JPS59211311A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS59211311A JPS59211311A JP8536783A JP8536783A JPS59211311A JP S59211311 A JPS59211311 A JP S59211311A JP 8536783 A JP8536783 A JP 8536783A JP 8536783 A JP8536783 A JP 8536783A JP S59211311 A JPS59211311 A JP S59211311A
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- Pending
Links
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- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
- H03H9/02031—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of ceramic
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａｌ 発明の技術分野
本発明はＬｉＴａＯ３圧電振動子、特にストリップ型振
動子の長手方向の熱膨張係数の−・致した材を使用して
振動特性を安定化した圧電振動子に関する。
動子の長手方向の熱膨張係数の−・致した材を使用して
振動特性を安定化した圧電振動子に関する。
ｆｂ） 技術の背景
水晶やＬｉＴａＯ３等からなる圧電体の対向主面に適当
な電極を形成し、該電極に交流電界を印加すると、圧電
体は印加電界と等しい周波数の応力を生じ、かつ、印加
電界の周波数が圧電体の固有振動数に一致すると共振し
て強勢な振動が得られる。そして、このような振動子は
小型高性能であるため２通信装置等の発振回路やフィル
タとして広く使用されている。近来は電極の質量負荷効
果や圧電反作用によってスプリアスの少ない単一モード
振動子、及び多重モートフィルタが実用されている。
な電極を形成し、該電極に交流電界を印加すると、圧電
体は印加電界と等しい周波数の応力を生じ、かつ、印加
電界の周波数が圧電体の固有振動数に一致すると共振し
て強勢な振動が得られる。そして、このような振動子は
小型高性能であるため２通信装置等の発振回路やフィル
タとして広く使用されている。近来は電極の質量負荷効
果や圧電反作用によってスプリアスの少ない単一モード
振動子、及び多重モートフィルタが実用されている。
（Ｃ１従来技術と問題
第１図は圧電物質としてＬｉＴａＯ３の単結晶を用いた
圧電ストリンブ型厚みすべり振動子を説明するための図
であり、ａは平面図、ｂは斜視図。
圧電ストリンブ型厚みすべり振動子を説明するための図
であり、ａは平面図、ｂは斜視図。
Ｃは振動の大きさを説明する図をそれぞれ示す。
同図において、１はＬｉＴａＯ３の単結晶より切り出さ
れた振動素子、ｘ、ｙ、ｚはその結晶軸、２及び２゛は
電極、矢印は素子の厚みすべり振動の変位方向をそれぞ
れ示している。
れた振動素子、ｘ、ｙ、ｚはその結晶軸、２及び２゛は
電極、矢印は素子の厚みすべり振動の変位方向をそれぞ
れ示している。
振動素子１は結晶のＸ軸に垂直な面より３゛回転した３
゛回転Ｘ板より矩形断面を持つ棒状に切り出さ糺、Ｘ軸
より３゛回転した面の幅全体に対向電極２．２゛が設け
られている。そして、対向電極２，２°に高周波電圧を
印加すれば素子は矢印方向に厚みすべり振動を生じ、そ
の大きさは０図の如く中央部で最も大きく両端に行くほ
ど小さくなる。
゛回転Ｘ板より矩形断面を持つ棒状に切り出さ糺、Ｘ軸
より３゛回転した面の幅全体に対向電極２．２゛が設け
られている。そして、対向電極２，２°に高周波電圧を
印加すれば素子は矢印方向に厚みすべり振動を生じ、そ
の大きさは０図の如く中央部で最も大きく両端に行くほ
ど小さくなる。
このようなし１Ｔａ０３の３゛回転Ｘ板を用いた圧電振
動子の長手方向を決める厚みすべり振動の変位方向（第
１図ａにおいてＹ軸とのなす角θ）ばθ−−４８°と報
告され、−次温度係数を零とすることができる。
動子の長手方向を決める厚みすべり振動の変位方向（第
１図ａにおいてＹ軸とのなす角θ）ばθ−−４８°と報
告され、−次温度係数を零とすることができる。
次いで第２図ｆａ）に示す如く、圧電体１の長手方向主
面端部には厚さもで幅をＷとした２対の導体Ｎ３と３°
及び４と４′が印刷手段で被着形成される。ただし、導
体層３は電極パターン２の端部に積層し、導体３”は電
極パターン２゜の端部に積層されている。
面端部には厚さもで幅をＷとした２対の導体Ｎ３と３°
及び４と４′が印刷手段で被着形成される。ただし、導
体層３は電極パターン２の端部に積層し、導体３”は電
極パターン２゜の端部に積層されている。
さらに次いで、第２図（ｂｌに示す如く導体層３と３゛
並びに４と４゛ とをそれぞれ接続する導体層５と６が
圧電体端部に被着され振動素子が完成する。
並びに４と４゛ とをそれぞれ接続する導体層５と６が
圧電体端部に被着され振動素子が完成する。
このような振動素子は第３図に示すようなチップ振動子
として組立てられる。振動素子はその両端を端子電極５
．６により保持される。各端子電極５，６はセラミノク
ベースの表面の厚膜電極７に接続し、この厚膜電極７は
内面導体層を有するスルホール８を介してセラミソクベ
ース下面の厚膜電極９と導通する。このセラミソクベー
ス１０は、セラミックキャップ］１で被われチップ振動
子が形成される。また、セラミソクベース１０の下面に
゛リード端子を突出させてもよい。
として組立てられる。振動素子はその両端を端子電極５
．６により保持される。各端子電極５，６はセラミノク
ベースの表面の厚膜電極７に接続し、この厚膜電極７は
内面導体層を有するスルホール８を介してセラミソクベ
ース下面の厚膜電極９と導通する。このセラミソクベー
ス１０は、セラミックキャップ］１で被われチップ振動
子が形成される。また、セラミソクベース１０の下面に
゛リード端子を突出させてもよい。
しかし、これらの振動子では、振動素子の長手方向の熱
膨張係数とセラミノクベースの熱膨張係数が一致しない
という欠点があった。
膨張係数とセラミノクベースの熱膨張係数が一致しない
という欠点があった。
ｆｄｌ 発明の目的
本発明は上記の欠点に鑑み、振動子の長手方向の熱膨張
係数とベース基板の熱膨張係数の−・致した圧電Ｊ辰動
子を提供することを目的とするものである。
係数とベース基板の熱膨張係数の−・致した圧電Ｊ辰動
子を提供することを目的とするものである。
ｔｅ＋ 発明の構成
上記口０うばＬｉＴａＯ３単結晶の３゛回転Ｘ板を用い
た断面が矩形で結晶の３゛回転Ｘ面内でＹ軸から時計方
向に５０±２°の方向を長手方向とした短冊状態を振動
素子とし、該振動素子の結晶の３゛回転Ｘ面に平行な対
向主面にそれぞれ全幅にわたる電極が形成され厚みずベ
リ振動を行なう圧電ストリ・ノブ型振動子において、振
動素子の長手方向の熱膨張係数と、ベース基扱の熱膨張
係数をほぼ一致した材料を使用することを特徴とする圧
電振動子により達成される。
た断面が矩形で結晶の３゛回転Ｘ面内でＹ軸から時計方
向に５０±２°の方向を長手方向とした短冊状態を振動
素子とし、該振動素子の結晶の３゛回転Ｘ面に平行な対
向主面にそれぞれ全幅にわたる電極が形成され厚みずベ
リ振動を行なう圧電ストリ・ノブ型振動子において、振
動素子の長手方向の熱膨張係数と、ベース基扱の熱膨張
係数をほぼ一致した材料を使用することを特徴とする圧
電振動子により達成される。
（ｆ） 発明の実施例
以下１本発明に係わる圧電振動素子の熱膨張係数を用い
て本発明を説明する。
て本発明を説明する。
第４図はＬｉＴａｏ−＋単結晶の３゛回転Ｘ板の熱膨張
係数の値を示した図である。第４図において横軸、縦軸
ともに熱膨張係数をとり、同時にＬｉＴａＯ３単結晶の
Ｙ軸の回転角θをとり、実線１２は３゛回転１ｊＴａ０
３Ｘ板の熱膨張係数、は線１３は９６％アルミナの熱膨
張係数、一点珀線１４ばフォルステライト（２Ｍｇ０・
５ｉ（ｌｚ）の熱膨張係数、二点鎖線１５ばヘークライ
Ｉ・の熱膨張係数であり、ス１−リ・ノブの長手方向の
角度θ−５０ｉ２°をば線１６で示したものであり３
θ−５０ツー２°ではフォルステライトの熱膨張係数の
値がかなり一致していることがわかる。
係数の値を示した図である。第４図において横軸、縦軸
ともに熱膨張係数をとり、同時にＬｉＴａＯ３単結晶の
Ｙ軸の回転角θをとり、実線１２は３゛回転１ｊＴａ０
３Ｘ板の熱膨張係数、は線１３は９６％アルミナの熱膨
張係数、一点珀線１４ばフォルステライト（２Ｍｇ０・
５ｉ（ｌｚ）の熱膨張係数、二点鎖線１５ばヘークライ
Ｉ・の熱膨張係数であり、ス１−リ・ノブの長手方向の
角度θ−５０ｉ２°をば線１６で示したものであり３
θ−５０ツー２°ではフォルステライトの熱膨張係数の
値がかなり一致していることがわかる。
（ｇｌ 発明の詳細
な説明した如く１本考案の圧電振動子は素子主面の長平
方向の熱膨張係数と、搭載用へ一ス基板の熱膨張係数が
等しいか、かなり一致した材料を使用することにより、
振動子自体に歪が入らなく高安定、高品質であり、信頼
性の優れた振動子が得られた効果は大きい。
方向の熱膨張係数と、搭載用へ一ス基板の熱膨張係数が
等しいか、かなり一致した材料を使用することにより、
振動子自体に歪が入らなく高安定、高品質であり、信頼
性の優れた振動子が得られた効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は圧電ストリ／プ型厚みすべり振動子を説明する
ための図、第２図は振動素子の電極数山部の形状を説明
するための斜視図、第３図は第２図の振動素子を組込ん
だ千ノブ振動子の斜視図、第４図ばＬｉＴａＯ３単結晶
の３′回転Ｘ板の熱膨張係数を示した図である。 なお図中において、１は振動素子、２．２゜は駆動電極
、３．３′、４．４’ は端子電極。 ５．６は短絡電極、７．９は厚膜電極、８はスルホール
、１０はセラミソクベース、１１はセラミノクキャ、ブ
、１２ば３“回転Ｘ板ＬｉＴａＯ３の熱膨張係数、１３
ば９６％アルミナの熱膨張係数、１４はフォルステライ
ｉ−の熱膨張係数。 １５ばヘークライトの熱膨張係数、１６はス１−リップ
の長手方向の角度、Ｌば素子主面の長手方向の長さ、
１１は素子の厚さ、Ｗは素子主面の幅、ｘ、ｙ、ｚは
単結晶の軸、 Ｘ’ 、 Ｙ′。 Ｚ′ は素子の主面の軸を示す。 第１囚 差２目
ための図、第２図は振動素子の電極数山部の形状を説明
するための斜視図、第３図は第２図の振動素子を組込ん
だ千ノブ振動子の斜視図、第４図ばＬｉＴａＯ３単結晶
の３′回転Ｘ板の熱膨張係数を示した図である。 なお図中において、１は振動素子、２．２゜は駆動電極
、３．３′、４．４’ は端子電極。 ５．６は短絡電極、７．９は厚膜電極、８はスルホール
、１０はセラミソクベース、１１はセラミノクキャ、ブ
、１２ば３“回転Ｘ板ＬｉＴａＯ３の熱膨張係数、１３
ば９６％アルミナの熱膨張係数、１４はフォルステライ
ｉ−の熱膨張係数。 １５ばヘークライトの熱膨張係数、１６はス１−リップ
の長手方向の角度、Ｌば素子主面の長手方向の長さ、
１１は素子の厚さ、Ｗは素子主面の幅、ｘ、ｙ、ｚは
単結晶の軸、 Ｘ’ 、 Ｙ′。 Ｚ′ は素子の主面の軸を示す。 第１囚 差２目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ストリップ型ＬｉＴａＯ３振動子において、ストリ
ップの長手方向の熱膨張係数と搭載用のベース材料の熱
膨張係数とをほぼ等しくしたことを特徴とする圧電振動
子。 ２、上記特許請求の範囲第１項において、前記振動子が
３゛回転Ｘ板を使用したＬｉＴａＯ３単結晶からなり且
つストリップの長手方向を＝５０±２゜とじて構成され
、前記ベースをフォルステライ１−にて構成したことを
特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8536783A JPS59211311A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8536783A JPS59211311A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59211311A true JPS59211311A (ja) | 1984-11-30 |
Family
ID=13856741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8536783A Pending JPS59211311A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59211311A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01229513A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-13 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPH02186817A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-23 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
-
1983
- 1983-05-16 JP JP8536783A patent/JPS59211311A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01229513A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-13 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPH02186817A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-23 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
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