JPS58181399A - 多素子配列型ランジユバン振動子の製造方法 - Google Patents

多素子配列型ランジユバン振動子の製造方法

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Publication number
JPS58181399A
JPS58181399A JP6244582A JP6244582A JPS58181399A JP S58181399 A JPS58181399 A JP S58181399A JP 6244582 A JP6244582 A JP 6244582A JP 6244582 A JP6244582 A JP 6244582A JP S58181399 A JPS58181399 A JP S58181399A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass
elements
langevin
piezoelectric plate
langevin oscillator
Prior art date
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Pending
Application number
JP6244582A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotoshi Emoto
江本 博俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication of JPS58181399A publication Critical patent/JPS58181399A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は多素子配列型ランジュバン振動子の製造方法に
関する。
超音波受波器として使用される従来の多素子配列型ラン
ジュバン振動子の製造方法を第1図により説明すると、
図において1は圧電子板、2はフロントマス、3はバン
クマス上、これらを積層することによって構成されるラ
ンジュバン振ル子を所定形状の素子配列位置決め用スペ
ーサ4上で複数個集合配列して一体化することにより、
所望の振動面形状を得ていた0尚、図中5はフロントマ
ス2に接続されたリード線、6はバックマス3に接続さ
れたリード線で、8と9はハンダ付は等による各々の接
続点を示している。
しかしながら上述した従来の製造方法では、個別に形成
されたランジュバン振動子を素子配列位置決め用スペー
サを使用して集合配列させるため、高い配列精度が得ら
れず、ランジュバン振動子の特性の制御が困難となり、
かつ構造も複雑であると共に、組立工数も多いという欠
点があった。
本発明はこれらの欠点を解決することを目的とし、その
ため集合配列したときの大きさのランジュバン振動子を
形成して、そのフロントマスまたはパンクマス側のどち
らか一方の面からバンクマスまたはフロントマスに達す
る切込み溝を入れることにより圧電子板を実質的に区分
して多素子配列型ランジュバン振動子を製造することを
特徴とする。
以下本発明の一実施例を図面により説明すると、まず第
2図(、)において9は圧電子板、10はフロントマス
、11はバンクマスであり、ここで圧電子9はその表裏
両面に薄膜電極を付着した後バックマス10上に積層し
、この圧電子9上にフロントマス10を積層して、これ
らを接着剤で一体化してランジュバン振動子を構成する
0このランジュバン振動子は多数個集合配列したものと
同じ大きさを有し、かつ所望の振動゛面形状となってい
る0次に、第・2図(b)に示すように前記ランジュバ
ン振動子に切削加工等を行って、フロントマス10側の
面からバックマス11に達するように切込溝12を入れ
、これにより圧電子板9を実質的に区分して所定の配列
とした多数の素子を形成し、そして区分された各フロン
トマス10にリード線13を接続し、さらに前記切込溝
12を一部喰込ませ九バンクマス11には共通リード線
14を接続して多素子配列型ランジュバン振動子とする
0尚、図中15.16はハンダ付は等による接続点であ
る0 以上説明した実施例によると、予じめ所望の振動面形状
とした1個のランジュバン振動子を切込み溝によって多
素子に区分すると共に、バンクマスの一部によって全体
がつながった構造となるようにしているため、素子の配
列精度が向上し、特性の制御が容易になる0また従来の
ようなスペーサを必要とせず、かつバックマス側のリー
ド線が1本で済むので構造を簡素化することができると
共に、区分される素子数に関係なく1個のランジュバン
振動子の組立工数で済むため、大幅な工数削減を計るこ
とができる等の利点がある〇尚、上述した実施例ではフ
ロン・トラス10側の面からバックマス11に達するよ
うに切込溝12を入れているが、バンクマス11側の面
からフロントマス10に達するように切込溝12を入れ
るようにしてもよく、その場合はリード線13を各バッ
クマス11に接続し、共通リード線14をフロントマス
10に接続する0 また、リード線13をフロントマス10またはバックマ
ス11に接続する工程は、切込溝12を入れる工程の前
としてもよく、さらにリード線13及び共通リード線1
4を接続する方法としては、フロントマス10及びバッ
クマス11を導体として、その表面にハンダ付けまたは
打込みをする方法、するいはフロントマス10及びバッ
クマス11を非導体として圧電子板9の表裏面から引出
す方法等が考えられる0 以上説明したように本発明は、切込溝により区分された
多数の素子がバンクマスまたはフロントマスで一体に結
合されているため、従来に比べて配列位置精度が向上し
、特に高域周波数における指向性特性の制御が容易とな
る効果があシ、また構造が単純で組立工数等の少ない多
素子配列型ランジュバン振動子を実現できるという効果
がある0
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の製造方法を説明するだめの断面図、第2
図(&>9 (b)は本発明による製造方法の一実施例
を説明するだめの断面図である0 9・・・圧電子板 10フロントマス 11・・・バッ
クマス 12−・・切込溝 13・・・リード線 14
・・・共通リード線 特許 出願人  沖電気工業株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、少なくとも圧電子板の表裏両面に薄膜電極を付着さ
    せる工程と、この圧電子板をバンクマス上に積層しさら
    に該圧電子板上にフロントマスを積層してこれらを一体
    化するととにより所望の振動面形状を有するランジュバ
    ン振動子を構成する工程と、前記フロントマスまたはパ
    ックマス側の面カラハックマスまたはフロントマスに達
    するように切込み溝を入れてランジュバン振動子を多数
    の素子に区分する工程と、前記ランジュバン振動子を構
    成する工程または切込み溝を入れる工程後フロントマス
    及びバックマスのうちの切込み溝によって区分される方
    のマスに各々リード線を接続する工程と、区分されない
    マスに共通のリード線を゛構続する工程を含むことを特
    徴とする多素子配列聾ランジュバン振動子の製造方法。 ・
JP6244582A 1982-04-16 1982-04-16 多素子配列型ランジユバン振動子の製造方法 Pending JPS58181399A (ja)

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