JP3147834B2

JP3147834B2 - 圧電共振子の製造方法

Info

Publication number: JP3147834B2
Application number: JP28766897A
Authority: JP
Inventors: 島哲夫竹; 崎武志山; 開重雅草; 合豊川
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-10-03
Filing date: 1997-10-03
Publication date: 2001-03-19
Anticipated expiration: 2017-10-03
Also published as: NO314478B1; US6223406B1; NO984637D0; EP0907240A3; EP0907240B1; CN1224248A; EP0907240A2; KR19990036874A; KR100307679B1; JPH11112260A; CN1163980C; DE69816737T2; NO984637L; DE69816737D1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子の製造
方法に関し、特に、たとえば発振子，ディスクリミネー
タ，フィルタなどの電子部品に用いられ、圧電体の機械
的共振を利用した圧電共振子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２６はこの発明の背景となる従来の圧
電共振子の一例を示す斜視図である。圧電共振子１は、
たとえば平面視長方形の板状の圧電体基板２を含む。圧
電体基板２は、厚み方向に分極される。圧電体基板２の
両面には、電極３が形成される。この電極３間に信号を
入力することにより、圧電体基板２の厚み方向に電界が
印加され、圧電体基板２は長さ方向に振動する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図２６に示す圧電共振
子は、電界方向および分極方向と振動方向とが異なる圧
電横効果を利用している。この圧電横効果を利用した圧
電共振子の電気機械結合係数は、電界方向および分極方
向と振動方向とが一致した圧電縦効果を利用した圧電共
振子に比べて小さい。そのため、圧電横効果を利用した
圧電共振子では、共振周波数と反共振周波数との差ΔＦ
が比較的小さい。このことは、圧電共振子をフィルタに
用いたときに、帯域幅が小さいという欠点につながる。
そのため、圧電共振子やそれを用いた電子部品におい
て、特性の設計自由度が小さい。さらに、図２６に示す
圧電共振子においては、長さモードの１次共振を利用し
ているが、構造的に、３次，５次などの奇数倍の高次モ
ードや、幅モードのスプリアスも大きく発生してしま
う。

【０００４】そこで、本願出願の出願人によって出願さ
れた特願平８−１１０４７５号等において、複数の圧電
体層と複数の電極とが交互に積層されて長手方向を有す
る基体を構成し、複数の圧電体層が基体の長手方向に分
極され、長さ振動の基本振動を励振する積層構造の圧電
共振子が提案された。このような積層構造の圧電共振子
は、圧電体層の分極方向と電界方向と振動方向とが一致
した圧電縦効果を利用するものであり、圧電横効果を利
用する圧電共振子に比べて、スプリアスが小さく、共振
周波数と反共振周波数との差ΔＦが大きいという利点が
ある。

【０００５】次に、そのような積層構造の圧電共振子の
一例について詳しく説明する。図１はこの発明の背景と
なる積層構造の圧電共振子の一例を示す斜視図であり、
図２はその圧電共振子の図解図であり、図３はその圧電
共振子の要部平面図である。この積層構造の圧電共振子
１０は、たとえば直方体状の基体１２を含む。基体１２
は、たとえば圧電セラミックからなり積層される複数の
圧電体層１２ａを含む。基体１２の長手方向における中
間部の複数の圧電体層１２ａにおいて基体１２の長手方
向に直交する両主面には、複数の内部電極１４がそれぞ
れ形成される。そのため、複数の内部電極１４は、基体
１２の長手方向に直交しかつ基体１２の長手方向に間隔
を隔てて配置される。また、基体１２の長手方向におけ
る中間部の複数の圧電体層１２ａは、図２の矢印で示す
ように、それぞれの内部電極１４の両側において、互い
に逆向きとなるように基体１２の長手方向に分極され
る。ただし、基体１２の長手方向における両端部の圧電
体層１２ａは分極されていない。この基体１２において
は、内部電極１４は、基体１２の長手方向に平行な４つ
の側面に露出している。

【０００６】基体１２の一側面には、基体１２の長手方
向に延びる溝１５が形成される。溝１５は、基体１２の
幅方向における中央に形成され、基体１２の一側面を２
分割している。さらに、図２に示すように、溝１５によ
って分割された側面には、第１の絶縁膜１６および第２
の絶縁膜１８が形成される。基体１２の側面の溝１５で
分割された一方側では、内部電極１４の露出部が、１つ
おきに第１の絶縁膜１６で被覆される。また、基体１２
の側面の溝１５で分割された他方側では、溝１５の一方
側で第１の絶縁膜１６に被覆されていない内部電極１４
の露出部が、第２の絶縁膜１８で被覆される。

【０００７】さらに、基体１２の第１および第２の絶縁
膜１６，１８が形成された部分、すなわち溝１５の両側
には、２つの外部電極２０，２２が形成される。したが
って、外部電極２０には第１の絶縁膜１６で被覆されて
いない内部電極１４が接続され、外部電極２２には第２
の絶縁膜１８で被覆されていない内部電極１４が接続さ
れる。つまり、内部電極１４の隣合うものが、それぞれ
外部電極２０および外部電極２２に接続される。

【０００８】この圧電共振子１０では、外部電極２０，
２２が入出力電極として使用される。このとき、基体１
２の長手方向における中間部では、隣合う内部電極１４
間で分極されているとともに隣合う内部電極１４間に電
界が印加されるので、圧電的に活性となる。この場合、
基体１２の互いに逆向きに分極した部分に互いに逆向き
の電圧が印加されるため、基体１２は全体として同じ向
きに伸縮しようとする。そのため、圧電共振子１０全体
としては、基体１２の長手方向の中心部をノードとした
長さ振動の基本振動が励振される。なお、基体１２の長
手方向における両端部では、分極されておらず、また、
電極が形成されていないために電界が印加されないの
で、圧電的に不活性となる。

【０００９】この圧電共振子１０では、基体１２の分極
方向，入力信号による電界方向および基体１２の振動方
向が一致する。つまり、この圧電共振子１０は、圧電縦
効果を利用した圧電共振子となる。この圧電共振子１０
は、分極方向および電界方向と振動方向とが異なる圧電
横効果を利用した圧電共振子に比べて、電気機械結合係
数が大きい。そのため、この圧電共振子１０では、圧電
横効果を利用した圧電共振子に比べて、共振周波数と反
共振周波数との差ΔＦの選択の幅を大きくすることがで
きる。したがって、この圧電共振子１０では、圧電横効
果を利用した圧電共振子に比べて、帯域幅の大きい特性
を得ることができる。さらに、この圧電共振子１０は、
圧電横効果を利用した圧電共振子に比べて、スプリアス
が小さい。また、この圧電共振子１０では、その一側面
に外部電極２０，２２が形成されているので、それをた
とえば絶縁体基板上に表面実装することができる。

【００１０】以下に、この圧電共振子１０を作製する方
法について、図４〜図１３を用いて説明する。なお、こ
れらの図においては、説明の都合上、圧電体層１２ａを
形成するグリーンシートの層数と、図２，図３に示す圧
電共振子１０を構成する圧電体層１２ａの層数とが一致
していない。しかしながら、以下の製法は圧電体層の数
に関わらず、同様のものである。この圧電共振子１０を
作製するには、図４に示すように、まず圧電セラミック
のグリーンシート３０が準備される。グリーンシート３
０の一方面上には、たとえば銀，パラジウム，有機バイ
ンダなどを含む導電ペーストが塗布され、導電ペースト
層３２が形成される。導電ペースト層３２は、グリーン
シート３０の一端側を除いて全面に形成される。このグ
リーンシート３０が、複数枚積層される。このとき、導
電ペースト層３２の形成されていない端部が交互に逆方
向に配置されるように、グリーンシート３０が積層され
る。さらに、積層体の対向する側面に導電ペーストが塗
布されたのち焼成することにより、図５に示すような積
層体母材３４が形成される。

【００１１】積層体母材３４内には、導電ペースト層３
２が焼成されることによって、複数の内部電極３６が形
成される。これらの内部電極３６は、交互に積層体母材
３４の対向部に露出している。そして、積層体母材３４
の対向部には、内部電極３６が１つおきに接続された分
極用電極３８，４０が形成される。これらの分極用電極
３８，４０に直流電圧を印加することによって、積層体
母材３４に分極処理が施される。このとき、積層体母材
３４内部においては、隣合う内部電極３６間に直流高電
界が印加されるが、その向きは交互に逆方向となる。そ
のため、積層体母材３４は、図５の矢印に示すように、
内部電極３６の両側で互いに逆方向に分極される。

【００１２】次に、図６に点線で示すように、積層体母
材３４が、ダイサーなどで複数の内部電極３６および分
極用電極３８，４０に直交するように切断される。それ
によって、図７に示すような積層体４２が形成される。

【００１３】そして、図８に示すように、積層体４２の
一方主面に、内部電極３６を露出しない被覆部と内部電
極３６を露出する露出部とが市松模様状を呈するように
絶縁膜４４が形成される。この場合、市松模様の内部電
極３６に対して垂直方向の１つの列においては、絶縁膜
４４は、積層体４２の内部電極３６に垂直な方向の１つ
おきの内部電極３６上に形成される。また、これと隣接
する積層体４２の内部電極３６に垂直な列においては、
隣の列において絶縁膜４４が形成されていない内部電極
３６上に、絶縁膜４４が形成される。

【００１４】それから、この積層体４２において、絶縁
膜４４が形成された面の全面には、図９に示すように、
スパッタリングなどによって外部電極４８が形成され
る。

【００１５】次に、ダイシングマシンで、積層体４２に
おいて、図１０の１点鎖線で示す部分に、詳しくは図１
１の１点鎖線間の部分、すなわち、市松模様に形成され
た絶縁膜４４の隣接する列の境界部分の積層体４２の主
面に、内部電極３６の面に直交するように溝１５を形成
するとともに、図１０の点線で示す部分で、詳しくは図
１１の点線間の部分、すなわち、これらの溝１５の中間
の部分で、積層体４２を図１２に示すように切断するこ
とによって、図１および図２に示す圧電共振子１０が形
成される。

【００１６】ところが、上述の方法では、積層体４２に
溝１５を形成する位置が、ダイシングマシンの刃厚（溝
１５の幅に相当）の１／２以上ずれた場合、たとえば図
１３に示すように絶縁膜４４の隣接する列の境界からず
れてしまう。この場合、成形される圧電共振子１０は、
図１４に示すように、絶縁されるべき内部電極３６（１
４）が絶縁膜４４（１６）で完全に絶縁されず、外部電
極４８（２０），４８（２２）間でショートしてしま
う。このように上述の方法では、溝１５は、絶縁膜４４
の端縁を含んで形成しなければならず、溝１５を形成す
る位置に高い精度が要求され、圧電共振子１０を歩留り
よく製造することが困難であった。

【００１７】それゆえに、この発明の主たる目的は、表
面実装可能な積層構造の圧電共振子を、歩留りよく製造
することが容易となる、圧電共振子の製造方法を提供す
ることである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電共
振子の製造方法は、複数の圧電体層と複数の内部電極と
が交互に積層された積層体を準備する工程と、内部電極
の端部を積層体の一面に露出させ、この内部電極の露出
した面に被覆部と露出部とが市松模様状を呈する絶縁膜
を形成する工程と、市松模様状の絶縁膜が形成された積
層体の面に外部電極を形成する工程と、積層体の外部電
極形成面に内部電極に対して垂直方向に溝を形成すると
ともに、溝と平行にかつ被覆部および露出部とが分割さ
れるように積層体を切断する工程とを備え、市松模様状
の絶縁膜は、被覆部から内部電極が露出しないととも
に、露出部からは１の内部電極が露出するよう形成さ
れ、さらに、内部電極に対して平行方向に幅を有する帯
状部分が生じるように形成され、帯状部分に溝位置が含
まれる、圧電共振子の製造方法である。また、この発明
にかかる圧電共振子の製造方法では、圧電共振子の幅を
Ｗで表し、溝の幅をａで表したときに、内部電極に対し
て平行方向における帯状部分の幅寸法ｘを、０＜ｘ＜
（Ｗ−ａ）／２にすることが好ましい。

【００１９】この発明にかかる圧電共振子の製造方法で
は、表面実装可能な積層構造の圧電共振子が製造され
る。また、この発明にかかる圧電共振子の製造方法で
は、絶縁膜が、内部電極に対して平行方向に幅を有する
帯状部分が生じるように形成されるので、積層体に溝を
形成する位置が所定の位置よりも多少ずれても電極間で
ショートすることがなく、圧電共振子を歩留りよく製造
することが容易となる。

【００２０】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１および図１２に示す圧電共振
子１０と同様の圧電共振子を製造する方法の一例につい
て説明する。

【００２２】まず、図１および図１２に示す圧電共振子
１０を製造する方法と同一の工程で、図７に示す積層体
４２が作られる。

【００２３】そして、図１５に示すように、この積層体
４２の片面には、絶縁膜４４が、図８などに示す市松模
様と比べて、内部電極３６に対して垂直方向に連続する
重なり部分４６すなわち内部電極３６に対して平行方向
に幅を有する帯状部分が生じるように形成される。

【００２４】それから、この積層体４２において、重な
り部分４６を含む絶縁膜４４が形成された面の全面に
は、図１５に示すように、スパッタリングなどによって
外部電極４８が形成される。

【００２５】次に、ダイシングマシンで、積層体４２に
おいて、図１５の１点鎖線間の部分に、すなわち、絶縁
膜４４の重なり部分４６の内部電極３６と平行な方向の
略中央部分に、内部電極３６の面に直交するように溝１
５を形成するとともに、図１５の点線間の部分で、すな
わち、これらの溝１５の中間の部分で、積層体４２を切
断することによって、図１６に示す圧電共振子１０′が
形成される。

【００２６】図１６に示す圧電共振子１０′は、図１に
示す圧電共振子１０と比べて、溝１５の両側に絶縁膜４
４の重なり部分４６が残るが、重なり部分４６で内部電
極３６（１４）が完全に絶縁されないので、内部電極３
６（１４）が接続不良とならず、その結果、図１に示す
圧電共振子１０と実質的に同一となり同様の機能を有す
る。

【００２７】この発明の実施の形態である上述の方法で
は、圧電共振子の幅をＷとし、溝１５の幅（ダイシング
マシンの刃厚）をａとし、絶縁膜４４の重なり部分４６
の幅をｘとしたとき、０＜ｘ＜（Ｗ−ａ）／２としてい
るので、積層体４２に溝１５を形成する位置が、ダイシ
ングマシンの刃厚の１／２以上ずれても、たとえば図１
７に示すように絶縁膜４４の重なり部分４６から完全に
ずれることはない。この場合、成形される圧電共振子１
０″は、図１８に示すように、溝１５の一方側に絶縁膜
４４の重なり部分４６が残るが、重なり部分４６で内部
電極３６（１４）が完全に絶縁されず、基体１２の他方
側に内部電極３６（１４）が露出することとなり、内部
電極３６（１４）が接続不良とならず、その結果、図１
に示す圧電共振子１０と実質的に同一となり同様の機能
を有する。

【００２８】したがって、この発明の実施の形態である
上述の方法では、溝１５を形成する位置が所定の位置
（絶縁膜の重なり部分の内部電極と平行な方向の中央部
分）より多少ずれても、電極間でショートすることがな
く、表面実装可能な積層構造の圧電共振子を歩留りよく
製造することが容易となる。

【００２９】なお、図１９に示すように、絶縁膜４４の
重なり部分４６の横に溝１５が形成された場合には、重
なり部分４６の幅寸法ｘを（Ｗ−ａ）／２以上にする
と、図２０に示すように重なり部分４６で内部電極３６
（１４）が完全に絶縁されてしまう。このような場合に
おいても、絶縁膜４４の重なり部分４６の幅寸法ｘを０
＜ｘ＜（Ｗ−ａ）／２にしておけば、内部電極３６（１
４）が完全に絶縁されてしまうことはない。

【００３０】なお、本発明においても、溝１５形成用の
刃の厚みａを、絶縁膜４４の重なり部分４６の幅ｘより
も大きく形成しておけば、所定の位置で溝１５の形成を
おこなった場合には、絶縁膜４４の重なり部分４６のな
い圧電共振子１０を得ることができる。このような場合
では、所定位置より多少ずれた位置で溝１５の形成をお
こなっても、絶縁膜４４の重なり部分４６のない圧電共
振子１０を得ることができる。

【００３１】上述の圧電共振子１０を用いて、発振子や
ディスクリミネータなどの電子部品が作製される。図２
１は、電子部品６０の一例を示す斜視図である。電子部
品６０は、絶縁体基板６２を含む。絶縁体基板６２の対
向する端部には、それぞれ２つずつ凹部６４が形成され
る。絶縁体基板６２の一方面上には、２つのパターン電
極６６，６８が形成される。一方のパターン電極６６
は、対向する凹部６４間に形成され、その一端側から絶
縁体基板６２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるよう
に形成される。また、他方のパターン電極６８は、別の
対向する凹部６４間に形成され、その他端側から絶縁体
基板６２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるように形
成される。そして、絶縁体基板６２の中央部付近におい
て、２つのパターン電極６６，６８が、間隔を隔てて対
向するように形成される。これらのパターン電極６６，
６８は、絶縁体基板６２の端部から他方面に向かって、
回り込むように形成される。

【００３２】絶縁体基板６２の中央部におけるパターン
電極６６およびパターン電極６８の端部には、図２２に
示すように、たとえば導電接着剤などによって、圧電共
振子１０の外部電極２０，２２の中央部にそれぞれ形成
した導電材料からなる支持部材２４が接続される。それ
によって、圧電共振子１０の外部電極２０，２２は、絶
縁体基板６２上に固定されるとともに、パターン電極６
６，６８に電気的に接続される。

【００３３】さらに、絶縁体基板６２上に、金属キャッ
プ７４がかぶせられる。このとき、金属キャップ７４と
パターン電極６６，６８とが導通しないように、絶縁体
基板６２およびパターン電極６６，６８上に絶縁性樹脂
が塗布される。そして、金属キャップ７４がかぶせられ
ることによって、電子部品６０が作製される。この電子
部品６０では、絶縁体基板６２の端部から裏面に回り込
むように形成されたパターン電極６６，６８が、外部回
路と接続するための入出力端子として用いられる。

【００３４】この電子部品６０では、基体１２の長手方
向の中央部に形成された支持部材２４によって圧電共振
子１０が支持されているため、圧電共振子１０の端部が
絶縁体基板６２から離れた状態で配置され、振動が阻害
されない。また、圧電共振子１０のノード点である中央
部が支持部材２４によって固定されるとともに、外部電
極２０，２２とパターン電極６６，６８とが電気的に接
続される。このとき、支持部材２４は、予め圧電共振子
１０に形成されているため、圧電共振子１０のノード点
に正確に位置決めすることができる。したがって、パタ
ーン電極６６，６８側に突起状の支持部材を形成して、
その上に圧電共振子を置く場合に比べて、正確にノード
点の支持を行うことができる。そのため、圧電共振子１
０の振動漏れを防ぐことができ、良好な特性を得ること
ができる。また、圧電共振子１０の外部電極２０，２２
とパターン電極６６，６８との接続のためにリード線を
用いる必要がなく、安価に電子部品６０を製造すること
ができる。

【００３５】また、この電子部品６０は、ＩＣなどとと
もに回路基板などに実装され、発振子やディスクリミネ
ータとして用いられる。このような構造の電子部品６０
では、金属キャップ７４で密封・保護されているため、
リフロー半田などによる取り付けが可能なチップ部品と
して使用することができる。

【００３６】この電子部品６０を発振子として使用する
場合、上述の圧電共振子１０が用いられているので、ス
プリアスが小さく抑えられ、スプリアスによる異常発振
を防止することができる。また、圧電共振子１０の容量
値を自由に設定できるため、外部回路とのインピーダン
ス整合をとることが容易である。特に、電圧制御発振器
用の発振子として使用する場合、共振子のΔＦが大きい
ので、従来にはない広い周波数可変範囲を得ることがで
きる。

【００３７】また、この電子部品６０をディスクリミネ
ータとして用いる場合、共振子のΔＦが大きいという特
徴は、ピークセパレーションが広いという特徴につなが
る。さらに、共振子の容量設計範囲が広いため、外部回
路とのインピーダンス整合をとることが容易である。

【００３８】また、複数の圧電共振子１０を用いて、ラ
ダーフィルタを作製することができる。図２３は梯子型
の回路を有するラダーフィルタとして用いられる電子部
品の例を示す要部平面図であり、図２４はその要部分解
斜視図である。図２３および図２４に示す電子部品６０
では、絶縁体基板６２上に、４つパターン電極９０，９
２，９４，９６が形成される。これらのパターン電極９
０〜９６には、間隔を隔て一列に配置される５つのラン
ドが形成される。この場合、絶縁体基板６２の一端から
１番目のランドはパターン電極９０に形成され、２番目
のランドおよび５番目のランドはパターン電極９２に形
成され、３番目のランドはパターン電極９４に形成さ
れ、４番目のランドはパターン電極９６に形成される。

【００３９】これらのランドに、それぞれ圧電共振子１
０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄの外部電極２０，２２に
形成された支持部材２４が取り付けられる。この場合、
図２５に示す梯子型の回路が得られるように、圧電共振
子１０ａ〜１０ｄが取り付けられる。そして、絶縁体基
板６２上に、金属キャップ（図示せず）がかぶせられ
る。

【００４０】この電子部品６０は、図２５に示すよう
な、梯子型の回路を有するラダーフィルタとして用いら
れる。このとき、たとえば２つの圧電共振子１０ａ，１
０ｄは直列共振子として用いられ、別の２つの圧電共振
子１０ｂ，１０ｃは並列共振子として用いられる。この
ようなラダーフィルタでは、並列の圧電共振子１０ｂ，
１０ｃの容量が、直列の圧電共振子１０ａ，１０ｄの容
量よりも大きくなるように設計されている。

【００４１】ラダーフィルタの減衰量は、直列共振子と
並列共振子の容量比に左右される。この電子部品６０で
は、圧電共振子１０ａ〜１０ｄの積層数を変えることに
よって、容量を調整することができる。したがって、圧
電共振子１０ａ〜１０ｄの容量を調整することにより、
従来の圧電横効果を利用した圧電共振子を用いた場合に
比べて、少ない共振子数でより大きい減衰量をもったラ
ダーフィルタを実現することができる。また、圧電共振
子１０ａ〜１０ｄのΔＦが従来の圧電共振子より大きい
ため、通過帯域幅も従来の圧電共振子を用いたものより
広いものを実現することができる。

【００４２】

【発明の効果】この発明によれば、表面実装可能な積層
構造の圧電共振子を、歩留りよく製造することが容易と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の背景となる積層構造の圧電共振子の
一例を示す斜視図である。

【図２】図１に示す圧電共振子の図解図である。

【図３】図１に示す圧電共振子の要部平面図である。

【図４】圧電共振子を作製するためにセラミックグリー
ンシートなどを積層する状態を示す斜視図である。

【図５】図４に示すセラミックグリーンシートなどから
作られた積層体母材を示す図解図である。

【図６】図４に示す積層体母材の切断部分を示す図解図
である。

【図７】図６に示す積層体母材を切断した積層体を示す
図解図である。

【図８】図７に示す積層体に絶縁膜を形成した状態を示
す図解図である。

【図９】図８に示す積層体に外部電極を形成した状態を
示す図解図である。

【図１０】図９に示す積層体に溝を形成するとともにそ
の積層体を切断して圧電共振子を作製する工程を示す図
解図である。

【図１１】図１０に示す工程の要部図解図である。

【図１２】図１１に示す工程で作製された圧電共振子を
示す図解図である。

【図１３】図１１に示す工程において積層体に溝を形成
する位置および積層体を切断する位置がずれた場合の工
程を示す要部図解図である。

【図１４】図１３に示す工程で作製された圧電共振子を
示す図解図である。

【図１５】この発明にかかる圧電共振子の製造方法にお
いて積層体に溝を形成するとともにその積層体を切断し
て圧電共振子を作製する工程を示す要部図解図である。

【図１６】図１５に示す工程で作製された圧電共振子を
示す図解図である。

【図１７】図１５に示す工程において溝および切断の位
置がずれた場合の工程を示す要部図解図である。

【図１８】図１７に示す工程で作製された圧電共振子を
示す図解図である。

【図１９】図１５に示す工程において溝および切断の位
置がずれた場合の別の工程を示す要部図解図である。

【図２０】図１９に示す工程で作製された圧電共振子を
示す図解図である。

【図２１】図１に示す圧電共振子を用いた電子部品の一
例を示す分解斜視図である。

【図２２】図２１に示す電子部品における圧電共振子の
取り付け構造を示す側面図である。

【図２３】図１に示す圧電共振子を用いたラダーフィル
タの一例を示す要部平面図である。

【図２４】図２３に示すラダーフィルタの要部分解斜視
図である。

【図２５】図２３に示すラダーフィルタの回路図であ
る。

【図２６】この発明の背景となる従来の圧電共振子の一
例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０，１０′，１０″ 圧電共振子１２基体１２ａ圧電体層１４内部電極１５溝１６第１の絶縁膜１８第２の絶縁膜２０，２２外部電極３０グリーンシート３２導電ペースト層３４積層体母材３６内部電極３８，４０分極用電極４２積層体４４絶縁膜４６重なり部分４８外部電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川合豊京都府長岡京市天神２丁目26番10号株式会社村田製作所内 (56)参考文献特開昭60−53315（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−30208（ＪＰ，Ａ) 特開昭56−69999（ＪＰ，Ａ) 特開平６−268470（ＪＰ，Ａ) 特開平８−172227（ＪＰ，Ａ) 特開平３−280481（ＪＰ，Ａ) 特公平５−35607（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭62−61170（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭48−31368（ＪＰ，Ｂ１) 実公平３−23705（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 3/00 - 3/04 H01L 41/22 - 41/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の圧電体層と複数の内部電極とが交
互に積層された積層体を準備する工程、前記内部電極の端部を積層体の一面に露出させ、この内
部電極の露出した面に被覆部と露出部とが市松模様状を
呈する絶縁膜を形成する工程、前記市松模様状の絶縁膜が形成された前記積層体の面に
外部電極を形成する工程、および前記積層体の前記外部
電極形成面に前記内部電極に対して垂直方向に溝を形成
するとともに、前記溝と平行にかつ前記被覆部および前
記露出部とが分割されるように前記積層体を切断する工
程を備え、前記市松模様状の絶縁膜は、被覆部から内部電極が露出
しないとともに、露出部からは１の内部電極が露出する
よう形成され、さらに、前記内部電極に対して平行方向
に幅を有する帯状部分が生じるように形成され、前記帯状部分に前記溝位置が含まれる、圧電共振子の製
造方法。
【請求項２】前記圧電共振子の幅をＷで表し、前記溝
の幅をａで表したときに、前記内部電極に対して平行方
向における前記帯状部分の幅寸法ｘを、０＜ｘ＜（Ｗ−
ａ）／２にした、請求項１に記載の圧電共振子の製造方
法。