JPH0583079A - 圧電素子及びその製造方法 - Google Patents
圧電素子及びその製造方法Info
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- JPH0583079A JPH0583079A JP27033091A JP27033091A JPH0583079A JP H0583079 A JPH0583079 A JP H0583079A JP 27033091 A JP27033091 A JP 27033091A JP 27033091 A JP27033091 A JP 27033091A JP H0583079 A JPH0583079 A JP H0583079A
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- piezoelectric
- electrode
- piezoelectric element
- electrodes
- damping
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚みすべり振動モードを利用した圧電共振子
に用いられる圧電素子において、この圧電素子を製造す
る際の分極用電極を有効に利用するとともに、その長さ
方向に起因して発生するスプリアス振動を有効にダンピ
ングする。 【構成】 圧電ブロックを分極した後これを切断する前
に、その分極用電極上にそれぞれダンピング板材を接着
することにより、圧電体１２の両端にダンピング部材１
８ａ，１８ｂが配設され、且つ、圧電体１２とダンピン
グ部材１８ａ，１８ｂとの間に端面電極１４ａ，１４ｂ
が形成された圧電素子１０とした。
に用いられる圧電素子において、この圧電素子を製造す
る際の分極用電極を有効に利用するとともに、その長さ
方向に起因して発生するスプリアス振動を有効にダンピ
ングする。 【構成】 圧電ブロックを分極した後これを切断する前
に、その分極用電極上にそれぞれダンピング板材を接着
することにより、圧電体１２の両端にダンピング部材１
８ａ，１８ｂが配設され、且つ、圧電体１２とダンピン
グ部材１８ａ，１８ｂとの間に端面電極１４ａ，１４ｂ
が形成された圧電素子１０とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック発振子，セ
ラミックフィルタなどの圧電共振子に用いられる圧電素
子及びその製造方法に関する。
ラミックフィルタなどの圧電共振子に用いられる圧電素
子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電共振子は、圧電効果を利用して安定
した周波数を発生したり、特定の周波数を選択したりす
る電子部品であり、これに用いられる圧電素子には、必
要な周波数によって様々な形態のものがある。
した周波数を発生したり、特定の周波数を選択したりす
る電子部品であり、これに用いられる圧電素子には、必
要な周波数によって様々な形態のものがある。
【０００３】たとえば数ＭＨｚ程度の周波数を発生する
圧電共振子として、図６に示すような厚みすべり振動モ
ードを利用したセラミック発振子１がある。このセラミ
ック発振子１には、角柱状の圧電素子２が段差付きのケ
ース３に支持されて収納されていて、さらに蓋４がされ
ている。
圧電共振子として、図６に示すような厚みすべり振動モ
ードを利用したセラミック発振子１がある。このセラミ
ック発振子１には、角柱状の圧電素子２が段差付きのケ
ース３に支持されて収納されていて、さらに蓋４がされ
ている。
【０００４】この圧電素子２は、図７に示すように、圧
電セラミックスから成る圧電体２ａの両面に対向電極２
ｂ，２ｃが形成されて構成されている。このうち一方の
対向電極２ｂは、圧電体２ａの端面を経て反対側の面に
まで形成されていて、ケース３に設けられた引出電極５
ａと電気的に接続されるようになっている。つまり、こ
の圧電素子２は導電ペーストによりケース３に固定さ
れ、それらの対向電極２ｂ，２ｃと引出電極５ａ，５ｂ
とがそれぞれ電気的に接続されている。
電セラミックスから成る圧電体２ａの両面に対向電極２
ｂ，２ｃが形成されて構成されている。このうち一方の
対向電極２ｂは、圧電体２ａの端面を経て反対側の面に
まで形成されていて、ケース３に設けられた引出電極５
ａと電気的に接続されるようになっている。つまり、こ
の圧電素子２は導電ペーストによりケース３に固定さ
れ、それらの対向電極２ｂ，２ｃと引出電極５ａ，５ｂ
とがそれぞれ電気的に接続されている。
【０００５】このような圧電素子２を製造するには、図
８に示すように、まずチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）
から成る圧電ブロック６を用意する。次いでこの圧電ブ
ロック６の両面に分極用電極７ａ，７ｂを形成した後、
これら分極用電極７ａ，７ｂに高電圧を印加して圧電ブ
ロック６を分極する。次にこの分極された圧電ブロック
６を一方向に切断して（図中点線で示す）、複数の圧電
ブロック片６ａに分割する。次いでこの圧電ブロック片
６ａの切断面をラッピングした後、図９に示すように、
その両面に金属などを蒸着してパターン化し、長手方向
に沿うように帯状電極８ａ，８ｂ，８ｃを形成する。こ
こで、本来なら長手方向の両端面には分極用電極７ａ，
７ｂの一部分が残っているはずであるが、これまでの切
断工程やラッピング工程などでそのほとんどが削れてし
まっている。そこで図１０に示すように、帯状電極８ａ
と８ｂとが導通するようにその一端面にスパッタリング
などにより帯状電極９を形成する。そして圧電ブロック
片６ａを一方向に切断して分割することにより（図中点
線で示す）、圧電素子２を製造している。
８に示すように、まずチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）
から成る圧電ブロック６を用意する。次いでこの圧電ブ
ロック６の両面に分極用電極７ａ，７ｂを形成した後、
これら分極用電極７ａ，７ｂに高電圧を印加して圧電ブ
ロック６を分極する。次にこの分極された圧電ブロック
６を一方向に切断して（図中点線で示す）、複数の圧電
ブロック片６ａに分割する。次いでこの圧電ブロック片
６ａの切断面をラッピングした後、図９に示すように、
その両面に金属などを蒸着してパターン化し、長手方向
に沿うように帯状電極８ａ，８ｂ，８ｃを形成する。こ
こで、本来なら長手方向の両端面には分極用電極７ａ，
７ｂの一部分が残っているはずであるが、これまでの切
断工程やラッピング工程などでそのほとんどが削れてし
まっている。そこで図１０に示すように、帯状電極８ａ
と８ｂとが導通するようにその一端面にスパッタリング
などにより帯状電極９を形成する。そして圧電ブロック
片６ａを一方向に切断して分割することにより（図中点
線で示す）、圧電素子２を製造している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、分極用電
極７ａ，７ｂは途中の工程で削れて無くなってしまうた
め、改めて圧電ブロック片６ａの一端面に帯状電極９を
形成する必要があった。一方、圧電体２ａの長さは有限
にせざるを得ないため、スプリアス振動が圧電体２ａの
端面で反射させられてメイン振動に悪影響を及ぼすとい
う問題がある。
極７ａ，７ｂは途中の工程で削れて無くなってしまうた
め、改めて圧電ブロック片６ａの一端面に帯状電極９を
形成する必要があった。一方、圧電体２ａの長さは有限
にせざるを得ないため、スプリアス振動が圧電体２ａの
端面で反射させられてメイン振動に悪影響を及ぼすとい
う問題がある。
【０００７】そこで本発明者は、分極用電極７ａ，７ｂ
を有効に利用するとともに、スプリアス振動をダンピン
グすることを目的として鋭意研究を重ねた結果、本発明
に至った。
を有効に利用するとともに、スプリアス振動をダンピン
グすることを目的として鋭意研究を重ねた結果、本発明
に至った。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る圧電素子の
要旨とするところは、圧電体の両面にそれぞれの端部か
ら中央付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の
一部が中央付近で対向させられて成る圧電素子におい
て、前記圧電体の両端にダンピング部材が配設されたこ
とにある。
要旨とするところは、圧電体の両面にそれぞれの端部か
ら中央付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の
一部が中央付近で対向させられて成る圧電素子におい
て、前記圧電体の両端にダンピング部材が配設されたこ
とにある。
【０００９】また、かかる圧電素子において、前記圧電
体と前記ダンピング部材との間に端面電極が形成された
ことにある。
体と前記ダンピング部材との間に端面電極が形成された
ことにある。
【００１０】一方、本発明に係る圧電素子の製造方法の
要旨とするところは、圧電体の両面にそれぞれの端部か
ら中央付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の
一部が中央付近で対向させられて成る圧電素子の製造方
法において、前記圧電体を複数採取し得る圧電ブロック
を分極した後、該圧電ブロックを切断する前に、該圧電
ブロックの両面に形成された分極用電極上にそれぞれダ
ンピング板材を接着することにより、前記圧電体の両端
にダンピング部材が配設され、且つ、該圧電体と該ダン
ピング部材との間に端面電極が形成された圧電素子を製
造することにある。
要旨とするところは、圧電体の両面にそれぞれの端部か
ら中央付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の
一部が中央付近で対向させられて成る圧電素子の製造方
法において、前記圧電体を複数採取し得る圧電ブロック
を分極した後、該圧電ブロックを切断する前に、該圧電
ブロックの両面に形成された分極用電極上にそれぞれダ
ンピング板材を接着することにより、前記圧電体の両端
にダンピング部材が配設され、且つ、該圧電体と該ダン
ピング部材との間に端面電極が形成された圧電素子を製
造することにある。
【００１１】
【作用】本発明に係る圧電素子は、主に厚みすべり振動
モードを利用した圧電共振子に用いられるもので、たと
えば段差付きのケースなどに収納され、その両端部で支
持されて使用される。これにより対向電極の一部が対向
させられている圧電体の中央付近で所定周波数のメイン
振動が発生するのであるが、これと同時に発生するスプ
リアス振動など不要な振動はダンピング部材により充分
にダンピングされる。したがってスプリアス振動は圧電
体の端面で反射させられなくなり、メイン振動に及ぼす
悪影響が低減される。さらに圧電体とダンピング部材と
の間に端面電極が形成されている場合には、それらの対
向電極とケースなどに設けられた引出電極とはこの端面
電極を介して電気的に接続される。
モードを利用した圧電共振子に用いられるもので、たと
えば段差付きのケースなどに収納され、その両端部で支
持されて使用される。これにより対向電極の一部が対向
させられている圧電体の中央付近で所定周波数のメイン
振動が発生するのであるが、これと同時に発生するスプ
リアス振動など不要な振動はダンピング部材により充分
にダンピングされる。したがってスプリアス振動は圧電
体の端面で反射させられなくなり、メイン振動に及ぼす
悪影響が低減される。さらに圧電体とダンピング部材と
の間に端面電極が形成されている場合には、それらの対
向電極とケースなどに設けられた引出電極とはこの端面
電極を介して電気的に接続される。
【００１２】一方、本発明に係る圧電素子の製造方法に
よれば、まず圧電体を複数採取することができる圧電ブ
ロックの両面に分極用電極が形成され、これら分極用電
極に高電圧が印加されて圧電ブロックが分極される。次
いで、これら分極用電極上にそれぞれダンピング板材が
接着される。次に、このダンピング板材が接着された圧
電ブロックが適宣切断され、これに対向電極が形成され
ることにより圧電素子が製造される。この圧電素子にお
ける圧電体の両端面にはダンピング板材が切断されて成
るダンピング部材が配設され、さらに圧電体とダンピン
グ部材との間には分極用電極が切断されて成る端面電極
が形成されている。このように分極用電極がダンピング
板材によって保護されているので、途中の工程で削れて
無くならず、端面電極として有効に利用される。したが
って、改めて端面電極を形成する必要がない。
よれば、まず圧電体を複数採取することができる圧電ブ
ロックの両面に分極用電極が形成され、これら分極用電
極に高電圧が印加されて圧電ブロックが分極される。次
いで、これら分極用電極上にそれぞれダンピング板材が
接着される。次に、このダンピング板材が接着された圧
電ブロックが適宣切断され、これに対向電極が形成され
ることにより圧電素子が製造される。この圧電素子にお
ける圧電体の両端面にはダンピング板材が切断されて成
るダンピング部材が配設され、さらに圧電体とダンピン
グ部材との間には分極用電極が切断されて成る端面電極
が形成されている。このように分極用電極がダンピング
板材によって保護されているので、途中の工程で削れて
無くならず、端面電極として有効に利用される。したが
って、改めて端面電極を形成する必要がない。
【００１３】
【実施例】次に、本発明に係る圧電素子及びその製造方
法の一実施例について、図面に基づき詳しく説明する。
法の一実施例について、図面に基づき詳しく説明する。
【００１４】図１に示すように、本発明に係る圧電素子
１０は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ），チタン酸バ
リウムなどの圧電セラミックスから成る角柱状の圧電体
１２と、この圧電体１２の両端面に形成された端面電極
１４ａ，１４ｂと、これらの端面電極１４ａ，１４ｂ上
に接着剤１６ａ，１６ｂにより接着されたシリコンやゴ
ムなどから成るダンピング部材１８ａ，１８ｂと、これ
らの両面に形成された対向電極２０ａ，２０ｂとにより
構成されている。これらの対向電極２０ａ，２０ｂはそ
れぞれの端部から圧電体１２の中央付近にかけて形成さ
れ、その一部が中央付近で対向させられている。この対
向電極２０ａ，２０ｂにより挟まれている部分２２が、
メイン振動である厚みすべり振動を行なう振動部であ
る。また、この圧電素子１０の下面、つまり対向電極２
０ｂが形成されている面にはコンタクト電極２４が形成
されていて、その反対側の面に形成されている対向電極
２０ａと端面電極１４ａを介して電気的に接続されてい
る。なお、ここで使用する接着剤１６ａ，１６ｂは導電
性の有無を問わない。
１０は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ），チタン酸バ
リウムなどの圧電セラミックスから成る角柱状の圧電体
１２と、この圧電体１２の両端面に形成された端面電極
１４ａ，１４ｂと、これらの端面電極１４ａ，１４ｂ上
に接着剤１６ａ，１６ｂにより接着されたシリコンやゴ
ムなどから成るダンピング部材１８ａ，１８ｂと、これ
らの両面に形成された対向電極２０ａ，２０ｂとにより
構成されている。これらの対向電極２０ａ，２０ｂはそ
れぞれの端部から圧電体１２の中央付近にかけて形成さ
れ、その一部が中央付近で対向させられている。この対
向電極２０ａ，２０ｂにより挟まれている部分２２が、
メイン振動である厚みすべり振動を行なう振動部であ
る。また、この圧電素子１０の下面、つまり対向電極２
０ｂが形成されている面にはコンタクト電極２４が形成
されていて、その反対側の面に形成されている対向電極
２０ａと端面電極１４ａを介して電気的に接続されてい
る。なお、ここで使用する接着剤１６ａ，１６ｂは導電
性の有無を問わない。
【００１５】この圧電素子１０は、たとえば図２に示す
ようなセラミック発振子２６に用いられるもので、段差
付きのケース２８にその両端部で支持され、且つ、導電
ペーストなどにより固定されて、さらに蓋３０がされ
る。このケース２８には段差部から外周部にかけて引出
電極３２ａ，３２ｂが形成されていて、圧電素子１０の
下面側の対向電極２０ｂは直接引出電極３２ｂと電気的
に接続されるが、上面側の対向電極２０ａは端面電極１
４ａとコンタクト電極２４とを介して引出電極３２ａと
電気的に接続される。したがって圧電素子１０の下面だ
けに導電ペーストを塗布すれば、対向電極２０ａ，２０
ｂと引出電極３２ａ，３２ｂとを電気的に接続すること
ができ、充分な信頼性を得ることができる。また、圧電
体１２の長さ方向などに起因して発生するスプリアス振
動はダンピング部材１８ａ，１８ｂによって充分にダン
ピングされるので、圧電体１２の端面で反射させられな
くなる。このため、スプリアス振動がメイン振動に及ぼ
す悪影響は低減され、リップルなどの少ない良好な共振
特性を得ることができる。
ようなセラミック発振子２６に用いられるもので、段差
付きのケース２８にその両端部で支持され、且つ、導電
ペーストなどにより固定されて、さらに蓋３０がされ
る。このケース２８には段差部から外周部にかけて引出
電極３２ａ，３２ｂが形成されていて、圧電素子１０の
下面側の対向電極２０ｂは直接引出電極３２ｂと電気的
に接続されるが、上面側の対向電極２０ａは端面電極１
４ａとコンタクト電極２４とを介して引出電極３２ａと
電気的に接続される。したがって圧電素子１０の下面だ
けに導電ペーストを塗布すれば、対向電極２０ａ，２０
ｂと引出電極３２ａ，３２ｂとを電気的に接続すること
ができ、充分な信頼性を得ることができる。また、圧電
体１２の長さ方向などに起因して発生するスプリアス振
動はダンピング部材１８ａ，１８ｂによって充分にダン
ピングされるので、圧電体１２の端面で反射させられな
くなる。このため、スプリアス振動がメイン振動に及ぼ
す悪影響は低減され、リップルなどの少ない良好な共振
特性を得ることができる。
【００１６】次に、この圧電素子１０の製造方法につい
て説明する。まず図３に示すように、ＰＺＴ，チタン酸
バリウムなどの圧電セラミックスから成る圧電ブロック
３４の両面に真空蒸着などにより分極用電極３６ａ，３
６ｂを形成し、これらの分極用電極３６ａ，３６ｂに高
電圧を印加して圧電ブロック３４を分極する。次いで、
これらの分極用電極３６ａ，３６ｂ上にそれぞれ接着剤
を塗布してダンピング板材３８ａ，３８ｂを接着する。
この工程が本発明に係る圧電素子の製造方法における最
大の特徴である。
て説明する。まず図３に示すように、ＰＺＴ，チタン酸
バリウムなどの圧電セラミックスから成る圧電ブロック
３４の両面に真空蒸着などにより分極用電極３６ａ，３
６ｂを形成し、これらの分極用電極３６ａ，３６ｂに高
電圧を印加して圧電ブロック３４を分極する。次いで、
これらの分極用電極３６ａ，３６ｂ上にそれぞれ接着剤
を塗布してダンピング板材３８ａ，３８ｂを接着する。
この工程が本発明に係る圧電素子の製造方法における最
大の特徴である。
【００１７】これにより図４に示すように、圧電ブロッ
ク３４が分極用電極３６ａ，３６ｂと接着剤１６ａ，１
６ｂとダンピング板材３８ａ，３８ｂとにより挟まれた
構造のものが作製される。次にこれを内周刃式切断機な
どにより所定間隔ごとに一方向に切断して（図中点線で
示す）、複数の圧電ブロック片４２に分割する。
ク３４が分極用電極３６ａ，３６ｂと接着剤１６ａ，１
６ｂとダンピング板材３８ａ，３８ｂとにより挟まれた
構造のものが作製される。次にこれを内周刃式切断機な
どにより所定間隔ごとに一方向に切断して（図中点線で
示す）、複数の圧電ブロック片４２に分割する。
【００１８】次いでこの圧電ブロック片４２の切断面を
ラッピングした後、図５に示すように圧電ブロック片４
２の両面に銀Agなどの導電材料を蒸着し、所定のパター
ンにエッチングして帯状電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃを
形成する。このうち帯状電極４４ａと４４ｃは各面の半
分以上の領域に互いに対称に形成し、帯状電極４４ｂは
分極用電極３６ｂの切断面を覆うように帯状電極４４
ａ，４４ｃよりも幅細に形成する。そして、この圧電ブ
ロック片４２をダイサーなどにより所定間隔で一方向に
切断して分割すれば（図中点線で示す）、図１に示した
圧電素子１０を製造することができる。ここで、圧電ブ
ロック３４は分割されて圧電体１２と、ダンピング板材
３８ａ，３８ｂは分割されてダンピング部材１８ａ，１
８ｂと、分極用電極３６ａ，３６ｂは分割されて端面電
極１４ａ，１４ｂとなっている。
ラッピングした後、図５に示すように圧電ブロック片４
２の両面に銀Agなどの導電材料を蒸着し、所定のパター
ンにエッチングして帯状電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃを
形成する。このうち帯状電極４４ａと４４ｃは各面の半
分以上の領域に互いに対称に形成し、帯状電極４４ｂは
分極用電極３６ｂの切断面を覆うように帯状電極４４
ａ，４４ｃよりも幅細に形成する。そして、この圧電ブ
ロック片４２をダイサーなどにより所定間隔で一方向に
切断して分割すれば（図中点線で示す）、図１に示した
圧電素子１０を製造することができる。ここで、圧電ブ
ロック３４は分割されて圧電体１２と、ダンピング板材
３８ａ，３８ｂは分割されてダンピング部材１８ａ，１
８ｂと、分極用電極３６ａ，３６ｂは分割されて端面電
極１４ａ，１４ｂとなっている。
【００１９】このように、分極用電極３６ａ，３６ｂは
ダンピング板材３８ａ，３８ｂによって保護されている
ので、切断工程やラッピング工程など途中の工程で削れ
て無くなってしまうことがない。したがって、分極用電
極３６ａ，３６ｂは端面電極１４ａ，１４ｂとして有効
に利用され、従来のように端面電極を改めて形成する必
要がない。
ダンピング板材３８ａ，３８ｂによって保護されている
ので、切断工程やラッピング工程など途中の工程で削れ
て無くなってしまうことがない。したがって、分極用電
極３６ａ，３６ｂは端面電極１４ａ，１４ｂとして有効
に利用され、従来のように端面電極を改めて形成する必
要がない。
【００２０】以上、本発明に係る圧電素子及びその製造
方法の一実施例について詳述したが、本発明は上述した
実施例に限定されることなく、その他の態様でも実施し
得るものである。
方法の一実施例について詳述したが、本発明は上述した
実施例に限定されることなく、その他の態様でも実施し
得るものである。
【００２１】たとえば、使用するダンピング部材１８
ａ，１８ｂの材質は圧電体１２とヤング率など各種の係
数が異なっているものであれば良く、誘電体や絶縁体で
あっても良い。ただし、ラッピング工程や切断工程に耐
えられることが条件である。
ａ，１８ｂの材質は圧電体１２とヤング率など各種の係
数が異なっているものであれば良く、誘電体や絶縁体で
あっても良い。ただし、ラッピング工程や切断工程に耐
えられることが条件である。
【００２２】また、コンタクト電極２４は端面電極１４
ａと引出電極３２ａとの電気的接続を容易にするために
形成しておくのが望ましいが、あえて形成しておかなく
ても良い。なおこの場合は、端面電極１４ａの側面が引
出電極３２ａに接触するように圧電素子１０を支持固定
する必要がある。
ａと引出電極３２ａとの電気的接続を容易にするために
形成しておくのが望ましいが、あえて形成しておかなく
ても良い。なおこの場合は、端面電極１４ａの側面が引
出電極３２ａに接触するように圧電素子１０を支持固定
する必要がある。
【００２３】また、対向電極２０ａ，２０ｂと端面電極
１４ａ，１４ｂとは電気的に接続されていれば良いの
で、対向電極２０ａ，２０ｂは少なくとも圧電体１２の
端部から中央付近にかけて形成されていれば足り、あえ
てダンピング部材１８ａ，１８ｂの表面上に形成されて
いる必要はない。
１４ａ，１４ｂとは電気的に接続されていれば良いの
で、対向電極２０ａ，２０ｂは少なくとも圧電体１２の
端部から中央付近にかけて形成されていれば足り、あえ
てダンピング部材１８ａ，１８ｂの表面上に形成されて
いる必要はない。
【００２４】さらに、圧電ブロック片４２に帯状電極４
４ａ，４４ｃを形成した後、これらを切断して対向電極
２０ａ，２０ｂを形成するのではなく、圧電ブロック片
４２を切断した後、個別に対向電極２０ａ，２０ｂを形
成するようにしても良い。また、圧電ブロック３４の形
状は上述したように縦横に切断して圧電体１２を採取し
得るものでなく、たとえば一方向にのみ切断すれば圧電
体を採取し得るものでも良い。つまり、採取し得る圧電
体が一列分だけの圧電ブロックでも良いのである。
４ａ，４４ｃを形成した後、これらを切断して対向電極
２０ａ，２０ｂを形成するのではなく、圧電ブロック片
４２を切断した後、個別に対向電極２０ａ，２０ｂを形
成するようにしても良い。また、圧電ブロック３４の形
状は上述したように縦横に切断して圧電体１２を採取し
得るものでなく、たとえば一方向にのみ切断すれば圧電
体を採取し得るものでも良い。つまり、採取し得る圧電
体が一列分だけの圧電ブロックでも良いのである。
【００２５】その他、圧電素子１０を収納するためのケ
ースや蓋は本発明と直接関係なく、様々な形態のものを
用いることができるなど、本発明はその主旨を逸脱しな
い範囲内で当業者の知識に基づき種々なる改良，修正，
変形を加えた態様で実施し得るものである。
ースや蓋は本発明と直接関係なく、様々な形態のものを
用いることができるなど、本発明はその主旨を逸脱しな
い範囲内で当業者の知識に基づき種々なる改良，修正，
変形を加えた態様で実施し得るものである。
【００２６】
【発明の効果】本発明に係る圧電素子は、圧電体の両端
にダンピング部材が配設されていて、スプリアス振動が
このダンピング部材により充分にダンピングされるた
め、良好な共振特性を得ることができる。さらに圧電体
とダンピング部材との間に端面電極が形成されているた
め、この端面電極により対向電極とケースなどに設けら
れた引出電極とを電気的に接続することができる。
にダンピング部材が配設されていて、スプリアス振動が
このダンピング部材により充分にダンピングされるた
め、良好な共振特性を得ることができる。さらに圧電体
とダンピング部材との間に端面電極が形成されているた
め、この端面電極により対向電極とケースなどに設けら
れた引出電極とを電気的に接続することができる。
【００２７】一方、本発明に係る圧電素子の製造方法
は、圧電体を複数採取し得る圧電ブロックを分極した
後、その圧電ブロックを切断する前に、その圧電ブロッ
クの両面に形成された分極用電極上にそれぞれダンピン
グ板材を接着することにより、圧電体の両端にダンピン
グ部材が配設され、且つ、圧電体とダンピング部材との
間に端面電極が形成された圧電素子を製造しているた
め、分極用電極は途中の工程で無くならず、端面電極と
して有効に利用される。このため改めて端面電極を形成
する必要がないなど、優れた効果を奏する。
は、圧電体を複数採取し得る圧電ブロックを分極した
後、その圧電ブロックを切断する前に、その圧電ブロッ
クの両面に形成された分極用電極上にそれぞれダンピン
グ板材を接着することにより、圧電体の両端にダンピン
グ部材が配設され、且つ、圧電体とダンピング部材との
間に端面電極が形成された圧電素子を製造しているた
め、分極用電極は途中の工程で無くならず、端面電極と
して有効に利用される。このため改めて端面電極を形成
する必要がないなど、優れた効果を奏する。
【図１】本発明に係る圧電素子の一実施例を示す斜視図
である。
である。
【図２】図１に示した圧電素子を用いた圧電共振子の一
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図３】図１に示した圧電素子を製造するための最初の
工程を示す斜視図である。
工程を示す斜視図である。
【図４】図３に示した製造工程の次の工程を示す斜視図
である。
である。
【図５】図４に示した製造工程のさらに次の工程を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図６】従来の圧電素子を用いた圧電共振子の一例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図７】図６に示した圧電共振子に用いられている圧電
素子を示す斜視図である。
素子を示す斜視図である。
【図８】図７に示した圧電素子を製造するための最初の
工程を示す斜視図である。
工程を示す斜視図である。
【図９】図８に示した製造工程の次の工程を示す斜視図
である。
である。
【図１０】図９に示した製造工程のさらに次の工程を示
す斜視図である。
す斜視図である。
１０；圧電素子 １２；圧電体 １４ａ，１４ｂ；端面電極 １８ａ，１８ｂ；ダンピング部材 ２０ａ，２０ｂ；対向電極 ２６；圧電共振子 ２８；ケース ３２ａ，３２ｂ；引出電極 ３４；圧電ブロック ３６ａ，３６ｂ；分極用電極 ３８ａ，３８ｂ；ダンピング板材
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電体の両面にそれぞれの端部から中央
付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の一部が
中央付近で対向させられて成る圧電素子において、前記
圧電体の両端にダンピング部材が配設されたことを特徴
とする圧電素子。 - 【請求項２】 前記圧電体と前記ダンピング部材との間
に端面電極が形成されたことを特徴とする請求項１に記
載の圧電素子。 - 【請求項３】 圧電体の両面にそれぞれの端部から中央
付近にかけて対向電極が形成され、該対向電極の一部が
中央付近で対向させられて成る圧電素子の製造方法にお
いて、前記圧電体を複数採取し得る圧電ブロックを分極
した後、該圧電ブロックを切断する前に、該圧電ブロッ
クの両面に形成された分極用電極上にそれぞれダンピン
グ板材を接着することにより、前記圧電体の両端にダン
ピング部材が配設され、且つ、該圧電体と該ダンピング
部材との間に端面電極が形成された圧電素子を製造する
ことを特徴とする圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27033091A JPH0583079A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 圧電素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27033091A JPH0583079A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 圧電素子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0583079A true JPH0583079A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17484760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27033091A Pending JPH0583079A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 圧電素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0583079A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6806626B2 (en) | 2000-11-07 | 2004-10-19 | Murata Manufacturing Co., Llp | Electronic component |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS573411A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-08 | Nec Corp | Composite piezoelectric ceramic oscillator |
| JPS5967712A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS6121132B2 (ja) * | 1981-07-10 | 1986-05-26 | Nitsukaboodo Kk | |
| JPH03165613A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP27033091A patent/JPH0583079A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS573411A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-08 | Nec Corp | Composite piezoelectric ceramic oscillator |
| JPS6121132B2 (ja) * | 1981-07-10 | 1986-05-26 | Nitsukaboodo Kk | |
| JPS5967712A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH03165613A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6806626B2 (en) | 2000-11-07 | 2004-10-19 | Murata Manufacturing Co., Llp | Electronic component |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990406 |