JPH10253604A - 超音波探触子 - Google Patents

超音波探触子

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JPH10253604A
JPH10253604A JP5368297A JP5368297A JPH10253604A JP H10253604 A JPH10253604 A JP H10253604A JP 5368297 A JP5368297 A JP 5368297A JP 5368297 A JP5368297 A JP 5368297A JP H10253604 A JPH10253604 A JP H10253604A
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JP
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matching layer
acoustic
acoustic matching
gap
piezoelectric element
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JP5368297A
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English (en)
Inventor
Toshiharu Sato
藤 利 春 佐
Akihisa Adachi
立 明 久 足
Hidetomo Nagahara
原 英 知 永
Keisaku Yamaguchi
口 恵 作 山
Naoko Azuma
奈緒子 東
Masahiko Hashimoto
本 雅 彦 橋
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 所定のギャップをもって配列された圧電素子
を有する超音波探触子において、圧電素子間のギャップ
内に音響整合層と音響レンズとを接着する接着剤が入り
込むことによるクロストークの発生を抑え、高感度、広
指向特性を実現することを目的とする。 【解決手段】 第2音響整合層13と音響レンズ15と
を粘着性を有するゲル状材料17で接合する。ゲル状材
料17は流動性がないので、素子間のギャップ16内に
入り込むことがなくなり、クロストークの発生と感度の
低下を防止するとともに広指向特性が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波診断装置等
に用いられる超音波探触子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波探触子について図4を参照
して説明する。図4(a)において、1は所定の間隔を
もって配列した例えば圧電セラミックスからなる圧電素
子、2は超音波を効率よく伝搬させるための第1音響整
合層、3は同様な第2音響整合層、4は圧電素子1の背
面から出される超音波を吸収減衰させるための背面負荷
材、5は超音波を収束させるための音響レンズである。
【0003】このような構成の超音波探触子は、まず背
面負荷材4の上に圧電素子1、第1音響整合層2、第2
音響整合層3を順次積層し、次にダイサ等の切断装置に
よって、第2音響整合層3、第1音響整合層2、圧電素
子1を所定の間隔で分割してギャップ6を形成し、その
後に第2音響整合層3の上に音響レンズ5を接着するこ
とにより製造される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、図4(b)に示すように、音響レンズ5
を接着する際に接着剤7が素子間のギャップ6に流出し
てしまい、流出した接着剤7によってギャップ6が充填
されてしまうため、隣接素子間のクロスト−クが発生し
てしまう。また、圧電振動エネルギ−がギャップ6内の
接着剤7に漏洩するために感度の低下を招くと同時に、
各素子の指向特性が狭くなり、例えばセクタ走査のよう
な広指向特性を必要とする探触子に適さなくなってしま
う課題を有していた。特に、接着剤7と第1音響整合層
2、第2音響整合層3は、音響インピーダンスが近い値
の材料を使用するために、第1音響整合層2、第2音響
整合層3からギャップ6間の接着剤7へエネルギーが伝
搬しやすく、感度低下の要因となっていた。
【0005】本発明は、上記課題を解決するもので、ク
ロスト−クの発生を抑え、高感度、広指向特性を有する
超音波探触子を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の超音波探触子は、音響整合層と音響レンズ
との接合に粘着性を有するゲル状材料を使用したもので
あり、ゲル状材料は流動性がないため、素子間のギャッ
プに入り込むことがなく、したがってクロストークの発
生を抑えることができ、高感度、広指向特性を得ること
ができる。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、複数個配列された圧電素子と、前記圧電素子の音響
放射面側に配された音響整合層と、前記音響整合層の音
響放射面側に配された音響レンズとを有し、前記音響整
合層と前記音響レンズとを粘着性を有するゲル状材料で
接合したことを特徴とする超音波探触子であり、ゲル状
材料は非常に柔らかいうえに粘度が高く素子間のギャッ
プに流れ込むことがないため、クロスト−クの発生を抑
えることができるとともに、高い感度が得られるという
作用を有する。
【0008】本発明の請求項2または3に記載の発明
は、ゲル状材料としてゲル状シリコーンゴムまたはゲル
状エポキシ樹脂を使用したものであり、材料の入手およ
び取り扱いが容易であるという作用を有する。
【0009】本発明の請求項4に記載の発明は、複数個
配列された圧電素子と、前記圧電素子の音響放射面側に
配された音響整合層を有し、各素子間のギャップ内に圧
電素子の厚み以下に充填剤を注入したことを特徴とする
超音波探触子であり、ギャップ内の充填剤を圧電素子の
厚み以下に抑えることによって、音響整合層とギャップ
内の充填材料が直接接触することがなくなるため、音響
整合層から充填材料へのエネルギ−伝搬をなくすことが
でき、強度を保ちながらクロスト−クの発生を抑えて高
い感度が得られるという作用を有する。
【0010】本発明の請求項5に記載の発明は、幅方向
に複数配列された短冊状の圧電素子を有し、前記圧電素
子の一方の端部が未分割であることを特徴とする超音波
探触子であり、素子全体が未分割部分で連結されている
ため、強度を保ちながらクロスト−クの発生を抑えて高
い感度が得られるという作用を有する。
【0011】以下、本発明の実施の形態について、図1
から図3を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の第1の実施の形態にお
ける超音波探触子の構成を示すものである。図1におい
て、11はギャップ16を介して所定の間隔で配列した
例えば圧電セラミックスからなる圧電素子、12は超音
波を効率よく伝搬させるための例えばエポキシ樹脂から
なる第1音響整合層、13は同様な第2音響整合層、1
4は圧電素子11の背面から出される超音波を吸収減衰
させるための例えばゴム材に鉄粉を混入させたものから
なる背面負荷材、15は超音波を収束させるための例え
ばシリコーンゴムからなる音響レンズである。16は素
子間のギャップ、17は音響レンズ15を第2音響整合
層13に接合するためのゲル状材料である。また、圧電
素子11の上下には、図示しない例えば焼き付け銀から
なる電極が施されており、これら電極は図示しない配線
基板や図示しないケーブルを介して図示しない超音波診
断装置に電気的に接続されている。
【0012】以上のように構成された超音波探触子につ
いて、以下その動作を説明する。例えば、この探触子を
用いてBモード情報を得る場合、各圧電素子11は所定
の遅延時間を与えられた図示しない超音波診断装置から
のパルスによって励振され、第1音響整合層12、第2
音響整合層13、音響レンズ15を介して、所定の方向
と所定のフォーカスを有した超音波ビームが、図示しな
い被検体内に送波される。被検体内に送波された超音波
は、被検体内部組織の音響インピーダンスの差によって
反射され、その反射エコーは、音響レンズ15、第2音
響整合層13、第1音響整合層12を介して、圧電素子
11によって受波される。受波された反射エコーは電気
信号に変換され、図示しない超音波診断装置に送られ、
Bモード像に処理される。
【0013】この超音波探触子の製造方法の一例を説明
する。まず最初に背面負荷材14の上に圧電素子11と
第1音響整合層12および第2音響整合層13を各々接
着剤で接着しながら積層していく。次に積層した圧電素
子11と第1音響整合層12および第2音響整合層13
を、例えばダイサなどの切断装置を用いて所定の間隔を
保ちながら切断し、切断された部分にギャップ16を形
成する。次に予め音響レンズ15の第2音響整合層13
と接する面に粘着性を有する例えばゲル状シリコーンゴ
ムからなるゲル状材料17を音響的に悪影響を及ぼさな
い程度の一定の厚みに制御しながら塗布しておき、第2
音響整合層13の上から音響レンズ15を密着固定させ
る。このとき、ゲル状材料17は、粘性が非常に高くギ
ャップ16に流出することがないため、ギャップ16が
ゲル状材料17によって充填されることはない。
【0014】このように、本実施の形態によれば、第2
音響整合層13と音響レンズ15との接合にゲル状材料
17を使用したので、各素子はギャップ16を介して完
全に分離された構成を保持することができ、隣接素子間
のクロストークの発生や感度の低下を押さえることがで
きるとともに広指向特性を得ることができる。
【0015】なお、ここでは音響整合層として2層の構
造について説明したが、1層や3層以上であっても本発
明の効果は得られる。
【0016】また、ここでは素子が1次元に配列した構
造について説明したが、2次元のマトリクス配列やそれ
以外も含めて複数の素子が配列した構造であれば本発明
の効果は得られる。
【0017】さらに、ここではゲル状材料をゲル状シリ
コーンゴムとしたが、ゲル状エポキシ樹脂を含め、その
他のゲル状材料であっても本発明の効果は得られる。
【0018】(実施の形態2)図2は本発明の第2の実
施の形態を示す。図2において、21はギャップ26を
介して所定の間隔で配列した例えば圧電セラミックスか
らなる圧電素子、22は超音波を効率よく伝搬させるた
めの例えばエポキシ樹脂からなる第1音響整合層、23
は同様な第2音響整合層、24は圧電素子21の背面か
ら出される超音波を吸収減衰させるための例えばゴム材
に鉄粉を混入させたものからなる背面負荷材、25は超
音波を収束させるための例えばシリコーンゴムからなる
音響レンズ、26は素子間のギャップ、27はギャップ
26内を部分的に充填するための例えばシリコーンゴム
やエポキシ樹脂からなる充填剤である。また、圧電素子
21の上下には例えば焼き付け銀からなるマイナス電極
28およびプラス電極29が設けられており、これら電
極28、29は図示しない配線基板や図示しないケーブ
ルを介して図示しない超音波診断装置に電気的に接続さ
れている。以上のように構成された超音波探触子の動作
については、実施の形態1と同様であり、ここでは省略
する。
【0019】上記構成を有する超音波探触子の製造方法
の一例を説明する。まず最初に背面負荷材24の上に圧
電素子21と第1音響整合層22および第2音響整合層
23を各々接着剤で接着しながら積層していく。次に積
層した圧電素子21と第1音響整合層22および第2音
響整合層23を、例えばダイサなどの切断装置を用いて
所定の間隔を保ちながら切断し、切断された部分にギャ
ップ26を形成する。次にこのギャップ26に、例えば
シリコーンゴムやエポキシ樹脂からなる充填剤27を流
し込み、ギャップ26の全体を充填する。次に充填され
たギャップ26に対して、例えばダイサなどの切断装置
もしくは切削装置を用いて、第2音響整合層23および
第1音響整合層22の深さまで充填剤27を除去して圧
電素子21の厚み分のみの充填剤27を残すようにす
る。その後、音響レンズ25を例えばゲル状シリコーン
ゴムを用いてギャップ26を保持した状態で第2音響整
合層23に接合する。
【0020】このように、本実施の形態によれば、第1
音響整合層22および第2音響整合層23に隣接する充
填剤27を除去することによって、音響インピーダンス
の整合がとれやすい第1音響整合層22と充填剤27、
第2音響整合層23と充填剤27が直接接触することが
なくなるため、クロストークの抑制と感度低下を防止で
きるとともに、圧電素子21の厚みまで充填された充填
剤27によって強度を保持し、素子倒れ等を防ぐことが
できる。
【0021】なお、ここでは圧電素子の厚みと等しい厚
みになるように、注入した充填剤を除去する構造につい
て説明したが、初めから圧電素子の厚みになるように充
填剤を注入するようにしてもよい。また、充填剤の厚み
は、圧電素子の厚み以下であっても本発明の効果は得ら
れる。
【0022】また、ここでは素子が1次元に配列した構
造について説明したが、2次元のマトリクス配列やそれ
以外も含めて複数の素子が配列した構造であれば本発明
の効果は得られる。
【0023】また、ここでは音響整合層として2層の構
造について説明したが、1層や3層以上であっても本発
明の効果は得られる。
【0024】また、ここでは音響レンズがある構成につ
いて説明したが、音響レンズがなくても本発明の効果が
得られるのは言うまでもない。
【0025】(実施の形態3)図3は本発明の第3の実
施の形態を示す。図3において、31は超音波の送波お
よび受波をするための例えば圧電セラミックスからなる
圧電素子、32は超音波を効率よく伝搬させるための例
えばエポキシ樹脂からなる第1音響整合層、33は同様
な第2音響整合層であり、圧電素子31と第1音響整合
層32と第2音響整合層33は完全に分割されず、その
未分割部分31a、32a、33aでそれぞれ連結され
ている。34は圧電素子31の背面から出される超音波
を吸収減衰させるための例えばゴム材に鉄粉を混入させ
たものからなる背面負荷材、35は超音波を収束させる
ための例えばシリコーンゴムからなる音響レンズ、36
は素子間のギャップ、37は駆動信号を供給すると同時
に受信信号を取り出すための例えば焼き付け銀からなる
マイナス電極、38は同じくプラス電極である。圧電素
子31の上面にあるマイナス電極37は、未分割部分3
1aを含む素子上面全面に施されており、下面にあるプ
ラス電極38は、分割された部分にのみ施されている。
プラス電極38およびマイナス電極37は、それぞれ図
示しない配線基板やアース板、図示しないケーブルを介
して図示しない超音波診断装置に電気的に接続されてい
る。この構成を有する超音波探触子の動作については、
実施の形態1ないし2と同様であるため省略する。
【0026】上記構成を有する超音波探触子の製造方法
の一例を説明する。まず最初に背面負荷材34の上に圧
電素子31と第1音響整合層32および第2音響整合層
33を各々接着剤で接着しながら積層していく。次に、
積層した圧電素子31と第1音響整合層32および第2
音響整合層33を、例えばダイサなどの切断装置を用い
て所定の間隔を保ちながら、その側面から切り込みを入
れていく。このとき、少なくともプラス電極38は分割
されるように切り込みを入れて、一定厚みの未分割部分
31a、32a、33aを設ける。その後、音響レンズ
35を、例えばゲル状シリコーンゴムを用いてギャップ
36が未充填の状態で第2音響整合層33に接合する。
【0027】このように、本実施の形態によれば、各圧
電素子31が完全に切断されていないために、特に素子
間ギャップに充填剤を注入しなくとも機械的強度を保持
することができ、素子倒れの発生を防止できるととも
に、クロストークや感度の低下を防止した超音波探触子
を提供することができる。この場合に圧電素子31の未
分割部分は機械強度を保つのに必要最小限だけ残せばよ
い。
【0028】なお、ここではマイナス電極37は素子全
面に施されているが、プラス電極38と同様に分割され
た素子部分のみであっても本発明の効果は変わらない。
【0029】また、ここでは音響整合層として2層の構
造について説明したが、1層や3層以上であっても本発
明の効果は得られる。
【0030】また、ここでは音響レンズのある構成につ
いて説明したが、音響レンズがなくても本発明の効果が
得られるのは言うまでもない。
【0031】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、複数個配
列された圧電素子と、前記圧電素子の音響放射面側に配
された音響整合層と、前記音響整合層の音響放射面側に
配された音響レンズとを有し、前記音響整合層と前記音
響レンズとを粘着性を有するゲル状材料で接合すること
によって、素子間のギャップが接着材によって充填され
ることがなくなり、クロストークの発生と感度の低下を
防止するとともに広指向特性が得られるという有利な効
果が得られる。
【0032】また本発明によれば、複数個配列された圧
電素子と、前記圧電素子の音響放射面側に配された音響
整合層を有し、各素子間のギャップ内に圧電素子の厚み
以下に充填剤を注入することよって、音響整合層と充填
剤の間で起こる音響エネルギーの漏洩を防ぎ、クロスト
ークの発生と感度の低下を防止することができるととも
に機械的強度を保持することができるという有利な効果
が得られる。
【0033】さらに本発明によれば、幅方向に複数配列
された短冊状の圧電素子を有し、前記圧電素子の一方の
端部が未分割であることにより、素子間のギャップを埋
める充填剤がなくても機械的強度を保持できるととも
に、クロストークと感度低下を防止するという有利な効
果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による超音波探触子
の概略斜視図(a)および部分拡大断面図(b)
【図2】本発明の第2の実施の形態による超音波探触子
の概略斜視図
【図3】本発明の第3の実施の形態による超音波探触子
の概略斜視図
【図4】従来の超音波探触子の概略斜視図(a)および
部分拡大断面図(b)
【符号の説明】
11、21、31 圧電素子 12、22、32 第1音響整合層 13、23、33 第2音響整合層 14、24、34 背面負荷材 15、25、35 音響レンズ 16、26、36 ギャップ 17 ゲル状材料 27 充填剤 28、37 マイナス電極 29、38 プラス電極 31a、32a、33a 未分割部分
フロントページの続き (72)発明者 山 口 恵 作 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 東 奈緒子 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 橋 本 雅 彦 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数個配列された圧電素子と、前記圧電
    素子の音響放射面側に配された音響整合層と、前記音響
    整合層の音響放射面側に配された音響レンズとを有し、
    前記音響整合層と前記音響レンズとを粘着性を有するゲ
    ル状材料で接合したことを特徴とする超音波探触子。
  2. 【請求項2】 ゲル状材料がゲル状シリコーンゴムであ
    ることを特徴とする請求項1記載の超音波探触子。
  3. 【請求項3】 ゲル状材料がゲル状エポキシ樹脂である
    ことを特徴とする請求項1記載の超音波探触子。
  4. 【請求項4】 複数個配列された圧電素子と、前記圧電
    素子の音響放射面側に配された音響整合層を有し、各素
    子間のギャップ内に圧電素子の厚み以下に充填剤を注入
    したことを特徴とする超音波探触子。
  5. 【請求項5】 幅方向に複数個配列された短冊状の圧電
    素子を有し、前記圧電素子の一方の端部が未分割である
    ことを特徴とする超音波探触子。
  6. 【請求項6】 音響整合層の音響放射面側に配された音
    響レンズを有し、音響整合層と音響レンズとを粘着性を
    有するゲル状材料で接合したことを特徴とする請求項4
    または5のいずれかに記載の超音波探触子。
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