JPH10303694A - 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 - Google Patents

圧電共振子およびそれを用いた電子部品

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JPH10303694A
JPH10303694A JP12327997A JP12327997A JPH10303694A JP H10303694 A JPH10303694 A JP H10303694A JP 12327997 A JP12327997 A JP 12327997A JP 12327997 A JP12327997 A JP 12327997A JP H10303694 A JPH10303694 A JP H10303694A
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piezoelectric resonator
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electrode
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Jiro Inoue
上 二 郎 井
Toshiyuki Baba
場 俊 行 馬
Toshio Nishimura
村 俊 雄 西
Mamoru Ogawa
川 守 小
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58Multiple crystal filters
    • H03H9/60Electric coupling means therefor
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    • HELECTRICITY
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    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • HELECTRICITY
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    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/178Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプリアスが小さく、共振周波数と反共振周
波数との差ΔFが大きく、小型化が容易であり、外部電
極が断線しにくく、機械的品質係数Qmが劣化せず、共
振周波数の電圧依存性が大きくならず、基体が撓みにく
い圧電共振子を提供する。 【解決手段】 圧電共振子10は、直方体状の基体12
を含む。基体12は、積層される12層の圧電体層14
を含む。中間の圧電体層14は、互いに逆向きに分極さ
れる。中間の圧電体層14の主面には、電極16および
18が、基体12の中心軸を中心にして回転対称に対向
し、かつ、基体12の両側面から交互に露出するように
形成される。基体12の両側面には、外部電極20およ
び22が、電極16および18に交互に接続されるよう
に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子および
それを用いた電子部品に関し、特にたとえば、圧電体の
機械的共振を利用した圧電共振子、およびそれを用いた
発振子,ディスクリミネータ,フィルタなどの電子部品
に関する。
【0002】
【従来の技術】図32は従来の圧電共振子の一例を示す
斜視図である。圧電共振子1は、たとえば平面視長方形
の板状の圧電体基板2を含む。圧電体基板2は、厚み方
向に分極される。圧電体基板2の両面には、電極3が形
成される。この電極3間に信号を入力することにより、
圧電体基板2の厚み方向に電界が印加され、圧電体基板
2は長さ方向に振動する。また、図33に示すように、
平面視正方形の板状の圧電体基板2の両面に電極3を形
成した圧電共振子1がある。この圧電共振子1において
も、圧電体基板2は厚み方向に分極されている。この圧
電共振子1では、電極3間に信号を入力することによ
り、圧電体基板2の厚み方向に電界が印加され、圧電体
基板2が拡がり振動する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これらの圧電共振子
は、電界方向および分極方向と振動方向とが異なる圧電
横効果を利用している。この圧電横効果を利用した圧電
共振子の電気機械結合係数は、電界方向および分極方向
と振動方向とが一致した圧電縦効果を利用した圧電共振
子に比べて小さい。そのため、圧電横効果を利用した圧
電共振子では、共振周波数と反共振周波数との差ΔFが
比較的小さい。このことは、圧電共振子を発振子やフィ
ルタとして使用したときに、帯域幅が小さいという欠点
につながる。そのため、圧電共振子やそれを用いた電子
部品において、特性の設計自由度が小さい。
【0004】また、図32に示す圧電共振子において
は、長さモードの1次共振を利用しているが、構造的
に、3次,5次などの奇数倍の高次モードや、幅モード
のスプリアスも大きく発生してしまう。このスプリアス
を抑制するために、圧電共振子に研磨加工を施したり、
質量を付加したり、電極形状を変更するなどの対策が考
えられるが、これらは製造コストの上昇につながる。
【0005】さらに、図32に示す圧電共振子の場合、
圧電体基板が平面視長方形の板状であるため、強度的な
制約からあまり厚みを薄くすることができない。そのた
め、電極間距離を小さくできず、端子間容量を大きくす
ることができない。これは、外部回路とのインピーダン
ス整合をとる場合に、極めて不都合である。また、複数
の圧電共振子を直列および並列に交互に接続し、ラダー
型フィルタを形成する場合、通過帯域幅以外での減衰量
を大きくするためには直列共振子と並列共振子の容量比
を大きくする必要がある。しかしながら、上述のように
形状的な限界があり、大きい減衰量を得ることができな
い場合がある。
【0006】また、図33に示す圧電共振子では、拡が
りモードの1次共振を利用しているが、構造的に、拡が
りの3倍波や厚みモードなどのスプリアスが大きく発生
する可能性が高い。さらに、この圧電共振子では、長さ
振動を利用する圧電共振子に比べて、同じ共振周波数を
得るためにはサイズが大きくなり、小型化が困難であ
る。また、複数の圧電共振子を用いてラダー型フィルタ
を形成する場合、直列共振子と並列共振子の容量比を大
きくするために、直列に接続される共振子の厚みを大き
くするだけでなく、圧電体基板の一部にのみ電極を形成
して容量を小さくする手法が採用されている。この場
合、部分電極にすることによって、容量だけでなく共振
周波数と反共振周波数との差ΔFも低下してしまう。そ
れに合わせて、並列に接続される共振子についても、Δ
Fを小さくしなければならず、結果的に圧電体基板の圧
電性を有効に生かせず、フィルタの通過帯域幅を大きく
できないという問題がある。
【0007】そこで、スプリアスが小さく、共振周波数
と反共振周波数との差ΔFが大きい積層構造の圧電共振
子が考え出された。図34はこのような積層構造の圧電
共振子の一例を示す図解図である。図34に示す圧電共
振子4は、長手方向を有する基体5を構成する複数の圧
電体層6と複数の電極7とが交互に積層され、複数の圧
電体層6が基体の長手方向に分極された積層構造の圧電
共振子である。積層構造の圧電共振子4では、圧電体層
6の分極方向と電界方向と振動方向とが一致し、圧電縦
効果を利用するため、振動方向が分極方向および電界方
向と異なる圧電横効果を利用した圧電共振子に比べて、
電気機械結合係数が大きくなり、共振周波数と反共振周
波数との差ΔFが大きくなる。さらに、積層構造の圧電
共振子4では、圧電縦効果を利用することにより、幅モ
ードや厚みモードなどのような基本振動と異なるモード
の振動が発生しにくくなる。
【0008】この積層構造の圧電共振子4では、基体5
のすべての側面で電極7の端部が露出している。そのた
め、基体5の一方の側面において、1つおきの電極7の
端部が絶縁樹脂膜8aで被覆された上で、外部電極9a
が他の1つおきの電極7に接続されるように形成され
る。また、基体5の一方の側面に対向する他方の側面に
おいて、絶縁樹脂膜8aが形成された1つおきの電極7
に外部電極9bが接続されるように、他の1つおきの電
極7の端部が絶縁樹脂膜8bで被覆された上で、外部電
極9bが形成される。この積層構造の圧電共振子4で
は、基体5の長手方向と直交する断面の面積ないしは圧
電体層6の主面の面積をSとし、圧電体層6の厚みない
しは電極7間の距離をTとし、電極7間の層数をnとす
ると、外部電極9a,9b間の静電容量Cは、C∝nS
/Tで表される。そのため、この積層構造の圧電共振子
4では、面積Sを小さくして小型化しながら同一の静電
容量Cを得るためには、Tを小さくするかnを大きくす
ればよい。ところが、それらの絶縁樹脂膜8a,8bは
電極7の間隔がたとえば100μm以下の小型の圧電共
振子ではたとえば印刷などの方法によって位置精度よく
形成することが難しいため、圧電振動子そのものの小型
化が困難である。
【0009】また、この積層構造の圧電共振子4では、
絶縁樹脂膜8a,8b上に形成された外部電極9a,9
bが、絶縁樹脂膜8a,8bとの熱膨張係数の違いか
ら、その後のプロセスなどにおけるヒートショックある
いはヒートサイクルなどによって、図34に示すように
絶縁樹脂膜8a,8b上で断線するおそれがあった。
【0010】なお、図34に示す積層構造の圧電共振子
4において、絶縁樹脂膜8a,8b上の外部電極9a,
9bが断線しにくくなるようにするために、図35に示
すように、外部電極9a,9bの表面に導電性樹脂層9
c,9dを形成することが考えられる。
【0011】しかしながら、そのように基体5の側面に
絶縁樹脂膜8a,8bや導電性樹脂層9c,9dを形成
すると、基体5の側面に大きな負荷質量が形成されるこ
とになり、機械的品質係数Qmが劣化したり、共振周波
数の電圧依存性が大きくなったりしてしまう。
【0012】そこで、そのような絶縁樹脂膜や導電性樹
脂層を用いない積層構造の圧電共振子が考え出された。
図36はこのような積層構造の圧電共振子の一例を示す
図解図である。図36に示す圧電共振子4では、特に、
1つおきの電極7が、図37(a)に示すように、圧電
体層6の主面において上辺の中間部分から一端側部分で
除去され、他の1つおきの電極7が、図37(b)に示
すように、圧電体層6の主面において上辺の中間部分か
ら他端側部分で除去される。また、外部電極9a,9b
が、電極7に交互に接続されるように、基体5の上側の
側面に2列に形成される。
【0013】ところが、図36に示す圧電共振子4で
は、図38に示すように、電極7,7の電気的容量を構
成すべき対向する部分が基体5の中心軸からずれている
ので、圧電体層6に発生する駆動力が基体5の中心軸か
らずれ、振動時に基体5が撓んでしまう。そのため、基
体5の撓みによって、スプリアスが生じ、そのスプリア
スの共振周波数が共振点と反共振点との間にある場合に
は、特性が不良になってしまう。
【0014】それゆえに、この発明の主たる目的は、ス
プリアスが小さく、共振周波数と反共振周波数との差Δ
Fが大きく、小型化が容易であり、外部電極が断線しに
くく、機械的品質係数Qmが劣化せず、共振周波数の電
圧依存性が大きくならず、基体が撓みにくい圧電共振子
およびそれを用いた電子部品を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電共
振子は、長手方向を有する基体と、基体の長手方向と直
交しかつ基体の長手方向に間隔を隔てて配置される複数
の電極と、基体の表面に形成され、複数の電極に接続さ
れる一対の外部電極とを含み、基体は、積層される複数
の圧電体層を含み、複数の圧電体層は、基体の長手方向
に分極され、複数の電極は、圧電体層において基体の長
手方向に直交する面に形成され、複数の電極のうち一対
の外部電極の一方に接続される電極は、基体の表面の一
対の外部電極の他方が形成される部分には露出しないよ
うに形成され、複数の電極のうち一対の外部電極の他方
に接続される電極は、基体の表面の一対の外部電極の一
方が形成される部分には露出しないように形成され、さ
らに複数の電極は、対向する電極を重ね合わせた形状の
中心軸あるいは中心点が基体の長手方向に垂直な面にお
いて基体の中心軸あるいは中心点と一致していることを
特徴とした、圧電共振子である。この発明にかかる圧電
共振子において、一対の外部電極は、たとえば、基体の
異なった側面にそれぞれ形成されるか、基体の1つの側
面に形成される。さらに、この発明にかかる圧電共振子
において、支持部材と、基体の長手方向のほぼ中央部と
支持部材との間に配置される取付部材とが含まれてもよ
い。また、この発明にかかる電子部品は、上述の圧電共
振子を用いた電子部品であって、支持部材を、表面にパ
ターン電極の形成された絶縁体基板で構成し、絶縁体基
板上に取付部材を介して基体を取り付けるとともに、絶
縁体基板上に基体を覆うようにキャップを配置したこと
を特徴とする、電子部品である。さらに、この発明にか
かる電子部品は、上述の圧電共振子を用いた電子部品で
あって、支持部材を、表面にパターン電極の形成された
絶縁体基板で構成し、絶縁体基板上に、ラダー型フィル
タを構成するように複数の基体を取付部材を介して取り
付けるとともに、絶縁体基板上に基体を覆うようにキャ
ップを配置したことを特徴とする、電子部品である。
【0016】この発明にかかる圧電共振子では、圧電体
層の分極方向および電界方向と振動方向とが一致し、圧
電縦効果を利用している。そのため、振動方向が分極方
向および電界方向と異なる圧電横効果を利用した圧電共
振子に比べて、電気機械結合係数が大きくなり、共振周
波数と反共振周波数との差ΔFが大きくなる。また、圧
電縦効果を利用することにより、幅モードや厚みモード
などのような長さモードの基本振動と異なるモードの振
動が発生しにくくなる。また、この発明にかかる圧電共
振子では、複数の電極のうち一対の外部電極の一方に接
続される電極が、基体の表面の一対の外部電極の他方が
形成される部分には露出しないように形成され、さらに
複数の電極のうち一対の外部電極の他方に接続される電
極が、基体の表面の一対の外部電極の一方が形成される
部分には露出しないように形成されるので、基体の表面
には、電極の端部を絶縁するための絶縁樹脂膜を形成す
る必要がない。そのため、電極の間隔を狭くすることが
でき、小型化が容易となる。さらに、この発明にかかる
圧電共振子では、一方の外部電極と他方の外部電極に電
気的に接続される電極との間および他方の外部電極と一
方の外部電極に電気的に接続される電極との間に絶縁樹
脂膜が形成されないので、ヒートショックあるいはヒー
トサイクルなどによって、外部電極が断線しにくくな
る。また、この発明にかかる圧電共振子では、基体の表
面に絶縁樹脂膜や導電性樹脂層など負荷質量が形成され
ないので、機械的品質係数Qmが劣化せず、共振周波数
の電圧依存性も大きくならない。さらに、この発明にか
かる圧電共振子では、複数の電極は、対向する電極を重
ね合わせた形状の中心軸あるいは中心点が基体の長手方
向に垂直な面において基体の中心軸あるいは中心点と一
致するように形成されているので、圧電体層に発生する
駆動力が基体の中心軸からずれなく、基体が撓みにく
い。そのため、基体の撓みによるスプリアスが生じにく
く、特性も不良になりにくい。さらに、この発明にかか
る圧電共振子を用いて、発振子,ディスクリミネータ,
フィルタなどの電子部品を作製する場合、パターン電極
を形成した絶縁体基板上に圧電共振子を取り付け、さら
にキャップで覆うことによって、チップ型の電子部品と
することができる。
【0017】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【0018】
【発明の実施の形態】図1はこの発明にかかる圧電共振
子の一例を示す斜視図であり、図2はその図解図であ
る。図1および図2に示す圧電共振子10は、たとえば
3.8mm×1mm×1mmの直方体状の基体12を含
む。基体12は、たとえば圧電セラミックからなり積層
される12層の圧電体層14を含む。これらの圧電体層
14は、それぞれ、同じ寸法に形成される。また、これ
らの圧電体層14のうち中間の8層の圧電体層14は、
図2の矢印で示すように、隣合う圧電体層14の分極方
向が互いに逆向きになるように基体12の長手方向に分
極される。
【0019】分極される中間の8層の圧電体層14にお
いて基体12の長手方向に直交する主面には、一方の電
極16および他方の電極18が交互に形成される。した
がって、これらの電極16および18は、基体12の長
手方向に直交しかつ基体12の長手方向に間隔を隔てて
配置される。また、一方の電極16は、図3(a)に示
すように、圧電体層14の主面において一方の縦辺部分
を除く部分に形成される。さらに、他方の電極18は、
図3(b)に示すように、圧電体層14の主面において
他方の縦辺部分を除く部分に形成される。したがって、
一方の電極16は、基体12の一方の側面を含む3側面
から露出するがその一方の側面に対向する他方の側面か
ら露出しないように形成される。また、他方の電極18
は、基体12の一方の側面から露出しないがその一方の
側面に対向する他方の側面を含む3側面から露出するよ
うに形成される。
【0020】基体12の対向する一方の側面および他方
の側面には、外部電極20および22がそれぞれ形成さ
れる。したがって、一方の外部電極20は一方の電極1
6に接続され、他方の外部電極22は他方の電極18に
接続される。
【0021】この圧電共振子10では、外部電極20,
22が入出力電極として使用される。このとき、外部電
極20,22に信号を与えることにより、隣合う電極1
6,18間に電界が印加されるため、基体12の両端の
4層の圧電体層14を除く中間の8層の圧電体層14は
圧電的に活性となる。この場合、基体12の互いに逆向
きに分極した圧電体層14に、互いに逆向きの電圧が印
加されるため、圧電体層14は全体として同じ向きに伸
縮しようとする。つまり、外部電極20,22に接続さ
れた電極16,18によって、個々の圧電体層14に、
基体12の長手方向の交流電界を印加し、個々の圧電体
層14に伸縮の駆動力を発生させることによって、圧電
共振子10全体としては、基体12の長手方向の中心部
をノードとした長さ振動モードの基本振動が励振され
る。
【0022】この圧電共振子10では、圧電体層14の
分極方向,入力信号による電界方向および圧電体層14
の振動方向が一致する。つまり、この圧電共振子10
は、圧電縦効果を利用した共振子となる。この圧電共振
子10は、分極方向および電界方向と振動方向とが異な
る圧電横効果を利用した圧電共振子に比べて、電気機械
結合係数が大きい。そのため、この圧電共振子10で
は、従来の圧電横効果を利用した圧電共振子に比べて、
共振周波数と反共振周波数との差ΔFが大きい。したが
って、この圧電共振子10では、従来の圧電横効果を利
用した圧電共振子に比べて、帯域幅の大きい特性を得る
ことができる。
【0023】圧電縦効果と圧電横効果の違いを測定する
ために、図4,図5および図6に示す圧電共振子を作製
した。図4に示す圧電共振子は、4.0mm×1.0m
m×0.38mmの圧電体基板の厚み方向の両面に電極
を形成したものである。圧電体基板は、厚み方向に分極
されており、電極に信号を与えることによって、長さ振
動が励振される。図5に示す圧電共振子は、図4に示す
圧電共振子と同じ寸法で、圧電体基板の長手方向の両面
に電極を形成したものである。圧電体基板は、長手方向
に分極されており、電極に信号を与えることによって、
長さ振動が励振される。また、図6に示す圧電共振子
は、4.7mm×4.7mm×0.38mmの圧電体基
板の厚み方向の両面に電極を形成したものである。圧電
体基板は厚み方向に分極されており、電極に信号を与え
ることによって、拡がり振動が励振される。つまり、図
4および図6に示す圧電共振子が圧電横効果を利用して
おり、図5に示す圧電共振子が圧電縦効果を利用してい
る。
【0024】これらの圧電共振子について、共振周波数
Frと電気機械結合係数Kを測定し、その結果を表1,
表2および表3に示した。表1は図4に示す圧電共振子
の測定結果であり、表2は図5に示す圧電共振子の測定
結果であり、表3は図6に示す圧電共振子の測定結果で
ある。
【0025】
【表1】
【0026】
【表2】
【0027】
【表3】
【0028】これらの測定結果からわかるように、圧電
縦効果を利用した圧電共振子のほうが、圧電横効果を利
用した圧電共振子より電気機械結合係数Kが大きく、し
たがって共振周波数と反共振周波数の差ΔFが大きい。
また、圧電縦効果を利用した圧電共振子で最も大きいス
プリアスについては、長さの3倍波で電気機械結合係数
Kが12.2%である。しかも、基本振動と異なる幅モ
ードにおける電気機械結合係数Kは4.0%と小さい。
それに対して、圧電横効果を利用した長さ振動の圧電共
振子では、幅モードにおける電気機械結合係数Kが2
5.2%と大きく、圧電横効果を利用した拡がり振動の
圧電共振子では、厚みモードにおける電気機械結合係数
Kが23.3%と大きい。したがって、圧電縦効果を利
用した圧電共振子は、圧電横効果を利用した圧電共振子
に比べて、スプリアスが小さいことがわかる。
【0029】また、図1および図2に示す圧電共振子1
0では、図34に示す積層構造の圧電共振子4と比べ
て、一方の外部電極20に接続される一方の電極16
が、他方の外部電極22が形成される基体12の側面に
は露出しないように形成され、さらに他方の外部電極2
2に接続される他方の電極18が、一方の外部電極20
が形成される基体12の側面には露出しないように形成
されるので、基体12の側面には、電極16,18の端
部を絶縁するための絶縁樹脂膜を形成する必要がない。
そのため、電極16,18の間隔を狭くすることがで
き、小型化が容易となる。
【0030】さらに、この圧電共振子10では、図34
に示す積層構造の圧電共振子4と比べて、外部電極2
0,22と基体12との間に絶縁樹脂膜が形成されない
ので、ヒートショックあるいはヒートサイクルなどによ
って、外部電極20,22が断線しにくくなる。
【0031】また、この圧電共振子10では、基体12
の側面に絶縁樹脂膜や導電性樹脂層などの負荷質量が形
成されないので、機械的品質係数Qmが劣化せず、共振
周波数の電圧依存性も大きくならない。
【0032】さらに、この圧電共振子10では、図7に
示すように、電極16,18の重ね合わせた形状の中心
軸L1あるいは中心点P1が基体12の長手方向に垂直
な面における中心軸L2あるいは中心点P2と一致する
ように形成されているので、圧電体層14に発生する駆
動力が基体12の中心軸からずれなく、基体12が撓み
にくい。そのため、基体12の撓みによるスプリアスが
生じにくく、特性も不良になりにくい。
【0033】また、この圧電共振子10では、電極1
6,18が圧電体層14の主面に部分的に形成されるの
で、電極16,18の対向する面積を調整することによ
って、ΔFを調整することができ、特性の設計自由度が
大きい。
【0034】さらに、この圧電共振子10では、たとえ
ば電極16,18の対向する面積、圧電体層14および
電極16,18の数、圧電体層14において基体12の
長手方向における寸法を調整することによって、共振子
の電気的容量を調整することができる。つまり、電極1
6,18の対向する面積を広くしたり圧電体層14およ
び電極16,18の数を増やしたり圧電体層14におい
て基体12の長手方向における寸法を短くしたりすれ
ば、共振子の電気的容量を大きくすることができ、逆
に、電極16,18の対向する面積を狭くしたり圧電体
層14および電極16,18の数を減らしたり圧電体層
14において基体12の長手方向における寸法を長くし
たりすれば、共振子の電気的容量を小さくすることがで
きる。したがって、圧電共振子10の電極16,18の
対向する面積、圧電体層14および電極16,18の
数、圧電体層14において基体12の長手方向における
寸法を調整することにより、電気的容量を調整すること
ができ、電気的容量の設計自由度が大きい。そのため、
圧電共振子10を回路基板などに実装するとき、外部回
路とのインピーダンス整合をとることが容易である。
【0035】また、この圧電共振子10では、電極1
6,18の端部の絶縁性を維持するために圧電体層14
の主面において電極16,18が形成されない部分の幅
を一定にしたままで、共振子の上下方向の寸法を縮小し
て形成しても圧電体層14の主面の面積に対する電極1
6,18の対向する面積の割合が変わらないので、圧電
体層14に発生する駆動力の効率を落とすことなく低背
化が可能である。
【0036】図8はこの発明にかかる圧電共振子の他の
例を示す図解図である。図8に示す圧電共振子は、図1
および図2に示す圧電共振子と比べて、電極16,18
においてその形状が異なる。
【0037】図8に示す圧電共振子10では、一方の電
極16は、図9(a)に示すように、圧電体層14の主
面において中央部分から一方の縦辺の中間部分にわたっ
て形成され、他方の電極18は、その電極16と鏡像の
形状をなし、図9(b)に示すように、圧電体層14の
主面において中央部分から他方の縦辺の中間部分にわた
って形成される。また、図8には図示されていないが、
一方の外部電極20は一方の電極16に接続される。さ
らに、他方の外部電極22は他方の電極18に接続され
る。
【0038】図8に示す圧電共振子10では、特に、電
極16,18が共振子の表面に全く露出していないの
で、電極16,18の耐湿性が向上するとともに、電極
16,18間の絶縁抵抗が劣化しにくくなるという別の
効果も奏する。
【0039】図10はこの発明にかかる圧電共振子のさ
らに他の例を示す図解図である。図10に示す圧電共振
子は、上述の各圧電共振子と比べて、特に、電極16,
18および外部電極20,22において異なる。
【0040】すなわち、図10に示す圧電共振子10で
は、一方の電極16は、図11(a)に示すように、圧
電体層14の主面において中央部分から一方の縦辺、上
辺および下辺の3辺の各中間部分にわたって形成され、
他方の電極18は、その電極16と鏡像の形状をなし、
図11(b)に示すように、圧電体層14の主面におい
て中央部分から他方の縦辺、上辺および下辺の3辺の各
中間部分にわたって形成される。
【0041】また、外部電極20は、一方の電極16に
接続されるように、基体12の一方の側面、上側の側面
および下側の側面に、それぞれ形成される。また、外部
電極22は、他方の電極18に接続されるように、基体
12の他方の側面、上側の側面および下側の側面に、そ
れぞれ形成される。この場合、基体12の上側の側面お
よび下側の側面には、外部電極20および22が、それ
ぞれ1列ずつに形成される。
【0042】図10に示す圧電共振子10では、特に、
外部電極20および22が基体12の異なった3側面に
それぞれ形成されているので、そのままの状態、横にし
た状態、あるいは、逆さにした状態でたとえば回路基板
などに実装することができるという別の効果も奏する。
【0043】なお、図10に示す圧電共振子10におい
て、一方の電極16は、図12(a)に示すように、図
11(a)に示す電極形状と比べて、圧電体層14の両
側の縦辺部分に形成されなく、さらに、他方の電極18
は、その電極16と鏡像の形状をなし、図12(b)に
示すように、図11(b)に示す電極形状と比べて、圧
電体層14の主面において両側の縦辺部分に形成されな
くてもよい。
【0044】また、図10に示す圧電共振子10におい
て、一方の電極16は、図13(a)に示すように、圧
電体層14の主面において中央部分から両側の縦辺部分
にわたって形成され、さらに、他方の電極18は、その
電極16と鏡像の形状をなし、図13(b)に示すよう
に、圧電体層14の主面において中央部分から両側の縦
辺部分にわたって形成されてもよい。この場合、特に、
共振子の形状を幅方向に縮小して形成しても圧電体層1
4の主面に対する電極16,18の対向する面積の割合
があまり変わらないので、圧電体層14に発生する駆動
力の効率を落とすことなく幅方向において縮小すること
ができるという別の効果も奏する。
【0045】このほか、図10に示す圧電共振子10に
おいて、電極16および18は、図14(a)および図
14(b)、図15(a)および図15(b)、図16
(a)および図16(b)、あるいは、図17(a)お
よび図17(b)に示すような形状のものでもよい。
【0046】なお、図10に示す圧電共振子10におい
ては、一方の電極16のみに接続される外部電極20
と、他方の電極18のみに接続される外部電極22と
が、少なくとも1つずつ形成されていればよい。
【0047】上述の各圧電共振子10では、基体12の
長手方向における中間部分が圧電的に活性となり振動す
るように構成され、基体12の長手方向における両端部
分が圧電的に活性とならない不活性部で形成されてい
る。圧電体層が分極され、かつ電界が印加されたときに
のみ、圧電的に活性になるのであり、それ以外は圧電的
に不活性となるため、不活性部24は、このようなもの
であれば、他の構造のものでもよい。
【0048】上述の圧電共振子10を用いて、発振子や
ディスクリミネータなどの電子部品が作製される。図1
8は、電子部品60の一例を示す斜視図である。電子部
品60は、支持部材としての絶縁体基板62を含む。絶
縁体基板62の対向する端部には、それぞれ2つずつ凹
部64が形成される。絶縁体基板62の一方面上には、
図19に示すように、2つのパターン電極66,68が
形成される。一方のパターン電極66は、対向する凹部
64間に形成され、その一端側から絶縁体基板62の中
央部に向かって、L字状に延びる部分を有する。また、
他方のパターン電極68は、別の対向する凹部64間に
形成され、その他端側から絶縁体基板62の中央部に向
かって、直線状に延びる部分を有する。これらのパター
ン電極66,68は、絶縁体基板62の凹部64から他
方面に向かって、回り込むように形成される。
【0049】絶縁体基板62の中央部におけるパターン
電極66の端部には、導電性接着剤などによって取付部
材としての突起70が形成される。そして、図20に示
すように、突起70上に、上述の圧電共振子10が取り
付けられる。このとき、基体12の中央部が突起70上
に配置され、たとえば圧電共振子10の外部電極22が
突起70に接合される。なお、突起70は、圧電共振子
10側に先に形成されてもよい。そして、他方の外部電
極20が、導電ワイヤ72などによって、パターン電極
68に接続される。このとき、導電ワイヤ72は、圧電
共振子10の外部電極20の中央部に接続される。
【0050】さらに、絶縁体基板62上に、金属キャッ
プ74がかぶせられる。このとき、金属キャップ74と
パターン電極66,68とが導通しないように、絶縁体
基板62およびパターン電極66,68上に絶縁性樹脂
が塗布される。そして、金属キャップ74がかぶせられ
ることによって、電子部品60が作製される。この電子
部品60では、絶縁体基板62の凹部64から裏面に回
り込むように形成されたパターン電極66,68が、外
部回路と接続するための入出力端子として用いられる。
【0051】この電子部品60では、突起70が形成さ
れ、この突起70に圧電共振子10の中央部が固定され
ているため、圧電共振子10の端部が絶縁体基板62か
ら離れた状態で配置され、振動が阻害されない。また、
圧電共振子10のノード点である中央部が突起70に固
定されるとともに、導電ワイヤ72が接続されるため、
励振される長さ振動が弱められない。
【0052】また、この電子部品60は、ICなどとと
もに回路基板などに取り付けて用いられ、たとえば発振
子やディスクリミネータとして用いられる。このような
構造の電子部品60では、金属キャップ74で密封・保
護されているため、リフロー半田などによる取り付けが
可能なチップ部品として使用することができる。
【0053】この電子部品60を発振子として使用する
場合、上述の圧電共振子10が用いられているので、ス
プリアスが小さく抑えられ、スプリアスによる異常発振
を防止することができる。また、圧電共振子10の容量
値を自由に設定できるため、外部回路とのインピーダン
ス整合をとることが容易である。特に、電圧制御発振器
用の発振子として使用する場合、共振子のΔFが大きい
ので、従来にはない広い周波数可変範囲を得ることがで
きる。
【0054】また、この電子部品60をディスクリミネ
ータとして用いる場合、共振子のΔFが大きいという特
徴は、ピークセパレーションが広いという特徴につなが
る。さらに、共振子の容量設計範囲が広いため、外部回
路とのインピーダンス整合をとることが容易である。
【0055】なお、絶縁体基板62に圧電共振子10を
取り付ける構造として、図21および図22に示すよう
に、パターン電極66,68の両方に導電性接着剤など
の導電材料で形成した突起70を形成し、圧電共振子1
0の外部電極20,22を2つの突起70に接続しても
よい。また、図23および図24に示すように、絶縁体
基板62上に絶縁性接着剤などの絶縁材料で突起70を
形成し、導電ワイヤ72などを用いて、圧電共振子10
の外部電極20,22とパターン電極66,68とを接
続してもよい。なお、突起70は、圧電共振子10側に
先に形成されてもよい。
【0056】図25はこの発明にかかる圧電共振子を用
いた電子部品の他の例を示す図解図であり、図26はそ
の圧電共振子の取り付け構造を示す側面図である。図2
5および図26に示す電子部品では、図21および図2
2に示す電子部品と比べて、特に、たとえば図10に示
すように基体12の1側面に外部電極20,22が形成
された圧電共振子10が用いられている。
【0057】図27はこの発明にかかる圧電共振子を用
いた電子部品としてのラダー型フィルタの一例を示す要
部平面図であり、図28はその要部分解斜視図である。
図27および図28に示す電子部品60では、支持部材
としての絶縁体基板62上に、4つのパターン電極9
0,92,94,96が形成される。これらのパターン
電極90〜96には、間隔を隔てて一列に配置される5
つのランドが形成される。この場合、絶縁体基板62の
一端から1番目のランドはパターン電極90に形成さ
れ、2番目のランドおよび5番目のランドはパターン電
極92に形成され、3番目のランドはパターン電極94
に形成され、4番目のランドはパターン電極96に形成
される。また、1番目のランドには1つの突起98が、
2番目のランドには2つの突起100,102が、3番
目のランドには2つの突起104,106が、4番目の
ランドには2つの突起108,110が、5番目のラン
ドには1つの突起112が、それぞれ、導電性接着剤な
どで取付部材として形成される。この場合、これらの突
起98〜112は、間隔を隔てて一列に配置される。
【0058】これらの突起98〜112には、圧電共振
子10a,10b,10c,10dの外部電極20,2
2が、それぞれ取り付けられる。これらの圧電共振子1
0a〜10dとしては、たとえば図1、図2、図8に示
すように基体12の両側面に外部電極20,22が形成
された圧電共振子10が用いられる。
【0059】なお、突起98〜112は、圧電共振子1
0a,10b,10c,10d側に先に形成されてもよ
い。また、突起98〜112は、上述のパターン電極9
0〜96のランドや圧電共振子10a〜10dの外部電
極20,22に、突起98〜112を構成する導電性接
着剤と同じ種類あるいは他の種類の導電性接着剤で接着
されてもよい。これは、図27および図28に示す電子
部品以外の電子部品においても同様である。そして、絶
縁体基板62上に、金属キャップ(図示せず)がかぶせ
られる。
【0060】図27および図28に示す電子部品60
は、図29に示すような、梯子型の回路を有するラダー
型フィルタとして用いられる。このとき、2つの圧電共
振子10a,10cは直列共振子として用いられ、別の
2つの圧電共振子10b,10dは並列共振子として用
いられる。このようなラダー型フィルタでは、並列の圧
電共振子10b,10dの容量が、直列の圧電共振子1
0a,10cの容量よりも格段に大きくなるように設計
されている。
【0061】ラダー型フィルタの減衰量は、直列共振子
と並列共振子の容量比に左右される。図27および図2
8に示す電子部品60では、圧電共振子10a〜10d
の積層数を変えることによって、容量を調整することが
できる。したがって、圧電共振子10a〜10dの容量
を調整することにより、従来の圧電横効果を利用した圧
電共振子を用いた場合に比べて、少ない共振子数でより
大きい減衰量をもったラダー型フィルタを実現すること
ができる。また、圧電共振子10a〜10dのΔFが従
来の圧電共振子より大きいため、通過帯域幅も従来の圧
電共振子を用いたものより広いものを実現することがで
きる。
【0062】さらに、図27および図28に示す電子部
品60では、隣接する圧電共振子の2つの電極を同じラ
ンドに形成する2つの突起にそれぞれ取り付けるため、
隣接する圧電共振子の2つの電極間で絶縁する必要がな
く、隣接する圧電共振子を接近することができ、小型化
が可能である。
【0063】図30はこの発明にかかる圧電共振子を用
いた電子部品としてのラダー型フィルタの他の例を示す
要部平面図であり、図31はその要部分解斜視図であ
る。図30および図31に示す電子部品は、図27およ
び図28に示す電子部品と比べて、特に、圧電共振子1
0a,10b,10c,10dとして、たとえば図10
に示すように基体12の1側面に外部電極20,22が
形成された圧電共振子10が用いられる。図30および
図31に示す電子部品でも、図27および図28に示す
電子部品と同様の効果を奏する。
【0064】上述の各電子部品はチップ状に形成されて
いるが、この発明では電子部品はチップ状以外の形状と
することもできる。
【0065】なお、上述の各圧電共振子10では、複数
の圧電体層14が交互に逆方向に分極されているが、複
数の圧電体層14の分極方向はこれに限らない。
【0066】また、上述の各圧電共振子10では、基体
12の長手方向における圧電体層14の各寸法ないしは
隣接する電極16,18間の各間隔が同一に形成されて
いるが、それらは同一に形成されなくてもよい。
【0067】さらに、上述の各圧電共振子10では、隣
接する電極16,18間において、1枚の圧電体層14
が設けられているが、複数枚の圧電体層が設けられても
よい。
【0068】また、上述の各圧電共振子10では、外部
電極20,22に接続される電極16,18が交互に形
成されているが、電極16,18は交互に形成されなく
てもよい。
【0069】
【発明の効果】この発明によれば、対向する電極を重ね
合わせた形状の中心軸あるいは中心点が、共振子の長手
方向に垂直な面における中心軸あるいは中心点と一致し
ているため、スプリアスが出にくく、共振周波数と反共
振周波数との差ΔFが大きく、小型化が容易であり、外
部電極が断線しにくく、機械的品質係数Qmが劣化せ
ず、共振周波数の電圧依存性が大きくならず、基体が撓
みにくい圧電共振子が得られる。また、この発明にかか
る圧電共振子を用いて電子部品を作製する場合、チップ
型の電子部品とすることができるので、回路基板などに
実装することが簡単である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる圧電共振子の一例を示す斜視
図である。
【図2】図1に示す圧電共振子の図解図である。
【図3】図1および図2に示す圧電共振子に用いられる
電極を示す平面図である。
【図4】比較例としての圧電横効果を利用した長さ振動
をする圧電共振子を示す斜視図である。
【図5】圧電縦効果を利用した長さ振動をする圧電共振
子を示す斜視図である。
【図6】比較例としての圧電横効果を利用した拡がり振
動をする圧電共振子を示す斜視図である。
【図7】図1および図2に示す圧電共振子において基体
の中心軸および中心点と電極の対向する部分の中心軸お
よび中心点とを示す図解図である。
【図8】この発明にかかる圧電共振子の他の例を示す図
解図である。
【図9】図8に示す圧電共振子に用いられる電極を示す
平面図である。
【図10】この発明にかかる圧電共振子のさらに他の例
を示す図解図である。
【図11】図10に示す圧電共振子に用いられる電極を
示す平面図である。
【図12】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
変形例を示す平面図である。
【図13】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
他の変形例を示す平面図である。
【図14】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
さらに他の変形例を示す平面図である。
【図15】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
さらに他の変形例を示す平面図である。
【図16】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
さらに他の変形例を示す平面図である。
【図17】図10に示す圧電共振子に用いられる電極の
さらに他の変形例を示す平面図である。
【図18】この発明にかかる圧電共振子を用いた電子部
品の一例を示す斜視図である。
【図19】図18に示す電子部品に用いられる絶縁体基
板の一例を示す斜視図である。
【図20】図18に示す電子部品の分解斜視図である。
【図21】絶縁体基板に対する圧電共振子の取り付け構
造の他の例を示す図解図である。
【図22】図21に示す圧電共振子の取り付け構造を示
す側面図である。
【図23】絶縁体基板に対する圧電共振子の取り付け構
造のさらに他の例を示す図解図である。
【図24】図23に示す圧電共振子の取り付け構造を示
す側面図である。
【図25】この発明にかかる圧電共振子を用いた電子部
品の他の例を示す図解図である。
【図26】図25に示す圧電共振子の取り付け構造を示
す側面図である。
【図27】この発明にかかる圧電共振子を用いたラダー
型フィルタの一例を示す要部平面図である。
【図28】図27に示すラダー型フィルタの要部分解斜
視図である。
【図29】図27および図28に示すラダー型フィルタ
の回路図である。
【図30】この発明にかかる圧電共振子を用いたラダー
型フィルタの他の例を示す要部平面図である。
【図31】図30に示すラダー型フィルタの要部分解斜
視図である。
【図32】従来の圧電共振子の一例を示す斜視図であ
る。
【図33】従来の圧電共振子の他の例を示す斜視図であ
る。
【図34】この発明の背景となる積層構造の圧電共振子
の一例を示す図解図である。
【図35】図34に示す圧電共振子の外部電極の表面に
導電性樹脂層を形成した状態を示す図解図である。
【図36】この発明の背景となる積層構造の圧電共振子
の他の例を示す図解図である。
【図37】図36に示す圧電共振子に用いられる電極を
示す平面図である。
【図38】図36に示す圧電共振子において基体の中心
軸と電極の対向する部分の中心軸とを示す図解図であ
る。
【符号の説明】
10 圧電共振子 12 基体 14 圧電体層 16,18 電極 20,22 外部電極 60 電子部品 62 絶縁体基板 64 凹部 66,68 パターン電極 70 突起 72 導電ワイヤ 74 金属キャップ 90,92,94,96 パターン電極 98,100,102,104,106,108,11
0,112 突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小 川 守 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長手方向を有する基体、 前記基体の長手方向と直交しかつ前記基体の長手方向に
    間隔を隔てて配置される複数の電極、および前記基体の
    表面に形成され、前記複数の電極に接続される一対の外
    部電極を含み、 前記基体は、積層される複数の圧電体層を含み、 前記複数の圧電体層は、前記基体の長手方向に分極さ
    れ、 前記複数の電極は、前記圧電体層において前記基体の長
    手方向に直交する面に形成され、 前記複数の電極のうち前記一対の外部電極の一方に接続
    される電極は、前記基体の表面の前記一対の外部電極の
    他方が形成される部分には露出しないように形成され、 前記複数の電極のうち前記一対の外部電極の他方に接続
    される電極は、前記基体の表面の前記一対の外部電極の
    一方が形成される部分には露出しないように形成され、
    さらに前記複数の電極は、対向する電極を重ね合わせた
    形状の中心軸あるいは中心点が前記基体の長手方向に垂
    直な面において前記基体の中心軸あるいは中心点と一致
    していることを特徴とした、圧電共振子。
  2. 【請求項2】 前記一対の外部電極は、前記基体の異な
    った側面にそれぞれ形成される、請求項1に記載の圧電
    共振子。
  3. 【請求項3】 前記一対の外部電極は、前記基体の1つ
    の側面に形成される、請求項1に記載の圧電共振子。
  4. 【請求項4】 さらに、支持部材と、前記基体の長手方
    向のほぼ中央部と前記支持部材との間に配置される取付
    部材とを含む、請求項1ないし請求項3のいずれかに記
    載の圧電共振子。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の圧電共振子を用いた電
    子部品であって、 前記支持部材を、表面にパターン電極の形成された絶縁
    体基板で構成し、 前記絶縁体基板上に取付部材を介して前記基体を取り付
    けるとともに、 前記絶縁体基板上に前記基体を覆うようにキャップを配
    置したことを特徴とする、電子部品。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の圧電共振子を用いた電
    子部品であって、 前記支持部材を、表面にパターン電極の形成された絶縁
    体基板で構成し、 前記絶縁体基板上に、ラダー型フィルタを構成するよう
    に複数の前記基体を取付部材を介して取り付けるととも
    に、 前記絶縁体基板上に前記基体を覆うようにキャップを配
    置したことを特徴とする、電子部品。
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