JPH10284985A

JPH10284985A - 圧電フィルタ

Info

Publication number: JPH10284985A
Application number: JP9083006A
Authority: JP
Inventors: Masao Gamo; 昌夫蒲生
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-04-01
Filing date: 1997-04-01
Publication date: 1998-10-23
Also published as: CN1197327A; CN1127210C; DE19813735A1; DE19813735B4; US6002308A

Abstract

(57)【要約】【課題】引き出し電極などの配線パターンに起因する
不要振動を抑制し、フィルタ特性に優れた圧電フィルタ
を得る。【解決手段】圧電基板１の上面に共振電極３ａ，３ｂ
を形成し、下面に共振電極３ａ，３ｂと対向するように
共通電極３ｃを形成してフィルタ部３を構成してなり、
圧電基板１の上面に引き出し電極を兼ねる容量電極５ｂ
を、下面に容量電極５ｆを形成してフィルタ部３に接続
されたコンデンサを構成してなり、圧電基板１の外周縁
に沿って配置された引き出し電極５ａ，５ｃ〜５ｅを形
成してなる圧電フィルタにおいて、少なくとも一部の引
き出し電極５ａ，５ｃ及び引き出し電極を兼ねる容量電
極５ｂ及びその近傍において圧電基板１を未分極とした
圧電フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー閉じ込
め型の圧電フィルタに関し、より詳細には、圧電基板に
おける分極構造を改良することによりフィルタ特性の向
上が図られている圧電フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＦＭ受信機や携帯電話などの移動体通信
機器の中間周波段において、帯域フィルタとして圧電フ
ィルタが広く用いられている。この種の圧電フィルタの
一例を、図７（ａ）及び（ｂ）に示す。

【０００３】圧電フィルタ５１は、矩形の圧電セラミッ
ク板５２を用いて構成されている。この圧電基板５２
は、破線Ａで囲まれた領域以外の領域において厚み方向
に分極処理されている。

【０００４】また、圧電基板５２には、エネルギー閉じ
込め型のフィルタ部５３，５４と、コンデンサ５５とが
構成されている。フィルタ部５３は、圧電基板５２の上
面に共振電極５３ａ，５３ｂを、圧電基板５２の下面に
共通電極５３ｃを形成することにより構成されている。
共振電極５３ａ，５３ｂは、所定のギャップを隔てて圧
電基板５２の上面において対向されており、かつ共振電
極５３ａ，５３ｂは、共通電極５３ｃと、圧電基板５２
を介して表裏対向されている。

【０００５】フィルタ部５４についても、フィルタ部５
３と同様に構成されており、共振電極５４ａ，５４ｂ及
び共通電極５４ｃを有する。また、中央の破線Ａで囲ま
れている未分極領域には、コンデンサ５５を構成するた
めに、圧電基板５２の上面に容量電極５５ａが形成され
ており、下面に容量電極５５ｂが形成されている。容量
電極５５ａ，５５ｂは、圧電基板５２を介して表裏対向
されている。

【０００６】圧電基板５２の上面には、一方端面５２ａ
に沿うように引き出し電極５６が形成されており、引き
出し電極５６は、共振電極５３ａと電気的に接続されて
いる。また、共振電極５３ｂは、容量電極５５ａと電気
的に接続されており、さらに、容量電極５５ａは共振電
極５４ｂと接続されている。共振電極５４ａは、圧電基
板５２の上面において他方端面５２ｂに沿うように形成
された引き出し電極５７に接続されている。

【０００７】圧電基板５２の下面においては、容量電極
５５ｂが、共通電極５３ｃ，５４ｃに接続されている。
従って、圧電フィルタ５１では、引き出し電極５６，５
７を入出力電極とし、圧電基板５２の下面に形成されて
いる容量電極５５ｂ及び共通電極５３ｃ，５４ｃをアー
ス電位に接続することにより、図８に示す回路構成を有
する２重モード圧電フィルタとして動作させることがで
きる。

【０００８】なお、圧電基板５２において、破線Ａで囲
まれている領域、すなわち容量電極５５ａ，５５ｂが形
成されている部分及びその近傍を未分極としているの
は、コンデンサ５５におけるｔａｎδを小さくするため
である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】圧電フィルタ５１にお
いては、圧電基板５２を励振すると共に、フィルタ部５
３，５４の近傍で振動を無理なく減衰させるために、フ
ィルタ部５３，５４を構成している部分及びその近傍に
おいて分極されていることが必須不可欠である。他方、
コンデンサ５５を構成している部分では、上記のように
ｔａｎδを小さくするために、圧電基は５２を未分極と
することが望ましい。

【００１０】しかしながら、圧電フィルタ５１では、圧
電基板５２の引き出し電極５６，５７が形成されている
部分についても、圧電基板５２が分極処理されているた
め、電極の引きまわし方によって、所望でない不要振動
がフィルタ特性上に表れるという問題があった。

【００１１】本発明の目的は、圧電基板上の電極パター
ンに起因する不要振動を抑制することができ、従って、
フィルタ特性に優れた圧電フィルタを提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、エネルギー閉じ込め型の圧電フィルタであって、第
１，第２の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の第
１の主面に形成されており、かつ所定のギャップを隔て
て形成された第１，第２の共振電極と、圧電基板の第２
の主面に形成されており、かつ第１，第２の共振電極と
表裏対向するように配置された共通電極とを備え、前記
第１，第２の共振電極及び共通電極が形成されている部
分が励振部とされており、第１，第２の主面において圧
電基板の端縁に至るように端縁近傍に形成されており、
かつ第１，第２の共振電極及び共通電極の何れかに接続
されている複数の引き出し電極をさらに備え、前記複数
の引き出し電極のうち少なくとも１つの引き出し電極及
びその近傍の領域において圧電基板が未分極とされてい
ることを特徴とする。従って、複数の引き出し電極のう
ち少なくとも１つの引き出し電極及びその近傍の領域に
おいて圧電基板が未分極とされているため、該未分極と
されている領域に設けられている引き出し電極に起因す
る不要振動を抑制することができ、良好なフィルタ特性
を得ることができる。

【００１３】また、請求項２に記載の発明では、異なる
電位に接続されている少なくとも２つの引き出し電極及
びその近傍の領域において、前記圧電基板が未分極とさ
れており、それによって、大きな不要振動を発生する原
因となる異なる電位に接続されている少なくとも２つの
引き出し電極が未分極領域に配置されることになるた
め、引き出し電極に起因する不要振動をより効果的に抑
制することができる。

【００１４】請求項３に記載の発明では、第１，第２の
共振電極を結ぶ方向に延びる領域の外側に配置されてい
る引き出し電極及びその近傍において、前記圧電基板が
未分極とされている圧電フィルタである。エネルギー閉
じ込め型の圧電フィルタにおいては、上記第１，第２の
共振電極を結ぶ方向に振動が大きく伝搬し、共振電極が
設けられている部分の共振電極対向方向両側において振
動を無理なく減衰させることが必要である。従って、第
１，第２の共振電極を結ぶ方向に延びる領域は圧電性を
保つ必要があり、他方、該領域の外側の領域は未分極と
されていることが望ましい。よって、請求項３に記載の
発明では、第１，第２の共振電極を結ぶ方向に延びる領
域の外側に配置されている引き出し電極及びその近傍に
おいて、圧電基板が未分極とされており、それによって
第１，第２の共振電極が設けられている部分の特性の劣
化をほとんど生じることなく、引き出し電極に起因する
不要振動の抑制が図られる。

【００１５】請求項４に記載の発明は、前記圧電基板に
おいて、励振部に電気的に接続されるコンデンサを構成
するための第１，第２の容量電極が形成されており、第
１，第２の容量電極が形成されている部分において圧電
基板が未分極とされている圧電フィルタである。すなわ
ち、請求項４に記載の発明では、第１，第２の容量電極
を有するコンデンサが構成されている部分において圧電
基板が未分極とされているため、コンデンサ付きの圧電
フィルタにおいて、コンデンサの容量電極に起因する不
要振動を効果的に抑制することができる。

【００１６】請求項５に記載の発明では、第１，第２の
容量電極が圧電基板を介して表裏対向されており、この
部分において圧電基板が分極されていると大きな不要振
動を発生するが、コンデンサ構成部分において圧電基板
が未分極とされているため、上記不要振動を効果的に抑
制することが可能とされている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の非限定的な実施例に係る圧電フィルタを説明する。

【００１８】図１は、本発明の一実施例に係る圧電フィ
ルタの分解斜視図である。本実施例に係るチップ型圧電
フィルタは、矩形板状の第１，第２の圧電基板１，２を
用いて構成されている。第１，第２の圧電基板１，２
は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電
セラミックスにより構成されており、上述のように、部
分的に未分極部分を有するように厚み方向に分極処理さ
れている。

【００１９】第１の圧電基板１には、厚み縦振動モード
を利用したエネルギー閉じ込め型の第１のフィルタ部
が、第２の圧電基板２には、厚み縦振動モードを利用し
たエネルギー閉じ込め型の第２のフィルタ部が形成され
ており、かつ第１，第２の圧電基板１，２の何れにも中
継容量としてのコンデンサが構成されている。

【００２０】図２を参照して、第１の圧電基板における
電極構造及び分極構造を説明する。なお、図２では、下
面の電極を下方に投影して図示している。圧電基板１の
上面には、一対の共振電極３ａ，３ｂが中央領域におい
て所定の間隔を隔てて対向配置されている。また、圧電
基板１の下面には、共振電極３ａ，３ｂと対向するよう
に共通電極３ｃが形成されている。共振電極３ａ，３ｂ
及び共通電極３ｃにより第１のフィルタ部３が構成され
ている。

【００２１】共振電極３ａは、接続導電部４ａを介して
引き出し電極５ａに接続されている。引き出し電極５ａ
は、圧電基板１の一方の端面１ａに沿うように形成され
ている。共振電極３ｂは、接続導電部４ｂを介して引き
出し電極を兼ねる容量電極５ｂに接続されている。

【００２２】また、圧電基板１の下面においては、共通
電極３ｃが、接続導電部４ｃ，４ｄ，４ｅにより引き出
し電極５ｃ〜５ｅに接続されている。引き出し電極５
ｃ，５ｄは、圧電基板１の端面１ａ，１ｂに沿うように
形成されている。また、引き出し電極５ｅは、圧電基板
１の側面１ｃに沿うように形成されている。また、共通
電極３ｃは、接続導電部４ｆを介して容量電極５ｆに接
続されている。容量電極５ｆは、圧電基板１を介して容
量電極５ｂと対向されている。

【００２３】また、圧電基板１の上面においては、電極
６ａ，６ｂ，６ｃが、それぞれ、端面１ａ，１ｂ及び側
面１ｃの中央近傍に形成されている。電極６ａ〜６ｃ
は、それぞれ、圧電基板１の下面に形成されている引き
出し電極５ｃ〜５ｅと厚み方向に重なる位置に形成され
ており、最終的に、引き出し電極５ｃ〜５ｅと電気的に
接続される。

【００２４】上記圧電基板１の回路構成を図３（ａ）に
示す。図３（ａ）から明らかなように、圧電基板１にお
いては、共振電極３ａ，３ｂ及び共通電極３ｃにより構
成された第１のフィルタ部と、容量電極５ｂ，５ｆによ
り構成されいるコンデンサとを接続した回路が構成され
ている。

【００２５】図１に戻り、圧電基板２は、上下が逆向き
とされていることを除いては、上記圧電基板１と同様に
構成されている。従って、圧電基板２においても、図３
（ｂ）に示すように、フィルタ部と、中継容量部とが接
続された回路構成が実現されている。なお、図１におい
て、第１の圧電基板１の電極と相当する第２の圧電基板
２の電極については、同一の参照番号を付することによ
り、その説明は省略する。

【００２６】図２に示すように、圧電基板１において
は、破線Ｂ，Ｃに囲まれた領域が未分極とされており、
その他の部分が厚み方向に分極処理されている。すなわ
ち、引き出し電極５ａ，５ｅ、容量電極５ｂ，５ｆ及び
電極６ｃが形成されている部分において、圧電基板１が
未分極とされている。従って、圧電基板１に構成された
フィルタ部及びコンデンサを動作させた場合、フィルタ
部３においては、厚み縦振動モードの振動が励振され、
かつ閉じ込められるのに対し、上記未分極領域に設けら
れた引き出し電極５ａ，５ｅ及び容量電極５ｂ，５ｆに
起因する不要振動が効果的に抑制され、それによってフ
ィルタ特性の改善が図られる。上記未分極領域を設けた
効果については、具体的な実験例に基づき後述する。

【００２７】図１に戻り、本実施例のチップ型圧電フィ
ルタでは、第１，第２の圧電基板１，２が、接着剤８を
介して厚み方向に積層され、かつ接着される。さらに、
圧電基板１の上方には、接着剤７を介して外装基板１０
が積層・接着される。同様に、圧電基板２の下方から接
着剤９を介して外装基板１１が積層され、かつ接着され
る。

【００２８】なお、接着剤７〜９は、第１，第２の圧電
基板に構成されている第１，第２のフィルタ部の振動を
妨げないための空間を形成するために、第１，第２のフ
ィルタ部が構成されている部分には塗布されない。従っ
て、図１では、接着剤７〜９のフィルタ部に相当する領
域に開口７ａ〜９ａが形成されているように図示されて
いる。

【００２９】接着剤７〜９は、接合される双方の部材の
一方面に塗布されるが、接合すべき双方の部材に塗布し
ていてもよい。また、接着剤７〜９として、開口７ａ〜
９ａを有するシート状接着剤を用いてもよい。

【００３０】外装基板１０，１１は、アルミナなどの絶
縁性セラミックスもしくは合成樹脂などの適宜の絶縁性
材料で構成することができる。チップ型圧電フィルタ
は、図１に示す各部材をそのままの向きに積層・接着す
ることにより得られるが、得られたチップ型圧電フィル
タにおいては、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、外部
電極が形成される。

【００３１】すなわち、チップ型圧電フィルタ２１にお
いては、側面２１ａ，２１ｂに外部電極２２ａ〜２２ｆ
が形成されている。外部電極２２ａは、第１の圧電基板
１の引き出し電極５ａと接続され、出力側電極として用
いられる。この外部電極２２ａは、チップ型圧電フィル
タ２１の側面２１ａから下面２１ｃに至るように形成さ
れている。

【００３２】外部電極２２ｄは、第１の圧電基板１の引
き出し電極５ａに接続されており、入力側電極として用
いられる。この外部電極２２ｄは、側面２１ｂから下面
２１ｃに至っている。他方、チップ型圧電フィルタ２１
の側面２１ａの中央に形成された外部電極２２ｂは、第
１の圧電基板の電極６ｂ及び第２の圧電基板の引き出し
電極５ｃに接続されている。

【００３３】さらに、チップ型圧電フィルタ２１の下面
２１ｃには、外部電極２３ａが形成されている。この外
部電極２３ａは、上記外部電極２２ｂと外部電極２２ｅ
とを電気的に接続しており、かつ電極延長部２３ｂを有
する。

【００３４】他方、外部電極２２ｃは、第１の圧電基板
１の引き出し電極を兼ねる容量電極５ｂに接続されてお
り、かつチップ型圧電フィルタ２１の下面２１ｃの接続
導電部２３ｃに接続されている。外部電極２２ｅは、第
１の圧電基板１の電極６ａと、第２の圧電基板２の引き
出し電極５ｄを接続しており、かつ下面２１ｃの外部電
極２３ａに接続されている。また、外部電極２２ｆは、
第２の圧電基板２の容量電極５ｂに接続されており、か
つ下面２１ｃの上記接続導電部２３ｃに接続されてい
る。

【００３５】上記電極延長部２３ｂは、外部電極２２
ａ，２２ｄのチップ型圧電フィルタ２１の下面２１ｃに
延びる部分間に延ばされている。すなわち、電極延長部
２３ｂを、入出力用外部電極２２ａ，２２ｄ間に配置す
ることにより、入出力間の分離度が高められている。

【００３６】本実施例のチップ型圧電フィルタ２１は、
上記のように構成されているので、中継容量としてのコ
ンデンサが圧電基板１，２に構成された２個のコンデン
サにより構成されていることを除いては、図８に示した
従来の２重モード圧電フィルタと同様の回路構成を有す
る。

【００３７】本実施例のチップ型圧電フィルタ１では、
上記のように、第１の圧電基板１において、第１のフィ
ルタ部とコンデンサとを構成し、第２の圧電基板におい
て第２のフィルタ部とコンデンサとを構成し、第１，第
２の圧電基板１，２を厚み方向に積層した構造を有する
ため、複数のフィルタ部を横方向に配置した従来の圧電
フィルタ５１（図７参照）に比べて、実装スペースを低
減することができる。

【００３８】また、中継容量部としてのコンデンサにつ
いても、第１，第２の圧電基板１，２に分けて形成され
ているため、かつ圧電基板に形成する容量電極の面積を
小さくすることができるので、その点からも、実装スペ
ースの低減を図り得る。

【００３９】加えて、上記圧電基板１，２において、引
き出し電極５ａ，５ｅ及び容量電極５ｂ，５ｆ及びその
近傍の領域が未分極とされているので、これらの電極に
起因する不要振動を抑制することができ、それによって
フィルタ特性の向上を図り得る。これを、図５及び図６
を参照して説明する。

【００４０】図５は、本実施例の圧電フィルタのフィル
タ特性を示す図であり、図６は、上記圧電基板１，２に
おいて未分極領域を設けなかったことを除いては、上記
実施例と同様に構成された圧電フィルタのフィルタ特性
を示す。

【００４１】図６から明らかなように、圧電基板１，２
全体を厚み方向に分極処理したチップ型圧電フィルタで
は、通過帯域において不要振動が重なっているのに対
し、図５に示す本実施例のチップ型圧電フィルタでは、
通過帯域において不要振動が重なっておらず、従って、
大きな減衰量の得られることがわかる。

【００４２】なお、本実施例のチップ型圧電フィルタで
は、上記圧電基板１において、共振電極３ａ，３ｂを結
ぶ方向に沿った領域の外側に、破線Ｂ，Ｃで囲まれた未
分極領域が構成されている。フィルタ部３においては、
圧電基板１が厚み方向に分極処理されていることが必要
であり、かつ上記共振電極３ａ，３ｂを結ぶ方向に延び
る領域においても、厚み縦振動を閉じ込めるためには、
分極処理されていることが必要である。これに対して、
共振電極３ａ，３ｂを結ぶ方向に延びる領域の外側で
は、圧電基板１は分極されている必要がなく、従って、
本実施例のように共振電極３ａ，３ｂを結ぶ方向に延び
る領域の外側において未分極領域を構成することによ
り、フィルタ部３における振動エネルギーの閉じ込めに
影響を与えることなく、上記引き出し電極や容量電極に
起因する不要振動を効果的に抑制することができる。

【００４３】もっとも、本発明における圧電基板に構成
される未分極領域は、一対の共振電極を結ぶ方向に延び
る領域内において、共振電極３ａ，３ｂの外側に形成さ
れていてもよい。すなわち、圧電基板１において、共振
電極３ａ，３ｂを結ぶ方向において共振電極３ａ，３ｂ
の外側の寸法を大きくすることを厭わないのであれば、
共振電極３ａ，３ｂを結ぶ方向に延びる領域において引
き出し電極及びその近傍を未分極としても、引き出し電
極や容量電極に起因する不要振動を抑制することができ
る。

【００４４】もっとも、小型化を進める観点からは、本
実施例のように、共振電極３ａ，３ｂを結ぶ方向に延び
る領域の外側に配置された引き出し電極及びその近傍を
未分極とすることが望ましい。

【００４５】また、本発明に係る圧電フィルタにおいて
は、圧電基板の端縁に至るように形成されている全ての
引き出し電極を未分極領域に配置してもよい。すなわ
ち、全ての引き出し電極及びその近傍の圧電基板領域を
未分極としてもよい。さらに、コンデンサを構成する容
量電極５ｂ，５ｆについても、必ずしも、図２に示した
ように、圧電基板１の端縁に沿うように形成せずともよ
い。

【００４６】また、第１，第２の実施例では、第１，第
２のフィルタ部がコンデンサを介して接続されていた
が、本発明に係るチップ型圧電フィルタは、複数のフィ
ルタ部を有する構成に限定されるものではなく、１個の
フィルタ部のみを有する圧電フィルタであってもよく、
また、１つ以上の圧電フィルタ部が、第１，第２のフィ
ルタ部に加えてさらに必要に応じてコンデンサを介して
接続されていてもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る圧電フィル
タでは、複数の引き出し電極のうち少なくとも１つの引
き出し電極及びその近傍の領域において圧電基板が未分
極とされているので、引き出し電極に起因する不要振動
を抑制することができ、従って、フィルタ特性に優れた
圧電フィルタを提供することが可能となる。従って、１
つの圧電基板に複数のフィルタ部を構成してなる圧電フ
ィルタや、フィルタ部が構成された複数の圧電基板を積
層してなる圧電フィルタなどのように、配線の引きまわ
しが複雑化しがちな圧電フィルタに本発明を適用するこ
とにより、引き出し電極を含む配線パターンに起因する
不要振動の抑制を効果的に図ることができる。よって、
本発明は、上記のような複雑な構造の圧電フィルタに好
適に用いることができ、配線の複雑な圧電フィルタにお
けるフィルタ特性を効果的に改善することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るチップ型圧電フィルタ
の分解斜視図。

【図２】実施例の圧電フィルタに用いられている圧電基
板の電極構造を説明するための略図的斜視図。

【図３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、第１，第２の
圧電基板に構成されている回路を示す回路図。

【図４】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本発明の一実施
例に係るチップ型圧電フィルタの平面図、側面図及び底
面図。

【図５】本発明の一実施例のチップ型圧電フィルタのフ
ィルタ特性を示す図。

【図６】圧電基板全体を分極したことを除いては実施例
と同様にして構成されたチップ型圧電フィルタのフィル
タ特性を示す図。

【図７】（ａ）及び（ｂ）は、従来の圧電フィルタを説
明するための平面図及び底面図。

【図８】図７に示した圧電フィルタの回路構成を示す回
路図。

【符号の説明】

１，２…第１，第２の圧電基板３…フィルタ部３ａ，３ｂ…共振電極３ｃ…共通電極５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｅ…引き出し電極５ｂ…引き出し電極を兼ねる容量電極５ｆ…容量電極Ｂ，Ｃ…未分極領域を示す破線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】エネルギー閉じ込め型の圧電フィルタで
あって、第１，第２の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板の第１の主面に形成されており、かつ所定
のギャップを隔てて形成された第１，第２の共振電極
と、圧電基板の第２の主面に形成されており、かつ第１，第
２の共振電極と表裏対向するように配置された共通電極
とを備え、前記第１，第２の共振電極及び共通電極が形成されてい
る部分が励振部とされており、第１，第２の主面において圧電基板の端縁に至るように
端縁近傍に形成されており、かつ第１，第２の共振電極
及び共通電極の何れかに接続されている複数の引き出し
電極をさらに備え、前記複数の引き出し電極のうち少なくとも１つの引き出
し電極及びその近傍の領域において圧電基板が未分極と
されていることを特徴とする、圧電フィルタ。
【請求項２】異なる電位に接続されている少なくとも
２つの引き出し電極及びその近傍の領域において、前記
圧電基板が未分極とされている、請求項１に記載の圧電
フィルタ。
【請求項３】第１，第２の共振電極を結ぶ方向に延び
る領域の外側に配置されている引き出し電極及びその近
傍において、前記圧電基板が未分極とされている、請求
項１または２に記載の圧電フィルタ。
【請求項４】前記圧電基板において、励振部に電気的
に接続されるコンデンサを構成するための第１，第２の
容量電極が形成されており、第１，第２の容量電極が形
成されている部分において圧電基板が未分極とされてい
る、請求項１〜３の何れかに記載の圧電フィルタ。
【請求項５】前記第１，第２の容量電極が、圧電基板
を介して表裏対向するように形成されている、請求項４
に記載の圧電フィルタ。