JP3376139B2 - 超音波トランスジューサとその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波を被検体に送信
し、被検体からの反射波を受信する超音波トランスジュ
ーサとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電振動子を二次元配列した超音
波トランスジューサを用い、走査方向に加えてスライス
方向にもダイナミックフォーカス等の手法を用い超音波
画質を向上させる試みがなされている。

【０００３】前記圧電振動子を二次元配列した超音波ト
ランスジューサの一例を図１３に示す。図１３に示すよ
うに、圧電振動子を二次元配列した超音波トランスジュ
ーサ１００は、超音波を発生する圧電板１０１と、圧電
板１０１の超音波射出面に形成された銀電極１０３ａ
と、圧電板１０１の超音波射出面と対向する面に形成さ
れた銀電極１０３ｂと、銀電極１０３ｂと電気的に接続
されるプリント配線板１０５と、超音波射出面と対向す
る面への振動を吸収するとともに振動継続を防止するバ
ッキング材１０７と、超音波の被検体への送信を効率良
くする音響整合層１０９とから成る。また、圧電板１０
１と直交する方向に所定の間隔で行われる主分割１１１
により形成される二次元配列した複数の圧電振動子１０
１ａと、各圧電振動子１０１ａ内で圧電板１０１と直交
する方向で行われるサブダイス分割１１３により形成さ
れるサブダイス振動素子１０１ｂとを備える。このサブ
ダイス１０１ｂは、各圧電振動子１０１ａ内で発生する
不要振動モードを除去する。

【０００４】次に、従来の超音波トランスジューサ１０
０の製造方法の一例を図１４〜図２１を用いて説明す
る。

【０００５】まず、図１４に示すように、圧電板１０１
の超音波射出面（以下、表面と記す）と超音波射出面と
対向する面（以下、裏面と記す）に予め銀を焼き付ける
ことにより、銀電極１０３ａ（表面側）と銀電極１０３
ｂ（裏面側）を形成する。

【０００６】次いで図１５に示すように、銀電極１０３
ｂに所定ピッチ（単位圧電振動子の配列ピッチ）で分割
溝１１５を設ける。この分割溝１１５は、エッチング処
理やダイシングソーによって設けられる。

【０００７】次いで図１６に示すように、圧電板１０１
とプリント配線板１０５とを電気的かつ機械的に接続す
る。この接続は、圧電振動子１０１ａの配列ピッチに応
じて分割された銀電極１０３ｂと、圧電振動子１０１ａ
の配列ピッチに応じてプリント配線板１０５に設けられ
た導体露出部１０５ａとを対向配置し、銀電極１０３ｂ
と導体露出部１０５ａとを導通させた状態で非導電性接
着剤１１７を用いて接着することにより行われる。

【０００８】次いで図１７に示すように、プリント配線
板１０５の裏面にバッキング材１０７を接続する。

【０００９】次いで、図１８に示すように、圧電板１０
１と直交する方向に所定の間隔で行われる主分割１１１
により、圧電振動子１０１ａを形成する。さらに、圧電
振動子１０１ａ内で圧電板１０１と直交する方向で行わ
れるサブダイス分割１１３により、サブダイス振動素子
１０１ｂを形成する。

【００１０】次いで図１９に示すように、主分割１１１
とサブダイス分割１１３による分割溝に樹脂１１９を充
填する。その後、銀電極１０３ａと樹脂１１９の表面側
に共通電極１２１を形成する。

【００１１】次いで図２０に示すように、共通電極１２
１の表面側に音響整合層１０９を形成する。

【００１２】次いで図２１に示すように、音響整合層１
０９を前記主分割１１１とサブダイス分割１１３に対応
させて分割する。その後、その分割溝に樹脂１２３を充
填する。

【００１３】このようにして圧電振動子１０１ａを二次
元配列した従来の超音波トランスジューサ１００が製造
される。

【００１４】ここで、圧電板１０１を完全に分割（以
下、フルカットと記す）することにより圧電振動子１０
１ａとサブダイス１０１ｂを形成すると、溝深さ精度不
良によってプリント配線板１０５の配線パターンを切断
する可能性と、フルカットによる外力が加わることによ
り、圧電板１０１とプリント配線板１０５との電気的接
続を損なう可能性がある。

【００１５】このため、プリント配線板１０５の配線パ
ターンを切断する可能性のある方向の主分割１１１とサ
ブダイス分割１１３は、圧電板１０１を完全に分割せ
ず、途中で分割を停止（以下ハーフカットと記す）させ
ている。なお、主分割１１１とサブダイス分割１１３
は、音響整合層１０９を形成した後に行うことも有り得
る。

【００１６】なお、図１４〜図２１に示した超音波トラ
ンスジューサ１００の製造方法は、一方向のみ着目した
ものであって、実際は、図１４〜図２１に示した工程の
間に図示しない他の方向の分割等の工程が入るため、更
に複雑となる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電振
動子を二次元配列した従来の超音波トランスジューサ
は、圧電板をハーフカットすることにより形成される圧
電振動子を備えているので、圧電振動子間の電気的、音
響的漏れが多いという問題がある。また、圧電振動子を
二次元配列した従来の超音波トランスジューサは、前記
圧電振動子内で圧電板をハーフカットすることにより形
成されるサブダイス振動素子を備えているが、このサブ
ダイス振動素子は、超音波射出側と対向する側が固定さ
れているので、新たな不要振動を有し、各圧電振動子の
超音波特性を劣化させるという問題がある。

【００１８】したがって、圧電振動子を二次元配列した
従来の超音波トランスジューサは、良好な超音波特性を
得ることができないという問題がある。

【００１９】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、圧電振動子間の電気的、音響的な漏
れを無くすことにより、圧電振動子から射出される超音
波の特性を向上させることが可能な超音波トランスジュ
ーサを提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに本発明は、超音波射出面を有する圧電振動子と、該
圧電振動子の該超音波射出面と反対側の面において、所
定の間隔で所定の深さで形成された複数の第１の溝内に
充填された第１の樹脂と、前記圧電板の前記超音波射出
面と反対側の面上に前記第１の樹脂を覆うように形成さ
れた駆動電極と、前記駆動電極の前記複数の第１の溝の
間に相当する位置に前記駆動電極を電気的に分割する深
さで形成された複数の第２の溝内に充填された第２の樹
脂と、前記圧電板の前記超音波射出面における前記第１
および第２の溝に相当する位置に前記第１および第２の
樹脂に達する深さまで形成された複数の第３の溝に充填
された第３の樹脂と、前記圧電板の超音波射出面上に前
記第３の樹脂を覆うように形成された共通電極と、を備
えることを特徴としている。

【００２１】また、超音波射出面を有し、該超音波射出
面と直交する方向に沿って完全に分割されかつ二次元配
列された複数の圧電振動子からなり、該各圧電振動子は
前記超音波射出面と直交する方向に沿って完全にサブダ
イス分割された複数のサブダイス振動素子からなる圧電
板と、前記圧電板の前記超音波射出面と反対側の面上
に、各圧電振動子内の前記サブダイス振動素子同士を電
気的に接続し、かつ前記圧電振動子同士は電気的に分離
されるように形成された複数の駆動電極と、前記圧電板
の前記超音波射出面上に前記複数の圧電振動子を共通に
接続するよう形成された共通電極と、前記各駆動電極と
各々電気的に接続され、外部から印加される電圧を前記
各駆動電極に供給する手段と、前記サブダイス振動素子
間及び前記圧電振動子間に充填された樹脂と、を備える
ことを特徴としている。

【００２２】さらに、超音波射出面を有する圧電振動子
の該超音波射出面と反対側の面において、所定の間隔で
所定の深さを有する複数の第１の溝を形成する工程と、
前記第１の溝に樹脂を充填する工程と、前記圧電板の前
記超音波射出面と反対側の面上に前記第１の溝に充填さ
れた樹脂を覆うように駆動電極を形成する工程と、前記
駆動電極の前記複数の第１の溝の間に相当する位置に、
前記駆動電極を電気的に分割する深さを有する複数の第
２の溝を形成する工程と、前記第２の溝に樹脂を充填す
る工程と、前記圧電板の前記超音波射出面における前記
第１および第２の溝に相当する位置に前記各溝に充填さ
れた樹脂に達する深さまで第３の溝を形成する工程と、
前記第３の溝に樹脂を充填する工程と、前記圧電板の超
音波射出面上に共通電極を形成する工程と、を具備する
ことを特徴としている。

【００２３】さらに、超音波を射出する圧電板の超音波
射出面と対向する面上に電極を形成する工程と、前記電
極の形成された圧電板を前記電極側から超音波射出面と
直交する方向に途中まで分割する工程と、前記圧電板を
電極側から分割する工程により形成された第１の溝に樹
脂を充填する工程と、外部から印加される電圧を前記電
極に各々供給する手段を前記各電極に電気的に接続する
工程と、前記圧電板をその超音波射出面から前記第１の
溝まで分割する工程と、前記圧電板を第１の溝まで分割
する工程により形成された第２の溝に樹脂を充填する工
程と、前記圧電板の超音波射出面上に共通電極を形成す
る工程と、を具備することを特徴としている。

【００２４】

【作用】上記構成によれば、二次元配列された圧電振動
子は、圧電板を完全に切断して成るので、外部から印加
される電圧を前記各駆動電極に供給する手段を介し、前
記各圧電振動子の超音波射出面と対向する面上に各々形
成された駆動電極に電圧を印加することにより前記圧電
振動子から超音波を射出させる際、圧電振動子間の電気
的、音響的な漏れを無くさせる。

【００２５】また、樹脂は、圧電板を切断することによ
り形成された溝に充填されるので前記圧電振動子の分離
を防ぐ。

【００２６】さらに、超音波を射出する圧電板の超音波
射出面と対向する面上に電極を形成し、前記電極の形成
された圧電板を前記電極側から超音波射出面と直交する
方向に途中まで分割した後、前記圧電板を電極側から分
割する工程により形成された第１の溝に樹脂を充填し、
外部から印加される電圧を前記電極に各々供給する手段
を前記各電極に電気的に接続し、前記圧電板をその超音
波射出面から前記第１の溝まで分割した後、前記圧電板
を第１の溝まで分割する工程により形成された第２の溝
に樹脂を充填し、前記圧電板の超音波射出面上に共通電
極を形成することにより超音波トランスジューサが製造
される。このため、圧電振動子は、圧電板を完全に切断
して形成されるので、圧電振動子間の電気的、音響的な
漏れを無くさせる。

【００２７】

【実施例】図１は、本発明に係る超音波トランスジュー
サの一実施例を示す断面図である。図１に示すように、
本実施例の超音波トランスジューサ１０は、超音波を射
出する圧電板１１をその超音波射出面と直交する方向に
完全に切断して成る二次元配列された複数の圧電振動子
１１ａと、各圧電振動子１１ａ内で超音波射出面と直交
する方向に完全に切断して成るサブダイス振動素子１１
ｂと、各圧電振動子１１ａの超音波射出面と対向する面
上に銀を焼き付けることにより成る銀電極を介して形成
された駆動電極１３ａと、複数の圧電振動子１１ａの超
音波射出面上に銀を焼き付けることにより成る銀電極を
介して形成された共通電極１３ｂと、各駆動電極１３ａ
と導体露出部１５ａを介して各々電気的に接続され、外
部から印加される電圧を各駆動電極１３ａに供給するプ
リント配線板１５と、圧電振動子１１ａの超音波射出側
と対向する側に生じる振動を吸収するとともに振動継続
を防止するバッキング材１７と、超音波振動の伝達を効
率良くする音響整合層１９とを備える。

【００２８】また、超音波トランスジューサ１０は、圧
電板１１から圧電振動子１１ａに分割するための主分割
２１により生じた溝２１と、圧電振動子１１から不要振
動除去用のサブダイス振動素子１１ｂに分割するための
サブダイス分割２３により生じた溝２３に充填された樹
脂２５を備える。

【００２９】本実施例のトランスジューサ１０では、駆
動電極１３ａにプリント配線板１５を介して外部から電
圧を印加し、圧電振動子１１ａを駆動させた場合、各圧
電振動子１１ａが完全に分離されているので、圧電振動
子１１ａ間で電気的、音響的漏れの無い状態で超音波を
射出できる。

【００３０】このように、本実施例の超音波トランスジ
ューサ１０は、圧電板１１を完全に切断することにより
形成される圧電振動子１１ａを備えているので、圧電振
動子１１ａ間の電気的、音響的漏れが無くなり、圧電振
動子１１ａから射出される超音波の特性を向上させるこ
とができる。

【００３１】また、本実施例の超音波トランスジューサ
１０は、各圧電振動子１１ａ内で超音波射出面と直交す
る方向に完全に圧電板１１を切断して成るサブダイス振
動素子１１ｂを備えているので、圧電振動子１１ａ内で
生じる不要振動を新たな不要振動を有さずに除去するこ
とができ、圧電振動子１１ａから射出される超音波の特
性を向上させることができる。

【００３２】次に本実施例の超音波トランスジューサ１
０の製造方法の一例を図２〜図１２を用いて説明する。

【００３３】まず、図２に示すように、圧電板１１の超
音波射出面（以下、表面と記す）と超音波射出面の反対
面（以下、裏面と記す）に予め銀を焼き付けることによ
り、銀電極２７（裏面側）と銀電極２９（表面側）を形
成する。なお、この銀電極２７，２９は、超音波トラン
スジューサ１０の構成に必ずしも必要ではないので省略
することも可能である。

【００３４】次いで図３に示すように、銀電極２７のサ
ブダイス分割位置に圧電板１１まで溝２３ａを設ける。
この溝２３ａは、ダイシングソーによって設けられる。
なお、溝２３ａの深さは後で行う表面からの溝形成の深
さ精度に応じて決定される。

【００３５】次いで図４に示すように、溝２３ａに樹脂
２５ａを充填する。その後、銀電極２７上面（図４では
銀電極２７の下面）に駆動電極１３ａを形成する。

【００３６】次いで図５に示すように、銀電極２７の主
分割位置に圧電板１１まで溝２１ａを設ける。この分割
溝２１ａは、ダイシングソーによって設けられる。な
お、溝２１ａの深さは後で行う表面からの溝形成の深さ
精度に応じて決定される。

【００３７】次いで図６に示すように、溝２１ａに樹脂
２５ａを充填する。なお、樹脂２５ａは、図７に示すプ
リント配線板１５を接続する工程を経ても変形、破損の
ない程度の硬度を有するもの、例えばエポキシ樹脂が用
いられる。

【００３８】次いで図７に示すように、圧電板１１とプ
リント配線板１５とを電気的かつ機械的に接続する。こ
の接続は、圧電振動子１１ａの配列ピッチに応じて分割
された駆動電極１３ａと、圧電振動子１１ａの配列ピッ
チに応じてプリント配線板１５に設けられた導体露出部
１５ａとを対向配置し、駆動電極１３ａと導体露出部１
５ａとを導通させた状態で非導電性接着剤３１を用いて
接着することにより行われる。なお、プリント配線板１
５の導体露出部１５ａは、圧電振動子１１ａの中央やサ
ブダイスによって生じる振動素子１１ｂの中央に位置さ
せる必要はなく、駆動電極１３ａと導体露出部１５ａと
が導通できればいずれの位置でも良い。

【００３９】次いで図８に示すように、プリント配線板
１５の裏面にバッキング材１７を接続する。なお、バッ
キング材１７としては、高さ方向に複数積層したものを
用いても良い。

【００４０】次いで図９に示すように、銀電極２９と圧
電板１１に溝２１ａ，２３ａに対応させて溝２１、２３
を設ける。この溝２１，２３は、ダイシングソーによっ
て設けられる。このとき、溝２１，２３は、圧電板１１
の裏面から形成した溝２１ａ，２３ａに達する深さとす
る。これにより、圧電振動子１１ａとサブダイス振動素
子１１ｂは完全に分割される。

【００４１】次いで図１０に示すように、溝２１，２３
に樹脂２５ｂを充填する。なお、樹脂２５ｂは、樹脂２
５ａと同一のものに限らず、他の樹脂、例えば樹脂２５
ａより硬度の低い樹脂を用いても良い。樹脂２５ａより
硬度の低い樹脂を用いた場合は、圧電振動子１１ａの振
動性が向上するという効果がある。

【００４２】その後、図１０に示すように、銀電極２９
上面に共通電極１３ｂを形成する。このため、圧電振動
子１１ａの銀電極２９は共通電極１３ｂにより導通され
る。

【００４３】次いで図１１に示すように、共通電極１３
ｂ上に音響整合層１９を形成する。なお、音響整合層１
９は、高さ方向に複数積層したものを用いても良い。

【００４４】次いで図１２に示すように、溝２１と溝２
３に対応する音響整合層１９上の位置に分割溝３３を設
ける。なお、この分割溝３３は、共通電極１３ｂを切断
しない深さとする。

【００４５】こうして、本実施例の超音波トランスジュ
ーサ１０は製造される。なお、本実施例の超音波トラン
スジューサ１０は図２〜図１２に示す工程順に限らず、
適宜順番を入れ替えても良い。

【００４６】図２〜図１２に示す製造方法は、一方向の
み着目したものであって、実際の製造方法は、図２〜図
１２に示した工程の間に図示しない他の方向の分割等の
工程が入るが、製造方法は前述の方向の場合と同一であ
るため、説明は省略する。

【００４７】このように、本実施例の超音波トランスジ
ューサ１０の製造方法では、圧電板１１を完全に切断す
ることにより、圧電振動子１１ａが形成されるので、圧
電振動子１１ａ間の電気的、音響的な漏れが無くなり、
圧電振動子１１ａから射出される超音波の特性を向上さ
せることができる。

【００４８】また、本実施例の超音波トランスジューサ
１０の製造方法では、各圧電振動子１１ａ内で圧電板１
１を完全に切断することによりサブダイス振動素子１１
ｂが形成されるので、圧電振動子１１ａ内で生じる新た
な不要振動を有さずに除去することができ、圧電振動子
１１ａから射出される超音波の特性を向上させることが
できる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、圧
電板を完全に切断して成る圧電振動子を備えているの
で、圧電振動子間の電気的、音響的な漏れを減らすこと
ができ、圧電振動子から射出される超音波の特性を向上
させることができる。

【００５０】また、圧電板を切断する分割溝に充填され
た樹脂を備えているので、所望の振動を効果的に発生さ
せるとともに圧電振動子のずれ、離脱を防止することが
できる。

【００５１】さらに、圧電板を切断する分割溝の駆動電
極側（超音波射出側と対向する側）に充填される第１の
樹脂と、圧電板を切断する分割溝の共通電極側（超音波
射出側）に充填される第２の樹脂を備えているので、所
望の振動を効果的に発生させるとともに圧電振動子のず
れ、離脱を防止することができる。

【００５２】さらに、圧電振動子内で圧電板を完全に切
断することにより成るサブダイス振動素子を備えている
ので、圧電振動子内で生じる不要振動を新たな不要振動
を有さずに除去することができ、圧電振動子から射出さ
れる超音波の特性を向上させることができる。

【００５３】さらに、超音波を射出する圧電板を完全に
切断することにより複数の圧電振動子とサブダイス振動
素子を形成しているので、圧電振動子間の電気的、音響
的な漏れを減らすことができ、圧電振動子から射出され
る超音波の特性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波トランスジューサの一実施
例を示す断面図。

【図２】圧電板の表面と裏面に焼き付け銀電極を形成し
た状態（図１に示す超音波トランスジューサの初めの製
造工程）を示す断面図。

【図３】図２に示す銀電極（圧電板の裏面側）のサブダ
イス分割を行う位置に圧電板まで達する溝を形成した状
態を示す断面図。

【図４】図３に示す溝に樹脂を充填した後、駆動電極を
形成した状態を示す断面図。

【図５】図４に示す銀電極（圧電板の裏面側）の主分割
位置に圧電板まで溝を形成した状態を示す断面図。

【図６】図５に示す溝に樹脂を充填した状態を示す断面
図。

【図７】図６に示す状態の圧電板と、プリント配線板と
を電気的かつ機械的に接続した状態を示す断面図。

【図８】図７に示すプリント配線板の裏面にバッキング
材を接続した状態を示す断面図。

【図９】図８に示す圧電板の主分割とサブダイス分割を
行う位置に途中まで溝を形成した状態を示す断面図。

【図１０】図９に示す溝に樹脂を充填した後、共通電極
を形成した状態を示す断面図。

【図１１】図１０に示す共通電極上に音響整合層を形成
した状態を示す断面図。

【図１２】図１１に示す音響整合層に分割溝を設けた状
態を示す断面図。

【図１３】従来の超音波トランスジューサを示す断面
図。

【図１４】圧電板の表面と裏面に銀電極を形成した状態
示す断面図。

【図１５】図１４に示す銀電極を圧電振動子の配列ピッ
チに応じて分割した状態を示す断面図。

【図１６】図１５に示す圧電板と、プリント配線板とを
電気的かつ機械的に接続した状態を示す断面図。

【図１７】図１６に示すプリント配線板の裏面にバッキ
ング材を接続した状態を示す断面図。

【図１８】図１７に示す圧電板の表面側の主分割とサブ
ダイス分割を行う位置に途中まで溝を形成した状態を示
す断面図。

【図１９】図１８に示す分割溝に樹脂を充填した後、共
通電極を形成した状態を示す断面図。

【図２０】図１９に示す共通電極上に音響整合層を形成
した状態を示す断面図。

【図２１】図２０に示す音響整合層を主分割とサブダイ
ス分割に対応させて分割し、その分割溝に樹脂を充填し
た状態を示す断面図。

【符号の説明】

１０ 超音波トランスジューサ １１ 圧電板 １１ａ 圧電振動子 １１ｂ サブダイス １３ａ 駆動電極 １３ｂ 共通電極 １５ プリント配線板 １７ バッキング材 １９ 音響整合層 ２１ 主分割 ２３ サブダイス分割 ２５ 樹脂 ２７，２９ 銀電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H04R 17/00 332 A61B 8/00 G01N 29/24 502

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波射出面を有する圧電振動子と、 該圧電振動子の該超音波射出面と反対側の面において、
   所定の間隔で所定の深さで形成された複数の第１の溝内
   に充填された第１の樹脂と、 前記圧電板の前記超音波射出面と反対側の面上に前記第
   １の樹脂を覆うように形成された駆動電極と、 前記駆動電極の前記複数の第１の溝の間に相当する位置
   に前記駆動電極を電気的に分割する深さで形成された複
   数の第２の溝内に充填された第２の樹脂と、 前記圧電板の前記超音波射出面における前記第１および
   第２の溝に相当する位置に前記第１および第２の樹脂に
   達する深さまで形成された複数の第３の溝に充填された
   第３の樹脂と、 前記圧電板の超音波射出面上に前記第３の樹脂を覆うよ
   うに形成された共通電極と、 を備えることを特徴とする超音波トランスジューサ。
2. 【請求項２】 超音波射出面を有し、該超音波射出面と
   直交する方向に沿って完全に分割されかつ二次元配列さ
   れた複数の圧電振動子からなり、該各圧電振動子は前記
   超音波射出面と直交する方向に沿って完全にサブダイス
   分割された複数のサブダイス振動素子からなる圧電板
   と、 前記圧電板の前記超音波射出面と反対側の面上に、各圧
   電振動子内の前記サブダイス振動素子同士を電気的に接
   続し、かつ前記圧電振動子同士は電気的に分離されるよ
   うに形成された複数の駆動電極と、 前記圧電板の前記超音波射出面上に前記複数の圧電振動
   子を共通に接続するよう形成された共通電極と、 前記各駆動電極と各々電気的に接続され、外部から印加
   される電圧を前記各駆動電極に供給する手段と、 前記サブダイス振動素子間及び前記圧電振動子間に充填
   された樹脂と、 を備えることを特徴とする超音波トランスジューサ。
3. 【請求項３】 前記樹脂は、前記サブダイス振動素子間
   及び圧電振動子間の前記駆動電極側に充填された第１の
   樹脂と、 前記サブダイス振動素子間及び圧電振動子間の前記共通
   電極側に充填された第２の樹脂とを有することを特徴と
   する請求項２記載の超音波トランスジューサ。
4. 【請求項４】 前記第１の樹脂と前記第２の樹脂は、そ
   れぞれ特性の異なる樹脂である請求項３記載の超音波ト
   ランスジューサ。
5. 【請求項５】 超音波射出面を有する圧電振動子の該超
   音波射出面と反対側の面において、所定の間隔で所定の
   深さを有する複数の第１の溝を形成する工程と、 前記第１の溝に樹脂を充填する工程と、 前記圧電板の前記超音波射出面と反対側の面上に前記第
   １の溝に充填された樹脂を覆うように駆動電極を形成す
   る工程と、 前記駆動電極の前記複数の第１の溝の間に相当する位置
   に、前記駆動電極を電気的に分割する深さを有する複数
   の第２の溝を形成する工程と、 前記第２の溝に樹脂を充填する工程と、 前記圧電板の前記超音波射出面における前記第１および
   第２の溝に相当する位置に前記各溝に充填された樹脂に
   達する深さまで第３の溝を形成する工程と、 前記第３の溝に樹脂を充填する工程と、 前記圧電板の超音波射出面上に共通電極を形成する工程
   と、 を具備することを特徴とする超音波トランスジューサの
   製造方法。
6. 【請求項６】 超音波を射出する圧電板の超音波射出面
   と対向する面上に電極を形成する工程と、 前記電極の形成された圧電板を前記電極側から超音波射
   出面と直交する方向に途中まで分割する工程と、 前記圧電板を電極側から分割する工程により形成された
   第１の溝に樹脂を充填する工程と、 外部から印加される電圧を前記電極に各々供給する手段
   を前記各電極に電気的に接続する工程と、 前記圧電板をその超音波射出面から前記第１の溝まで分
   割する工程と、 前記圧電板を第１の溝まで分割する工程により形成され
   た第２の溝に樹脂を充填する工程と、 前記圧電板の超音波射出面上に共通電極を形成する工程
   と、 を具備することを特徴とする超音波トランスジューサの
   製造方法。