JP2819493B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，ニオブ酸リチウム単結
晶を用いた圧電デバイスに関し，特に支持の容易な圧電
方形板のラーメモード振動を利用した圧電振動子，圧電
トランス，および圧電フィルタ等の圧電デバイスに関す
るものである。
晶を用いた圧電デバイスに関し，特に支持の容易な圧電
方形板のラーメモード振動を利用した圧電振動子，圧電
トランス，および圧電フィルタ等の圧電デバイスに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイのバックライト点灯や
複写機のトナー帯電用などに，大きな電流値は必要とし
ないが，１ｋＶ程度の高電圧を必要とする機器は多くあ
る。現在，一般的には電磁トランスを使用しているが，
発生電磁ノイズの減少や低消費電力化，機器の小型低背
化などの要求により，圧電トランスの実用化の検討がな
されている。
複写機のトナー帯電用などに，大きな電流値は必要とし
ないが，１ｋＶ程度の高電圧を必要とする機器は多くあ
る。現在，一般的には電磁トランスを使用しているが，
発生電磁ノイズの減少や低消費電力化，機器の小型低背
化などの要求により，圧電トランスの実用化の検討がな
されている。
【０００３】図６は従来の圧電トランスに用いられてい
る圧電振動子の構造の概略斜視図である。図６におい
て，圧電セラミックス矩形板６１には，長さ方向のおよ
そ半分の部分に厚さ方向に互いに対向する電極６２およ
び６３が夫々形成されている。また，圧電セラミックス
矩形板６１の電極６２および６３が形成された部分と反
対側の端面には，端面電極６４が形成されている。圧電
セラミックス矩形板６１は，矢印で示すように，電極６
２，６３の部分は厚さ方向に分極され，端面電極６４と
電極６２，６３との間の部分は，矢印で示すように，圧
電セラミックス矩形板の長さ方向に分極されている。
る圧電振動子の構造の概略斜視図である。図６におい
て，圧電セラミックス矩形板６１には，長さ方向のおよ
そ半分の部分に厚さ方向に互いに対向する電極６２およ
び６３が夫々形成されている。また，圧電セラミックス
矩形板６１の電極６２および６３が形成された部分と反
対側の端面には，端面電極６４が形成されている。圧電
セラミックス矩形板６１は，矢印で示すように，電極６
２，６３の部分は厚さ方向に分極され，端面電極６４と
電極６２，６３との間の部分は，矢印で示すように，圧
電セラミックス矩形板の長さ方向に分極されている。
【０００４】図７は図６の圧電振動子を用いた圧電トラ
ンスの動作原理の説明図であり，図７（ａ）は圧電セラ
ミックス矩形板の断面図，図７（ｂ）は圧電セラミック
ス矩形板が長さ方向振動の１波長共振モードで振動して
いる場合の変位分布であり，図７（ｃ）はその時の歪分
布を示している。図７（ａ）において電極６３をアース
端子とし，電極６２に圧電セラミックス矩形板の長さ方
向振動の１波長共振モードの共振周波数に等しい周波数
の電圧を印加すると矩形板は，図７（ｂ）及び（ｃ）に
示すように振動する。この時，電極６３と端面電極６４
との間には圧電効果により電圧を発生する。ここで，電
極６２に印加した入力電圧と端面電極６４に発生した出
力電圧について説明すると，電極６２と電極６３の対向
間隔は電極６３と端面電極６４との間隔に比べて十分に
小さく，電極６２，６３の面積は端面電極６４の面積よ
り充分に大きいため，入力側の静電容量は出力側の静電
容量に比べて充分大きな値となる。従って，入力側に低
い電圧を印加して振動子を振動した場合，出力側に大き
な電圧が発生する。
ンスの動作原理の説明図であり，図７（ａ）は圧電セラ
ミックス矩形板の断面図，図７（ｂ）は圧電セラミック
ス矩形板が長さ方向振動の１波長共振モードで振動して
いる場合の変位分布であり，図７（ｃ）はその時の歪分
布を示している。図７（ａ）において電極６３をアース
端子とし，電極６２に圧電セラミックス矩形板の長さ方
向振動の１波長共振モードの共振周波数に等しい周波数
の電圧を印加すると矩形板は，図７（ｂ）及び（ｃ）に
示すように振動する。この時，電極６３と端面電極６４
との間には圧電効果により電圧を発生する。ここで，電
極６２に印加した入力電圧と端面電極６４に発生した出
力電圧について説明すると，電極６２と電極６３の対向
間隔は電極６３と端面電極６４との間隔に比べて十分に
小さく，電極６２，６３の面積は端面電極６４の面積よ
り充分に大きいため，入力側の静電容量は出力側の静電
容量に比べて充分大きな値となる。従って，入力側に低
い電圧を印加して振動子を振動した場合，出力側に大き
な電圧が発生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図６および図７に示し
た従来の電圧トランスにおいては，振動に影響を与えな
いように振動子を支持するためには図７に示した７１の
振動の節の部分で支持する必要がある。一方，前述した
ように出力電圧は振動振幅の最も大きな端面から取り出
す必要があるため，リード線の重さによる振動子特性の
変化，および，振動によるリード線取り出し部の断線な
ど，特性の劣化と信頼性の低下を招くという問題点があ
り，特に出力端子の取り出し部に導電ゴムなどの振動に
与える影響の小さい材料を用いたり，端面電極として圧
電セラミックスとの密着性の高い電極を形成したりする
などの特別の工程を必要としていた。
た従来の電圧トランスにおいては，振動に影響を与えな
いように振動子を支持するためには図７に示した７１の
振動の節の部分で支持する必要がある。一方，前述した
ように出力電圧は振動振幅の最も大きな端面から取り出
す必要があるため，リード線の重さによる振動子特性の
変化，および，振動によるリード線取り出し部の断線な
ど，特性の劣化と信頼性の低下を招くという問題点があ
り，特に出力端子の取り出し部に導電ゴムなどの振動に
与える影響の小さい材料を用いたり，端面電極として圧
電セラミックスとの密着性の高い電極を形成したりする
などの特別の工程を必要としていた。
【０００６】そこで，本発明の技術的課題は，かかる従
来技術の問題点を解決すべく，支持が容易で，支持によ
る特性の劣化と信頼性の低下を来たさない圧電デバイス
を提供することにある。
来技術の問題点を解決すべく，支持が容易で，支持によ
る特性の劣化と信頼性の低下を来たさない圧電デバイス
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，自発分
極軸をＺ軸として有するニオブ酸リチウム圧電単結晶に
おいて，座標軸をＸ軸のまわりに１２０〜１７０°回転
した座標系（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）を，さらにそのＺ′軸の
まわりに−２０〜２０°回転した座標系（Ｘ′，Ｙ″，
Ｚ′）において，前記ニオブ酸リチウム圧電単結晶の板
面がＸ′軸と前記Ｚ´軸に平行になるように切り出され
た圧電振動板を備え，前記圧電振動板は，正方形板を一
単位として少なくとも１単位の前記正方形板からなるよ
うに形成されるとともに前記正方形板の四隅が振動の節
となるラーメモード振動を行うことを特徴とする圧電デ
バイスが得られる。
極軸をＺ軸として有するニオブ酸リチウム圧電単結晶に
おいて，座標軸をＸ軸のまわりに１２０〜１７０°回転
した座標系（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）を，さらにそのＺ′軸の
まわりに−２０〜２０°回転した座標系（Ｘ′，Ｙ″，
Ｚ′）において，前記ニオブ酸リチウム圧電単結晶の板
面がＸ′軸と前記Ｚ´軸に平行になるように切り出され
た圧電振動板を備え，前記圧電振動板は，正方形板を一
単位として少なくとも１単位の前記正方形板からなるよ
うに形成されるとともに前記正方形板の四隅が振動の節
となるラーメモード振動を行うことを特徴とする圧電デ
バイスが得られる。
【０００８】本発明によれば，前記圧電デバイスにおい
て，前記圧電振動板の振動の節のうちの少なくとも１つ
を支持するとともに，前記振動の節のうちの少なくとも
２つに電気的入力端子と電気的出力端子を形成したこと
を特徴とする圧電デバイスが得られる。本発明によれ
ば，前記したいずれかの圧電デバイスにおいて，前記圧
電振動板は，縦と横の寸法比が１：２である矩形板であ
り，前記振動板の表裏をなす両面の電極のうちの少なく
とも一方を二分割して，前記振動板の振動の節のいずれ
かに延長し，電気的入力端子と電気的出力端子とした構
造を有することを特徴とする圧電デバイスが得られる。
て，前記圧電振動板の振動の節のうちの少なくとも１つ
を支持するとともに，前記振動の節のうちの少なくとも
２つに電気的入力端子と電気的出力端子を形成したこと
を特徴とする圧電デバイスが得られる。本発明によれ
ば，前記したいずれかの圧電デバイスにおいて，前記圧
電振動板は，縦と横の寸法比が１：２である矩形板であ
り，前記振動板の表裏をなす両面の電極のうちの少なく
とも一方を二分割して，前記振動板の振動の節のいずれ
かに延長し，電気的入力端子と電気的出力端子とした構
造を有することを特徴とする圧電デバイスが得られる。
【０００９】
【作用】一般に，圧電振動子や圧電トランスの支持は，
電気機械的品質係数（Ｑ）の低下や共振周波数の変化を
生じさせないように振動の節で行うことが望ましいが，
実際の支持は必ずしも容易ではない。本発明では，圧電
振動板として面内で等方性の矩形板で，縦と横の寸法比
が整数比のものを用いているので，四隅が振動しないラ
ーメモードと呼ばれる面内振動が存在し，この振動モー
ドを利用して振動子の支持を容易としたものである。
電気機械的品質係数（Ｑ）の低下や共振周波数の変化を
生じさせないように振動の節で行うことが望ましいが，
実際の支持は必ずしも容易ではない。本発明では，圧電
振動板として面内で等方性の矩形板で，縦と横の寸法比
が整数比のものを用いているので，四隅が振動しないラ
ーメモードと呼ばれる面内振動が存在し，この振動モー
ドを利用して振動子の支持を容易としたものである。
【００１０】
【実施例】以下，本発明の実施例について，図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は，本発明の実施例に係る圧電トラン
スを示す図で，圧電振動板の電極の取り出しと支持構造
を示している。図１に示すように，圧電振動板として所
定の回転角度から切り出した矩形状のニオブ酸リチウム
の矩形板１１の表面の左右に２分割電極１２が夫々形成
されて矩形板振動子が構成されている。この矩形板振動
子の振動の節であるニオブ酸リチウムの矩形板１１の四
隅を支持するとともに電気的接続を得る金属支持板１４
を介して，絶縁体で形成された支持枠１３によって支持
されている。金属支持板１４は，枠上に形成した電極ラ
ンド１５に電気的に接続されている。
スを示す図で，圧電振動板の電極の取り出しと支持構造
を示している。図１に示すように，圧電振動板として所
定の回転角度から切り出した矩形状のニオブ酸リチウム
の矩形板１１の表面の左右に２分割電極１２が夫々形成
されて矩形板振動子が構成されている。この矩形板振動
子の振動の節であるニオブ酸リチウムの矩形板１１の四
隅を支持するとともに電気的接続を得る金属支持板１４
を介して，絶縁体で形成された支持枠１３によって支持
されている。金属支持板１４は，枠上に形成した電極ラ
ンド１５に電気的に接続されている。
【００１２】図２は本発明の実施例に係る圧電トランス
の概略構成を示す図で，（ａ）は正面図，（ｂ）は側面
図である。図２に示したように，圧電振動板として縦と
横の寸法比が１：２である方形板２０を用いて方形板ラ
ーメモード振動子を構成し，表裏両面の電極のうち一方
は両方の電極を二分割して２分割電極２１，２２とし，
電気的入力端子２１ａと出力端子２２ａを設けた構造と
することで圧電トランスが構成されている。
の概略構成を示す図で，（ａ）は正面図，（ｂ）は側面
図である。図２に示したように，圧電振動板として縦と
横の寸法比が１：２である方形板２０を用いて方形板ラ
ーメモード振動子を構成し，表裏両面の電極のうち一方
は両方の電極を二分割して２分割電極２１，２２とし，
電気的入力端子２１ａと出力端子２２ａを設けた構造と
することで圧電トランスが構成されている。
【００１３】図３は比較例に係る正方形板振動子の最低
次ラーメモード振動を示す図である。図３に示すよう
に，最低次ラーメモード振動は，点線３１と一点鎖線３
２で示されている。また，正方形板振動子の四隅３３が
振動の節になっている。しかし，この振動モードは等体
積的振動であるため，全面電極を有する圧電セラミック
の矩形板では励振できない。
次ラーメモード振動を示す図である。図３に示すよう
に，最低次ラーメモード振動は，点線３１と一点鎖線３
２で示されている。また，正方形板振動子の四隅３３が
振動の節になっている。しかし，この振動モードは等体
積的振動であるため，全面電極を有する圧電セラミック
の矩形板では励振できない。
【００１４】ここで，図１及び図２で示した圧電振動板
の形成方法について説明する。この圧電振動板は，異方
性を持つニオブ酸リチウム単結晶板用い，自発分極軸
（Ｚ軸）を基準として，座標軸をＸ軸のまわりに１２０
〜１７０°回転して座標系（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）を得，さ
らにそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座標
系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において，板面がＸ′軸とＺ′
軸に平行になるように切り出されることにより得られて
いる。この圧電振動板では，図３の例とは異なり，縦と
横の寸法比がほぼ等しいような正方形板で，四隅が振動
の節となるラーメモード振動を励振することができる。
の形成方法について説明する。この圧電振動板は，異方
性を持つニオブ酸リチウム単結晶板用い，自発分極軸
（Ｚ軸）を基準として，座標軸をＸ軸のまわりに１２０
〜１７０°回転して座標系（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）を得，さ
らにそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座標
系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において，板面がＸ′軸とＺ′
軸に平行になるように切り出されることにより得られて
いる。この圧電振動板では，図３の例とは異なり，縦と
横の寸法比がほぼ等しいような正方形板で，四隅が振動
の節となるラーメモード振動を励振することができる。
【００１５】図４は，図１及び図２で示した圧電振動板
に用いられるニオブ酸リチウム単結晶回転Ｙ板の弾性コ
ンブライアンスＳ11，Ｓ33の回転角度依存性を示す図で
ある。ラーメモード振動を励振するためにはＳ11とＳ33
がほぼ等しくなることが必要で，図４から明らかに，回
転角度９０°と１５５°付近でこの条件が充たされる。
しかし，ラーメモードの最低次等価回路定数から容量比
を計算すると，回転角度９０°の時，容量比は無限大と
なり振動を励振できない。回転角度１５５°の時，容量
比は６．４とかなり小さくなり，圧電的に強く励振でき
ることが明らかである。実際に用いるニオブ酸リチウム
単結晶矩形板は，結晶の回転や切り出し加工の誤差を考
慮し，かつ安定して励振できる角度範囲として，少なく
ともＸ軸を中心に１２０〜１７０°の回転範囲，さらに
Ｘ軸と直交するＺ′軸を中心に−２０〜２０°の回転範
囲で切り出されていることが妥当である。
に用いられるニオブ酸リチウム単結晶回転Ｙ板の弾性コ
ンブライアンスＳ11，Ｓ33の回転角度依存性を示す図で
ある。ラーメモード振動を励振するためにはＳ11とＳ33
がほぼ等しくなることが必要で，図４から明らかに，回
転角度９０°と１５５°付近でこの条件が充たされる。
しかし，ラーメモードの最低次等価回路定数から容量比
を計算すると，回転角度９０°の時，容量比は無限大と
なり振動を励振できない。回転角度１５５°の時，容量
比は６．４とかなり小さくなり，圧電的に強く励振でき
ることが明らかである。実際に用いるニオブ酸リチウム
単結晶矩形板は，結晶の回転や切り出し加工の誤差を考
慮し，かつ安定して励振できる角度範囲として，少なく
ともＸ軸を中心に１２０〜１７０°の回転範囲，さらに
Ｘ軸と直交するＺ′軸を中心に−２０〜２０°の回転範
囲で切り出されていることが妥当である。
【００１６】また，図５（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は，
本発明に用いられる圧電振動板の種々の例を示してい
る。図示の点線５１と一点鎖線５２で示すように，正方
形板を一単位として，この正方形板を縦横に複数並べた
形でも，ラーメモード振動を励振することが可能である
ことがわかる。ここで，圧電振動板を圧電振動子，圧電
トランスおよび圧電フィルタ等の圧電デバイスに用いた
場合においては，圧電振動板の支持の影響を避けるた
め，ラーメモード振動の節５３の一部またはすべてで支
持する構造とすることが好ましい。尚，上記した実施例
においては，圧電振動板は一体物であるが，同一寸法の
正方形板の端部を接着剤等で縦横に並べて貼り合わせて
構成することも可能である。
本発明に用いられる圧電振動板の種々の例を示してい
る。図示の点線５１と一点鎖線５２で示すように，正方
形板を一単位として，この正方形板を縦横に複数並べた
形でも，ラーメモード振動を励振することが可能である
ことがわかる。ここで，圧電振動板を圧電振動子，圧電
トランスおよび圧電フィルタ等の圧電デバイスに用いた
場合においては，圧電振動板の支持の影響を避けるた
め，ラーメモード振動の節５３の一部またはすべてで支
持する構造とすることが好ましい。尚，上記した実施例
においては，圧電振動板は一体物であるが，同一寸法の
正方形板の端部を接着剤等で縦横に並べて貼り合わせて
構成することも可能である。
【００１７】以下に，製造の具体例を挙げて，本発明の
圧電デバイスの一つである圧電トランスについて，詳細
に説明する。
圧電デバイスの一つである圧電トランスについて，詳細
に説明する。
【００１８】市販のニオブ酸リチウム単結晶板を用い
て，自発分極軸（Ｚ軸）を基準としてＸ軸を中心に１５
５°回転し，さらにＸ軸と直交するＺ′軸を中心に５°
回転して，縦と横の寸法が１０ｍｍ×２０ｍｍで，厚さ
が０．５ｍｍの板を切り出した。該方形板の片面にアル
ミニウムを装着し寸法９ｍｍ×１９ｍｍの方形の電極を
形成し，もう片方の面に周囲と電極間隔を１ｍｍあけて
同様に寸法８．５ｍｍ×８．５ｍｍの電極を２ケ並べて
形成した。次に電極を形成した方形板の四隅を支持した
枠に固定して電気端子を支持を介して接続した圧電トラ
ンスとした。支持前後の電気特性の変化を下表１に示
す。２ケ形成した８．５ｍｍ×８．５ｍｍの電極の片方
を電気的入力端子として，もう一方の８．５ｍｍ×８．
５ｍｍの電極を出力端子としたときの共振周波数の入力
電圧と出力電圧の測定結果，および昇圧比を下表２に示
す。
て，自発分極軸（Ｚ軸）を基準としてＸ軸を中心に１５
５°回転し，さらにＸ軸と直交するＺ′軸を中心に５°
回転して，縦と横の寸法が１０ｍｍ×２０ｍｍで，厚さ
が０．５ｍｍの板を切り出した。該方形板の片面にアル
ミニウムを装着し寸法９ｍｍ×１９ｍｍの方形の電極を
形成し，もう片方の面に周囲と電極間隔を１ｍｍあけて
同様に寸法８．５ｍｍ×８．５ｍｍの電極を２ケ並べて
形成した。次に電極を形成した方形板の四隅を支持した
枠に固定して電気端子を支持を介して接続した圧電トラ
ンスとした。支持前後の電気特性の変化を下表１に示
す。２ケ形成した８．５ｍｍ×８．５ｍｍの電極の片方
を電気的入力端子として，もう一方の８．５ｍｍ×８．
５ｍｍの電極を出力端子としたときの共振周波数の入力
電圧と出力電圧の測定結果，および昇圧比を下表２に示
す。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【表２】
【００２１】上記表１より明らかに，本構造の圧電トラ
ンスでは支持前後の電気特性の変化がわずかであり，四
隅を支持することでラーメモード振動の節の一部を支持
していることがわかる。また，表２より明らかに共振周
波数の０．２Ｖ〜１．０Ｖの入力電圧時に９８Ｖ〜４９
５Ｖの高電圧の出力が得られ，圧電トランスとして約５
００の昇圧比が得られた。
ンスでは支持前後の電気特性の変化がわずかであり，四
隅を支持することでラーメモード振動の節の一部を支持
していることがわかる。また，表２より明らかに共振周
波数の０．２Ｖ〜１．０Ｖの入力電圧時に９８Ｖ〜４９
５Ｖの高電圧の出力が得られ，圧電トランスとして約５
００の昇圧比が得られた。
【００２２】以上，述べた具体例は，圧電トランスに関
する説明であるが，圧電振動子や圧電フィルタなどの他
の圧電デバイスに関しても同様の効果が得られること
は，容易に推測できる。
する説明であるが，圧電振動子や圧電フィルタなどの他
の圧電デバイスに関しても同様の効果が得られること
は，容易に推測できる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように，本発明のラーメモ
ード振動を利用したニオブ酸リチウム単結晶圧電デバイ
スによれば，支持が容易で，支持による特性の劣化と信
頼性の低下を来たさない圧電振動子，圧電トランスおよ
び圧電フィルタ等の圧電デバイスを得ることが可能であ
る。
ード振動を利用したニオブ酸リチウム単結晶圧電デバイ
スによれば，支持が容易で，支持による特性の劣化と信
頼性の低下を来たさない圧電振動子，圧電トランスおよ
び圧電フィルタ等の圧電デバイスを得ることが可能であ
る。
【図１】本発明の実施例に係る圧電トランスの圧電振動
板の電極の取り出しと支持の状態の一例を示す図であ
る。
板の電極の取り出しと支持の状態の一例を示す図であ
る。
【図２】本発明の実施例に係る圧電トランスの概略構成
を示す図である。
を示す図である。
【図３】比較例に係る正方形板振動子の最低次ラーメモ
ード振動を示す図である。
ード振動を示す図である。
【図４】本発明に用いられるニオブ酸リチウム単結晶回
転Ｙ板の弾性コンプライアンスＳ11，Ｓ33の回転角度依
存性を示す図である。
転Ｙ板の弾性コンプライアンスＳ11，Ｓ33の回転角度依
存性を示す図である。
【図５】本発明に用いられる圧電振動板の種々の例を示
す図である。
す図である。
【図６】従来例に係る圧電トランスの構造の概略斜視図
である。
である。
【図７】（ａ）は圧電セラミックス矩形板の断面図，
（ｂ）は圧電セラミックス矩形板が長さ方向振動の１波
長共振モードで振動している場合の変位分布，７１は振
動の節，（ｃ）はその時の歪分布。
（ｂ）は圧電セラミックス矩形板が長さ方向振動の１波
長共振モードで振動している場合の変位分布，７１は振
動の節，（ｃ）はその時の歪分布。
１１ ニオブ酸リチウムの矩形板 １２ ２分割電極 １４ 金属支持板 １３ 支持枠 １５ 電極ランド ２０ 矩形板 ２１，２２ ２分割電極 ２１ａ 入力端子 ２２ａ 出力端子 ６１ 矩形板 ６２，６３ ６４ 端面電極
Claims (3)
- 【請求項１】 自発分極軸をＺ軸として有するニオブ酸
リチウム圧電単結晶において，座標軸をＸ軸のまわりに
１２０〜１７０°回転した座標系（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）
を，さらにそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転し
た座標系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において，前記ニオブ酸
リチウム圧電単結晶の板面がＸ′軸と前記Ｚ´軸に平行
になるように切り出された圧電振動板を備え，前記圧電
振動板は，正方形板を一単位として少なくとも１単位の
前記正方形板からなるように形成されるとともに前記正
方形板の四隅が振動の節となるラーメモード振動を行う
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 【請求項２】 請求項１に記載の圧電デバイスにおい
て，前記圧電振動板の振動の節のうちの少なくとも１つ
を支持するとともに，前記振動の節のうちの少なくとも
２つに電気的入力端子と電気的出力端子を形成したこと
を特徴とする圧電デバイス。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の圧電デバイスにお
いて，前記圧電振動板は，縦と横の寸法比が１：２であ
る矩形板であり，前記振動板の表裏をなす両面の電極の
うちの少なくとも一方を二分割して，前記振動板の振動
の節のいずれかに延長し，電気的入力端子と電気的出力
端子とした構造を有することを特徴とする圧電デバイ
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5247939A JP2819493B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5247939A JP2819493B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 圧電デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07106660A JPH07106660A (ja) | 1995-04-21 |
| JP2819493B2 true JP2819493B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=17170805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5247939A Expired - Lifetime JP2819493B2 (ja) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2819493B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08278146A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-22 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| EP2897381A1 (en) | 2011-03-31 | 2015-07-22 | NEC CASIO Mobile Communications, Ltd. | Oscillator and electronic device |
-
1993
- 1993-10-04 JP JP5247939A patent/JP2819493B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07106660A (ja) | 1995-04-21 |
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