JP3077517B2 - 圧電共振子 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、新規な振動モードを利
用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子及びチップ型
圧電共振部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１は、従来のすべりモードを利用した
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を示す斜視図であ
る。圧電共振子１は、矩形板状の圧電セラミック板２を
有する。圧電セラミック板２は、一方端面２ａから他方
端面２ｂ側に向かって分極処理されている（分極方向を
矢印Ｐで示す。）。圧電セラミック板２の上面２ｃ上に
は共振電極３が、下面２ｄ上には共振電極４が形成され
ている。

【０００３】共振電極３は、端面２ｂ側から中央に向か
って延ばされている。共振電極４は、端面２ａから中央
に向かって延ばされている。共振電極３，４は、圧電セ
ラミック板２の中央領域において、圧電セラミック板２
を介して表裏対向するように重なり合わされている。

【０００４】圧電共振子１では、共振電極３，４から交
流電圧を印加することにより、共振電極３，４が重なり
合っている領域、すなわち共振部がすべりモードで励振
される。この場合、振動のエネルギーは、共振電極３，
４が重なり合っている共振部に閉じ込められ、端面２
ａ，２ｂ側にはあまり漏洩しない。

【０００５】すなわち、圧電共振子１は、すべりモード
を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子である。
従って、端面２ａ，２ｂ近傍において機械的に保持する
ことにより、ケース材や回路基板等に固定することがで
きる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】エネルギー閉じ込め型
の圧電共振子１では、振動のエネルギーは共振部に良好
に閉じ込められることが必要である。さもないと、端面
２ａ，２ｂ側の部分において機械的に保持した場合に振
動が阻害され、所望の共振特性を得ることができない。

【０００７】圧電共振子１において、振動エネルギーを
良好に閉じ込めるには、素子の長さＬを長くする必要が
ある。また、圧電共振子１の共振周波数は、共振部の厚
み、すなわち素子の厚みｔに依存する。例えば、共振周
波数が４ＭＨｚの圧電共振子１を得ようとした場合、厚
みｔは０．３ｍｍ程度となり、２ＭＨｚの圧電共振子１
を得ようとした場合には厚みｔは０．６ｍｍとなる。

【０００８】ところが、振動エネルギーを共振部に確実
に閉じ込めるには、厚みｔが大きくなるにつれ、素子の
長さＬを長くしなければならない。例えば、４ＭＨｚの
ときには、厚みｔは０．３ｍｍであるが、この場合共振
エネルギーを共振部に確実に閉じ込めるには、長さＬを
５ｍｍ程度としなければならず、また２ＭＨｚの場合に
は厚みｔは０．６ｍｍとなるが、この場合には長さＬを
１０ｍｍ程度まで長くしなければならなかった。

【０００９】その結果、すべりモードを利用したエネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子１では、素子の長さ寸法Ｌ
が大きくならざるを得なかった。本発明の目的は、１Ｍ
Ｈｚ以上の周波数領域において好適に用いることがで
き、エネルギー閉じ込め効率を効果的に高め得る構造を
備えた新規な振動モードを利用した圧電共振子及びチッ
プ型圧電共振部品を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明により提
供される圧電共振子は、対向する一対の矩形の面と、一
対の矩形の面を結ぶ４つの側面とを有する圧電振動部
と、前記圧電振動部の前記一対の矩形面上に形成された
第１，第２の共振電極とを備え、前記矩形面の短辺の長
さをａ、長辺の長さをｂ、圧電振動部を構成する材料の
ポアソン比をσとしたときに、比ｂ／ａが、

【００１１】

【数２】

【００１２】を満たす値を中心として±１０％の範囲内
とされており、圧電横効果を利用して２ｎ次（但し、ｎ
は整数）の屈曲モードの振動を励振させる圧電共振子で
ある。

【００１３】すなわち、本発明は、一対の矩形面を有す
る圧電振動部の形状を上記特定の範囲とし、圧電横効果
を利用して２ｎ次の屈曲振動モードを励振させる圧電共
振子であり、このような圧電共振子は、本願発明者によ
り初めて見いだされたものである。

【００１４】本発明の圧電共振子では、圧電共振子が上
記特定の形状を有するので、第１，第２の共振電極から
交流電圧を印加することにより、後述の実施例から明ら
かなように、２ｎ次の屈曲振動モードが励振される。こ
の場合、振動のノード部は、圧電振動部の側面のうち、
上記矩形面の短辺に沿う側面の中央と、矩形面の中心と
に表れる。また、後述の実施例から明らかなように、上
記短辺に沿う側面の一端側部分に連結部を連結して機械
的に保持しても、振動が連結部にほとんど漏洩してこな
い。従って、上記側面の一方端部分を保持することによ
り、圧電共振子内に振動エネルギーを効果的に閉じ込め
ることができる。

【００１５】なお、上記比ｂ／ａを、式（１）を満たす
値を中心として±１０％の範囲内とする必要があるの
は、後述の実施例から明らかなように、上記範囲外では
圧電横効果を利用した２ｎ次の屈曲振動モードを効果的
に励振することができず、従って圧電共振子を側面を利
用して保持した場合振動エネルギーを効果的に閉じ込め
得ないからである。なお、上記比ｂ／ａの範囲は、本願
発明者により実験的に確かめられたものである。

【００１６】本発明の圧電共振子では、好ましくは、上
記圧電振動部の側面のうち、矩形面の短辺に沿う側面の
一端側に連結された連結部がさらに備えられる。この場
合、上記圧電横効果を利用した２ｎ次の屈曲振動が、圧
電振動部に効果的に閉じ込められるため、連結部を利用
して圧電共振子を保持することができる。

【００１７】また、本発明のより限定的な局面では、上
記圧電振動部の矩形面の短辺に沿う第１の側面と、上記
第１の側面と対向する第２の側面とに、それぞれ、第
１，第２の連結部が連結される。第１の連結部は、第１
の側面の一端側部分に連結され、第２の連結部は、第１
の連結部分が連結されている部分と対角線方向において
反対側となるように、第２の側面の一端側の部分に連結
される。このように、第１，第２の連結部を用いて圧電
振動部を保持した場合には、圧電振動部がその両側で保
持されるため、より安定な特性の圧電共振子を得ること
ができる。

【００１８】さらに、上記連結部が備えられた圧電共振
子では、好ましくは、連結部の外側に保持部が連結され
る。この保持部は、好ましくは、連結部より大きな面積
を有するように構成され、それによって保持部を利用す
ることにより圧電共振子を外部に対してより安定に固定
することができる。

【００１９】また、より好ましくは、上記保持部には、
引き出し電極が形成され、該引き出し電極は共振電極と
電気的に接続される。すなわち、保持部に設けられた引
き出し電極を利用して、外部との電気的接続を容易とす
ることができる。より好ましくは、上記引き出し電極
は、保持部の外周縁に至るように構成され、それによっ
て圧電共振子の外周縁において外部との電気的接続を果
たすことができる。

【００２０】また、上記第１，第２の連結部が連結され
ている構造においては、上記第１，第２の共振電極は、
第１，第２の連結部が連結されていない側の一対のコー
ナー部を結ぶ対角線に沿うように圧電振動部の矩形面上
に形成され、それによって圧電横効果を利用した２ｎ次
の屈曲振動が効果的に励振される。

【００２１】また、上記振動を効果的に励振するために
は、第１，第２の共振電極は、第１，第２の連結部が連
結されている部分近傍において、それぞれ、上記矩形面
上に形成されていてもよい。

【００２２】また、本発明の圧電共振子においては、上
記連結部と保持部との間に、動吸振部が備えられていて
もよく、それによって、連結部に漏洩してきたわずかな
振動が、動吸振現象により該動吸振部によって抑制され
る。従って、保持部を利用して機械的に支持した場合、
エネルギー閉じ込め効率が一層優れている圧電共振子を
実現することができる。

【００２３】本発明のチップ型圧電共振部品は、上述し
た本発明の圧電共振子と、圧電共振子の振動部分の振動
を妨げないための空間を有するようにして上記圧電共振
子の上下に貼り合わされた第１，第２のケース基板とを
備える。上記振動を妨げないための空間は、第１，第２
のケース基板に、それぞれ、圧電共振子側に開いた凹部
を形成することによって構成してもよく、あるいは、第
１，第２のケース基板と、圧電共振子との間に矩形枠状
のスペーサを介在させることにより構成してもよい。な
お、このスペーサは、第１，第２のケース基板を貼り合
わせるための接着剤により構成してもよい。

【００２４】好ましくは、本発明のチップ型圧電共振部
品では、上記圧電共振子は、圧電振動部の短辺側の両側
に連結された第１，第２の連結部及び第１，第２の保持
部を有し、この保持部に、上記第１，第２のケース基板
が接着される。

【００２５】また、上記圧電共振子の圧電振動部の長辺
側の両側に、圧電振動部の振動を妨げないための空隙を
隔てて第１，第２のスペーサ板が接合されてもよい。第
１，第２のスペーサ板を接合することにより、圧電共振
子の側方の空間を封止することができる。

【００２６】上記圧電共振子及び第１，第２のスペーサ
板は、一体の部材で構成されていてもよく、それによっ
て、圧電共振子の側方の空間の封止を、確実なものとす
ることができる。

【００２７】また、本発明の圧電共振子の特定的な局面
では、上記第１の共振電極が一対の電極により構成さ
れ、それによって単一モード圧電フィルタとしての圧電
共振子が提供される。この場合、上記一対の電極の一方
が入力電極、他方が出力電極とされる。

【００２８】また、本発明の圧電共振子は、第１，第２
の圧電振動部、すなわち２個の圧電振動部を有するよう
に構成してもよい。第１，第２の圧電振動部を有する構
成においては、第１，第２の圧電振動部の上記矩形面の
短辺に沿う側面同士を連結部により連結し、それによっ
て２重モード圧電フィルタを構成することができる。

【００２９】また、上記２重モード圧電フィルタを構成
した構造においては、圧電共振子の矩形面の一対の長辺
側の側面の外側に、それぞれ、振動部分の振動を妨げな
いための空隙を隔てて第１，第２のスペーサ板を接合
し、さらに、上下に振動部分の振動を妨げないための空
間を構成するようにして第１，第２のケース基板を貼り
合わせることにより、チップ型の圧電部品として上記２
重モード圧電フィルタを構成することも可能である。

【００３０】なお、本発明で用いられる一対の矩形面を
有する圧電振動部を構成する圧電材料としては、チタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミック
ス、ＬｉＴａＯ₃ もしくはＬｉＮｂＯ₃ などの圧電単結
晶が挙げられる。また、上記圧電振動部は、一対の矩形
面を有する金属や半導体からなる部材の該矩形面上に、
圧電セラミックスや圧電性を示す合成樹脂よりなる圧電
薄膜を形成した構造を用いて構成することも可能であ
る。

【００３１】

【発明の効果】本発明の圧電共振子では、圧電振動部
が、上記比ｂ／ａが、式（１）を満たす値を中心として
±１０％の範囲内とされている形状を有する。従って、
一対の矩形面上に形成された第１，第２の共振電極から
交流電圧を印加することにより、圧電横効果を利用した
２ｎ次の屈曲振動モードが強く励振される。また、この
振動は、圧電振動部の矩形面の短辺に沿う側面の一方端
に連結部を連結しても該連結部にほとんど漏洩しない。
従って、上記連結部までの部分に、振動エネルギーを効
果的に閉じ込めることができる。上記２ｎ次の屈曲振動
モードは、１ＭＨｚ以上の周波数領域で用いるのに適し
た振動モードであり、従って、本発明によれば、エネル
ギー閉じ込め効率に優れた１ＭＨｚ以上の周波数帯で用
い得る新規な圧電共振子を提供することができる。

【００３２】しかも、本発明の圧電共振子は、エネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振子であるので、ばね端子などの
複雑な支持構造を必要としない。また、従来のすべりモ
ードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子のよう
に、振動部分と支持部分との間の距離を大きくする必要
がないため、圧電共振子の小型化を促進することが可能
となる。

【００３３】同様に、本発明のチップ型圧電共振部品
は、上記圧電共振子に対して、振動部分の振動を妨げな
いための空間を形成するようにして第１，第２のケース
基板を上下に貼り合わせるだけで構成されるため、小型
で、かつ製造容易なチップ型の圧電共振部品を提供する
ことが可能となる。

【００３４】さらに、本発明の圧電共振子では、第１の
共振電極を一対の電極で構成したり、第１，第２の振動
部を設けたりすることにより、単一モード圧電フィルタ
や２重モード圧電フィルタを容易に構成することができ
る。

【００３５】

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。

【００３６】本発明の振動モードの説明 本発明は、上述したように、本発明者により見い出され
た新しい振動モードを利用した圧電共振子である。この
新たに見い出された振動モードを、図２〜図６を参照し
て説明する。

【００３７】今、図２に示すように、矩形の圧電板１１
の両主面の全面に電極１２，１３を形成したモデルを考
える。圧電板１１は、矩形の平面形状を有する。すなわ
ち、上面及び下面が矩形の平面形状を有する。また、圧
電板１１は、厚み方向に、すなわち矢印Ｐ方向に一様に
分極処理されている。

【００３８】上記圧電板１１を、電極１２，１３から交
流電圧を印加することにより振動させた場合の屈曲振動
の２次高調波を有限要素法により解析すると、圧電板１
１の平面形状がある範囲において、図３に示す振動モー
ドが励振されることがわかった。なお、図３は、有限要
素法により解析された振動モードを示し、元の形状が線
Ａで示されており、ここでは、Ｂで示す変位状態と、Ｂ
で示す変位状態とは逆の変位状態との間で振動が繰り返
される。

【００３９】上記屈曲モードの２次高調波の振動が励振
される圧電板１１を、一対の短辺に沿う一対の側面の各
一端側において保持した場合、図４に示すように、振動
エネルギーが閉じ込められることが確かめられた。すな
わち、図４に有限要素法により解析した変位分布を示す
ように、圧電板１１の短辺側の側面１１ａの一端側に連
結部１２を連結する。また、他方の短辺側に沿う側面１
１ｂの一端に連結部１３を連結する。この場合、連結部
１２と連結部１３とは、圧電板１１の上面の１つの対角
線の両端に連結されている。

【００４０】図４から明らかなように、上記連結部１
２，１３を連結し、該連結部１２，１３により圧電板１
１を保持した場合、変位状態Ｃでは、連結部１２，１３
よりも外側の部分に変位が伝搬しないことがわかる。言
い換えれば、連結部１２，１３を、上記位置に連結する
ことにより、圧電板１１の屈曲モードの２次高調波の振
動を連結部１２，１３までの部分に閉じ込め得ることが
わかる。

【００４１】図４に示した変位状態Ｃにおける電荷分布
を調べたところ、図５に示す結果が得られた。すなわ
ち、圧電板１１の上面において、＋極性の領域が、図示
の仮想線Ｄに沿う方向に延び、この仮想線Ｄは、１つの
対角線に略沿うように延びている。また、他方の対角線
側のコーナー部分近傍に、−極性の電位の強い部分が表
れる。

【００４２】従って、上記連結部１２，１３を連結し
て、図４に示した変位Ｃと、その逆の変位状態との間で
振動する振動を強く励振させるには、図５に示した電荷
分布に応じて共振電極を形成すればよいと考えられる。
このような知見のもとに、後述の第１及び第２の圧電共
振子が考えられた。

【００４３】上記のように、矩形の圧電板１１に連結部
１２，１３を連結し、両面の電極から電圧を印加して励
振させた場合に、屈曲モードの２次高調波が強く励振さ
れ、該振動のエネルギーが連結図１２，１３までに閉じ
込められ得る。このような効果は、圧電板１１の寸法が
特定の範囲にある場合にのみ得られれることがわかっ
た。

【００４４】すなわち、本願発明者は、種々の寸法の圧
電板１１を用いて、図４に示した変位状態Ｃと、逆の変
位状態との間で繰り返す振動を励振させたところ、圧電
板１１の矩形面の長辺の長さをｂ、短辺の長さをａと
し、圧電板１１を構成する材料のポアソン比をσとする
と、上述した式（１）を満たす値のときに上記振動が強
く励振され、かつ第１，第２の連結部１２，１３までの
部分に振動エネルギーが効果的に閉じ込められ得ること
がわかった。すなわち、比ｂ／ａを種々変更し、かつ種
々の圧電材料を用いて、図４に示したように有限要素法
により変位状態を解析した。その結果、上記屈曲モード
の２次高調波を効果的に連結部１２，１３までに閉じ込
めるには、比ｂ／ａと、圧電板１１を構成する材料のポ
アソン比σとが、図６（ａ）に示す関係を満たせばよい
ことが確かめられた。この図６（ａ）の結果から、比ｂ
／ａが、

【００４５】

【数３】

【００４６】となるように、上記短辺の長さａ及び長辺
の長さｂを選択すればよいことがわかる。さらに、上記
比ｂ／ａが（０．３σ＋１．４８）の整数倍の場合に
も、上記と同様に、振動エネルギーが閉じ込められるこ
とを見い出した。

【００４７】また、本願発明者は、あるポアソン比σの
圧電材料からなる圧電板を用いて、式（１）のｎを、
０．８５〜１．１まで変化させ、図４に示す変位量の最
も小さな点Ｐの変位量に対する変位量の最も大きな点Ｑ
における変位量の比、すなわち相対変位（％）を測定し
た。結果を図６（ｂ）に示す。

【００４８】図６（ｂ）から明らかなように、ｎの値が
０．９〜１．１の範囲であれば、上記相対変位は１０％
以下であることがわかる。他方、相対変位が１０％以下
の場合には、共振子を構成する場合に実質的に問題のな
いことがわかっている。従って、式（１）を満たす値か
ら±１０％の範囲内であれば、圧電振動部に振動エネル
ギーを効果的に閉じ込めることができる。

【００４９】上記のように、短辺の長さがａ、長辺の長
さｂ、圧電板を構成する材料のポアソン比がσの圧電振
動部において、上記比ｂ／ａを式（１）を満たす値から
±１０％の範囲内とすることにより、エネルギー閉じ込
め効率に優れた圧電共振子を提供し得ることがわかっ
た。なお、上記屈曲モードの２次高調波の振動は、圧電
板１１に連結部１２，１３を連結しない場合には、振動
のノードは、矩形面の中央と両短辺に沿う側面の中央に
存在することが確かめられた。

【００５０】第１の実施例の圧電共振子 図７は、第１の実施例に係る圧電共振子の平面図であ
り、図８は、圧電板を透かして下面側の電極形状を示し
た模式的平面図である。

【００５１】第１の実施例の圧電共振子２１は、矩形の
圧電板２２と連結部２３，２４と、保持部２５，２６と
を有する。圧電板２２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛
系圧電セラミックスのような圧電材料により構成されて
おり、圧電セラミックスの場合には、厚み方向に一様に
分極処理されている。圧電板２２は、矩形の平面形状を
有し、短辺に沿う第１の側面２２ａの一端側に第１の連
結部２３が連結されており、短辺に沿う第２の側面２２
ｂの一端に第２の連結部２４が連結されている。また、
連結部２３，２４の外側には、連結部２３，２４よりも
面積の大きな保持部２５，２６が連結されている。

【００５２】本実施例の圧電共振子２１では、上記圧電
板２２、第１，第２の連結部２３，２４及び第１，第２
の保持部２５，２６は、一枚の圧電板を用意し、該圧電
板に溝２７，２８を形成することにより構成されてい
る。すなわち、圧電板２２、第１，第２の連結部２３，
２４及び保持部２５，２６は、同一材料により一体的に
構成されている。もっとも、圧電板２２、第１，第２の
連結部２３，２４及び第１，第２の保持部２５，２６は
それぞれ別の部材で構成されていてもよく、接着剤等に
より接合されて一体化されてもよい。

【００５３】圧電板２２は、矩形の平面形状を有し、そ
の矩形面の長辺の長さをｂ、短辺の長さをａとしたとき
に、比ｂ／ａは、上述した式（１）を満たす値を中心と
して±１０％の範囲内とされている。

【００５４】圧電板２２の上面には、第１の共振電極２
８が形成されており、下面には、第１の共振電極２８と
圧電板２２を介して対向するように第２の共振電極２９
が形成されている。第１，第２の共振電極２８，２９
は、図５に示した＋の極性の領域にほぼ合致するように
形成されている。すなわち、第１，第２の共振電極２
８，２９は、図５に示した仮想線Ｄに沿う方向に、すな
わち一方の対角線に略沿う方向に延ばされている。

【００５５】第２の保持部２６上には引き出し電極３０
が、第１の保持部２５の下面には引き出し電極３１が形
成されている。第１の共振電極２８は、接続導電部３２
を介して引き出し電極３０に電気的に接続されており、
他方、第２の共振電極２９は、接続導電部３３を介して
引き出し電極３１に電気的に接続されている。

【００５６】本実施例の圧電共振子２１では、引き出し
電極３０，３１から交流電圧を印加することにより、第
１，第２の共振電極２８，２９間に交流電圧が印加さ
れ、それによって上述した屈曲モードの２次高調波の振
動が強く励振される。

【００５７】この場合、圧電板２２の長辺と短辺の長さ
の比ｂ／ａが、上述した式（１）を満たす値を中心とし
て±１０％の範囲内とされているため、連結部２３，２
４までの部分に振動が効果的に閉じ込められる。従っ
て、保持部２５，２６を利用して機械的に保持したとし
ても、共振特性の劣化が生じ難い。言い換えれば、連結
部２３，２４までの部分に振動エネルギーが効果的に閉
じ込められたエネルギー閉じ込め型の圧電共振子２１が
提供される。

【００５８】第２の実施例 図９は、第２の実施例の圧電共振子の平面図であり、図
１０は、圧電板を透かして下面の電極形状を示した模式
的平面図である。

【００５９】第２の圧電共振子４１は、共振電極の形状
及び位置が異なることを除いては、第１の実施例の圧電
共振子２１と同様に構成されている。従って、第１の実
施例の圧電共振子２１と同一部分については、同一の参
照番号を付することにより、その説明は省略する。

【００６０】圧電共振子４１では、圧電板２２の上面に
おいて、第１の共振電極４２ａ，４２ｂが、図５に示し
た−の極性の強い領域に形成されている。すなわち、第
１の共振電極４２ａ，４２ｂは、圧電板２２の連結部２
３，２４が連結されている部分近傍の領域に形成されて
いる。第１の共振電極４２ａ，４２ｂは、接続導電部４
４により互いに電気的に接続されている。同様に、圧電
板２２の下面においても、第１の共振電極４２ａ，４２
ｂに圧電板２２を介して対向するように第２の共振電極
４３ａ，４３ｂが形成されており、第２の共振電極４３
ａ，４３ｂが接続導電部４６により電気的に接続されて
いる。

【００６１】第１の共振電極４２ｂは、接続導電部４５
により引き出し電極３０に電気的に接続されている。ま
た、第２の共振電極４３ａは、接続導電部４７により引
き出し電極３１に電気的に接続されている。

【００６２】第２の実施例の圧電共振子４１では、交流
電圧が上記第１の共振電極４２ａ，４２ｂと、第２の共
振電極４３ａ，４３ｂとの間の部分に印加されることに
なるため、第１の実施例の場合と同様に、但し、第１の
実施例とは逆の位相で、屈曲モードの２次高調波の振動
が励振され、該振動が、第１，第２の連結部２３，２４
までの部分に効果的に閉じ込められる。

【００６３】なお、接続導電部４４，４６は、図９及び
図１０では、表裏対向するように形成されていたが、接
続導電部４４，４６間に発生する容量を低減するため
に、接続導電部４４，４６は圧電板２２を介して重なり
合わない位置に形成することが好ましい。

【００６４】第３の実施例 第１，第２の実施例では、圧電板２２は厚み方向に一様
に分極処理されていたが、本発明の圧電共振子では、圧
電板は一様に分極処理されていなくともよい。

【００６５】すなわち、図１１に模式図で示すように、
圧電板２２において、図５に示した＋の極性の領域に第
１の共振電極５１と、第２の共振電極５２とを形成す
る。他方、図５に示した−の極性の領域において、下面
に第１の共振電極５３を、上面に第２の共振電極５４を
形成する。言い換えれば、第１の共振電極５１及び第２
の共振電極５２は、第１の実施例の第１の共振電極２８
及び第２の共振電極２９同様に形成される。また、第２
の共振電極５４及び第１の共振電極５３は、それぞれ、
第２の実施例における第１の共振電極４２ａ，４２ｂ及
び第２の共振電極４３ａ，４３ｂと同様に形成される。
もっとも、接続導電部４４，４６は、第１の共振電極５
１及び第２の共振電極５２との短絡を防止するために設
ける必要はない。

【００６６】そして、圧電板２２において、上記第１，
第２の共振電極５１，５２が形成されている領域の分極
方向Ｐ₁ としたときに、第１，第２の共振電極５３，５
４が形成されている領域の分極方向を分極方向Ｐ₁ とは
反対のＰ₂ 方向とすれば、効果的に上記屈曲モードの２
次高調波を励振させることができる。

【００６７】第４の実施例 図１２は、本発明の第４の実施例に係る圧電共振子を説
明するための平面図である。圧電共振子６１は、動吸振
部６２，６３を有することを除いては、第１の実施例の
圧電共振子２１と同様に構成されている。従って、同一
部分については、同一の参照番号を付することにより、
その説明は省略する。

【００６８】本実施例では、連結部２３，２４と保持部
２５，２６との間に動吸振部６２，６３が設けられてい
る。すなわち、動吸振部６２，６３は、連結部２３，２
４よりも外側において、溝６４，６５を形成することに
より構成されており、該動吸振部６２，６３は、動吸振
現象に従って、連結部２３，２４から漏洩してきた振動
を抑制するように作用する。すなわち、動吸振部６２，
６３は、連結部２３，２４から漏洩してきた振動を受け
て屈曲モードで振動し、漏洩してきた振動を動吸振現象
により抑制するように作用する。この動吸振部６２，６
３の寸法は、連結部２３，２４から漏洩してきた振動の
周波数に、動吸振部６２，６３の固有振動数が略一致す
るように選ばれる。動吸振部６２，６３は、それぞれ、
溝６４，６５の側方に設けられた第３，第４の連結部６
６，６７を介して保持部２５，２６に連結されている。

【００６９】第４の実施例の圧電共振子６１において
も、第１の実施例と同様に、連結部２３，２４までの部
分に屈曲モードの２次高調波の振動が効果的に閉じ込め
られるが、さらに、わずかに漏洩してきた振動が、上記
動吸振部６２，６３により抑制される。従って、保持部
２５，２６を用いて圧電共振子６１を支持した場合、共
振特性への影響がほとんど生じない。すなわち、より一
層エネルギー閉じ込め効率に優れた圧電共振子を提供す
ることができる。

【００７０】第５の実施例 図１３は、本発明の第５の実施例に係る圧電共振子を示
す斜視図である。第１の実施例の圧電共振子２１では、
板状の圧電板２２を用いたが、本発明の圧電共振子にお
ける圧電振動部は、板状にものに限らない。すなわち、
図１３に示す圧電共振子７１のように、圧電振動部７２
は、互いに対向する矩形面７２ａ，７２ｂを有する直方
体状の形状を有していてもよい。すなわち、矩形面７２
ａ，７２ｂ間の距離が、矩形面７２ａ，７２ｂの長辺の
長さよりも長くてもよい。その他の構造については、第
１の実施例と同様であるため、同一部分については、同
一の参照番号を付することにより、その説明は省略す
る。

【００７１】第６の実施例 第６の実施例は、第１の実施例に係る圧電共振子を用い
たチップ型圧電共振部品についての実施例である。図１
４は、本実施例のチップ型圧電共振部品の分解斜視図で
あり、図１５はその外観を示す斜視図である。

【００７２】本実施例では、図７に示した圧電共振子２
１が用いられる。すなわち、圧電共振子２１の圧電板２
２の長辺側の側面の両側に、それぞれ、空隙８１ａ，８
２ａが形成されるように、第１，第２のスペーサ板８
１，８２が圧電共振子２１に接合される。スペーサ板８
１，８２は、両端において、それぞれ、保持部２５，２
６に接合されている。上記圧電共振子２１及びスペーサ
板８１，８２により共振プレート８３が構成されてい
る。この共振プレート８３の上下に、第１，第２のケー
ス基板８４，８５が貼り合わされる。ケース基板８５
は、中央に凹部８５ａを有する。凹部８５ａは、圧電共
振子２１の振動部分の振動を妨げないための空間を圧電
共振子２１の下方に設けるために形成されている。同様
に、第１のケース基板８４の下面にも凹部が形成されて
いる。

【００７３】上記第１，第２のケース基板８４，８５を
共振プレート８３の上下に貼り合わせ、図１５に示すよ
うに、外部電極８６，８７を、積層体の両側面に形成す
ることにより、本実施例のチップ型圧電共振部品８８が
得られる。

【００７４】チップ型圧電共振部品８８では、上記のよ
うに、圧電共振子２１の圧電振動部が、積層体内に封止
されているため、圧電共振子２１の耐湿性等を高めるこ
とができる。

【００７５】好ましくは、上記共振プレート８３を単一
の部材により、すなわち、上記第１，第２のスペーサ板
８１，８２及び圧電共振子２１が一体化された形状を有
する圧電板に、共振電極２８等を形成することにより共
振プレート８３を構成してもよい。その場合には、図１
４に示す接合部分Ｇが存在しないため、より一層耐湿性
などに優れたチップ型圧電共振部品を提供することがで
きる。

【００７６】第７の実施例 第１〜第６の実施例では、圧電振動部が、圧電セラミッ
クスなどの圧電材料により構成されていたが、図１６に
示すように、金属もしくは半導体等からなり、平面形状
が矩形の部材９１の矩形面上に、圧電セラミックスや圧
電性を示す合成樹脂等よりなる圧電薄膜９２を形成し、
該圧電薄膜９２上に第１の共振電極２８を形成すること
により、圧電振動部を構成してもよい。

【００７７】なお、図１６では必ずしも明確ではない
が、平面形状が矩形の部材９１の下面にも、圧電薄膜及
び第２の共振電極が形成されている。なお、上記のよう
な複合部材により圧電振動部を構成する場合には、ポア
ソン比σは、部材９１のポアソン比σと、圧電薄膜９２
を構成している材料のポアソン比σとを考慮して決定さ
れる。

【００７８】第８の実施例 上述してきた実施例では、圧電共振子として、圧電振動
部の短辺側の側面に連結部を連結した構造を有するもの
を示したが、本発明の圧電共振子は、ばね端子等により
支持されてもよい。すなわち、図１７に示すように、厚
み方向に分極処理された矩形の圧電板１０１の上面に、
第１の共振電極１０２を形成し、下面に第１の共振電極
１０２と対向するように第２の共振電極（図示せず）を
形成した構造において、上面及び下面から想像線で示す
ばね端子１０３，１０４を当接させてもよい。すなわ
ち、ばね端子１０３，１０４により圧電共振子１０５を
弾力挟持した構造であってもよい。

【００７９】圧電共振子１０５では、矩形面の短辺に沿
う側面の中央部と、矩形面の中心とが振動の完全なノー
ド点となる。従って、上記のように、ばね端子１０３，
１０４を、圧電板１０１の主面中央に当接させて弾力挟
持することにより、圧電共振子１０５の共振特性を劣化
させることなく支持することができる。しかも、両短辺
に沿う側面中央に、切欠１０６，１０７を形成すること
により、周波数調整を行うことができる。すなわち、上
記切欠１０６，１０７の大きさを調整することにより、
共振周波数を調整することができ、しかも、完全なノー
ド点に溝加工するものであるため、周波数を大きく低下
させ得るとともに、波形の歪みも生じ難い。なお、本実
施例においても、圧電板１０１に代えて、金属板や半導
体板上に圧電薄膜を形成することにより圧電板１０１を
形成してもよい。

【００８０】第９の実施例 第９の実施例は、単一モード圧電フィルタについての実
施例である。図１８は、本発明の第９の実施例に係る圧
電フィルタを示す斜視図である。圧電フィルタ１１１
は、平面形状が矩形の圧電板１１２を用いて構成されて
いる。圧電板１１２の側方には、第１，第２の連結部１
１３，１１４が連結されており、第１，第２の連結部１
１３，１１４の外側には、第１，第２の保持部１１５，
１１６が連結されている。

【００８１】本実施例では、圧電板１１２、第１，第２
の連結部１１３，１１４及び第１，第２の保持部１１
５，１１６が一体の部材で構成されている。すなわち、
溝１１７，１１８を矩形の圧電板に形成することによ
り、上記圧電板１１２、第１，第２の連結部１１３，１
１４及び保持部１１５，１１６が構成されている。もっ
とも、圧電板１１２と、第１，第２の連結部１１３，１
１４と、保持部１１５，１１６とは別部材で構成されて
おり、これらの部材を接合することにより、一体化して
もよい。

【００８２】圧電板１１２は、チタン酸ジルコン酸鉛系
圧電セラミックスなどの圧電セラミックスやＬｉＴａＯ
₃ もしくはＬｉＮｂＯ₃ などの圧電単結晶により構成さ
れる。圧電板１１２は、厚み方向に一様に分極処理され
ている。

【００８３】また、圧電板１１２の上面には、第１の共
振電極として、入力電極１１９と、出力電極１２０とが
形成されている。また、下面には、第２の共振電極とし
ての共通共振電極１２１が形成されている。

【００８４】入力電極１１９及び出力電極１２０は、図
５に示した電荷分布において＋の極性を有する領域を中
心として形成されている。また、共通共振電極１２１
は、入力電極１１９及び出力電極１２０に対して、圧電
板１１２を介して表裏対向するように形成されている。

【００８５】なお、保持部１１６の上面には、引き出し
電極１２２が形成されており、保持部１１５の上面には
引き出し電極１２３が形成されている。また、保持部１
１５の下面には、引き出し電極１２４が形成されてい
る。

【００８６】引き出し電極１２２〜１２４は、それぞ
れ、入力電極１１９、出力電極１２０及び共通共振電極
１２１に電気的に接続されている。本実施例において
も、圧電板１１２の平面形状は、比ｂ／ａが上述した式
（１）を満たす値を中心として±１０％の範囲となるよ
うに、その寸法が定められている。

【００８７】従って、入力電極１１９から入力を印加し
た場合、屈曲モードの２次高調波で入力電極１１９と共
通共振電極１２１とが対向している部分が励振され、出
力が、共通共振電極１２１と出力電極１２０との間で取
り出される。すなわち、図１９に回路図で示す３端子型
の単一モード圧電フィルタが構成される。

【００８８】本実施例の圧電フィルタ１１１において
も、圧電振動部が上記のように構成されているため、振
動エネルギーは、圧電板１１２内に確実に閉じ込められ
る。従って、上述した圧電共振子についての実施例と同
様に、保持部１１５，１１６を用いて機械的に保持した
場合でも、フィルタ特性の劣化が生じ難い。

【００８９】第１０の実施例 図２０は、本発明の第１０の実施例に係る圧電フィルタ
を示す斜視図である。圧電フィルタ１３１は、両主面の
電極構造を除いては、圧電フィルタ１１１と同様に構成
されている。従って、同一部分については同一の参照番
号を付することにより、その説明を省略する。

【００９０】本実施例では、圧電板１１２の上面に、第
１の共振電極として、電極１３２，１３３が形成されて
おり、圧電板１１２の下面には、電極１３２，１３３と
表裏対向するように電極１３４，１３５が、それぞれ、
形成されている。電極１３２〜１３５は、図５に示した
電荷分布における＋の極性の領域に形成されている。

【００９１】保持部１１５の上面には、引き出し電極１
３６が形成されている。また、保持部１１６の上面に
は、引き出し電極１３７が形成されており、保持部１１
５の下面には、引き出し電極１３８が、保持部１１６の
下面には引き出し電極１３９が形成されている。電極１
３２〜１３５は、それぞれ、上記引き出し電極１３６〜
１３９に電気的に接続されている。

【００９２】従って、図２１に示すように、各電極を接
続することにより、すなわち引き出し電極１３６と、引
き出し電極１３８とを共通接続して基準電位に接続し、
他方、引き出し電極１３７，１３９を、入力電極または
出力電極として用いることにより、差動接続型の単一モ
ード圧電フィルタを構成することができる。

【００９３】第１１の実施例 図２２は、本発明の第１１の実施例に係る圧電フィルタ
を説明するための斜視図である。圧電フィルタ１４１
は、上面及び下面の電極形状を除いては、第９の実施例
の圧電フィルタ１１１と同様である。

【００９４】本実施例の圧電フィルタ１４１では、圧電
板１１２の上面において、入力電極１４２が形成されて
いる。入力電極１４２は、図５に示した電荷分布におけ
る＋の極性の領域に形成されている。

【００９５】他方、圧電板１１２の上面において、図５
に示した電荷分布の−の極性の領域に、出力電極１４３
ａ，１４３ｂが形成されている。入力電極１４２は、保
持部１１６の上面に形成された引き出し電極１４４に電
気的に接続されている。また、出力電極１４３ａ，１４
３ｂは、それぞれ、保持部１１５，１１６の上面に形成
された引き出し電極１４５，１４６に電気的に接続され
ている。

【００９６】他方、圧電板１１２の下面には、全面に共
通共振電極１４７が形成されており、共通共振電極１４
７は、保持部１１５の下面に形成された引き出し電極１
４８に電気的に接続されている。

【００９７】本実施例の圧電フィルタ１４１では、図２
２に示すように、引き出し電極１４５と引き出し電極１
４６とを共通接続し、出力端とし、引き出し電極１４４
を入力端とし、引き出し電極１４８を基準電位に接続す
る。それによって、第９の実施例の圧電フィルタ１１１
と同様に、３端子型の単一モード圧電フィルタとして使
用することができる。

【００９８】第９〜第１１の実施例の変形例 第９〜第１１の実施例の単一モード圧電フィルタでは、
圧電板１１２が厚み方向に一様に分極処理されていた。
しかしながら、各圧電フィルタ１１１，１３１，１４１
においては、図２３に模式的に示すように、圧電板１１
２に、矢印Ｐ₁方向に分極処理された領域と、方向Ｐ₁
とは逆方向のＰ₂ 方向に分極処理された領域とを形成し
てもよい。すなわち、図５に示した電荷分布において、
＋の極性の領域を例えば矢印Ｐ₁ の方向に分極処理し、
−の極性の領域をＰ₂ 方向に分極処理しておいてもよ
く、そのような圧電板１１２を用いた場合においても、
図２３に回路図で示すように、単一モード圧電フィルタ
を構成することができる。

【００９９】単一モード圧電フィルタのチップ型圧電共
振部品についての実施例 図２４〜図２６は、本発明の第１２の実施例としてのチ
ップ型圧電フィルタを説明するための図である。

【０１００】本実施例のチップ型圧電フィルタでは、図
２４に示すように、圧電フィルタ１１１（図１８参照）
及び圧電フィルタ１３１（図２０参照）が用いられる。
すなわち、圧電フィルタ１１１の両側に、第１，第２の
スペーサ板１５１，１５２が接合されて、第１の共振プ
レート１５３が構成されている。第１の共振プレート１
５３では、スペーサ板１５１，１５２を接合することに
より、空隙１５１ａ，１５２ａが、圧電振動部の両側に
構成されている。第１，第２のスペーサ板１５１，１５
２は、アルミナなどの絶縁性セラミックス、あるいは合
成樹脂等により構成されるが、圧電共振子１１２と同等
の厚みを有するように構成することが必要である。

【０１０１】同様に、圧電共振子１３１の両側にも、第
１，第２のスペーサ板１５４，１５５が接合されて第２
の共振プレート１５６が構成されている。本実施例で
は、上記第１，第２の共振プレート１５３，１５６の間
に、図２５に示す矩形枠状のスペーサ１５７が挿入さ
れ、第１，第２の共振プレート１５３，１５６が積層さ
れ、さらに、その上下に同じくスペーサ１５７を介在さ
せて、図２４に示す第１，第２のケース基板１５８，１
５９が貼り合わされる。このようにして、図２６に示す
積層体１６０が得られる。スペーサ１５７としては、合
成樹脂よりなる矩形枠状の部材を用いてもよく、あるい
は上述した各部材を接合するのに用いられる接着剤を、
矩形枠状に塗布し硬化させることにより上記スペーサ１
５７としてもよい。

【０１０２】なお、ケース基板１５８，１５９に凹部を
設けることにより、共振プレート１５３の上方に挿入さ
れるスペーサ１５７及び共振プレート１５６の下方に挿
入されるスペーサ１５７を省略してもよい。

【０１０３】上記スペーサ１５７を介在させることによ
り、圧電共振子１１１，１３１の圧電振動部の振動を妨
げないための空間が、各圧電振動部の上下に構成され
る。本実施例では、図２６に示すように、得られた積層
体１６０の両側面に、外部電極１６１〜１６４が形成さ
れる。従って、外部電極１６１を入力電極とし、外部電
極１６３を出力電極とし、外部電極１６２を基準電位に
接続することにより、図２７に示す２素子３端子型の単
一モード圧電フィルタを構成することができる。なお、
外部電極１６４は、部品の対称性を高めるために設けら
れたダミーの外部電極である。

【０１０４】第１３の実施例 図２８〜３０は、第１３の実施例に係る２重モード圧電
フィルタを説明するための図である。本実施例では、図
２８（ａ）及び（ｂ）において、それぞれ、平面図及び
圧電板を透かして下方の電極形状を示した模式的平面図
で示す圧電フィルタ１７１が用いられる。圧電フィルタ
１７１は、第１，第２の圧電振動部１７２，１７３を有
する。各圧電振動部１７２，１７３は、第１の実施例の
圧電フィルタ２１とほぼ同様に構成されている。すなわ
ち、比ｂ／ａが、上述した式（１）を満たす値を中心と
して±１０％の範囲内とされている平面形状が矩形の圧
電板１７４の上面に第１の共振電極１７５が、下面に第
２の共振電極１７６が形成されている。同様に、第２の
圧電振動部１７３においても、圧電板１７７の上面に第
１の共振電極１７８が、下面に第２の共振電極１７９が
形成されている。第１，第２の圧電振動部１７２，１７
３は、連結部１８０を介して、連結されている。すなわ
ち、圧電板１７４，１７７の短辺側の側面において、連
結部１８０を介して連結されている。

【０１０５】他方、圧電振動部１７２においては、他方
の短辺側の側面の一端側において、連結部１８１が連結
されており、該連結部１８１の外側に保持部１８２が連
結されている。同様に、第２の圧電振動部１７３側にお
いては、連結部１８３が圧電振動板１７７の短辺側の側
面の一端側部分に連結されており、連結部１８３の外側
に保持部１８４が連結されている。

【０１０６】また、保持部１８２の上面には、引き出し
電極１８５が形成されており、下面には、引き出し電極
１８６が形成されている。同様に、保持部１８４の上面
には、引き出し電極１８７が、下面には引き出し電極１
８８が形成されている。引き出し電極１８５，１８６
は、それぞれ、第１，第２の共振電極１７５，１７６に
接続されており、引き出し電極１８７，１８８は、それ
ぞれ、共振電極１７８，１７９に電気的に接続されてい
る。

【０１０７】圧電フィルタ１７１では、引き出し電極１
８５を入力端とし、引き出し電極１８７を出力端とし、
引き出し電極１８６，１８８を基準電位に接続すること
により、２重モード圧電フィルタとして動作させること
ができる。

【０１０８】この２重モード圧電フィルタ１７１におい
ても、各圧電振動部１７２，１７３が上記のように構成
されているため、振動エネルギーが、圧電振動部１７
２，１７３に効果的に閉じ込められ、従って保持部１８
２，１８４を用いて機械的に保持した場合においても、
フィルタ特性の劣化が生じ難い。図２９は、上記圧電フ
ィルタ１７１を用いたチップ型圧電フィルタを製造する
過程を説明するための分解斜視図である。

【０１０９】圧電フィルタ１７１の各圧電振動部の長辺
側の両側に、第１，第２のスペーサ板１９１，１９２が
接合され、それによって圧電振動部１７２，１７３の両
側に空隙１９１ａ，１９２ａが形成されている。この圧
電フィルタ１７１と、第１，第２のスペーサ板１９１，
１９２により、共振プレート１９３が構成されている。
共振プレート１９３の上面及び下面に、第１，第２のケ
ース基板１９４，１９５が貼り合わされる。ケース基板
１９５の上面には、凹部１９５ａが形成されている。凹
部１９５ａは、圧電フィルタ１７１の振動部分の振動を
妨げないための空間を確保するために設けられている。
同様に、第１のケース基板１９４の下面にも凹部が形成
されている。

【０１１０】また、上記凹部の形成に代えて、共振プレ
ート１９３の上下に、矩形枠状のスペーサ部材を介在さ
せ、平面状のケース基板を上下から貼り合わせることに
よっても、共振部の振動を妨げないための空間を圧電フ
ィルタ１７１の上下に形成することができる。

【０１１１】また、接着剤を矩形枠状に塗布し、共振プ
レート１９３と、第１，第２のケース基板１９４、１９
５を貼り合わせることにより、圧電フィルタ１７１の上
下に空間を形成してもよい。

【０１１２】上記のようにして得られた積層体を、図３
０に示す。積層体１９６の側面に、外部電極２０１〜２
０４を形成する。この外部電極２０１，２０３を基準電
位に接続し、外部電極２０２，２０４を入出力電極とし
て用いることにより、チップ型圧電フィルタ２０５を、
２重モード圧電フィルタとして動作させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のすべりモードを利用した圧電共振子を示
す斜視図。

【図２】厚み方向に分極処理された圧電板の両面に電極
を形成したモデルを示す斜視図。

【図３】図２に示した圧電板の変位状態を有限要素法に
より解析した状態を示す図。

【図４】図３に示した圧電板に連結部を連結した場合の
変位分布を示す図。

【図５】図４の変位分布に応じた電荷分布状態を示す平
面図。

【図６】（ａ）は、比ｂ／ａとポアソン比との関係を示
す図、（ｂ）は、相対変位とｎとの関係を示す図。

【図７】第１の実施例の圧電共振子の平面図。

【図８】第１の実施例の圧電共振子において、圧電板を
透かして下方の電極形状を示す模式的平面図。

【図９】第２の実施例の圧電共振子を示す平面図。

【図１０】第２の実施例において圧電板を透かして下方
の電極形状を示した模式的平面図。

【図１１】第３の実施例を説明するための模式的断面
図。

【図１２】第４の実施例の圧電共振子を示す平面図。

【図１３】第５の実施例の圧電共振子を説明するための
斜視図。

【図１４】第６の実施例に係るチップ型圧電共振部品の
分解斜視図。

【図１５】チップ型圧電共振部品を示す斜視図。

【図１６】第７の実施例に係る圧電共振子を示す斜視
図。

【図１７】第８の実施例の圧電共振子を示す斜視図。

【図１８】第９の実施例に係る圧電フィルタを示す斜視
図。

【図１９】第９の実施例の圧電フィルタの回路図。

【図２０】第１０の実施例の圧電フィルタを示す斜視
図。

【図２１】図２０に示した圧電フィルタの回路図。

【図２２】第１１の実施例に係る圧電フィルタを示す斜
視図。

【図２３】圧電フィルタの他の例を示す模式的断面図。

【図２４】第１２の実施例に係るチップ型圧電フィルタ
の分解斜視図。

【図２５】スペーサを示す斜視図。

【図２６】チップ型圧電フィルタの斜視図。

【図２７】図２６に示した圧電フィルタの回路図。

【図２８】（ａ）及び（ｂ）は、第１３の実施例に係る
２重モード圧電フィルタの平面図及び圧電板を透かして
下方の電極形状を示した模式的平面図。

【図２９】チップ型２重モード圧電フィルタを説明する
ための分解斜視図。

【図３０】チップ型２重モード圧電フィルタを示す斜視
図。

【符号の説明】

２１…圧電共振子 ２２…圧電板 ２２ａ，２２ｂ…短辺に沿う側面 ２３，２４…第１，第２の連結部 ２５，２６…第１，第２の保持部 ２８，２９…第１，第２の共振電極 ３０，３１…引き出し電極 ４１…圧電共振子 ４２ａ，４２ｂ…第１の共振電極 ４３ａ，４３ｂ…第２の共振電極 ５１，５３…第１の共振電極 ５２，５４…第２の共振電極 ６１…圧電共振子 ６２，６３…動吸振部 ７１…圧電共振子 ７２ａ，７２ｂ…矩形面 ９１…部材 ９２…圧電薄膜 １０１…圧電板 １０２…第１の共振電極 １０５…圧電共振子 １１１…圧電フィルタ １１５，１１６…第１，第２の保持部 １１９…入力電極 １２０…出力電極 １２１…共通共振電極 １２２…圧電板 １２３，１２４…第１，第２の連結部 １２２〜１２４…引き出し電極 １３１…圧電フィルタ １３２，１３３，１３４，１３５…電極 １３６〜１３９…引き出し電極 １４１…圧電フィルタ １４２…入力電極 １４３ａ，１４３ｂ…出力電極 １４７…共通共振電極 １６０…積層体 １６１〜１６４…外部電極 １７１…２重モード圧電フィルタ １７２，１７３…第１，第２の圧電振動部 １７４，１７７…圧電板 １８０…連結部 １８１，１８３…第１，第２の連結部 １８２，１８４…第１，第２の保持部 １８５〜１８８…引き出し電極 １７５，１７６，１７８，１７９…共振電極 １９１，１９２…第１，第２のスペーサ １９４，１９５…第１，第２のケース基板 ２０５…チップ型２重モード圧電フィルタ

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する一対の矩形の面と、一対の矩形
   の面を結ぶ４つの側面とを有する圧電振動部と、 前記圧電振動部の前記一対の矩形面上に形成された第
   １，第２の共振電極とを備え、 前記矩形面の短辺の長さをａ、長辺の長さをｂ、圧電振
   動部を構成する材料のポアソン比をσとしたときに、比
   ｂ／ａが、 【数１】 を満たす値を中心として±１０％の範囲内とされてお
   り、圧電横効果を利用して２ｎ次（但し、ｎは整数）の
   屈曲モードの振動を励振させるように構成されている、
   圧電共振子。
2. 【請求項２】 前記圧電振動部の側面のうち、前記矩形
   面の短辺に沿う側面の一端側に連結された連結部をさら
   に備え、該連結部により保持されるように構成されてい
   る、請求項１に記載の圧電共振子。
3. 【請求項３】 前記圧電振動部の矩形面の第１の短辺に
   沿う第１の側面の一端側部分に第１の連結部が連結され
   ており、第１の連結部が連結されている部分に対して対
   角線方向において反対側の位置となるように、第２の短
   辺に沿う第２の側面の一端側部分に第２の連結部が連結
   されている、請求項２に記載の圧電共振子。
4. 【請求項４】 前記連結部に、圧電共振子を機械的に保
   持するための保持部が連結されている、請求項２または
   ３に記載の圧電共振子。
5. 【請求項５】 前記保持部に引き出し電極が形成されて
   おり、該引き出し電極が前記第１または第２の共振電極
   に電気的に接続されている、請求項４に記載の圧電共振
   子。
6. 【請求項６】 前記第１，第２の共振電極が、前記第
   １，第２の連結部が連結されている側のコーナー部を結
   ぶ対角線に略沿うように延びるように、前記圧電振動部
   の矩形面上に形成されている、請求項３に記載の圧電共
   振子。
7. 【請求項７】 前記第１，第２の共振電極が、前記第
   １，第２の連結部が連結されている部分近傍において、
   それぞれ、前記矩形面上に形成されている、請求項３に
   記載の圧電共振子。
8. 【請求項８】 前記連結部と前記保持部との間に設けら
   れた動吸振部をさらに備える、請求項２に記載の圧電共
   振子。
9. 【請求項９】 請求項１に記載の圧電共振子と、 前記圧電共振子の一対の矩形面上に振動部分の振動を妨
   げない空間を有するようにして貼り合わされた第１，第
   ２のケース基板とを有する、チップ型圧電共振部品。
10. 【請求項１０】 前記圧電共振子が、前記圧電振動部の
    矩形面の短辺側の両側面に連結された第１，第２の連結
    部及び第１，第２の保持部を有し、 前記保持部に、前記第１，第２のケース基板が貼り合わ
    されている、請求項９に記載のチップ型圧電共振部品。
11. 【請求項１１】 前記圧電共振子の圧電振動部の長辺側
    の両側に、前記圧電振動部の振動を妨げないための空隙
    を隔てて第１，第２のスペーサ板が結合されている、請
    求項１０に記載のチップ型圧電共振部品。
12. 【請求項１２】 前記圧電共振子及び第１，第２のスペ
    ーサ板が一体の部材で構成されている、請求項１１に記
    載のチップ型圧電共振部品。
13. 【請求項１３】 前記第１の共振電極が、一対の電極か
    らなり、該一対の電極の一方を入力電極、他方を出力電
    極とする単一モード圧電フィルタである、請求項１に記
    載の圧電共振子。
14. 【請求項１４】 前記圧電振動部が、第１，第２の圧電
    振動部により構成されており、第１，第２の圧電振動部
    を、各圧電振動部の矩形面の短辺側の側面同士を連結す
    る連結部により連結されており、それによって２重モー
    ド圧電フィルタが構成されている、請求項１に記載の圧
    電共振子。