JPH11112276A - 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 - Google Patents

圧電共振子およびそれを用いた電子部品

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JPH11112276A JP9286178A JP28617897A JPH11112276A JP H11112276 A JPH11112276 A JP H11112276A JP 9286178 A JP9286178 A JP 9286178A JP 28617897 A JP28617897 A JP 28617897A JP H11112276 A JPH11112276 A JP H11112276A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 共振周波数と反共振周波数との差ΔＦの低下
を抑えることができる圧電共振子およびそれを用いた電
子部品を得る。 【解決手段】 圧電共振子１０は、圧電体層１４と内部
電極１６とを積層した基体１２を含む。隣接する圧電体
層１４は、内部電極１６の両側で異なる向きに分極す
る。基体１２の一側面に溝１８を形成し、その両側にお
いて、１つおきに内部電極１６を露出する。内部電極１
６の露出していない部分に、絶縁膜２０，２２を形成す
る。基体１２の溝１８の両側に外部電極２４，２６を形
成し、内部電極１６に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子および
それを用いた電子部品に関し、特にたとえば、圧電体の
機械的共振を利用した圧電共振子およびそれを用いた電
子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体の機械的共振を利用した圧電共振
子としては、たとえば厚み方向に分極した圧電体板の両
面に電極を形成した圧電共振子がある。このような圧電
共振子では、電極間に交流電界を印加することにより、
長さ振動あるいは広がり振動が励振される。しかしなが
ら、これらの圧電共振子は電界方向および分極方向と振
動方向とが異なる圧電横効果を利用したものであり、電
気機械結合係数が小さく、共振周波数と反共振周波数と
の差ΔＦが比較的小さなものであった。このような圧電
横効果を利用する圧電共振子を発振子やフィルタに使用
すると、帯域幅が小さく、特性の設計自由度が低いとい
う不都合を有するものとなっていた。そこで、出願人
は、このような不都合を解決すべく、電気機械結合係数
が大きく、共振周波数と反共振周波数との差ΔＦが比較
的大きな、圧電縦効果を利用する圧電共振子として、図
１５に示すような積層構造の圧電共振子を提案した。
【０００３】図１５は、圧電縦効果を利用した圧電共振
子の一例を示す図解図である。圧電共振子１は、直方体
状の基体２を含む。基体２は、複数の圧電体層３と複数
の内部電極４とを交互に積層することによって形成され
ている。１つの内部電極４を挟んで隣接する２つの圧電
体層３は、基体２の長手方向に沿って、互いに逆向きに
分極される。基体２の１つの側面には溝５が形成され、
溝５の両側面において、内部電極４は、１層おきに交互
に露出している。さらに、溝５の両側において、基体２
の側面に外部電極６ａ，６ｂが形成される。したがっ
て、隣接する内部電極４が、それぞれ異なる外部電極６
ａ，６ｂに接続される。
【０００４】この圧電共振子１では、外部電極６ａ，６
ｂに信号を入力することにより、隣接する内部電極４間
に交流電界が印加される。隣接する圧電体層３は互いに
逆向きに分極しているため、交流電界が印加されること
によって、各圧電体層３は基体２の長手方向に伸縮し、
全体として長さの基本振動を励振する。このように、こ
の圧電共振子１は、電界方向および分極方向と振動方向
とが一致した圧電縦効果を利用したものであり、圧電横
効果を利用した圧電共振子に比べて電気機械結合係数を
大きくすることができるとともに、ΔＦを大きくするこ
とができるので、このような圧電共振子を発振子やフィ
ルタに用いると、帯域幅が広く、特性の設計自由度の高
いものとすることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな圧電共振子では、内部電極の露出していない部分
と、この内部電極と接続されない外部電極との間に静電
容量が形成される。この静電容量は、振動に寄与する内
部電極間で形成される静電容量に対して並列に接続され
ることになり、共振子の容量比を下げ、共振周波数と反
共振周波数との差ΔＦを低下させてしまう。このこと
は、圧電共振子を発振子やフィルタとして使用したとき
に、帯域幅が小さいという欠点につながる。
【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、共
振周波数と反共振周波数との差ΔＦの低下を抑えること
ができる圧電共振子を提供することである。また、この
発明の他の目的は、このような圧電共振子を用いて、帯
域幅の設計自由度の大きい電子部品を提供することであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の圧電
体層と複数の内部電極とを積層して形成されるとともに
内部電極が異なる２つの領域に引き出された長手方向を
有する基体と、内部電極の露出していない部分を覆うた
めに２つの領域に形成され、圧電体層の誘電率より小さ
い誘電率を有する絶縁膜と、２つの領域にそれぞれ連続
して形成されることにより内部電極に接続される２つの
外部電極とを含み、圧電体層は基体の長手方向に分極さ
れるとともに、基体の長手方向に電界を加えて、基体に
長さ振動を励振させる、圧電共振子である。また、この
発明は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを積層して
形成されるとともに内部電極が異なる２つの領域に引き
出された長手方向を有する基体と、内部電極の露出した
部分のそれぞれに接続されるように形成される外部電極
と、２つの領域にそれぞれ連続して形成されることによ
り外部電極に接続される２つの導電性樹脂膜とを含み、
圧電体層は基体の長手方向に分極されるとともに、基体
の長手方向に電界を加えて、基体に長さ振動を励振させ
る、圧電共振子である。この圧電共振子において、２つ
の領域は、基体の同一側面において基体の幅方向の一端
側および他端側にそれぞれ形成することができる。ま
た、２つの領域は、基体の異なる側面に形成してもよ
い。さらに、この発明は、上述のいずれかの圧電共振子
を用いた電子部品であって、電極を形成した基板を含
み、電極に導電性樹脂膜が電気的に接続され、圧電共振
子を覆うように基板上にキャップが被せられた、電子部
品である。この電子部品において、基板上に複数の電極
が形成され、電極上に複数の圧電共振子の導電性樹脂膜
が電気的に接続されることによってラダーフィルタとす
ることができる。
【０００８】内部電極の露出していない部分に圧電体層
よりも誘電率の小さい樹脂などを用いて絶縁膜を形成す
ることにより、露出していない内部電極とこの内部電極
と接続されない外部電極との間に誘電率の小さい絶縁膜
が介在することとなり、これらの間に形成される静電容
量が小さくなる。また、導電性樹脂は、前記絶縁膜同
様、圧電体層よりも誘電率の小さい絶縁性の樹脂の中に
金属粒が一様に分散したものであり、基体の側面に導電
性樹脂膜を形成したとき、各金属粒と基体の側面とは点
接触に近い状態となり、基体の側面に外部電極を形成し
た場合に比べて接触面積が非常に小さくなる。そのた
め、基体の側面に露出していない内部電極上に導電性樹
脂膜を形成しても、この導電性樹脂膜と基体の側面に露
出していない内部電極との間に形成される静電容量が小
さくなる。なお、基体の側面に露出した内部電極に接続
される外部電極が形成されることにより、この内部電極
と導電性樹脂膜とが外部電極を介して接続されることと
なり、導電性樹脂膜と基体の側面に露出した内部電極と
の電気的な接続が良好になる。内部電極の露出した２つ
の領域は、圧電共振子の使用形態に対応して、基体の異
なる側面に形成したり、基体の同一側面に形成したりす
ることができる。また、この圧電共振子を用いて発振
子、ディスクリミネータおよびラダーフィルタなどの電
子部品を作製すれば、圧電共振子の共振周波数と反共振
周波数との差ΔＦの低下が少なく、帯域幅の設計自由度
が大きい電子部品が得られる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の圧電共振子の一
例を示す斜視図であり、図２はその図解図である。圧電
共振子１０は、柱状の基体１２を含む。基体１２は、複
数の圧電体層１４と内部電極１６とを交互に積層するこ
とによって形成される。そして、図２の矢印に示すよう
に、内部電極１６間に挟まれた圧電体層１４は、内部電
極１６を介して隣接する圧電体層１４と、基体１２の長
手方向に向かって、互いに逆向きに分極される。ただ
し、基体１２の長手方向の両端部側の圧電体層１４は分
極されていない。なお、この基体１２の両端部は、必要
に応じて分極されたものであってもよい。また、分極さ
れない圧電体層を形成する場合においても、その基体内
における形成位置は任意である。
【００１１】基体１２の１つの側面には、その幅方向の
中央部において、基体１２の長手方向に延びる溝１８が
形成される。溝１８の一方側面は、内部電極１６が１層
おきに露出した第１の領域となっている。また、溝１８
の他方側面は、第１の領域に露出していない内部電極１
６が露出した第２の領域となっている。つまり、この圧
電共振子１０では、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、
溝の両側に露出した２つの内部電極１６が交互に積層さ
れる。第１の領域において、露出していない内部電極１
６に対応した部分に、第１の絶縁膜２０が形成される。
同様に、第２の領域において、露出していない内部電極
１６に対応した部分に、第２の絶縁膜２２が形成され
る。ここで、このの実施例では、圧電体層１４として、
比誘電率が１０００程度のＰＺＴ系セラミックスが用い
られ、第１および第２の絶縁膜２０，２２としては、比
誘電率２〜５程度のエポキシ樹脂が用いられている。な
お、第１および第２の絶縁膜２０，２２としては、圧電
体層１４より誘電率の低いものであればよく、エポキシ
樹脂以外の材料を用いてもよい。また、圧電体層１４と
しても、ＰＺＴ系セラミックス以外の圧電材料でもよ
い。
【００１２】さらに、溝１８の一方側面において、第１
の絶縁膜２０が形成された基体１２の第１の領域に、第
１の外部電極２４が形成される。したがって、第１の領
域に露出した内部電極１６が、第１の外部電極２４に電
気的に接続される。また、溝１８の他方側面において、
第２の絶縁膜２２が形成された基体１２の第２の領域
に、第２の外部電極２６が形成される。したがって、第
２の領域に露出した内部電極１６が、第２の外部電極２
６に電気的に接続される。なお、これらの外部電極２
４，２６は、スパッタリングなどにより薄膜状に形成さ
れる。また、基体１２内に形成される内部電極１６は、
必ずしも交互に異なる外部電極に接続される必要はな
い。たとえば、隣合う内部電極１６が同一の外部電極に
接続されたり、あるいは外部電極に全く接続されない内
部電極を含んでいてもよい。
【００１３】この圧電共振子１０を製造するには、図４
に示すように、まず多数の圧電体層１４となるべき圧電
セラミックのマザー基板４０が準備される。マザー基板
４０上には、内部電極１６となるマザー電極４２および
４４が形成される。マザー電極４２および４４は電極非
形成部４２ａ，４４ａを有し、これらの電極非形成部４
２ａ，４４ａが互いにずれた位置となるように、マザー
基板４０が交互に積層される。このようにして得られた
積層体が、図４の横方向に伸びる１点鎖線で示す部分で
切断される。
【００１４】切断された積層体の切断面には、図５に示
すように、第１の絶縁膜２０および第２の絶縁膜２２と
なる絶縁材４６が塗布される。なお、この図５に示す積
層体は、説明の都合上、その層数が図２に示す基体１２
の圧電体層数と一致していない。この絶縁材４６は、マ
ザー電極４２，４４の露出していない部分に形成され
る。さらに、マザー電極４２，４４の面に直交する向き
に、外部電極２４，２６となるべき複数の電極４８が形
成される。そして、隣接する電極４８間に直流高電圧を
印加することによって、各マザー基板４０が分極され
る。そののち、図５の１点鎖線で示す部分で積層体を切
断するとともに、切断部の中央に溝を形成することによ
り、圧電共振子１０が形成される。なお、この溝１８
は、必ずしも必要ではなく、両側の外部電極２４，２６
が確実に分離できていればよい。
【００１５】この圧電共振子１０では、第１の外部電極
２４および第２の外部電極２６の間に信号を与えること
により、基体１２の互いに逆向きに分極した圧電体層１
４に、互いに逆向きの電圧が印加されるため、圧電体層
１４は全体として同じ向きに伸縮しようとする。そのた
め、圧電共振子１０全体としては、基体１２の中心部を
ノードとした長さ振動の基本振動が励振される。
【００１６】この圧電共振子１０では、圧電体層１４の
分極方向および信号による電界方向と基体１２の振動方
向とが一致する。つまり、この圧電共振子１０は、圧電
縦効果を利用した圧電共振子となる。このような圧電縦
効果を利用した圧電共振子１０は、分極方向および電界
方向と振動方向とが異なる圧電横効果を利用した圧電共
振子に比べて電気機械結合係数を大きくすることができ
るとともに、共振周波数と反共振周波数との差ΔＦを大
きくすることができる。
【００１７】また、基体１２の側面に露出していない内
部電極１６に対応する部分に、圧電体層１４よりも誘電
率の小さい樹脂からなる第１の絶縁膜２０および第２の
絶縁膜２２が形成されていることにより、内部電極１６
と第１および第２の外部電極２４，２６との間には、こ
れらの絶縁膜２０，２２が介在する。そのため、内部電
極１６と第１および第２の外部電極２４，２６との間に
形成される静電容量が小さくなる。したがって、絶縁膜
の形成されていない圧電共振子に比べて、共振子の共振
周波数と反共振周波数との差Δｆの低下を抑えることが
できる。また、第１の絶縁膜２０および第２の絶縁膜２
２の面積を変えることにより、内部電極１６と第１およ
び第２の外部電極２４，２６との間に形成される静電容
量も変わり、種々のΔｆを有する圧電共振子を形成する
ことができ、設計自由度が広がることになる。
【００１８】なお、図６に示すように、基体１２の対向
面に第１の領域および第２の領域を形成し、内部電極１
６を基体１２の対向する側面に交互に引き出してもよ
い。この場合、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電
体層１４の互いに対向する部分に引き出された内部電極
１６が交互に積層されることによって、圧電共振子１０
が形成される。そして、内部電極１６の露出していない
部分に第１および第２の絶縁膜２０，２２が形成され、
これらの絶縁膜２０，２２が形成された基体１２の対向
面に、第１および第２の外部電極２４，２６が形成され
る。このような圧電共振子１０においても、絶縁膜２
０，２２が形成されていることにより、内部電極１６と
第１および第２の外部電極２４，２６との間の静電容量
を小さくすることができる。
【００１９】また、図８に示すように、基体１２の第１
の領域において内部電極１６の露出した各部分のみに第
１の外部電極２４を形成し、第２の領域において内部電
極１６の露出した各部分のみに第２の外部電極２６を形
成してもよい。そして、第１および第２の外部電極２
４，２６の上に、第１の導電性樹脂膜２８および第２の
導電性樹脂膜３０が形成される。それにより、第１およ
び第２の導電性樹脂膜２８，３０は、第１および第２の
外部電極２４，２６に接続された内部電極１６に電気的
に接続される。
【００２０】このような圧電共振子１０においても、第
１の導電性樹脂膜２８と第２の導電性樹脂膜３０との間
に信号を入力することによって、圧電体層１４に電界を
印加することができ、基体１２に長さ振動を励振するこ
とができる。そして、導電性樹脂は、前記各絶縁膜同
様、圧電体層１４よりも誘電率の小さい絶縁性の樹脂中
に金属粒が一様に分散したものであり、基体１２に導電
性樹脂膜２８，３０を形成したとき、各金属粒と基体１
２とは点接触に近い状態となり、第１の領域および第２
の領域の全面に外部電極を形成した場合に比べて、接触
面積が非常に小さいものとなる。そのため、露出してい
ない内部電極１６と第１および第２の導電性樹脂膜２
８，３０との間に形成される静電容量は、全面に外部電
極を形成した圧電共振子に比べて小さいものとなる。な
お、内部電極１６の露出した部分に接続されるように第
１および第２の外部電極２４，２６が形成されることに
より、これらの外部電極２４，２６と導電性樹脂膜２
８，３０との接触面積を大きくすることができ、それに
より内部電極１６と第１および第２の導電性樹脂膜２
８，３０との電気的な接続を良好にすることができる。
【００２１】なお、第１および第２の導電性樹脂膜２
８，３０は基体１２の第１の領域および第２の領域の全
面に形成する必要はなく、図９に示すように、部分的に
形成されてもよい。このような圧電共振子１０について
も、第１および第２の導電性樹脂膜２８，３０に信号を
与えることによって、基体１２に長さ振動を励振するこ
とができる。また、導電性樹脂は圧電共振子の振動をダ
ンピングする働きをもつので、導電性樹脂膜２８，３０
の面積が大きくなるほど、圧電共振子１０のＱｍは低下
する。したがって、導電性樹脂膜２８，３０の面積や形
状を変えることにより、圧電共振子１０のＱｍを調整す
ることができる。さらに、導電性樹脂膜２８，３０の塗
布面積を変えることによって、内部電極１６と第１およ
び第２の導電性樹脂膜２８，３０との間に形成される静
電容量も変わるため、種々のΔｆを有する圧電共振子１
０を得ることができる。
【００２２】また、図１０に示すように、基体１２の対
向面を第１および第２の領域とし、第１および第２の外
部電極２４，２６および第１および第２の導電性樹脂膜
２８，３０を基体１２の対向面に形成してもよい。もち
ろん、この場合においても、第１および第２の導電性樹
脂膜２８，３０を部分的に形成してもよいことは言うま
でもない。
【００２３】さらに、図１１に示すように、図２に示す
圧電共振子の外部電極２４，２６上に導電性樹脂膜２
８，３０を形成してもよい。この場合、ヒートショック
などの温度変化などによって第１および第２の絶縁膜２
０，２２が膨張収縮し、それによって外部電極２４，２
６が破断することがあっても、導電性樹脂膜２８，３０
が形成されていることによって、破断した部分の両側の
導通を確保することができ、圧電共振子１０の機能が損
なわれることを防ぐことができる。また、導電性樹脂膜
２８，３０の面積や形状を変えることにより、圧電共振
子１０のＱｍを調整することができる。もちろん、図６
に示すような基体１２の対向面の全面に外部電極２４，
２６を形成した圧電共振子においても、これらの外部電
極２４，２６の上に導電性樹脂膜２８，３０を形成する
ことによって、同様の効果を得ることができる。
【００２４】この圧電共振子１０を用いて、発振子やデ
ィスクリミネータなどの電子部品が作製される。図１２
は、電子部品５０の一例を示す斜視図であり、この実施
例では、図２に示す圧電共振子１０が用いられる。電子
部品５０は、絶縁体基板５２を含む。絶縁体基板５２の
対向する端部には、それぞれ２つずつ凹部５４が形成さ
れる。絶縁体基板５２の一方面上には、２つのパターン
電極５６，５８が形成される。一方のパターン電極５６
は、対向する凹部５４間に形成され、その一端側から絶
縁体基板５２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるよう
に形成される。また、他方のパターン電極５８は、別の
対向する凹部５４間に形成され、その他端側から絶縁体
基板５２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるように形
成される。そして、絶縁体基板５２の中央部付近におい
て、２つのパターン電極５６，５８が、間隔を隔てて対
向するように形成される。なお、絶縁体基板５２として
は、ガラスエポキシ基板、アルミナ基板など周知の基板
が用いられる。また、誘電体基板などを用いてもよい。
【００２５】圧電共振子１０の外部電極２４，２６の基
体１２の長手方向略中央部には、導電性接着剤などから
なる取付部材６０が形成され、この取付部材６０部分
が、絶縁体基板５２の中央部におけるパターン電極５６
およびパターン電極５８の端部上に付与された導電性接
着剤（図示せず）などによって、各パターン電極５６，
５８上に接続、固定される。それによって、圧電共振子
１０の外部電極２４，２６は、絶縁体基板５２上に固定
されるとともに、パターン電極５６，５８に電気的に接
続される。さらに、絶縁体基板５２上に、金属キャップ
６２がかぶせられる。このとき、金属キャップ６２とパ
ターン電極５６，５８とが導通しないように、絶縁体基
板５２およびパターン電極５６，５８上に絶縁性樹脂が
塗布される。そして、金属キャップ６２がかぶせられる
ことによって、電子部品５０が作製される。
【００２６】この電子部品５０では、圧電共振子１０の
外部電極２４，２６上に形成された取付部材６０によっ
て、圧電共振子１０の端部が絶縁体基板５２から離れた
状態で配置され、振動が阻害されない。また、圧電共振
子１０のノード点である中央部が取付部材６０で確実に
支持されることにより、圧電共振子１０の振動漏れを防
ぐことができる。
【００２７】さらに、複数の圧電共振子１０を用いて、
ラダーフィルタを作製することができる。図１３は梯子
型の回路を有するラダーフィルタとして用いられる電子
部品の例を示す要部斜視図である。図１２に示す電子部
品５０では、絶縁体基板５２上に、４つのパターン電極
６４，６６，６８，７０が形成される。これらのパター
ン電極６４〜７０には、間隔を隔てて一列に配置される
５つのランドが形成される。この場合、絶縁体基板５２
の一端から１番目のランドはパターン電極６４に形成さ
れ、２番目のランドおよび５番目のランドはパターン電
極６６に形成され、３番目のランドはパターン電極６８
に形成され、４番目のランドはパターン電極７０に形成
される。
【００２８】外部電極２４，２６上に取付部材６０の形
成された圧電共振子１０が、その取付部材６０を前記基
板５２の各ランド上に、導電性接着剤などを介して取り
付けられる。この場合、図１４に示す梯子型の回路が得
られるように、圧電共振子１０ａ〜１０ｄが取り付けら
れる。そして、絶縁体基板５２上に、金属キャップ（図
示せず）がかぶせられる。
【００２９】図１２や図１３に示すような電子部品にお
いても、内部電極１６と第１および第２の外部電極２
４，２６との間の静電容量の小さい圧電共振子を使用す
ることができ、Δｆの低下を抑えることができる。その
ため、特にラダーフィルタなどの電子部品５０におい
て、帯域幅の劣化を抑えることができる。なお、これら
の電子部品５０に用いられる圧電共振子１０としては、
図２に示す以外に、図６、８〜１１に示す構造のもので
もよいことは言うまでもない。特に、図８や図９に示す
圧電共振子１０を電子部品５０に用いる場合には、支持
部材６０に第１および第２の導電性樹脂膜２８，３０が
接着される。この場合には、電子部品５０のＱｍも調整
することができる。
【００３０】なお、図１３に示すラダーフィルタでは、
並列共振子１０ｂ，１０ｃの内部電極間の静電容量は、
直列共振子１０ａ，１０ｄの静電容量より十分大きくな
るように設計される。そのため、積層構造の圧電共振子
を用いる場合、直列共振子１０ａ，１０ｄの積層数は少
なく、したがって内部電極１６どうしの間隔は比較的広
いが、並列共振子１０ｂ，１０ｃの積層数は多く、した
がって内部電極１６どうしの間隔は狭い。Δｆ低下の問
題は、内部電極間の静電容量の小さい直列共振子１０
ａ，１０ｄの場合に顕著に表れ、静電容量の大きい並列
共振子１０ｂ，１０ｃでは影響が少ない。一方、図２の
ように絶縁膜２０，２２を部分的に形成することや、図
８に示すように外部電極２４，２６を部分的に形成する
ことは、内部電極１６どうしの間隔が広い直列共振子１
０ａ，１０ｄでは容易であるが、内部電極１６どうしの
間隔が狭い並列共振子１０ｂ，１０ｃでは比較的困難で
ある。このような関係を考慮し、図１２に示すラダーフ
ィルタ５０では、直列共振子１０ａ，１０ｄのみにこの
発明の圧電共振子１０を用いることで、帯域幅の劣化が
なく、かつ制作しやすいラダーフィルタを実現してもよ
い。
【００３１】
【発明の効果】この発明によれば、積層型の圧電共振子
の内部電極と外部電極との間、または内部電極と導電性
樹脂膜との間に形成される静電容量を小さくすることが
でき、圧電共振子やそれを用いた電子部品のΔｆの低下
を抑えることができる。また、導電性樹脂膜を形成した
圧電共振子やそれを用いた電子部品では、導電性樹脂の
面積や形状を変えることにより、圧電共振子や電子部品
のＱｍを調整することができる。したがって、圧電共振
子や電子部品の設計自由度を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の圧電共振子の一例を示す斜視図であ
る。
【図２】図１に示す圧電共振子の図解図である。
【図３】図２に示す圧電共振子に用いられる積層体と内
部電極との関係を示す図解図である。
【図４】図１に示す圧電共振子を作製するためにマザー
基板を積層する状態を示す斜視図である。
【図５】図４に示すマザー基板を積層して得られる積層
体に絶縁材および電極を形成した状態を示す図解図であ
る。
【図６】この発明の圧電共振子の他の例を示す図解図で
ある。
【図７】図６に示す圧電共振子に用いられる積層体と内
部電極との関係を示す図解図である。
【図８】この発明の圧電共振子のさらに他の例を示す図
解図である。
【図９】この発明の圧電共振子の別の例を示す図解図で
ある。
【図１０】この発明の圧電共振子のさらに別の例を示す
図解図である。
【図１１】この発明の圧電共振子のもう１つの例を示す
図解図である。
【図１２】この発明の圧電共振子を用いた電子部品の一
例を示す分解斜視図である。
【図１３】この発明の圧電共振子を用いたラダーフィル
タの一例を示す要部分解斜視図である。
【図１４】図１３に示すラダーフィルタの回路図であ
る。
【図１５】この発明の背景となる圧電共振子の一例を示
す図解図である。
【符号の説明】
１０ 圧電共振子 １２ 基体 １４ 圧電体層 １６ 内部電極 １８ 溝 ２０ 第１の絶縁膜 ２２ 第２の絶縁膜 ２４ 第１の外部電極 ２６ 第２の外部電極 ２８ 第１の導電性樹脂膜 ３０ 第２の導電性樹脂膜 ５０ 電子部品 ５２ 絶縁体基板 ５６，５８ パターン電極 ６０ 取付部材 ６２ 金属キャップ ６４，６６，６８，７０ パターン電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角 田 龍 則 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の圧電体層と複数の内部電極とを積
    層して形成されるとともに前記内部電極が異なる２つの
    領域に引き出された長手方向を有する基体、 前記内部電極の露出していない部分を覆うために前記２
    つの領域に形成され、前記圧電体層の誘電率より小さい
    誘電率を有する絶縁膜、および前記２つの領域にそれぞ
    れ連続して形成されることにより前記内部電極に接続さ
    れる２つの外部電極を含み、 前記圧電体層は前記基体の長手方向に分極されるととも
    に、前記基体の長手方向に電界を加えて、前記基体に長
    さ振動を励振させる、圧電共振子。
  2. 【請求項２】 複数の圧電体層と複数の内部電極とを積
    層して形成されるとともに前記内部電極が異なる２つの
    領域に引き出された長手方向を有する基体、 前記内部電極の露出した部分のそれぞれに接続されるよ
    うに形成される外部電極、および前記２つの領域にそれ
    ぞれ連続して形成されることにより前記外部電極に接続
    される２つの導電性樹脂膜を含み、 前記圧電体層は前記基体の長手方向に分極されるととも
    に、前記基体の長手方向に電界を加えて、前記基体に長
    さ振動を励振させる、圧電共振子。
  3. 【請求項３】 前記２つの領域は、前記基体の同一側面
    において前記基体の幅方向の一端側および他端側にそれ
    ぞれ形成される、請求項１または請求項２に記載の圧電
    共振子。
  4. 【請求項４】 前記２つの領域は、前記基体の異なる側
    面に形成される、請求項１または請求項２に記載の圧電
    共振子。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
    載の圧電共振子を用いた電子部品であって、電極を形成
    した基板を含み、前記電極に前記導電性樹脂膜が電気的
    に接続され、前記圧電共振子を覆うように前記基板上に
    キャップが被せられた、電子部品。
  6. 【請求項６】 前記基板上に複数の前記電極が形成さ
    れ、前記電極上に複数の前記圧電共振子の前記導電性樹
    脂膜が電気的に接続されることによってラダーフィルタ
    とした、請求項５に記載の電子部品。
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