することにより、中継容量を
介して２個の圧電フィルタ部が接続された圧電フィルタ
装置を容易に提供することができる。
【００３７】本発明において、第１，第２の容量電極が
表裏対向されている部分において圧電基板が未分極とさ
れている場合には、第１，第２の容量電極により構成さ
れるコンデンサ部において所望でない圧電振動が生じ難
いので、良好な共振特性を有する圧電共振子を提供する
ことができる。
表裏対向されている部分において圧電基板が未分極とさ
れている場合には、第１，第２の容量電極により構成さ
れるコンデンサ部において所望でない圧電振動が生じ難
いので、良好な共振特性を有する圧電共振子を提供する
ことができる。
【００３８】２枚の圧電共振子を、互いの圧電振動部の
振動を妨げないようにかつ共通電極同士が対向されるよ
うに積層した場合には、共通電極を接地電位に接続する
ことにより、良好なフィルタ特性を有する圧電共振子を
提供することができる。
振動を妨げないようにかつ共通電極同士が対向されるよ
うに積層した場合には、共通電極を接地電位に接続する
ことにより、良好なフィルタ特性を有する圧電共振子を
提供することができる。
【００３９】本発明に係るチップ型圧電共振部品では、
本発明に係る圧電共振子と、該圧電共振子の振動を妨げ
ないための空隙を残して圧電共振子の上下に積層された
第１，第２のケース基板とを備えるので、上記のように
コンデンサ部の容量のばらつきが少ないチップ型圧電共
振部品を構成することができる。
本発明に係る圧電共振子と、該圧電共振子の振動を妨げ
ないための空隙を残して圧電共振子の上下に積層された
第１，第２のケース基板とを備えるので、上記のように
コンデンサ部の容量のばらつきが少ないチップ型圧電共
振部品を構成することができる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る圧電共振子を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】図１に示した圧電共振子を得るのに用いられる
マザーの圧電基板を示す斜視図。
マザーの圧電基板を示す斜視図。
【図３】本発明の一実施例に係る圧電共振子において、
第１の容量電極の外側端縁と圧電板端縁との間の距離を
示す部分拡大平面図。
第１の容量電極の外側端縁と圧電板端縁との間の距離を
示す部分拡大平面図。
【図４】本発明の一実施例に係る圧電共振子を用いたチ
ップ型圧電フィルタを説明するための分解斜視図。
ップ型圧電フィルタを説明するための分解斜視図。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、図４に示したチップ型圧
電フィルタにおける２個の圧電共振子により構成される
各回路構成を示す図。
電フィルタにおける２個の圧電共振子により構成される
各回路構成を示す図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、図４に示したチップ型圧電
フィルタの外観を示す平面図、正面図及び底面図。
フィルタの外観を示す平面図、正面図及び底面図。
【図７】従来の圧電フィルタの一例を説明するための分
解斜視図。
解斜視図。
【図８】図７に示した圧電フィルタにより構成される回
路を示す図。
路を示す図。
【図９】図７に示した圧電フィルタの圧電基板を得るの
に用いられるマザーの圧電基板を示す斜視図。
に用いられるマザーの圧電基板を示す斜視図。
１…圧電共振子
２…圧電板
２ｂ…端縁
２ｃ…マージン領域
２ｄ…端縁
３ａ，３ｂ…第１の共振電極
３ｃ…第２の共振電極としての共通電極
５ｂ…第１の容量電極
５ｂ1 ，５ｂ2 …引出部
５ｆ…第２の容量電極
１２…マザーの圧電基板
２１…チップ型圧電共振部品
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平10−335976（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−284985（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−78011（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−5094（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/00 - 9/215
H03H 9/54 - 9/60
Claims (5)
- 【請求項１】 エネルギー閉込め型の圧電共振子であっ
て、第１，第２の主面を有する圧電基板と、 前記圧電基板の第１，第２の主面に形成されており、エ
ネルギー閉込め型の圧電振動部を構成する第１，第２の
共振電極と、 前記圧電基板の第１，第２の主面に形成されており、該
圧電基板を介して重なり合うように配置された第１，第
２の容量電極とを備え、 第１，第２の容量電極が圧電基板の第１，第２の主面に
おいて端縁に引き出されており、 第１の容量電極が、圧電基板の上記端縁に引き出されて
いる部分を除いて該端縁から所定のマージン領域を隔て
て後退されており、かつ前記第１の容量電極の圧電基板
端縁から後退されている部分の外側端縁と、第２の容量
電極の外側端縁との間の前記第１の容量電極が後退され
ている方向に沿う距離が、圧電基板の厚み以上とされて
いることを特徴とする、圧電共振子。 - 【請求項２】 前記圧電共振子が、エネルギー閉込め型
の圧電フィルタであり、 前記第１の共振電極が、圧電基板の第１の主面上におい
て、所定のギャップを隔てて形成された一対の共振電極
であり、 前記第２の共振電極が、圧電基板の第２の主面におい
て、第１の主面に形成された一対の第１の共振電極と表
裏対向するように配置された共通電極であり、 前記第１，第２の容量電極が、第１または第２の共振電
極に電気的に接続されている、請求項１に記載の圧電共
振子。 - 【請求項３】 前記圧電基板において、前記第１，第２
の容量電極が表裏対向されている部分が未分極とされて
いる、請求項１または２に記載の圧電共振子。 - 【請求項４】 請求項２に記載の２枚の圧電共振子が、
互いの圧電振動部の振動を妨げないように、かつ共通電
極同士が対向されるように積層されていることを特徴と
する、圧電共振子。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の圧電共
振子と、 前記圧電共振子の振動を妨げないための空隙を残して前
記圧電共振子の上下に積層された第１，第２のケース基
板とを備えることを特徴とする、チップ型圧電共振部
品。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24138199A JP3454197B2 (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 圧電共振子及び圧電共振部品 |
| US09/648,526 US6377135B1 (en) | 1999-08-27 | 2000-08-26 | Piezoelectric resonator and piezoelectric resonant element |
| CNB001264869A CN1151601C (zh) | 1999-08-27 | 2000-08-28 | 压电谐振器和压电谐振元件 |
| DE10042184A DE10042184B4 (de) | 1999-08-27 | 2000-08-28 | Piezoelektrischer Resonator und piezoelektrisches Resonanzelement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24138199A JP3454197B2 (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 圧電共振子及び圧電共振部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001068962A JP2001068962A (ja) | 2001-03-16 |
| JP3454197B2 true JP3454197B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=17073448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24138199A Expired - Lifetime JP3454197B2 (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 圧電共振子及び圧電共振部品 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6377135B1 (ja) |
| JP (1) | JP3454197B2 (ja) |
| CN (1) | CN1151601C (ja) |
| DE (1) | DE10042184B4 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001102893A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型電子部品及びチップ型電子部品の実装構造 |
| US8487719B2 (en) | 2008-04-29 | 2013-07-16 | Triquint Semiconductor, Inc. | Bulk acoustic wave resonator |
| US8981874B2 (en) | 2009-03-18 | 2015-03-17 | Nxp, B.V. | Resonator device and method of optimizing a Q-factor |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4045753A (en) * | 1975-05-09 | 1977-08-30 | Toko, Inc. | Ceramic filter |
| DE3038260A1 (de) * | 1980-10-10 | 1982-04-29 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Piezoelektrischer resonator mit integrierten kapazitaeten |
| JPH066175A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-01-14 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
| US5446335A (en) * | 1993-02-19 | 1995-08-29 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Piezoresonator with a built-in capacitor and a manufacturing method thereof |
| JPH10284985A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フィルタ |
| JPH10335976A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-12-18 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電フィルタ |
| JP3709907B2 (ja) * | 1997-05-19 | 2005-10-26 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子及びその製造方法 |
| JPH11168344A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振素子及び圧電共振部品 |
-
1999
- 1999-08-27 JP JP24138199A patent/JP3454197B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-26 US US09/648,526 patent/US6377135B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-28 DE DE10042184A patent/DE10042184B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-28 CN CNB001264869A patent/CN1151601C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1286527A (zh) | 2001-03-07 |
| JP2001068962A (ja) | 2001-03-16 |
| DE10042184A1 (de) | 2001-03-29 |
| CN1151601C (zh) | 2004-05-26 |
| US6377135B1 (en) | 2002-04-23 |
| DE10042184B4 (de) | 2004-04-29 |
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