JPH06254091A - 超音波プローブ装置 - Google Patents
超音波プローブ装置Info
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- JPH06254091A JPH06254091A JP5044129A JP4412993A JPH06254091A JP H06254091 A JPH06254091 A JP H06254091A JP 5044129 A JP5044129 A JP 5044129A JP 4412993 A JP4412993 A JP 4412993A JP H06254091 A JPH06254091 A JP H06254091A
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
も音響整合層を介した音響的な漏れの程度を軽減し得、
また個々のアレイの音響的な指向性の劣化を軽減するこ
とが可能な超音波プローブ装置を提供することにある。 【構成】電極を形成した超音波振動素子10に音響整合
層14を配置すると共に、音響整合層14及び超音波振
動素子10に形成した溝17A,17Bに充填材13を
充填してなる超音波プローブ装置において、音響整合層
14及び超音波振動素子10に形成される溝17,17
Bを音響整合層14から超音波振動素子10内に至る位
置まで形成すると共に該溝17A,17Bに充填材13
を充填してなる構成である。
Description
超音波イメージング装置に使用する超音波プローブ装置
に関する。
波振動素子の超音波放射面に音響整合層を設けた2次元
アレイ形超音波プローブ装置がある。このような2次元
アレイ形超音波プローブ装置における2次元アレイは、
超音波振動素子に複数の溝に形成し、該溝に充填材を充
填すると共に音響整合層と超音波振動素子との間に、ア
ース電極を設ける構成とすることにより、実質的に多数
の微小振動素子が配列した形で存在するものとなる。
した超音波プローブ装置の従来例である。図10に示す
例においては、駆動電極11が分割されてなる超音波振
動素子10(1アレイ)の溝17に、充填材13が充填
され、音響整合層14と超音波振動素子10との間に、
アース電極13が設けられ、各アレイの駆動電極11と
アース電極12との間に、駆動電圧を印加することによ
り、各アレイが独立して超音波を発生させ、且つ超音波
を受信することが可能となる。符号15は、超音波振動
素子10に配設されたバッキング材であり、16は引き
出しリードでありある。
合層14が複数のアレイにわたって存在するため、音響
整合層14を介して音響的な漏れが生じ、個々のアレイ
の音響的な指向性が劣化し、超音波ビームを偏向する場
合、良好な超音波ビームを得られない問題がある。ま
た、音響整合層14を分離する場合、アース電極12を
も同時に分離してしまう可能性が大きく、音響整合層1
4を分離することも困難である。そこで、本発明の目的
は、音響整合層形成がなされたとしても良好な音響指向
性を有するアレイ形の超音波プローブ装置を提供するこ
とにある。
めに請求項1に係る発明は、電極を形成した超音波振動
素子に音響整合層を配置すると共に、前記音響整合層及
び超音波振動素子に形成した溝に充填材を充填してなる
超音波プローブ装置において、
形成される溝を前記音響整合層から前記超音波振動素子
内に至る位置まで形成すると共に該溝に充填材を充填し
てなることを特徴とする。
た超音波振動素子に音響整合層を配置すると共に、前記
音響整合層及び超音波振動素子に形成した溝に充填材を
充填してなる超音波プローブ装置において、
整合層における前記超音波振動素子に到達しない位置ま
で形成すると共に当該溝及び前記超音波振動素子に形成
される溝に充填材を充填してなることを特徴とする。
層形成後も音響整合層を介した音響的な漏れの程度を軽
減し得、個々のアレイの音響的な指向性の劣化を軽減す
ることが可能となり、良好な超音波送受波特性を奏し得
る。
例を図面を参照して説明する。
ーブ装置では、超音波振動素子10として圧電セラミッ
クスを、バッキング材15としてフェライトゴムを、音
響整合層14としてエポキシ樹脂を、超音波振動素子1
0に形成した溝の充填材13として音響整合層14に使
用するものと異なる他のエポキシ樹脂を、アース電極1
2としてスパッタリングによる薄膜金電極を、駆動電極
11としてセラミックス焼き付け銀電極を用いている。
更に、音響整合層14の溝17の充填材13として音響
整合層14に使用するものと同じエポキシ樹脂を使用し
ている。本実施例の超音波プローブ装置の製造法は、次
に述べる二種類の方法のいずれかを採用することができ
る。
すなわち、内部に駆動電極引き出しリードを埋設したバ
ッキング材15を作成する。このバッキング材15の上
面に、平板超音波振動素子10を接着すると共に、超音
波振動素子10の背面に予め設けられた駆動電極11と
電極引き出しリード16とを接続する。次に、超音波振
動素子10をアレイ形状に切断し、アレイ溝17Aを充
填材13により充填した後、超音波放射面にアース電極
12を形成する。更に、音響整合層14を形成した後に
音響整合層14を切断し、溝17Bの形成を行い、最後
に音響整合層14の溝17Bを充填材13により充填す
る。
子10の溝17Aにて分離し且つアース電極12を分離
しない場合には、超音波振動素子10の溝(素子溝)1
7Aを充填材13により充填する充填材13を、超音波
振動素子10の超音波放射面の高さよりも低く形成す
る。すなわち、音響整合層14及び超音波振動素子10
に形成される溝17,17Bを、音響整合層14から超
音波振動素子10の内部に至る位置まで形成する。アー
ス電極12についても、充填材13の形状に沿ってこの
部位で谷状に形成し、その後、音響整合層14を形成し
た後に、音響整合層14を切断することによって、本実
施例の超音波プローブ装置が得られることになる。
すなわち、内部に電極引き出しリード16を埋設したバ
ッキング材15を作成する。バッキング材15上面に平
板超音波振動素子10を接着すると共に超音波振動素子
10の背面に、予め設けられた駆動電極11と電極引き
出しリード16とを接続する。次に、超音波振動素子1
0を1方向においてアレイ形状に切断し、アレイ溝17
Aを充填材13により充填した後に、超音波放射面にア
ース電極12を形成する。次に、音響整合層14を形成
した後に当該音響整合層14を切断し、溝17Bの形成
を行い、溝17Bを充填材13により充填する。最後に
残された方向において音響整合層14、超音波振動素子
10及びアース電極12を切断(又は溝形成)し、溝1
7A,17Bを充填材13により充填する。音響整合層
14を超音波振動素子10の溝17Aにて分離し、且つ
アース電極12を分離しない場合には、超音波振動素子
10の溝17Aのための充填材13を、超音波振動素子
10の超音波放射面の高さよりも低く形成し、アース電
極12も充填材13の形状に沿って、この部位で谷状に
形成し、その後、音響整合層14を形成した後に、音響
整合層14を切断することによって、超音波プローブ装
置が得られる。
イ形超音波ローブ装置を示している。しかし、図1〜図
8における各1アレイは相違する。すなわち、図1にお
ける1アレイは、駆動電極11が分離されてなる素子溝
17Aで分離された音響整合層14をアース電極12上
に設けた構成である。図1に示すアレイ形プローブ装置
の駆動は、バッキング材15内を経由する引き出しリー
ド16とアース電極12からの図示しない引き出しリー
ドとの間にそれぞれ駆動電圧を印加することによって実
現される。
分離されてなる溝17A,17Bで分離された音響整合
層14をアース電極12上に設け、アース電極12が1
方向の音響整合層14の分割位置で分割された構成であ
る。図2に示すアレイ形プローブ装置の駆動は、バッキ
ング材15内を経由する引き出しリード16と、図示し
ない分離されたアース電極12それぞれからの図示しな
い引き出しリードとを共通接続したものとの間にそれぞ
れ駆動電圧を印加することによって実現される。
分離されてなる素子溝17Aの1方向の溝17B上で分
離された音響整合層14をアース電極12上に設けた構
成である。図3に示すアレイ形プローブ装置の駆動は、
バッキング材15内を経由する引き出しりード16とア
ース電極12からの図示しない引き出しリードとの間に
それぞれ駆動電圧を印加することによって実現される。
分離されてなる素子溝17Aの1方向の溝18B1 上で
分離された音響整合層14をアース電極12上に設け、
アース電極12が音響整合層14の分割位置で分割され
た構成である。図4に示すアレイ形プローブ装置の駆動
は、バッキング15材内を経由する引き出しリード16
と分離されたアース電極12それぞれからの図示しない
引き出しリードを共通接続したものとの間にそれぞれ駆
動電圧を印加することによって実現される。
分離されてなる素子溝17Aで超音波放射面上に溝17
B,17B2 を形成された音響整合層14をアース電極
12上に設けた構成である。図5に示すアレイ形プロー
ブ装置の駆動は、バッキング材14内を経由する引き出
しリード16とアース電極12からの図示しない引き出
しリード間にそれぞれ駆動電圧を印加することによって
実現される。
分離されてなる素子溝17Aの1方向の溝位置の超音波
放射面上に溝17Bを形成された音響整合層14を、ア
ース電極12上に設けた構成である。図6に示すアレイ
形プローブ装置の駆動は、バッキング15材内を経由す
る引き出しリード16と、アース電極12からの図示し
ない引き出しリードとの間にそれぞれ駆動電圧を印加す
ることによって実現される。
分離されてなる素子溝17Aの1方向の溝位置で分離さ
れた他方向の溝位置の超音波放射面上に溝17B1 ,1
7B2 を形成された音響整合層14を、アース電極12
上に配置した構成である。図7に示すアレイ形プローブ
装置の駆動は、バッキング15材内を経由する引き出し
リード16とアース電極12からの図示しない引き出し
リードとの間にそれぞれ駆動電圧を印加することによっ
て実現される。
分離されてなる素子溝17Aの1方向の溝位置で分離さ
れ他方向の溝位置の超音波放射面上に溝17B,17B
1 を形成された音響整合層14をアース電極12上に設
けた構成である。図8に示すアレイ形プローブ装置の駆
動は、バッキング材15内を経由する引き出しリード1
6と分離されたアース電極12それぞれからの図示しな
い引き出しリードを共通接続したものとの間にそれぞれ
駆動電圧を印加することによって実現される。図9に示
す実施例は、音響整合層14を素子溝17Aにて分離し
且つアース電極12を分離しない構成の超音波プローブ
装置を示している。図9に示す如く、音響整合層14に
形成される溝17B3 ,17A2 は、超音波振動素子1
0の超音波放射面の高さよりも低く形成し、超音波振動
素子10の内部まで至っている。アース電極12も充填
材13形成に沿ってこの部位に形成し、その後、音響整
合層14を形成した後に、音響整合層14を切断するこ
とによって分離している。このような構成であると、音
響整合層14の形成後であっても音響整合層14を介し
た音響的な漏れの程度を軽減し得ることになる。
アレイ間で超音波振動素子は分離されているが超音波振
動素子アレイ間において溝を形成され駆動電極のみが分
離された構造も有り得、図の限りではない。またバッキ
ング材及び引き出しリード構造も図の通りではない。ま
た音響整合層としては2層構造以上も有り得、図の限り
でない。更にまた充填材を充填部位に応じて変更するこ
とも可能であり図の限りではない。
10を2次元配列し、超音波振動素子10の超音波放射
面に音響整合層14を設けた2次元アレイ超音波プロー
ブ装置である。また、各超音波振動素子10の溝17A
に充填材13を充填するとともに、音響整合層14と超
音波振動素子11との間にアース電極12を設けてい
る。この構成によれば、2次元配列の少なくとも1方向
に関してアレイ間の音響的な漏れが減少するため、超音
波指向性が向上し超音波プローブ装置の性能が向上す
る。本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる
ものである。
整合層の形成後であっても音響整合層を介した音響的な
漏れの程度を軽減し得、また個々のアレイの音響的な指
向性の劣化を軽減することが可能な超音波プローブ装置
を提供できるものである。
す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
ローブ装置を示す斜視図。
を示す斜視図。
電極、13…充填材、14…音響整合層、15…バッキ
ング材、16…引き出しリード、17A,17A1 ,1
7B,17B1 ,17B2 ,17B3 …溝。
Claims (2)
- 【請求項1】 電極を形成した超音波振動素子に音響整
合層を配置すると共に、前記音響整合層及び超音波振動
素子に形成した溝に充填材を充填してなる超音波プロー
ブ装置において、 前記音響整合層及び前記超音波振動素子に形成される溝
を前記音響整合層から前記超音波振動素子内に至る位置
まで形成すると共に該溝に充填材を充填してなることを
特徴とする超音波プローブ装置。 - 【請求項2】 電極を形成した超音波振動素子に音響整
合層を配置すると共に、前記音響整合層及び超音波振動
素子に形成した溝に充填材を充填してなる超音波プロー
ブ装置において、 前記音響整合層に形成される溝を前記音響整合層におけ
る前記超音波振動素子に到達しない位置まで形成すると
共に当該溝及び前記超音波振動素子に形成される溝に充
填材を充填してなることを特徴とする超音波プローブ装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04412993A JP3354195B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 超音波プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04412993A JP3354195B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 超音波プローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06254091A true JPH06254091A (ja) | 1994-09-13 |
JP3354195B2 JP3354195B2 (ja) | 2002-12-09 |
Family
ID=12683012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04412993A Expired - Fee Related JP3354195B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 超音波プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3354195B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002186617A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-02 | Aloka Co Ltd | 振動素子アレイの製造方法及び2次元超音波探触子 |
JP2010154382A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 超音波プローブの圧電振動子、超音波プローブ、超音波診断装置及び超音波プローブにおける圧電振動子の製造方法 |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP04412993A patent/JP3354195B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002186617A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-02 | Aloka Co Ltd | 振動素子アレイの製造方法及び2次元超音波探触子 |
JP4575587B2 (ja) * | 2000-12-20 | 2010-11-04 | アロカ株式会社 | 振動素子アレイの製造方法 |
JP2010154382A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 超音波プローブの圧電振動子、超音波プローブ、超音波診断装置及び超音波プローブにおける圧電振動子の製造方法 |
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---|---|
JP3354195B2 (ja) | 2002-12-09 |
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