JPH0298522U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0298522U JPH0298522U JP4651488U JP4651488U JPH0298522U JP H0298522 U JPH0298522 U JP H0298522U JP 4651488 U JP4651488 U JP 4651488U JP 4651488 U JP4651488 U JP 4651488U JP H0298522 U JPH0298522 U JP H0298522U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- crystal piece
- crystal
- piece
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 16
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
第1図aは本考案の実施例である水晶片と枠体
の連結箇所の拡大図。第1図bは本考案の実施例
である水晶片と枠体の連結箇所の拡大図。第1図
cは本考案の実施例の水晶片と枠体が連結した状
態を示す正面図。第1図dは本考案の実施例の水
晶片を気密端子に接続した状態を示す正面図。第
2図は従来の水晶片と枠体の連結箇所の拡大図。
第3図は従来の水晶片を気密端子に接続した状態
を示す正面図。 1……水晶片、2……弧状連結部、3……枠体
、4……折り取り部、5……気密端子、6……リ
ード線、7……クラツク、8……枠体の残り、3
1……枠体の水晶片支持部、32……枠体の横枠
。
の連結箇所の拡大図。第1図bは本考案の実施例
である水晶片と枠体の連結箇所の拡大図。第1図
cは本考案の実施例の水晶片と枠体が連結した状
態を示す正面図。第1図dは本考案の実施例の水
晶片を気密端子に接続した状態を示す正面図。第
2図は従来の水晶片と枠体の連結箇所の拡大図。
第3図は従来の水晶片を気密端子に接続した状態
を示す正面図。 1……水晶片、2……弧状連結部、3……枠体
、4……折り取り部、5……気密端子、6……リ
ード線、7……クラツク、8……枠体の残り、3
1……枠体の水晶片支持部、32……枠体の横枠
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 1枚のウエハーから複数の水晶片と枠体を
連結してフオトエツチング加工により形成される
枠体付き水晶片において、水晶片の底辺と枠体の
水晶片支持部の連結形状が直径50μ以下の弧状
であることを特徴とする枠体付き水晶片。 (2) 前記水晶片と枠体の連結箇所の幅寸法と該
水晶片の板厚の比が、幅寸法/板厚=1〜2であ
ることを特徴とする請求項1記載の枠体付き水晶
片。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4651488U JPH0298522U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4651488U JPH0298522U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0298522U true JPH0298522U (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=31272783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4651488U Pending JPH0298522U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0298522U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011045119A (ja) * | 2001-10-16 | 2011-03-03 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP4729924B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-07-20 | エプソントヨコム株式会社 | Atカット水晶片集合体の製造方法 |
JP2014176063A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、屈曲振動片の製造方法、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2014176064A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、屈曲振動片の製造方法、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2017118307A (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社大真空 | 水晶ウエハ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54100681A (en) * | 1978-01-25 | 1979-08-08 | Matsushima Kogyo Kk | Method of fabricating crystal vibrator |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JPS58179013A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-20 | アスラブ・ソシエテ・アノニム | 圧電共振素子とその製造方法 |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP4651488U patent/JPH0298522U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54100681A (en) * | 1978-01-25 | 1979-08-08 | Matsushima Kogyo Kk | Method of fabricating crystal vibrator |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JPS58179013A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-20 | アスラブ・ソシエテ・アノニム | 圧電共振素子とその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011045119A (ja) * | 2001-10-16 | 2011-03-03 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP4735648B2 (ja) * | 2001-10-16 | 2011-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP4729924B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-07-20 | エプソントヨコム株式会社 | Atカット水晶片集合体の製造方法 |
JP2014176063A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、屈曲振動片の製造方法、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2014176064A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、屈曲振動片の製造方法、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2017118307A (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社大真空 | 水晶ウエハ |