JPS6365243B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6365243B2 JPS6365243B2 JP3257282A JP3257282A JPS6365243B2 JP S6365243 B2 JPS6365243 B2 JP S6365243B2 JP 3257282 A JP3257282 A JP 3257282A JP 3257282 A JP3257282 A JP 3257282A JP S6365243 B2 JPS6365243 B2 JP S6365243B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- branches
- vibrator
- branch
- vibrating branches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は３本の振動枝を有する長さたて振動子
（以下Ｅ型振動子と称する）の改良に関するもの
である。
（以下Ｅ型振動子と称する）の改良に関するもの
である。
従来のＥ型振動子は第１図に示すように振動枝
１，２，３の長さ寸法l1、l2、l3は各々等しく、
振動枝１，２の巾寸法w1、w2も各々等しく、振
動枝３の巾寸法w3は、振動枝１の巾寸法の２倍
になつている（w3＝2w1）。これは例えば特開昭
54−56790号公報にも開示されているところであ
る。
１，２，３の長さ寸法l1、l2、l3は各々等しく、
振動枝１，２の巾寸法w1、w2も各々等しく、振
動枝３の巾寸法w3は、振動枝１の巾寸法の２倍
になつている（w3＝2w1）。これは例えば特開昭
54−56790号公報にも開示されているところであ
る。
Ｅ型振動子の長さたて振動における基本振動モ
ードは、おおよそ第２図に示すように点線で示さ
れた形となる（実線は静止状態を示す。）即ち振
動枝１，２，３の枝先端におけるｙ方向の振動変
位を各々u1、u2、u3とすると、u1、u2は同相でu3
は、u1又はu2に対して逆相となつている。又ベー
ス部４のｙ方向の相対振動変位b（振動枝の先端
のｙ方向の最大振動変位を1.0としたときのベー
ス部４のｙ方向の振動変位）は比較的大きい値と
なる。
ードは、おおよそ第２図に示すように点線で示さ
れた形となる（実線は静止状態を示す。）即ち振
動枝１，２，３の枝先端におけるｙ方向の振動変
位を各々u1、u2、u3とすると、u1、u2は同相でu3
は、u1又はu2に対して逆相となつている。又ベー
ス部４のｙ方向の相対振動変位b（振動枝の先端
のｙ方向の最大振動変位を1.0としたときのベー
ス部４のｙ方向の振動変位）は比較的大きい値と
なる。
従来のＥ型振動子の欠点はベース部４の相対振
動変位bが大きくなるため、ベース部４を支持部
材により支持すると、支持部材への漏れ振動が大
きくなり、その結果振動子のＱ値が低い値になつ
てしまうことである。このことは、振動子の周波
数安定度や周波数エージング特性に悪影響を及ぼ
すので、相対振動変位bが大きくなることは好ま
しくない。
動変位bが大きくなるため、ベース部４を支持部
材により支持すると、支持部材への漏れ振動が大
きくなり、その結果振動子のＱ値が低い値になつ
てしまうことである。このことは、振動子の周波
数安定度や周波数エージング特性に悪影響を及ぼ
すので、相対振動変位bが大きくなることは好ま
しくない。
本発明の目的はベース部の相対振動変位を小さ
くし、ベース部を強固に支持しても、漏れ振動が
ほとんどなく、高いＱ値を有する振動子を提供す
ることにある。
くし、ベース部を強固に支持しても、漏れ振動が
ほとんどなく、高いＱ値を有する振動子を提供す
ることにある。
この目的を達成するために、本発明では３本の
振動枝をもつ形状の振動子でその長さは等しく且
つ両端の振動枝の巾も等しく構成され、ベース部
の相対振動変位がほゞ零になるように振動子の中
央の振動枝の巾寸法（w3）を両側の振動枝の
各々の巾寸法の和よりも大きく選定するとともに
（第３図）、電極膜を各振動枝の側面に形成して隣
り合う振動枝の対向する側面の電極膜を接続して
電極膜対を形成するとともに、振動子の両端側面
の電極膜と前記電極膜対とを一つおきにつないだ
構成とするものであり、あるいは他の電極膜の構
成として、振動枝の表裏面に電極膜を形成して両
側の振動枝の一方の面の電極膜と中央の振動枝の
他方の面の電極膜とを接続して一方の端子を形成
するように成したものである。
振動枝をもつ形状の振動子でその長さは等しく且
つ両端の振動枝の巾も等しく構成され、ベース部
の相対振動変位がほゞ零になるように振動子の中
央の振動枝の巾寸法（w3）を両側の振動枝の
各々の巾寸法の和よりも大きく選定するとともに
（第３図）、電極膜を各振動枝の側面に形成して隣
り合う振動枝の対向する側面の電極膜を接続して
電極膜対を形成するとともに、振動子の両端側面
の電極膜と前記電極膜対とを一つおきにつないだ
構成とするものであり、あるいは他の電極膜の構
成として、振動枝の表裏面に電極膜を形成して両
側の振動枝の一方の面の電極膜と中央の振動枝の
他方の面の電極膜とを接続して一方の端子を形成
するように成したものである。
以下、本発明の実施例を図面により詳述する。
本発明の根拠となるベース部４の相対振動変位b
の有限要素法による計算結果を第４図に示す。
本発明の根拠となるベース部４の相対振動変位b
の有限要素法による計算結果を第４図に示す。
計算した振動子の形状寸法は、第４図に示すよ
うに、３本の振動枝の長さ寸法は各々等しく
1240μｍであり、２本のスリツトの巾寸法はそれ
ぞれ100μｍ、基部長さ寸法は1400μｍ、、両側の
振動枝の巾寸法はそれぞれ100μｍとなつている。
中央の振動枝の巾寸法（200μｍ＋Δw）はΔwを
０、６、12μｍの３段階に選ぶことによつて変化
させてある。振動子の基体たて振動の共振周波数
は、ほぼ1MHzとなつている。第４図で、従来の
Ｅ型振動子はΔw＝０、即ち中央の振動枝の巾寸
法（w3）は、両側の振動枝のそれぞれの巾寸法
の和（2w1）に等しく、ベース部の相対振動変位
ubは3.3×10-3となり比較的大きな値を示す。こ
れに対して中央の振動枝の巾寸法を200μｍ（Δw
＝０）から徐々に大きくしていくと、bは小さく
なる方向にあり、bがほぼ零になるようなΔwは
Δw≒6μｍ付近に存在することがわかる。
うに、３本の振動枝の長さ寸法は各々等しく
1240μｍであり、２本のスリツトの巾寸法はそれ
ぞれ100μｍ、基部長さ寸法は1400μｍ、、両側の
振動枝の巾寸法はそれぞれ100μｍとなつている。
中央の振動枝の巾寸法（200μｍ＋Δw）はΔwを
０、６、12μｍの３段階に選ぶことによつて変化
させてある。振動子の基体たて振動の共振周波数
は、ほぼ1MHzとなつている。第４図で、従来の
Ｅ型振動子はΔw＝０、即ち中央の振動枝の巾寸
法（w3）は、両側の振動枝のそれぞれの巾寸法
の和（2w1）に等しく、ベース部の相対振動変位
ubは3.3×10-3となり比較的大きな値を示す。こ
れに対して中央の振動枝の巾寸法を200μｍ（Δw
＝０）から徐々に大きくしていくと、bは小さく
なる方向にあり、bがほぼ零になるようなΔwは
Δw≒6μｍ付近に存在することがわかる。
ところで振動子のＱ値は、ベース部の相対振動
変位bが零に近づく程大きくなる傾向にあること
は、経験的に知られているので、Δw＝6μｍと
し、その他の寸法は第４図に示す寸法で、実際に
振動子を試作し、そのＱ値をベクトルインピーダ
ンスメータで測定した結果Ｑ＝17万を得ることが
できた。従来のＥ型振動子（Δw＝０）のＱ値は
６万程度であつたので、本発明のＱ値は従来のそ
れの約３倍大きくなつており、本発明の効果は実
験的にも確認することができた。第５図Ａ及び第
５図Ｂに本発明の一実施例を示す。
変位bが零に近づく程大きくなる傾向にあること
は、経験的に知られているので、Δw＝6μｍと
し、その他の寸法は第４図に示す寸法で、実際に
振動子を試作し、そのＱ値をベクトルインピーダ
ンスメータで測定した結果Ｑ＝17万を得ることが
できた。従来のＥ型振動子（Δw＝０）のＱ値は
６万程度であつたので、本発明のＱ値は従来のそ
れの約３倍大きくなつており、本発明の効果は実
験的にも確認することができた。第５図Ａ及び第
５図Ｂに本発明の一実施例を示す。
第５図Ａは本発明のＥ型振動子の斜視図、第５
図Ｂは本発明のＥ型振動子のYY断面図である。
振動子５０は水晶の薄板からホトエツチング加工
によつて作られる。本発明のカツト方位はホトエ
ツチング加工が容易なように、特にXY板（Ｘ、
Ｙはそれぞれ水晶の電気軸、機械軸を表わす）が
選ばれ且つ、振動子の形状を規定する寸法（第１
図におけるl0、l1、w1、w3、ｄ及び板厚）に応じ
て、周波数温度特性が良好となるように選ばれ
る。
図Ｂは本発明のＥ型振動子のYY断面図である。
振動子５０は水晶の薄板からホトエツチング加工
によつて作られる。本発明のカツト方位はホトエ
ツチング加工が容易なように、特にXY板（Ｘ、
Ｙはそれぞれ水晶の電気軸、機械軸を表わす）が
選ばれ且つ、振動子の形状を規定する寸法（第１
図におけるl0、l1、w1、w3、ｄ及び板厚）に応じ
て、周波数温度特性が良好となるように選ばれ
る。
第５図Ａに示すように、本発明によるＥ型振動
子５０の形状は、３本の振動枝５１，５２，５３
と、これらの振動枝を連結する連結部５４よりな
り、３本の振動枝の各側面には励振用の金属電極
膜５５，５６，５７，５８，５９，６０が形成さ
れている。これらの金属電極膜の接続は第５図Ｂ
に示すように、隣り合う振動枝の対向する側面に
設けられた電極膜５６と５７及び５８と５９をそ
れぞれ接続して２組の電極膜対を形成するととも
に、両側の電極膜５５，６０と前記２組の電極膜
対とより成る４組の電極を１つおきにつなぐこと
によつて２つの電極端子６１，６２を有する励振
用電極を形成している。
子５０の形状は、３本の振動枝５１，５２，５３
と、これらの振動枝を連結する連結部５４よりな
り、３本の振動枝の各側面には励振用の金属電極
膜５５，５６，５７，５８，５９，６０が形成さ
れている。これらの金属電極膜の接続は第５図Ｂ
に示すように、隣り合う振動枝の対向する側面に
設けられた電極膜５６と５７及び５８と５９をそ
れぞれ接続して２組の電極膜対を形成するととも
に、両側の電極膜５５，６０と前記２組の電極膜
対とより成る４組の電極を１つおきにつなぐこと
によつて２つの電極端子６１，６２を有する励振
用電極を形成している。
電極端子６１，６２に振動子５０のたて基本振
動モードの共振周波数に等しい交流電圧を印加す
ると、振動枝５１，５２，５３の内部には矢印６
５ａ，６５ｂで示される電界が発生し、水晶の差
圧電効果によつて、振動子５０は第２図に示すよ
うなたて基本振動モードで振動する。そしてベー
ス部６３の相対振動変位bがほぼ零になるよう
に、中央の振動枝５３の巾寸法が両側の振動枝５
１，５２のそれぞれの巾寸法の和よりも若干大き
くしてある。これによつてＥ型振動子５０のベー
ス部６３を支持部材に支持したとき、ベース部６
３の相対振動変位bが極力零に近づくため支持部
材への漏れ振動が無くなり振動子の強固な支持が
可能となる。尚第５図Ａの３本の振動枝５１，５
２，５３の先端付近には周波数微調整用の金属膜
６４ａ，６４ｂが固着されている。
動モードの共振周波数に等しい交流電圧を印加す
ると、振動枝５１，５２，５３の内部には矢印６
５ａ，６５ｂで示される電界が発生し、水晶の差
圧電効果によつて、振動子５０は第２図に示すよ
うなたて基本振動モードで振動する。そしてベー
ス部６３の相対振動変位bがほぼ零になるよう
に、中央の振動枝５３の巾寸法が両側の振動枝５
１，５２のそれぞれの巾寸法の和よりも若干大き
くしてある。これによつてＥ型振動子５０のベー
ス部６３を支持部材に支持したとき、ベース部６
３の相対振動変位bが極力零に近づくため支持部
材への漏れ振動が無くなり振動子の強固な支持が
可能となる。尚第５図Ａの３本の振動枝５１，５
２，５３の先端付近には周波数微調整用の金属膜
６４ａ，６４ｂが固着されている。
第６図Ａは本発明実施例の他の電極構造の斜視
図である。振動枝７１，７２，７３の上下面に
は、互に電気極性の異なる金属電極膜７４，７５
が固着されている。各振動枝の先端には、周波数
微調整用の金属膜７８ａ，７８ｂが固着されてい
る。第６図Ｂは第６図ＡのYY断面図で、振動枝
７１，７２，７３の表裏面に設けられた金属電極
膜７４，７５の電気的接続状態を示す。電極端子
７６，７７に振動子７０のたて基本振動モードの
共振周波数に等しい交流電圧を印加すると、振動
枝７１，７２，７３の内部には矢印７９ａ，７９
ｂで示される電界が発生し、水晶の逆圧電効果に
よつて、振動子７０は第２図に示すようなたて基
本振動モードで振動する。この場合も振動子７０
のベース部８０の相対振動変位bがほぼ零になる
ように、中央の振動枝７３の巾寸法が両側の振動
枝７１，７２の巾寸法の和よりも若干大きくして
ある。
図である。振動枝７１，７２，７３の上下面に
は、互に電気極性の異なる金属電極膜７４，７５
が固着されている。各振動枝の先端には、周波数
微調整用の金属膜７８ａ，７８ｂが固着されてい
る。第６図Ｂは第６図ＡのYY断面図で、振動枝
７１，７２，７３の表裏面に設けられた金属電極
膜７４，７５の電気的接続状態を示す。電極端子
７６，７７に振動子７０のたて基本振動モードの
共振周波数に等しい交流電圧を印加すると、振動
枝７１，７２，７３の内部には矢印７９ａ，７９
ｂで示される電界が発生し、水晶の逆圧電効果に
よつて、振動子７０は第２図に示すようなたて基
本振動モードで振動する。この場合も振動子７０
のベース部８０の相対振動変位bがほぼ零になる
ように、中央の振動枝７３の巾寸法が両側の振動
枝７１，７２の巾寸法の和よりも若干大きくして
ある。
本発明のＥ型振動子はＥ型形状としての長さた
て振動子を完成させると同時に従来のＥ型振動子
にくらべてベース部の振動変位が十分小さく出来
るためベース部の支持が容易になり、強固に支持
してもＱ値の低下や支持系の振動との結合も起こ
らない、耐衝撃姓にすぐれた小型、高安定の振動
子となるので、実用的効果は極めて大きいもので
ある。尚本発明は振動子の材質が水晶のみなら
ず、他の圧電結晶例えばタンタル酸リチウム、ニ
オブ酸リチウム等にも適用できる。
て振動子を完成させると同時に従来のＥ型振動子
にくらべてベース部の振動変位が十分小さく出来
るためベース部の支持が容易になり、強固に支持
してもＱ値の低下や支持系の振動との結合も起こ
らない、耐衝撃姓にすぐれた小型、高安定の振動
子となるので、実用的効果は極めて大きいもので
ある。尚本発明は振動子の材質が水晶のみなら
ず、他の圧電結晶例えばタンタル酸リチウム、ニ
オブ酸リチウム等にも適用できる。
第１図は従来のＥ型振動子の平面図、第２図は
従来のＥ型振動子の長さたて振動における基本振
動モード（点線）の説明図、第３図は本発明のＥ
型振動子の平面図、第４図はＥ型振動子のベース
部相対振動変位bがΔwによつてどう変わるかを
示す説明図、第５図Ａは本発明実施例のＥ型振動
子とその電極配置を示す斜視図、第５図Ｂは第５
図ＡのYY断面図で、電極の接続を説明する図で
あり、第６図Ａは本発明実施例の他の電極配置を
示す斜視図、第６図Ｂは第６図ＡのYY断面図
で、電極の接続を説明する図である。 １，２，３，５１，５２，５３，７１，７２，
７３……振動枝、４，３４，６３，８０……ベー
ス部、５４……連結部、５５，５６，５７，５
８，５９，６０，７４，７５……電極膜、６１，
６２，７６，７７……電極端子、６５ａ，６５
ｂ，７９ａ，７９ｂ……電界、３０，５０，７０
……Ｅ型振動子。
従来のＥ型振動子の長さたて振動における基本振
動モード（点線）の説明図、第３図は本発明のＥ
型振動子の平面図、第４図はＥ型振動子のベース
部相対振動変位bがΔwによつてどう変わるかを
示す説明図、第５図Ａは本発明実施例のＥ型振動
子とその電極配置を示す斜視図、第５図Ｂは第５
図ＡのYY断面図で、電極の接続を説明する図で
あり、第６図Ａは本発明実施例の他の電極配置を
示す斜視図、第６図Ｂは第６図ＡのYY断面図
で、電極の接続を説明する図である。 １，２，３，５１，５２，５３，７１，７２，
７３……振動枝、４，３４，６３，８０……ベー
ス部、５４……連結部、５５，５６，５７，５
８，５９，６０，７４，７５……電極膜、６１，
６２，７６，７７……電極端子、６５ａ，６５
ｂ，７９ａ，７９ｂ……電界、３０，５０，７０
……Ｅ型振動子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電結晶薄板から成る長さたて振動子におい
て、該振動子の形状は３本の振動枝と該振動枝を
連結している連結部とより成り、前記３本の振動
枝はその長さは等しく且つ両端の振動枝の巾も等
しく構成されていて、前記圧電結晶薄板から成る
振動子のベース部の相対振動変位がほゞ零になる
ように前記振動子の中央の振動枝の巾寸法を、両
側の振動枝のそれぞれの巾寸法の和よりも大きく
選定するとともに、前記振動枝には各々その側面
に励振用電極膜が形成されていて、前記３本の振
動枝のうち隣り合う振動枝の対向する側面に設け
られた電極膜が各々接続されて２組の電極膜対を
形成するとともに、該２組の電極膜対と前記振動
子両端側面の２つの電極膜とより成る４組の電極
を１つおきにつなぐことによつて２端子を構成し
たことを特徴とする長さたて振動子。 ２ 圧電結晶薄板から成る長さたて振動子におい
て、該振動子の形状は３本の振動枝と該振動枝を
連結している連結部とより成り、前記３本の振動
枝はその長さは等しく且つ両端の振動枝の巾も等
しく構成されていて、前記圧電結晶薄板から成る
振動子のベース部の相対振動変位がほゞ零になる
ように前記振動子の中央の振動枝の巾寸法を、両
側の振動枝のそれぞれの巾寸法の和よりも大きく
選定するとともに、前記振動枝には各々その表裏
面に振動用電極膜が形成されていて、前記３本の
振動枝のうち両側の振動枝の一方の面の電極膜と
中央の振動枝の他方の面の電極膜とを接続して一
方の端子を形成したことを特徴とする長さたて振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3257282A JPS58150317A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | 長さたて振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3257282A JPS58150317A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | 長さたて振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58150317A JPS58150317A (ja) | 1983-09-07 |
| JPS6365243B2 true JPS6365243B2 (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=12362608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3257282A Granted JPS58150317A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | 長さたて振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58150317A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002031975A1 (fr) * | 2000-10-10 | 2002-04-18 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dispositif produisant des vibrations de torsion |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW567664B (en) | 2001-10-09 | 2003-12-21 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
| EP1303042B1 (fr) * | 2001-10-09 | 2018-12-05 | Eta SA Fabriques d'Ebauches | Résonateur piézoélectrique et ensemble comprenant un tel résonateur enfermé dans un boîtier |
| JP5067033B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-11-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動子、発振器 |
| JP5067035B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-11-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動子、発振器 |
| JP5067034B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-11-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動子、発振器 |
| JP5071058B2 (ja) * | 2007-11-07 | 2012-11-14 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片 |
-
1982
- 1982-03-02 JP JP3257282A patent/JPS58150317A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002031975A1 (fr) * | 2000-10-10 | 2002-04-18 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dispositif produisant des vibrations de torsion |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58150317A (ja) | 1983-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3477618B2 (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
| US5311096A (en) | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator | |
| US6545394B2 (en) | Lame mode quartz crystal resonator | |
| JPS6365243B2 (ja) | ||
| JPS60137112A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0150135B2 (ja) | ||
| JPH07336184A (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 | |
| JPS6357967B2 (ja) | ||
| JPS6364925B2 (ja) | ||
| JP4571264B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5851689B2 (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
| JPS6324325B2 (ja) | ||
| JPS5838015A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS60113511A (ja) | 圧電振動素子 | |
| JP2819493B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| JP3690448B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
| JPS6365167B2 (ja) | ||
| JP3077535B2 (ja) | チップ型圧電共振部品 | |
| JPH08154032A (ja) | 圧電共振子 | |
| US2259317A (en) | Piezoelectric crystal apparatus | |
| JPH0310509A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH0275211A (ja) | 圧電共振装置 | |
| JPS59211311A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH08130335A (ja) | 圧電トランス | |
| JPS58119215A (ja) | 圧電振動子の電極構造 |