JP3755564B2 - 圧電共振部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電共振子や圧電フィルタとして用いられる圧電共振部品及びその製造方法に関し、より詳細には、エネルギー閉じ込め型圧電振動部が構成された圧電基板の両面に接着剤層を介して外装基板が接合されてなる圧電共振部品及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
エネルギー閉じ込め型の圧電共振部品では、圧電基板に部分的に圧電振動部が形成されている。従って、該圧電振動部の振動を妨げないようにして、該圧電振動部を封止する必要がある。
【0003】
上記のようなエネルギー閉じ込め型の圧電共振部品の一例が、特開平8−335844号に開示されている。この先行技術に記載の圧電共振部品を図4及び図5を参照して説明する。
【0004】
圧電共振部品51では、圧電基板52の上下に外装基板53,54が積層されている。圧電基板52及び外装基板53,54からなる積層体の外側面には、外部電極55,56,57が形成されている。
【0005】
図5に示されているように、圧電基板52には、部分的にかつ圧電基板52を介して表裏対向するように励振電極を形成することにより、圧電振動部52a,52bが構成されている。圧電振動部52a,52bの振動を妨げないための空隙を確保するために、外装基板53,54は、貫通孔を有する接着剤層を介して接着されている。
【0006】
もっとも、圧電共振部品51では、接着剤層は、外装基板53,54側に配置される第1層58,59と、圧電基板52側に配置される第2層60,61とを積層した構造を有する。第1層58,59は、ショア硬さがD60以下の柔らかい接着剤からなり、第2層60,61がショア硬さがD60を超える硬い接着剤からなる。また、第1層58,59及び第2層60,61には、それぞれ、貫通孔58a〜61aが形成されている。
【0007】
圧電共振部品51では、接着剤層が第1層58,59及び第2層60,61を積層した構造を有するため、硬い接着剤からなる第2層により振動空間が確保されると共に、良好なダンピング効果を得ることができるとされている。また、プリント回路基板実装時の熱等により外装基板53,54が膨張もしくは収縮したとしても、該膨張や収縮に起因する応力が柔らかい接着剤からなる第1層58,59により緩和され、半田付け後や湿中保持状態における周波数特性の変化を抑制し得るとされている。
【0008】
なお、柔らかい接着剤からなる第1層58,59において、外周縁に向かって開いた切欠58b,59bが形成されているのは、外部電極55〜57の断線を防止するためである。すなわち、柔らかい接着剤からなる第1層58,59を外装基板53,54の片面に塗布した場合、接着剤が柔らかいため外装基板53の外周縁から積層体の側面上に滲みだす恐れがある。このような滲み出しが生じると、薄膜形成法や導電ペーストの塗布・硬化などにより外部電極55〜57を形成した場合に、外部電極55〜57に断線が生じがちとなる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、圧電共振部品51の製造に際しては、まず、平坦な外装基板53,54の片面に柔らかい接着剤からなる第1層58,59を形成する。しかしながら、ショア硬さD60以下の接着剤の硬化前の粘度は一般に、1.5×105 mPas(25℃)以下である。従って、上記切欠58b,59bを有するように塗布したとしても、該切欠内58b,59bに接着剤が至り、甚だしき場合には、外部電極が形成される端縁部分に滲み出し、やはり外部電極の断線が生じがちであった。
【0010】
このような問題を解決するには、ショア硬さD60以下であり、かつ硬化前の粘度が3.0×105 mPas(25℃)以上の接着剤を用いればよいと思われるが、そのような接着剤の入手は困難であった。
【0011】
また、上記圧電共振部品51の製造に際しては、硬い接着剤からなる第2層60,61を形成するに際し、硬い接着剤が第1層58,59上に塗布される。この場合、第1層58,59には切欠58b,59bが形成されているので、最終的に得られた積層体において、第2層60,61に凹みが生じる。言い換えれば、上述した積層体の外部電極が形成される側面において、外部電極が形成される部分と形成されない部分とで接着剤層の厚みが異なることになるので、積層体側面に隙間が生じ、それによっても外部電極55〜57が断線することがあった。
【0012】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、圧電振動部の振動を妨げないための空隙を確実に確保でき、リフロー半田付け時等の温度変化に起因する応力が加わったとしても該応力を緩和することができ、かつ周波数特性の変化が生じ難いだけでなく、接着剤層に起因する外部電極の断線が生じ難い、信頼性に優れた圧電共振部品及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本願の第1の発明に係る圧電共振部品は、対向し合う第1,第2の主面に励振電極が形成された圧電基板と、前記圧電基板の第1,第2の主面にそれぞれ積層された第1,第2の外装基板と、前記圧電基板の第1,第2の主面と第1,第2の外装基板をそれぞれ接合している第1,第2の接着剤層と、前記圧電基板、第1,第2の外装基板及び第1,第2の接着剤層からなる積層体の側面に形成された複数の外部電極とを備え、前記第1,第2の接着剤層が、硬化後のショア硬さがD60以下の柔らかい接着剤からなり、積層体側面の外部電極形成部分には露出しないように積層体側面部分に開いた切欠が設けられた第1層と、硬化後のショア硬さがD60を超える硬い接着剤からなる第2層と、硬化後のショア硬さがD60を超え、かつ硬化前の25℃における粘度が3.0×105 mPas以上の接着剤からなり、かつ前記第1層の切欠内に構成されており、前記積層体の外部電極が形成される側面部分と前記第1層との間に配置された第3層とを有し、第2層が第1層及び第3層に積層されていることを特徴とする。
【0014】
本発明に係る圧電共振部品では、好ましくは、前記外装基板側に接着剤層の第1層及び第3層が配置されており、かつ圧電基板側に第2層が配置されている。
【0015】
本発明に係る圧電共振部品は、圧電共振子や圧電フィルタなどの様々な圧電共振部品に適用することができるが、本発明の特定の局面では、圧電基板に複数の励振電極が形成され、それによって圧電フィルタが構成される。
【0016】
本願の第2の発明は、請求項1に記載の圧電共振部品の製造方法であって、前記第1,第2の外装基板の一方主面上に、前記第1,第2の接着剤層のうち第3層を形成する工程と、第3層を形成した後に、第3層が形成されていない領域に前記第1層を形成する工程と、前記第3層及び第1層を形成した後に、第2層を介して前記圧電基板と、前記第1,第2の外装基板とを接着する工程とを備えることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を挙げることにより、本発明を明らかにする。
【0018】
図1は、本発明の一実施例に係る圧電共振部品の外観を示す斜視図であり、図2はその分解斜視図である。
圧電共振部品1では、圧電基板2の両面に第1,第2の外装基板3,4が第1,第2の接着剤層5,6を介して接着されている。圧電基板2、第1,第2の外装基板3,4及び第1,第2の接着剤層5,6により積層体7が構成されている。
【0019】
積層体7の上面、両側面及び下面を巻回するように、第1〜第3の外部電極8〜10が形成されている。
図2に示すように、圧電基板2は、矩形板状の形状を有し、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスまたは水晶などの圧電単結晶により構成されている。
【0020】
圧電基板2には、エネルギー閉じ込め型の第1,第2の圧電振動部11,12が構成されている。すなわち、圧電振動部11は、圧電基板2の上面に形成された励振電極13,14と、励振電極13,14と表裏対向するように圧電基板2の下面に形成された共通励振電極15とを有する。同様に、圧電振動部12は、圧電基板2の上面に形成された一対の励振電極16,17と、励振電極16,17と圧電基板2を介して対向された共通励振電極18とを有する。
【0021】
また、励振電極13が、入力側の引出電極19に電気的に接続されている。引出電極19は、圧電基板2の一方端縁近傍において、圧電基板2の両側面と上面とがなす両側縁に至るように形成されている。同様に、第2の圧電振動部12の励振電極16が、圧電基板2の他方端部側において側面と上面とのなす両側縁に至るように形成された引出電極20に電気的に接続されている。
【0022】
また、励振電極14と励振電極17とが圧電基板2の上面中央に形成された容量電極21に電気的に接続されている。容量電極21は、圧電基板2の下面中央に形成されたアース電極22と表裏対向されている。アース電極22には、励振電極15,18が電気的に接続されている。アース電極22は、容量電極21と表裏対向されているだけでなく、圧電基板2の下面において、圧電基板2の両側面と下面とのなす端縁に至るように形成されている。
【0023】
従って、前述した積層体7において、入力側の引出電極19、出力側の引出電極20及びアース電極22が、積層体7の両側面に引き出されており、それぞれ、外部電極8〜10に電気的に接続されている。
【0024】
上記第1,第2の圧電振動部11,12を構成する電極、引出電極19,20、容量電極21及びアース電極22は、圧電基板2の上面及び下面において、導電性材料を付与し、パターニングすることにより形成することができる。導電性材料としては、Al,Ag,Ag−Pdなどの任意の金属材料を用いることができる。
【0025】
圧電基板2は、圧電セラミックスにより構成されている場合、厚み方向に分極処理されている。従って、圧電振動部11,12は、厚み縦振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振ユニットとして機能する。
【0026】
また、圧電基板2には、上記圧電振動部11,12と、容量電極21及びアース電極22で構成されるコンデンサとが形成されており、外部電極8〜10を端子とする3端子型の圧電フィルタが構成されている。
【0027】
本実施例では、圧電振動部11,12の振動を妨げないように、該圧電振動部11,12を封止するために、外装基板3,4及び第1,第2の接着剤層5,6が用いられる。外装基板3,4は、アルミナなどの絶縁性セラミックスあるいは誘電体セラミックスなどのセラミック材料、もしくは合成樹脂などの適宜の材料で構成することができる。すなわち、外装基板3,4は、圧電振動部11,12を封止し得る適宜の絶縁性材料で構成することができる。
【0028】
本実施例の圧電共振部品1の特徴は、外装基板3,4を圧電基板に接着している第1,第2の接着剤層5,6の構造にある。第1,第2の接着剤層5,6の構造を、外装基板3,4を圧電基板2に接着する方法を説明しつつ明らかにする。
【0029】
外装基板3を圧電基板2に接着するに際しては、硬化後のショア硬さがD60を超え、かつ硬化前の25℃における粘度が3.0×105 mPas以上の接着剤、例えば加熱硬化型エポキシ系接着剤を外装基板3の下面に塗布し、第3層23を形成する。第3層23は、外装基板3の下面において、外部電極8〜10が形成される側面と下面とのなす端縁に至るように形成されている。また、図2から明らかなように、第3層23は、外装基板3の下面において部分的に形成されている。
【0030】
次に、第3層23を形成した後に、硬化後のショア硬さがD60以下の柔らかい接着剤、例えば加熱硬化型エポキシ系接着剤を外装基板3の下面に塗布し、第1層24を形成する。この場合、第1層24を構成する接着剤は、圧電振動部11,12の振動を妨げないための空隙を確保するために、貫通孔24a,24aを有するように塗布される。また、第3層23が形成されている領域を除いて、すなわち切欠も24bを有するように第1層24が形成される。第1層24を構成する接着剤は、ショア硬さD60以下と柔らかいため、図2に斜視図で示すような形状に塗布したとしても、塗布領域外縁から外側に滲みがちである。しかしながら、本実施例の圧電共振部品では、予め第3層が形成されており、第3層を構成している接着剤の硬化前の粘度が3.0×105 mPas以上であるため、第1層を構成している接着剤の滲みを防止することができる。すなわち、第1層24を構成している接着剤が、外部電極8〜10が形成される側面と外装基板3の下面とのなす端縁に至ることを確実に防止することができる。
【0031】
次に、第1層24を形成した後に、硬化後のショア硬さがD60を超える硬い接着剤からなる第2層25を形成する。第2層25を構成する接着剤としては、例えば加熱硬化型エポキシ系接着剤を用いることができる。第1層24の形成に際しては、圧電振動部11,12の振動を妨げないために、貫通孔25a,25aを有するように接着剤を塗布する。また、第2層25は、貫通孔25a,25aが形成されている部分を除いては、圧電基板2の上面の全面を覆うように付与される。
【0032】
外装基板4と圧電基板2の接着に際しても、同様に、まず、外装基板4の上面に第3層23を形成し、次に第1層24を形成し、最後に第2層25を形成する。
【0033】
すなわち、本実施例では、第1,第2の接着剤層5,6は、上述した第1層24、第2層25及び第3層23を複合化させた構造を有する。この場合、第1層24は、第3層23が形成されていない部分において、貫通孔24aを有するように形成される。従って、第2層25は、第1層24及び第3層23に積層されることになる。
【0034】
よって、硬化後の第1層24の厚みを硬化後の第3層23の厚みとほぼ等しくしておけば、第2層25の厚みを均一化すれば、外装基板3,4と圧電基板2との間の接着剤層の厚みを全体として均一化することができる。
【0035】
もっとも、第1層24の硬化後の厚みは、必ずしも第3層23の硬化後の厚みと等しくする必要はない。すなわち、第1層24は柔らかいため、第1層24の硬化後の厚みが第3層23の硬化後の厚みよりも若干大きいとしても、外装基板3,4と圧電基板2を接着した後には、第1層24が厚みを低下するように圧縮応力を受ける。従って、外装基板3,4と圧電基板2との間の接着剤層の厚みをほぼ均一にすることができる。
【0036】
本実施例の圧電共振部品1では、硬化後のショア硬さがD60を超える硬い接着剤からなる第2層25の存在により、従来例と同様に、不要振動を確実にダンピングすることができると共に、圧電振動部11,12の上下に圧電振動部11,12の振動を妨げないための空間を確実に確保することができる。
【0037】
また、柔らかい第1層24が第2層25と外装基板3,4との間に存在するので、プリント回路基板実装時の熱等により外装基板3,4が膨張もしくは収縮したとしても、膨張や収縮に起因する応力が第1層24により緩和される。従って、半田付け後や湿中保持状態における周波数特性の変化を抑制することができる。
【0038】
加えて、第1層24を構成する接着剤の塗布に先立って、第3層23が形成されているので、上述したように第1層24の滲み出しによる外部電極8〜10の断線が生じ難い。
【0039】
さらに、第3層23が形成されている部分を除いて第1層24が形成されているので、接着剤層5,6の厚みが均一化され、それによっても外部電極8〜10の断線を抑制することができる。
【0040】
また、第3層23が積層体7の側面のうち外部電極8〜10が形成される部分に露出するが、第3層23は硬化後のショア硬さがD60を超えているので、外部電極8〜10の断線を引き起こし難い。
【0041】
なお、第2層25を構成する接着剤と、第3層23を構成する接着剤は、上述したショア硬さ及び粘度を満足する限り、同じ種類の接着剤であってもよい。すなわち、第2層を構成する接着剤25は、25℃における粘度が3.0×105 mPas以下であってもよく、以上であってもよい。
【0042】
なお、本発明において、第3層23を構成する接着剤の25℃における粘度を3.0×105 mPas以上としたのは、3.0×105 mPas未満の粘度の接着剤を用いた場合には、第3層23を正確にその形状となるように塗布することが困難であり、第3層23が他の部分に流れ出し、外部電極8〜10の断線を引き起こす恐れがあるからである。これを、図3を参照して説明する。
【0043】
図3は、接着剤の粘度と、接着剤塗布後の接着剤流れ量との関係を示す図である。硬化後のショア硬さがD60を超える接着剤として、50μmの厚みとなるように25℃の温度で塗布し、その形状外周縁から外側に接着剤が流れる量を測定した。その結果、図3から明らかなように、25℃における粘度が3.0×105 mPas未満の接着剤を用いると、接着剤流れ量が著しく大きくなり、第3層23を形成したとしても、積層体側面に接着剤が滲み、外部電極8〜10の断線の生じることがわかる。これに対して、25℃における粘度が3.0×105 mPas以上の接着剤を用いた場合には、接着剤流れ量が0.3mm以下に抑制されるので、外部電極が形成される側面部分への接着剤の滲みを抑制することができ、かつ第2層25の形成前に、第3層23を所望の形状となるように確実に形成し得ることがわかる。
【0044】
【発明の効果】
本願の第1の発明に係る圧電共振部品によれば、第1,第2の外装基板と圧電基板とを接着している第1,第2の接着剤層が、上記第1層、第2層及び第3層を有するように構成されている。従って、第1層が柔らかいので、外装基板の収縮や膨張が生じたとしても、該収縮や膨張に起因する応力を確実に緩和することができ、それによって特性の変動を確実に抑制することができる。また、第1層は柔らかいが、積層体側面の外部電極形成部分には露出しないように形成されているので、第1層を構成している接着剤の滲みによる外部電極の断線が生じ難い。
【0045】
さらに、2層が硬いので、第2層の存在により、圧電基板に形成された励振電極により構成される圧電振動部による共振特性やフィルタ特性を確実に果たさせることができると共に、確実に不要振動を効果的にダンピングすることができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることができる。
【0046】
さらに、25℃における粘度が3.0×105 mPas以上の接着剤からなり、硬化後のショア硬さがD60を超える接着剤からなる第3層が積層体の外部電極が形成される側面部分と上記第1層との間に配置されているので、予め第3層を形成し、次に第1層を形成した場合、第3層を正確な形状に塗布することができると共に、第1層の滲み出しを効果的に抑制することができる。また、第3層自体は、上記のように粘度が高いので、積層体の外部電極が形成される側面に流出し難い。加えて、第1層及び第3層に対して第2層が積層されるので、積層体側面において接着剤層の厚みの不均一性による隙間が生じ難い。従って、外部電極の断線を確実に抑制することができる。さらに、第1層が積層体の外部電極が形成される側面部分に露出しないように、第1層に積層体側面部分に開いた切欠が形成されており、該切欠内に第3層が構成されているので、第1層を外部電極形成部分と確実に分離することができる。
【0047】
よって、第1の発明によれば、共振特性やフィルタ特性が良好であり、経時による特性変動が生じ難く、かつ外部電極の断線も生じ難いので、信頼性に優れた圧電共振部品を安定に提供することが可能となる。
【0048】
第1の発明において、外装基板側に接着剤層の第1層及び第3層が配置されており、圧電基板側に第2層が配置されている場合、第2層により圧電基板を確実にダンピングすることができ、不要振動の発生を効果的に抑制することができる。
【0050】
本発明に係る圧電共振部品は、様々な圧電共振子や圧電フィルタに適用し得るが、本発明の特定の局面では、上記複数の励振電極が圧電フィルタを構成するように形成され、それによって信頼性に優れた圧電フィルタとしての圧電共振部品が提供される。
【0051】
本発明に係る圧電共振部品の製造方法では、第1,第2の外装基板の一方主面上に第1,第2の接着剤層のうち第3層を形成し、第3層を形成した後に第3層が形成されていない領域に第1層が形成される。第3層が上記のように高粘度の接着剤により構成されているので、第3層を正確に形成することができ、第3層を構成している接着剤の積層体側面への流出も生じ難い。加えて、柔らかい接着剤からなる第1層を形成した場合、第1層を構成している接着剤の流出も第3層により確実に抑制される。また、上記第3層及び第1層を形成した後に、第2層を介して圧電基板と第1,第2の外装基板とが接着されるので、接着剤層に凹凸が生じ難い。従って、積層体側面に隙間が生じ難いので、それによっても外部電極の断線を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る圧電共振部品を説明するための斜視図。
【図2】図1に示した実施例の圧電共振部品を説明するための分解斜視図。
【図3】接着剤の粘度と、接着剤塗布領域外への接着剤流出量との関係を示す図。
【図4】従来の圧電共振部品を示す斜視図。
【図5】従来の圧電共振部品の分解斜視図。
【符号の説明】
1…圧電共振部品
2…圧電基板
3,4…第1,第2の外装基板
5,6…第1,第2の接着剤層
7…積層体
8〜10…外部電極
11,12…圧電振動部
13〜18…励振電極
19,20…引出電極
21…容量電極
22…アース電極
23…第3層
24…第1層
25…第2層
Claims (4)
- 対向し合う第1,第2の主面に励振電極が形成された圧電基板と、
前記圧電基板の第1,第2の主面にそれぞれ積層された第1,第2の外装基板と、
前記圧電基板の第1,第2の主面と第1,第2の外装基板をそれぞれ接合している第1,第2の接着剤層と、
前記圧電基板、第1,第2の外装基板及び第1,第2の接着剤層からなる積層体の側面に形成された複数の外部電極とを備え、
前記第1,第2の接着剤層が、硬化後のショア硬さがD60以下の柔らかい接着剤からなり、積層体側面の外部電極形成部分には露出しないように積層体側面部分に開いた切欠が設けられた第1層と、硬化後のショア硬さがD60を超える硬い接着剤からなる第2層と、硬化後のショア硬さがD60を超え、かつ硬化前の25℃における粘度が3.0×105 mPas以上の接着剤からなり、かつ前記第1層の切欠内に構成されており、前記積層体の外部電極が形成される側面部分と前記第1層との間に配置された第3層とを有し、第2層が第1層及び第3層に積層されていることを特徴とする、圧電共振部品。 - 前記外装基板側に接着剤層の第1層及び第3層が配置されており、かつ圧電基板側に第2層が配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の圧電共振部品。
- 前記複数の励振電極が圧電フィルタを構成している、請求項1または2に記載の圧電共振部品。
- 請求項1に記載の圧電共振部品の製造方法であって、
前記第1,第2の外装基板の一方主面上に、前記第1,第2の接着剤層のうち第3層を形成する工程と、
第3層を形成した後に、第3層が形成されていない領域に前記第1層を形成する工程と、
前記第3層及び第1層を形成した後に、第2層を介して前記圧電基板と、前記第1,第2の外装基板とを接着する工程とを備えることを特徴とする、圧電共振部品の製造方法。
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