JP4073177B2 - 圧電フィルタ - Google Patents

圧電フィルタ Download PDF

Info

Publication number
JP4073177B2
JP4073177B2 JP2001142037A JP2001142037A JP4073177B2 JP 4073177 B2 JP4073177 B2 JP 4073177B2 JP 2001142037 A JP2001142037 A JP 2001142037A JP 2001142037 A JP2001142037 A JP 2001142037A JP 4073177 B2 JP4073177 B2 JP 4073177B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
piezoelectric
filter element
electrode
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001142037A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002344285A (ja
Inventor
昌夫 蒲生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001142037A priority Critical patent/JP4073177B2/ja
Priority to US10/127,476 priority patent/US20020167376A1/en
Priority to CNB021185654A priority patent/CN1178385C/zh
Priority to DE10220875A priority patent/DE10220875A1/de
Publication of JP2002344285A publication Critical patent/JP2002344285A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4073177B2 publication Critical patent/JP4073177B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58Multiple crystal filters
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • H03H9/0561Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement consisting of a multilayered structure
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1035Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電フィルタ、特に2つの3端子フィルタ素子を中継容量を介して縦列接続してなる圧電フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、携帯電話などの移動体通信機器の中間周波段フィルタとして、2つの3端子フィルタ素子を中継容量を介して縦列接続してなる圧電フィルタが用いられている。
図1はその圧電フィルタの回路の一例であり、第1の3端子フィルタ素子1の出力部1aと第2の3端子フィルタ素子2の入力部2aとを接続し、相互に接続された第1の3端子フィルタ素子1の出力部1aおよび第2の3端子フィルタ素子2の入力部2aと、アース部1b,2bとの間に中継容量3を接続したものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような圧電フィルタにおいて、減衰量とともに必要なフィルタ特性として選択度がある。
図1のような回路構成の圧電フィルタの場合、図2にAで示すように、フィルタ波形の選択度があまりよくない。ここでは、帯域中心周波数を10.7MHzに設定した。そこで、選択度を改善するため、図1に破線で示すように、第1の3端子フィルタ素子1の入出力部の間、および第2の3端子フィルタ素子2の入出力部の間に、それぞれ容量Ci,Coを接続したものがある。
【0004】
しかしながら、この場合には、図2にB,Cで示すように、選択度は改善されるものの、帯域外減衰量が劣化するという問題がある。図2のBはCi=Co=5pFとした場合、図2のCはCi=Co=10pFとした場合である。
【0005】
そこで、本発明の目的は、帯域外減衰量を劣化させることなく、選択度を改善することができる圧電フィルタを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、第1の3端子フィルタ素子の出力部と第2の3端子フィルタ素子の入力部とを接続し、上記第1の3端子フィルタ素子のアース部と上記第2の3端子フィルタ素子のアース部とを相互に接続し、相互に接続された第1の3端子フィルタ素子の出力部および第2の3端子フィルタ素子の入力部と、上記相互に接続された2つの3端子フィルタ素子のアース部との間に中継容量を接続してなる圧電フィルタにおいて、いずれか一方の3端子フィルタ素子の入力部と出力部との間に付加容量Caのみを直接接続し、上記付加容量Caの容量値を、上記アース部をオープン状態としたときの第1の3端子フィルタ素子の入力部と第2の3端子フィルタ素子の出力部との間の容量Cbの容量値の1.5倍以下としたことを特徴とする。
【0007】
本発明では、図3に示すように、2つの3端子フィルタ素子F1,F2を中継容量Crを介して縦列接続するとともに、いずれか一方の3端子フィルタ素子(ここでは後段のフィルタ素子F2)の入力部と出力部との間に付加容量Coを接続している。なお、他方の3端子フィルタ素子(ここでは前段のフィルタ素子F1)の入力部と出力部との間には付加容量Ciを接続しない。
【0008】
図4はCi=0,Co=10pFとした時のフィルタ波形を示す。なお、図4には、Ci=Co=0の時のフィルタ波形を併せて記載した。また、帯域中心周波数を10.7MHzに設定した。
図4から明らかなように、付加容量を全く設けない場合(図2のA参照)と同様の良好な帯域外減衰量が得られ、しかも両方の3端子フィルタ素子の入力部と出力部との間に付加容量を接続した場合(図2のB,C参照)と同様の良好な選択度が得られる。
なお、図3では、後段のフィルタ素子F2の入力部と出力部との間に付加容量Coを接続したが、前段のフィルタ素子F1の入力部と出力部との間に付加容量Ciを接続しても、効果は同じである。
【0009】
本発明では、付加容量Caの容量値を、圧電フィルタの入出力間容量Cbの容量値の1.5倍以下としている。
図5は、Ca/Cb=0.7,Ca/Cb=1.5,Ca/Cb=2.3の場合のフィルタ波形を示す。
圧電フィルタの入出力間容量Cbとは、アース部をオープン状態とした時の入力部と出力部との間の容量値のことである。
Ca/Cb>1.5の場合には、付加容量が大き過ぎ、高域側の帯域外減衰量が低下する傾向がある。これに対し、Ca/Cb≦1.5とすれば、低域側および高域側ともに帯域外減衰量が大きく、しかも良好な選択度が得られることがわかる。
【0010】
第1の3端子フィルタ素子は、第1の圧電基板の一方の主面に分割電極が形成され、他方の主面に分割電極と対向する共通電極が形成されたものであり、第2の3端子フィルタ素子は、第2の圧電基板の一方の主面に分割電極が形成され、他方の主面に分割電極と対向する共通電極が形成されたものであり、第1と第2の圧電基板は積層接着され、付加容量は、第1の圧電基板または第2の圧電基板の上であって、その分割電極と導通する端子電極間に形成されているものとしてもよい。
つまり、積層型の圧電フィルタの場合、付加容量をいずれかのフィルタ素子と同じ基板上に形成することによって、小型の圧電フィルタを構成できる。
【0011】
第1の3端子フィルタ素子は、第1の圧電基板の一方の主面に分割電極が形成され、他方の主面に分割電極と対向する共通電極が形成されたものであり、第2の3端子フィルタ素子は、第2の圧電基板の一方の主面に分割電極が形成され、他方の主面に分割電極と対向する共通電極が形成されたものであり、第1と第2の圧電基板が積層接着されるとともに、これら圧電基板の外側に第1,第2のケース基板が積層接着され、第1の圧電基板の外側に接着される第1のケース基板には第1の圧電基板の分割電極と導通する入力用,中継用の端子電極と、第1の圧電基板の共通電極と導通するアース用の端子電極とが形成され、第2の圧電基板の外側に接着される第2のケース基板には第2の圧電基板の分割電極と導通する出力用,中継用の端子電極と、第2の圧電基板の共通電極と導通するアース用の端子電極とが形成され、付加容量は、第1のケース基板の入力用と中継用の端子電極間、または第2のケース基板の出力用と中継用の端子電極間に形成されたものとしてもよい。
すなわち、2枚のフィルタ素子の外側にケース基板を配置し、これら基板を積層接着した構造の圧電フィルタの場合、いずれかのケース基板に付加容量を形成してある。この場合には、表面実装型の圧電フィルタのパッケージに付加容量を形成したので、フィルタ素子に付加容量を形成する場合に比べて、製造が簡単であり、不要振動の発生を抑制できる利点がある。
【0012】
第1または第2のケース基板の表裏面には、中継用の端子電極とアース用の端子電極とが対向して形成され、これら中継用の端子電極とアース用の端子電極との間で中継容量が形成されているものとしてもよい。
つまり、表面実装型の圧電フィルタのパッケージを構成するケース基板に中継容量を形成することで、任意の中継容量値を得ることが可能である。
【0013】
【発明の実施の形態】
図6〜図10は本発明にかかる圧電フィルタの第1実施例を示す。この圧電フィルタはチップ型(表面実装型)に構成されたものである。
この圧電フィルタは、矩形板状の第1,第2の3端子フィルタ素子F1,F2と、これら2個のフィルタ素子F1,F2を相互に接着する枠状の接着剤層Sと、フィルタ素子F1,F2の外側に積層接着された第1,第2のケース基板K1,K2とで構成されている。
【0014】
第1の3端子フィルタ素子F1は、図9に示すように、圧電セラミックスまたは圧電単結晶よりなる圧電基板11の表側主面に所定距離隔てて分割電極12,13が形成され、裏側主面に分割電極12,13と対向する共通電極14が形成されたものであり、これら電極12,13,14によって厚み縦振動を利用したエネルギー閉じ込め型の二重モードフィルタが構成される。なお、図9には裏面に設けられた電極14が投影図として記載されている。一方の分割電極12は圧電基板11の1つの角部に形成された入力用の端子電極12aと接続され、他方の分割電極13は圧電基板11の対角位置にある中継用の端子電極13aと接続されている。共通電極14は、圧電基板11の長辺側の両側面中央部に沿って形成されたアース用の端子電極14aと接続されている。
【0015】
第2の3端子フィルタ素子F2は、図10に示すように、圧電セラミックスまたは圧電単結晶よりなる圧電基板21の裏側主面に所定距離隔てて分割電極22,23が形成され、表側主面に分割電極22,23と対向する共通電極24が形成されたものであり、第1の3端子フィルタF1と同様に、電極22,23,24によって厚み縦振動を利用したエネルギー閉じ込め型の二重モードフィルタが構成される。なお、図10には裏面に設けられた電極22,23が投影図として記載されている。一方の分割電極22は圧電基板21の1つの角部に形成された出力用の端子電極22aと接続され、他方の分割電極23は他の1つの角部に形成された中継用の端子電極23aと接続されている。端子電極23aと端子電極13aとは厚み方向に対応した位置にある。共通電極24は、圧電基板21の長辺側の両側面中央部に沿って形成されたアース用の端子電極24aと接続されている。アース用の端子電極24aとアース用の端子電極14aとは厚み方向に対応する位置に形成されている。
2個のフィルタ素子F1,F2を枠状の接着剤層Sを介して積層接着することで、接着剤層Sの開口部S1により両フィルタ素子F1,F2の間には振動空間が形成される。
【0016】
第1のフィルタ素子F1の外側に接着される第1のケース基板K1は、図11に示すように、セラミックスまたは耐熱性樹脂などの圧電性を有しない絶縁基板よりなり、その内側面には振動空間形成用の凹部31が形成されている。ケース基板K1の表側主面には、アース用の端子電極32と接続された容量電極33が形成されており、裏側主面(凹部31の底面)には上記容量電極33と対向する容量電極34が形成されている。この容量電極34はケース基板K1の2つの角部に形成された中継用の端子電極35と接続されている。また、ケース基板30の裏側主面には、上記容量電極34と近接する容量電極36が形成され、この容量電極36はケース基板K1の残りの1つの角部に形成された入力用の端子電極37と接続されている。
【0017】
図7に示すように、ケース基板K1の表裏対向する容量電極33,34間で中継容量Crが形成され、ケース基板K1の裏面に近接して設けられた容量電極34,36間で付加容量Caが形成される。なお、ケース基板K1の材質としては、フィルタ素子F1,F2の誘電率と同一あるいはこれと近い誘電率を有する材料を用いるのが望ましい。
【0018】
第2のケース基板K2も、第1のケース基板K1と同様に圧電性を有しない絶縁基板よりなり、図12に示すように、ケース基板K2の内側面に振動空間形成用の凹部41が形成されている。ケース基板K2の長手方向の一端部には、両側面から底面へ延びる入力用外部電極42および出力用外部電極43が形成され、長手方向の中央部には、両側面から底面へ延びる一対のアース用外部電極44が形成されている。また、長手方向の他端部には、両側面から底面へ延びる一対の中継用の外部電極45が形成されている。
【0019】
上記外部電極42〜45は、圧電フィルタの長手方向両側面に厚み方向に連続する帯状に形成されている。そのため、フィルタ素子F1の端面に露出した端子電極12aとケース基板K1の端子電極37とが、入力用外部電極42を介して相互に接続されている。また、フィルタ素子F1の端子電極13aとフィルタ素子F2の端子電極23aとケース基板K1の端子電極35とが、中継用外部電極45を介して相互に接続されている。さらに、フィルタ素子F1の端子電極14aと、フィルタ素子F2の端子電極24aと、ケース基板K1の端子電極32とが、アース用外部電極44を介して相互に接続される。また、フィルタ素子F2の端面に露出した端子電極22aは出力用外部電極43と接続される。
その結果、図3に示すように、2個のフィルタ素子F1,F2を中継容量Crを介して縦列接続し、かつ一方のフィルタ素子(ここではF1)の入力部と出力部との間に付加容量Ca(=Ci)を接続した圧電フィルタが得られる。
【0020】
上記実施例では、前段のフィルタ素子F1の入力部と出力部との間に付加容量Ca(=Ci)を接続したが、後段のフィルタ素子F2の入力部と出力部との間に付加容量Ca(=Co)を接続してもよい。
また、ケース基板K1,K2として、内面に凹部31,41を有する基板を用いたが、ケース基板K1,K2とフィルタ素子F1,F2とを枠状の接着剤層Sを用いて接着すれば、凹部31,41を省略することができる。
【0021】
図13は、本発明の圧電フィルタに用いられる3端子フィルタ素子の他の実施例を示す。このフィルタ素子F3は、例えば図8に示す圧電フィルタの第2のフィルタ素子F2に代えて使用される。
フィルタ素子F3は、圧電セラミックスまたは圧電単結晶よりなる圧電基板51の裏側主面に所定距離隔てて形成された分割電極52,53が形成され、表側主面に分割電極52,53と対向する共通電極54が形成されたものであり、電極52,53,54によって厚み縦振動を利用したエネルギー閉じ込め型の二重モードフィルタが構成される。なお、図13には裏面に設けられた電極52,53が投影図として記載されている。一方の分割電極52は圧電基板51の1つの角部に形成された出力用の端子電極52aと接続され、他方の分割電極53は他の1つの角部に形成された中継用の端子電極53aと接続されている。共通電極54は、圧電基板51の長辺側の一方の側面の中央部に沿って形成されたアース用の端子電極54aと接続されている。
【0022】
圧電基板51の長辺側の一方の側面の中央部には、図13に破線で示すように非分極部55が形成されており、この非分極部55には、端子電極52aと53aとから延びる容量電極52b,53bが近接して設けられている。そして、これら容量電極52b,53b間で付加容量Caが形成される。
この実施例の場合には、フィルタ素子F3内に付加容量Caが形成されるので、ケース基板K1における容量電極36および端子電極37を省略することができる。
【0023】
上記実施例では、フィルタ素子として厚み縦振動モードを利用したフィルタ素子を用いたが、これに限らず、厚みすべり振動モードなど、他の振動を利用したフィルタ素子を用いることも可能である。
また、本発明の圧電フィルタは、フィルタ素子とケース基板とを積層したチップ型の圧電フィルタに限るものではない。例えば、ケース基板上に2つのフィルタ素子を搭載し、ケース基板にキャップを封着することにより、フィルタ素子の周囲を封止した構造の圧電フィルタでもよい。
【0024】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に係る発明によれば、2つの3端子フィルタ素子を中継容量を介して縦列接続するとともに、いずれか一方の3端子フィルタ素子の入力部と出力部との間に付加容量を接続したので、帯域外減衰量を劣化させることなく、選択度を改善することができる圧電フィルタを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の圧電フィルタの回路図である。
【図2】従来の圧電フィルタにおけるフィルタ特性図である。
【図3】本発明に係る圧電フィルタの回路図である。
【図4】本発明と従来の圧電フィルタにおけるフィルタ特性の比較図である。
【図5】本発明に係る圧電フィルタにおいて、付加容量値を変化させた場合のフィルタ特性図である。
【図6】本発明に係る圧電フィルタの一例の斜視図である。
【図7】図6のX−X線断面図である。
【図8】図6に示す圧電フィルタの分解斜視図である。
【図9】図6の圧電フィルタに用いられる第1のフィルタ素子の斜視図である。
【図10】図6の圧電フィルタに用いられる第2のフィルタ素子の斜視図である。
【図11】第1のケース基板の平面図および底面図である。
【図12】第2のケース基板の平面図および底面図である。
【図13】本発明に係る第2のフィルタ素子の他の実施例の斜視図である。
【符号の説明】
K1,K2 ケース基板
F1,F2 3端子フィルタ素子
Cr 中継容量
Ci,Co,Ca 付加容量
11,21 圧電基板
12,13,22,23 分割電極
14,24 共通電極
33,34,36 容量電極

Claims (1)

  1. 第1の3端子フィルタ素子の出力部と第2の3端子フィルタ素子の入力部とを接続し、上記第1の3端子フィルタ素子のアース部と上記第2の3端子フィルタ素子のアース部とを相互に接続し、相互に接続された第1の3端子フィルタ素子の出力部および第2の3端子フィルタ素子の入力部と、上記相互に接続された2つの3端子フィルタ素子のアース部との間に中継容量を接続してなる圧電フィルタにおいて、
    いずれか一方の3端子フィルタ素子の入力部と出力部との間に付加容量Caのみを直接接続し、
    上記付加容量Caの容量値を、上記アース部をオープン状態としたときの第1の3端子フィルタ素子の入力部と第2の3端子フィルタ素子の出力部との間の容量Cbの容量値の1.5倍以下としたことを特徴とする圧電フィルタ。
JP2001142037A 2001-05-11 2001-05-11 圧電フィルタ Expired - Lifetime JP4073177B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001142037A JP4073177B2 (ja) 2001-05-11 2001-05-11 圧電フィルタ
US10/127,476 US20020167376A1 (en) 2001-05-11 2002-04-23 Piezoelectric filter
CNB021185654A CN1178385C (zh) 2001-05-11 2002-04-28 压电滤波器
DE10220875A DE10220875A1 (de) 2001-05-11 2002-05-10 Piezoelektrischer Filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001142037A JP4073177B2 (ja) 2001-05-11 2001-05-11 圧電フィルタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002344285A JP2002344285A (ja) 2002-11-29
JP4073177B2 true JP4073177B2 (ja) 2008-04-09

Family

ID=18988405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001142037A Expired - Lifetime JP4073177B2 (ja) 2001-05-11 2001-05-11 圧電フィルタ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20020167376A1 (ja)
JP (1) JP4073177B2 (ja)
CN (1) CN1178385C (ja)
DE (1) DE10220875A1 (ja)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2248776A (en) * 1938-07-28 1941-07-08 Bell Telephone Labor Inc Wave filter
US3633134A (en) * 1969-10-10 1972-01-04 Motorola Inc Crystal band pass filter circuit
CA1041186A (en) * 1976-04-28 1978-10-24 Henry K. Yee Monolithic crystal filters
JP3175116B2 (ja) * 1991-09-26 2001-06-11 株式会社村田製作所 圧電フィルタ
JPH10284985A (ja) * 1997-04-01 1998-10-23 Murata Mfg Co Ltd 圧電フィルタ
JPH10335976A (ja) * 1997-04-01 1998-12-18 Murata Mfg Co Ltd チップ型圧電フィルタ
EP0897217A3 (en) * 1997-08-12 2001-09-19 NGK Spark Plug Co. Ltd. Energy trapping type piezoelectric filter
JP2001077664A (ja) * 1999-09-06 2001-03-23 Ngk Spark Plug Co Ltd エネルギー閉じ込め型圧電フィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002344285A (ja) 2002-11-29
CN1178385C (zh) 2004-12-01
CN1385960A (zh) 2002-12-18
DE10220875A1 (de) 2003-02-20
US20020167376A1 (en) 2002-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9231557B2 (en) Duplexer
JP6661521B2 (ja) フィルタおよびマルチプレクサ
JP6651643B2 (ja) 弾性波フィルタ、分波器および通信装置
US10171064B2 (en) Elastic wave device and elastic wave module
JP5907254B2 (ja) ラダー型弾性表面波フィルタ
US6002308A (en) Piezoelectric filter with a capacitor on a substrate having an unpolarized portion
JP2000134060A (ja) エネルギー閉じ込め型圧電共振子及びエネルギー閉じ込め型圧電共振部品
US6731187B2 (en) Dual mode piezoelectric filter with a relay electrode on the casing substrate
US5394123A (en) Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators
JP3427789B2 (ja) チップ型圧電フィルタ
JP6558445B2 (ja) 弾性波フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタモジュール
JPH10335976A (ja) チップ型圧電フィルタ
JP4073177B2 (ja) 圧電フィルタ
JP4446730B2 (ja) 圧電共振子及びフィルタ並びに複合基板
JP3729090B2 (ja) 圧電フィルタ
JPH1141062A (ja) 圧電フィルタ
JP2007266812A (ja) 弾性表面波フィルタ、及びそれを用いたアンテナ共用器
JP2000183606A (ja) 誘電体デュプレクサ装置
JP2000091876A (ja) 圧電部品
JPH11168344A (ja) 圧電共振素子及び圧電共振部品
JP2000031774A (ja) 圧電フィルタ
JPH11122070A (ja) 圧電フィルタ用セラミック・パッケージ
JP2004215043A (ja) 二重モード圧電フィルタとその製造方法
JPH10256861A (ja) 圧電部品
JPH0576117U (ja) チップ型圧電部品

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050301

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050418

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050913

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051102

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20051108

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20060519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080122

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110201

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4073177

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110201

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120201

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130201

Year of fee payment: 5

EXPY Cancellation because of completion of term