JP3262048B2 - 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 - Google Patents

圧電共振子およびそれを用いた電子部品

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JP3262048B2 JP28617797A JP28617797A JP3262048B2 JP 3262048 B2 JP3262048 B2 JP 3262048B2 JP 28617797 A JP28617797 A JP 28617797A JP 28617797 A JP28617797 A JP 28617797A JP 3262048 B2 JP3262048 B2 JP 3262048B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子および
それを用いた電子部品に関し、特にたとえば、圧電体の
機械的共振を利用した圧電共振子およびそれを用いた電
子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体の機械的共振を利用した圧電共振
子としては、たとえば厚み方向に分極した圧電体板の両
面に電極を形成した圧電共振子がある。このような圧電
共振子では、電極間に交流電界を印加することにより、
長さ振動あるいは広がり振動が励振される。しかしなが
ら、これらの圧電共振子は電界方向および分極方向と振
動方向とが異なる圧電横効果を利用したものであり、電
気機械結合係数が小さく、共振周波数と反共振周波数と
の差ΔＦが比較的小さなものであった。このような圧電
横効果を利用する圧電共振子を、発振子や圧電フィルタ
に使用すると、帯域幅が小さく、特性の設計自由度が低
いという不都合を有するものとなっていた。そこで、出
願人は、このような不都合を解決すべく、電気機械結合
係数が大きく、共振周波数と反共振周波数との差ΔＦが
比較的大きな、圧電縦効果を利用する圧電共振子とし
て、図１５に示すような積層構造の圧電共振子を提案し
た。
【０００３】図１５は、圧電縦効果を利用した圧電共振
子の一例を示す図解図である。圧電共振子１は、直方体
状の基体２を含む。基体２は、複数の圧電体層３と複数
の内部電極４とを交互に積層することによって形成され
ている。１つの内部電極４を挟んで隣接する２つの圧電
体層３は、基体２の長手方向に沿って互いに逆向きに分
極される。基体２の１つの側面には溝５が形成され、溝
５の一方側面において、内部電極４の露出部が交互に絶
縁膜６ａで被覆される。また、溝５の他方側面におい
て、絶縁膜６ａで被覆されていない内部電極４の露出部
が、別の絶縁膜６ｂで被覆される。さらに、溝５の両側
において、基体２の側面に薄膜外部電極７ａ，７ｂが形
成される。したがって、隣接する内部電極４が、それぞ
れ異なる薄膜外部電極７ａ，７ｂに接続される。
【０００４】この圧電共振子１では、薄膜外部電極７
ａ，７ｂに信号を入力することにより、隣接する内部電
極４間に交流電界が印加される。隣接する圧電体層３は
互いに逆向きに分極しているため、交流電界が印加され
ることによって、各圧電体層３は基体２の長手方向に伸
縮し、全体として長さの基本振動を励振する。このよう
に、この圧電共振子１は、電界方向および分極方向と振
動方向とが一致した圧電縦効果を利用したものであり、
圧電横効果を利用した圧電共振子に比べて電気機械結合
係数を大きくすることができるとともに、ΔＦを大きく
することができるので、このような圧電共振子を発振子
やフィルタに用いると、帯域幅が広く、特性の設計自由
度の高いものとすることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな圧電共振子では、基体の側面に部分的に絶縁膜が形
成され、その上に薄膜外部電極が形成されるため、温度
変化などによる絶縁膜の膨張収縮によって、絶縁膜上に
おいて薄膜外部電極が破断してしまうことがあった。こ
のように、薄膜外部電極が破断すると、全ての内部電極
に信号が印加されず、圧電共振子の機能を発揮すること
ができない。
【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、薄
膜外部電極が破断しても、圧電共振子の機能を発揮する
ことができる、信頼性の高い圧電共振子を提供すること
である。また、この発明の他の目的は、このような圧電
共振子を用いて、信頼性の高い電子部品を提供すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の圧電
体層と複数の内部電極とを長手方向に積層して形成さ
れ、内部電極の端部が側面に露出した略四角柱状の基体
と、基体の側面の長手方向における内部電極の複数の露
出部分の一部を覆うために基体の側面に形成される複数
の第１の絶縁膜と、基体の側面の長手方向における第１
の絶縁膜が形成されていない部分において、第１の絶縁
膜で覆われた内部電極を除いて、内部電極の露出部分を
覆うために基体の側面に形成される複数の第２の絶縁膜
と、基体の第１の絶縁膜が形成された側面において第１
の絶縁膜を覆うようにして基体の長手方向に連続して形
成される第１の薄膜外部電極と、基体の第２の絶縁膜が
形成された側面において第２の絶縁膜を覆うようにして
基体の長手方向に連続して形成される第２の薄膜外部電
極と、第１の薄膜外部電極および第２の薄膜外部電極の
上にそれぞれ形成される導電性樹脂膜とを含み、複数の
圧電体層は内部電極の両側で基体の長手方向に沿って互
いに逆向きに分極され、第１の絶縁膜で覆われていない
内部電極が第１の薄膜外部電極に接続されるとともに、
第２の絶縁膜で覆われていない内部電極が第２の薄膜外
部電極に接続され、内部電極によって、個々の圧電体層
に、第１および第２のの導電性樹脂膜および第１および
第２の薄膜外部電極を介して基体の長手方向に電界を印
加して、個々の圧電体層に圧電縦効果による伸縮の駆動
力を発生させ、基体の長手方向の全長に対して基体の中
心部をノードとする長さ振動モードの基本振動を励振さ
せることを特徴とする、圧電共振子である。この圧電共
振子において、第１の絶縁膜および第２の絶縁膜は、基
体の同一側面において基体の幅方向の一端側および他端
側にそれぞれ形成することができる。また、第１の絶縁
膜および第２の絶縁膜は、基体の異なる側面に形成して
もよい。さらに、この発明は、上述のいずれかの圧電共
振子を用いた電子部品であって、電極を形成した基板を
含み、電極に導電性樹脂膜が電気的に接続され、圧電共
振子を覆うように基板上にキャップが被せられた、電子
部品である。この電子部品において、基板上に複数の電
極が形成され、電極上に複数の圧電共振子の導電性樹脂
膜が電気的に接続されることによってラダーフィルタと
することができる。
【０００８】第１の絶縁膜および第２の絶縁膜によっ
て、第１の薄膜外部電極および第２の薄膜外部電極は、
それぞれ１つの内部電極に接続される。そして、第１の
薄膜外部電極および第２の薄膜外部電極の上に、導電性
樹脂膜が形成されることにより、第１の薄膜外部電極お
よび第２の薄膜外部電極が破断したとしても、導電性樹
脂膜によって破断部分の両側の薄膜外部電極の導通が保
たれる。そして、第１および第２の薄膜外部電極の上の
導電性樹脂膜に信号を与えることにより、圧電体層に交
流電界が印加され、基体全体に圧電縦効果を利用した長
さ振動モードの基本振動が励振される。第１および第２
の絶縁膜、第１および第２の薄膜外部電極および導電性
樹脂膜は、圧電共振子の使用形態に対応して、基体の異
なる側面に形成したり、基体の同一側面に形成したりす
ることができる。また、この圧電共振子を用いて電子部
品を作製すれば、薄膜外部電極が破断しても、その特性
を維持することができる電子部品が得られる。特に、複
数の圧電共振子を用いたラダーフィルタの場合、圧電共
振子の薄膜外部電極が破断しても、ラダーフィルタとし
ての機能を確保することができ、信頼性の高いラダーフ
ィルタとすることができる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の圧電共振子の一
例を示す斜視図であり、図２はその図解図である。圧電
共振子１０は、柱状の基体１２を含む。基体１２は、複
数の圧電体層１４と内部電極１６とを交互に積層するこ
とによって形成される。そして、図２の矢印に示すよう
に、内部電極１６間に挟まれる圧電体層１４は、内部電
極１６を介して隣接する圧電体層１４と、基体１２の長
手方向に向かって、互いに逆向きに分極される。ただ
し、基体１２の長手方向の両端部側の圧電体層１４は分
極されていない。なお、この基体１２の両端部は、必要
に応じて分極されたものであってもよい。また、分極さ
れていない圧電体層を形成する場合においても、その基
体１２内における形成位置は任意である。
【００１１】基体１２の１つの側面には、その幅方向の
中央部において、基体１２の長手方向に延びる溝１８が
形成される。溝１８の一方側面においては、内部電極１
６の露出部分が１つおきに第１の絶縁膜２０で被覆され
る。また、溝１８の他方側面においては、第１の絶縁膜
２０で被覆されていない内部電極１６の露出部分が、第
２の絶縁膜２２で被覆される。したがって、溝１８の両
側では、第１の絶縁膜２０および第２の絶縁膜２２によ
って、内部電極１６の露出部分が交互に被覆される。
【００１２】さらに、溝１８の一方側において、第１の
絶縁膜２０が形成された基体１２の側面に、第１の薄膜
外部電極２４が形成される。したがって、第１の絶縁膜
２０で被覆されていない内部電極１６が、第１の薄膜外
部電極２４に電気的に接続される。また、溝１８の他方
側において、第２の絶縁膜２２が形成された基体１２の
側面に、第２の薄膜外部電極２６が形成される。したが
って、第２の絶縁膜２２で被覆されていない内部電極１
６が、第２の薄膜外部電極２６に電気的に接続される。
なお、基体１２内に形成される内部電極１６は、必ずし
も交互に異なる薄膜外部電極に接続される必要はない。
たとえば、隣合う内部電極１６が同一の薄膜外部電極に
接続されたり、あるいは薄膜外部電極に全く接続されな
い内部電極を含んでいてもよい。さらに、溝１８は、必
要に応じて形成すればよく、必ずしも形成する必要はな
い。
【００１３】第１の薄膜外部電極２４の上には、第１の
導電性樹脂膜２８が形成される。したがって、第１の導
電性樹脂膜２８は、第１の薄膜外部電極２４に電気的に
接続される。また、第２の薄膜外部電極２６の上には、
第２の導電性樹脂膜３０が形成される。したがって、第
２の導電性樹脂膜３０は、第２の薄膜外部電極２６に電
気的に接続される。
【００１４】この圧電共振子１０を製造するには、図３
に示すように、まず圧電セラミックのグリーンシート４
０が準備される。グリーンシート４０の一方面上には、
たとえば銀，パラジウム，有機バインダなどを含む導電
ペーストが塗布され、導電ペースト層４２が形成され
る。導電ペースト層４２は、グリーンシート４０の一端
側を除いて全面に形成される。このグリーンシート４０
が、複数枚積層される。このとき、導電ペースト層４２
の形成されていない端部が交互に逆方向に配置されるよ
うに、グリーンシート４０が積層される。さらに、積層
体の対向する側面に導電ペーストが塗布されたのち焼成
することにより、図４に示すような積層体母材４４が形
成される。なお、ここでは、説明の都合上、８層のグリ
ーンシートを積層して説明を行っているが、図２に示す
ように、７層の積層体を作製する場合も同様である。
【００１５】積層体母材４４内には、導電ペースト層４
２が焼成されることによって、複数の内部電極４６が形
成される。これらの内部電極４６は、交互に積層体母材
４４の対向部に露出している。そして、積層体母材４４
の対向部には、内部電極４６が１つおきに接続された分
極用電極４８，５０が形成される。これらの分極用電極
４８，５０に直流電圧を印加することによって、積層体
母材４４に分極処理が施される。このとき、積層体母材
４４内部においては、隣合う内部電極４６間に直流高電
界が印加されるが、その向きは交互に逆方向となる。そ
のため、積層体母材４４は、図４の矢印に示すように、
内部電極４６の両側で互いに逆方向に分極される。
【００１６】次に、図５の点線で示すように、積層体母
材４４が、ダイサーなどで内部電極４６に直交するよう
に切断される。それによって、図６に示すように、内部
電極４６の端部が露出した積層体５２が形成される。そ
して、図７に示すように、積層体５２の一方側面におい
て、市松模様となるように、絶縁膜５４が形成される。
なお、図７は図６を簡略化した図であり、積層数を減ら
して示してある。内部電極４６に対して直交する方向の
市松模様の１つの列においては、絶縁膜５４は、１つお
きの内部電極４６上に形成される。また、市松模様の隣
接する列においては、隣の列において絶縁膜５４が形成
されていない内部電極４６上に、絶縁膜５４が形成され
る。
【００１７】さらに、図８に示すように、積層体５２の
絶縁膜５４が形成された面に、スパッタリングなどによ
って薄膜外部電極５６が形成される。この薄膜外部電極
５６上に、導電性樹脂膜５８が形成される。そして、図
９に示すように、市松模様に形成された絶縁膜５４の隣
接する列の間において、内部電極４６の面に直交するよ
うに溝１８が形成される。これらの溝１８の間で積層体
５２を切断することにより、図１に示す圧電共振子１０
が形成される。
【００１８】この圧電共振子１０では、第１の導電性樹
脂膜２８および第２の導電性樹脂膜３０の間に信号を与
えることにより、基体１２の互いに逆向きに分極した圧
電体層１４に、互いに逆向きの電圧が印加されるため、
圧電体層１４は全体として同じ向きに伸縮しようとす
る。そのため、圧電共振子１０全体としては、基体１２
の中心部をノードとした長さ振動の基本振動が励振され
る。
【００１９】この圧電共振子１０では、圧電体層１４の
分極方向および信号による電界方向と基体１２の振動方
向とが一致する。つまり、この圧電共振子１０は、圧電
縦効果を利用した圧電共振子となる。このような圧電縦
効果を利用した圧電共振子１０は、分極方向および電界
方向と振動方向とが異なる圧電横効果を利用した圧電共
振子に比べて電気機械結合係数が大きい。
【００２０】また、第１および第２の薄膜外部電極２
４，２６の上に第１および第２の導電性樹脂膜２８，３
０が形成されているため、温度変化などによる第１およ
び第２の絶縁膜２０，２２の膨張収縮により、第１およ
び第２の薄膜外部電極２４，２６が破断しても、導電性
樹脂膜２８，３０によって、薄膜外部電極２４，２６の
破断部分の両側の導通が確保される。そのため、薄膜外
部電極２４，２６が破断しても、正常に圧電共振子１０
を励振させることができる。
【００２１】なお、第１の導電性樹脂膜２８および第２
の導電性樹脂膜３０は、第１の薄膜外部電極２４および
第２の薄膜外部電極２６の全面に形成する必要はなく、
図１０に示すように、部分的に形成されてもよい。この
ような圧電共振子１０についても、絶縁膜２０，２２形
成部分において薄膜外部電極２４，２６が破断したと
き、導電性樹脂膜２８，３０によってその導通が確保さ
れる。また、導電性樹脂膜は圧電共振子の振動をダンピ
ングする働きをもつので、導電性樹脂膜２８，３０の面
積が大きくなるほど、圧電共振子１０のＱｍは低下す
る。したがって、導電性樹脂膜２８，３０の面積や形状
を変えることにより、圧電共振子１０のＱｍを調整する
ことができる。
【００２２】また、図１１に示すように、基体１２の対
向する側面に第１の絶縁膜２０および第２の絶縁膜２２
を形成してもよい。この場合、基体１２の対向面におい
て、それぞれ異なる内部電極１６の露出部が、交互に第
１および第２の絶縁膜２０，２２で被覆される。そし
て、これらの絶縁膜２０，２２が形成された基体１２の
対向面に、第１および第２の薄膜外部電極２４，２６が
形成される。さらに、第１および第２の薄膜外部電極２
４，２６の上に、第１および第２の導電性樹脂膜２８，
３０が形成される。このような圧電共振子１０において
も、導電性樹脂膜２８，３０が形成されていることによ
り、薄膜外部電極２４，２６の破断による接続不良を防
止することができる。
【００２３】このような圧電共振子１０を用いて、発振
子やディスクリミネータなどの電子部品が作製される。
図１２は、電子部品７０の一例を示す斜視図である。電
子部品７０は、絶縁体基板７２を含む。絶縁体基板７２
の対向する端部には、それぞれ２つずつ凹部７４が形成
される。絶縁体基板７２の一方面上には、２つのパター
ン電極７６，７８が形成される。一方のパターン電極７
６は、対向する凹部７４間に形成され、その一端側から
絶縁体基板７２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるよ
うに形成される。また、他方のパターン電極７８は、別
の対向する凹部７４間に形成され、その他端側から絶縁
体基板７２の中央部に向かって、Ｌ字状に延びるように
形成される。そして、絶縁体基板７２の中央部付近にお
いて、２つのパターン電極７６，７８が、間隔を隔てて
対向するように形成される。なお、絶縁体基板７２とし
ては、ガラスエポキシ基板、アルミナ基板、多層基板な
どの周知の基板が用いられる。また、誘電体基板などを
用いるものであってもよい。
【００２４】圧電共振子１０の第１および第２の導電性
樹脂膜２８，３０の基体１２の長手方向略中央部には、
導電性接着剤などからなる取付部材８０が形成され、こ
の取付部材８０部分が、絶縁体基板７２の中央部におけ
るパターン電極７６およびパターン電極７８の端部上に
付与された導電性接着剤（図示せず）などによって、各
パターン電極７６，７８上に接続、固定される。それに
よって、圧電共振子１０の導電性樹脂膜２８，３０は、
絶縁体基板７２上に固定されるとともに、パターン電極
７６，７８に電気的に接続される。さらに、絶縁体基板
７２上に、金属キャップ８２がかぶせられる。このと
き、金属キャップ８２とパターン電極７６，７８とが導
通しないように、絶縁体基板７２およびパターン電極７
６，７８上に絶縁性樹脂が塗布される。そして、金属キ
ャップ８２がかぶせられることによって、電子部品７０
が作製される。
【００２５】この電子部品７０では、圧電共振子１０の
第１および第２の導電性樹脂膜２８，３０上に形成され
た取付部材８０によって、圧電共振子１０の端部が絶縁
体基板７２から離れた状態で配置され、振動が阻害され
ない。また、圧電共振子１０のノード点である中央部が
取付部材８０で確実に支持されることにより、圧電共振
子１０の振動漏れを防ぐことができる。
【００２６】さらに、複数の圧電共振子１０を用いて、
ラダーフィルタを作製することができる。図１３は梯子
型の回路を有するラダーフィルタとして用いられる電子
部品の例を示す要部斜視図である。図１３に示す電子部
品７０では、絶縁体基板７２上に、４つのパターン電極
８４，８６，８８，９０が形成される。これらのパター
ン電極８４〜９０には、間隔を隔てて一列に配置される
５つのランドが形成される。この場合、絶縁体基板７２
の一端から１番目のランドはパターン電極８４に形成さ
れ、２番目のランドおよび５番目のランドはパターン電
極８６に形成され、３番目のランドはパターン電極８８
に形成され、４番目のランドはパターン電極９０に形成
される。
【００２７】第１および第２の導電性樹脂膜２８，３０
上に取付部材８０の形成された圧電共振子１０が、その
取付部材８０と基板７２の前記各ランド上に、導電性接
着剤を介して取り付けられる。この場合、図１４に示す
梯子型の回路が得られるように、圧電共振子１０ａ〜１
０ｄが取り付けられる。そして、絶縁体基板７２上に、
金属キャップ（図示せず）がかぶせられる。
【００２８】図１２や図１３に示すような電子部品にお
いても、温度変化などによる薄膜外部電極の破断によっ
て圧電共振子の機能が損なわれず、信頼性の高い電子部
品とすることができる。
【００２９】
【発明の効果】この発明によれば、温度変化などによる
絶縁膜の膨張収縮により、薄膜外部電極が破断した場合
でも、導電性樹脂膜があることによって共振子の機能が
損なわれず、信頼性の高い圧電共振子を得ることができ
る。同様に、この圧電共振子を用いた電子部品において
も、信頼性の高い電子部品とすることができる。また、
導電性樹脂膜の塗布量や形状を変えることにより、基体
の振動のダンピング量を変えることができ、共振子のＱ
ｍを変えることができる。したがって、圧電共振子や電
子部品の設計自由度を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の圧電共振子の一例を示す斜視図であ
る。
【図２】図１に示す圧電共振子の図解図である。
【図３】図１に示す圧電共振子を作製するためにセラミ
ックグリーンシートを積層する状態を示す斜視図であ
る。
【図４】図３に示すセラミックグリーンシートからつく
られた積層体母体を示す図解図である。
【図５】図４に示す積層体母体の切断部分を示す図解図
である。
【図６】図５に示す積層体母体を切断した積層体を示す
図解図である。
【図７】図６に示す積層体に絶縁膜を付与した状態の平
面および側面を示す図解図である。
【図８】図７に示す積層体に薄膜外部電極および導電性
樹脂膜を付与した状態の平面および側面を示す図解図で
ある。
【図９】図８に示す積層体に溝を形成するとともに切断
して圧電共振子を作製する工程を示す図解図である。
【図１０】この発明の圧電共振子の他の例を示す図解図
である。
【図１１】この発明の圧電共振子のさらに他の例を示す
図解図である。
【図１２】この発明の圧電共振子を用いた電子部品の一
例を示す分解斜視図である。
【図１３】この発明の圧電共振子を用いたラダーフィル
タの一例を示す要部分解斜視図である。
【図１４】図１３に示すラダーフィルタの等価回路図で
ある。
【図１５】この発明の背景となる圧電共振子の一例を示
す図解図である。
【符号の説明】
１０ 圧電共振子 １２ 基体 １４ 圧電体層 １６ 内部電極 １８ 溝 ２０ 第１の絶縁膜 ２２ 第２の絶縁膜 ２４ 第１の薄膜外部電極 ２６ 第２の薄膜外部電極 ２８ 第１の導電性樹脂膜 ３０ 第２の導電性樹脂膜 ７０ 電子部品 ７２ 絶縁体基板 ７６，７８ パターン電極 ８０ 取付部材 ８２ 金属キャップ ８４，８６，８８，９０ パターン電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角 田 龍 則 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 山 崎 武 志 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 竹 島 哲 夫 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 草 開 重 雅 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 川 合 豊 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 吉 野 博 秀 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (56)参考文献 特開 平９−162674（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−335643（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−333294（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−8677（ＪＰ，Ａ) 実開 平７−22557（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭63−24324（ＪＰ，Ｂ２) 特公 平５−35607（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平３−23705（ＪＰ，Ｙ２) 実公 平３−23701（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の圧電体層と複数の内部電極とを長
    手方向に交互に積層して形成され、前記内部電極の端部
    が側面に露出した略四角柱状の基体、前記基体の側面の長手方向における 前記内部電極の複数
    の露出部分の一部を覆うために前記基体の側面に形成さ
    れる複数の第１の絶縁膜、前記基体の側面の長手方向における前記第１の絶縁膜が
    形成されていない部分において、 前記第１の絶縁膜で覆
    われた前記内部電極を除いて、前記内部電極の露出部分
    を覆うために前記基体の側面に形成される複数の第２の
    絶縁膜、前記基体の 前記第１の絶縁膜が形成された側面において
    前記第１の絶縁膜を覆うようにして前記基体の長手方向
    に連続して形成される第１の薄膜外部電極、前記基体の 前記第２の絶縁膜が形成された側面において
    前記第２の絶縁膜を覆うようにして前記基体の長手方向
    に連続して形成される第２の薄膜外部電極、および前記
    第１の薄膜外部電極および前記第２の薄膜外部電極の上
    にそれぞれ形成される導電性樹脂膜を含み、前記複数の圧電体層は前記内部電極の両側で前記基体の
    長手方向に沿って互いに逆向きに分極され、前記第１の
    絶縁膜で覆われていない前記内部電極が前記第１の薄膜
    外部電極に接続されるとともに、前記第２の絶縁膜で覆
    われていない前記内部電極が前記第２の薄膜外部電極に
    接続され、 前記内部電極によって、個々の前記圧電体層に、前記第
    １および第２の導電性樹脂膜および前記第１および第２
    の薄膜外部電極を介して前記基体の長手方向に電界を印
    加して、個々の前記圧電体層に圧電縦効果による伸縮の
    駆動力を発生させ、 前記基体の長手方向の全長に対して前記基体の中心部を
    ノードとする長さ振動モードの基本振動を励振させるこ
    とを特徴とする、圧電共振子。
  2. 【請求項２】 前記第１の絶縁膜および前記第２の絶縁
    膜は、前記基体の同一側面において前記基体の幅方向の
    一端側および他端側にそれぞれ形成される、請求項１に
    記載の圧電共振子。
  3. 【請求項３】 前記第１の絶縁膜および前記第２の絶縁
    膜は、前記基体の異なる側面に形成される、請求項１に
    記載の圧電共振子。
  4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
    載の圧電共振子を用いた電子部品であって、電極を形成
    した基板を含み、前記電極に前記導電性樹脂膜が電気的
    に接続され、前記圧電共振子を覆うように前記基板上に
    キャップが被せられた、電子部品。
  5. 【請求項５】 前記基板上に複数の前記電極が形成さ
    れ、前記電極上に複数の前記圧電共振子の前記導電性樹
    脂膜が電気的に接続されることによってラダーフィルタ
    とした、請求項４に記載の電子部品。
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