JP7008401B2 - 水晶振動素子及び水晶振動デバイス - Google Patents
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Description
(水晶振動子の全体構成)
図1は、本開示の実施形態に係る水晶振動子1(以下、「水晶」は省略することがある。)の概略構成を示す分解斜視図である。また、図2は、振動子1の構成を示す、図1のII-II線における断面図である。
水晶片15は、例えば、いわゆるATカット板である。すなわち、図1に示すように、水晶において、X軸(電気軸)、Y軸(機械軸)及びZ軸(光軸)からなる直交座標系XYZを、X軸回りに30°以上40°以下(一例として35°15′)回転させて直交座標系XY′Z′を定義したときに、水晶片15はXZ′平面に平行に切り出された板状である。
図3(a)は、振動素子5を示す平面図である。図3(b)は、図3(a)のIIIb-IIIb線における断面図である。図3(c)は、図3(a)のIIIc-IIIc線における断面図である。なお、図3(b)及び図3(c)では、水晶片15の断面は、ハッチングが付されずに示されている。
以下の説明では、第1実施形態の構成と同一又は類似する構成については、第1実施形態の構成に付した符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。第1実施形態の構成に対応する(類似する)構成について、第1実施形態の構成とは異なる符号を付した場合においても、特に断りがない事項については、第1実施形態の構成と同様である。
Claims (7)
- メサ部、及び前記メサ部よりも薄く、かつ平面視において前記メサ部を囲む外周部を有しているATカットの水晶片と、
前記メサ部の両主面に重なっている1対の励振電極と、
を有しており、
前記外周部の外縁は、1対の長辺及び1対の短辺を有しており、
前記メサ部は、平面視において、
前記1対の短辺の内側にて前記1対の短辺に沿って延びている1対の短縁と、
前記1対の長辺の内側にて前記1対の長辺に沿って延びている1対の長縁と、を有しており、
前記1対の短縁は、前記1対の短辺に平行な直線状であり、
前記1対の長縁は、平面視において外側に膨らむ形状であり、
前記水晶片をその長手方向に伝搬する不要振動としての屈曲振動による定在波の波長をλLとしたときに、前記1対の短縁それぞれが、前記長手方向に伝搬する不要振動としての屈曲振動による定在波のいずれかの節から1/8λL未満の範囲に位置している
水晶振動素子。 - メサ部、及び前記メサ部よりも薄く、かつ平面視において前記メサ部を囲む外周部を有しているATカットの水晶片と、
前記メサ部の両主面に重なっている1対の励振電極と、
を有しており、
前記外周部の外縁は、1対の長辺及び1対の短辺を有しており、
前記メサ部は、平面視において、
前記1対の短辺の内側にて前記1対の短辺に沿って延びている1対の短縁と、
前記1対の長辺の内側にて前記1対の長辺に沿って延びている1対の長縁と、を有しており、
前記1対の短縁は、前記1対の短辺に平行な直線状であり、
前記1対の長縁は、平面視において外側に膨らむ形状であり、
前記水晶片をその短手方向に伝搬する不要振動としての屈曲振動による定在波の波長をλWとしたときに、前記1対の長縁それぞれの中央部分が、前記短手方向に伝搬する不要振動としての屈曲振動による定在波のいずれかの節から1/8λW未満の範囲に位置している
水晶振動素子。 - 前記1対の励振電極それぞれは、平面視において、
前記1対の短縁の内側にて前記1対の短縁に沿って延びている1対の第2短縁と、
前記1対の長縁の内側にて前記1対の長縁に沿って延びている1対の第2長縁と、を有しており、
前記1対の第2短縁は、前記1対の短辺に平行な直線状であり、
前記1対の第2長縁は、前記1対の長辺に平行な直線状である
請求項1又は2に記載の水晶振動素子。 - 前記1対の励振電極それぞれは、平面視において、
前記1対の短縁の内側にて前記1対の短縁に沿って延びている1対の第2短縁と、
前記1対の長縁の内側にて前記1対の長縁に沿って延びている1対の第2長縁と、を有しており、
前記1対の第2短縁は、前記1対の短辺に平行な直線状であり、
前記1対の第2長縁は、平面視において外側に膨らむ形状である
請求項1又は2に記載の水晶振動素子。 - 前記1対の長縁それぞれは、前記1対の短縁に平行で前記1対の短縁からの距離が等しい線を対称軸として線対称な曲線状である
請求項1~4のいずれか1項に記載の水晶振動素子。 - 前記1対の励振電極と接続されている1対の引出電極を更に有しており、
前記1対の引出電極それぞれは、前記メサ部から前記長縁及び前記短縁のうち前記短縁のみを経由して前記外周部へ延びている
請求項1~5のいずれか1項に記載の水晶振動素子。 - 請求項1~6のいずれか1項に記載の水晶振動素子と、
前記水晶振動素子をパッケージングしているパッケージと、
を有している水晶振動デバイス。
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JP2018088658A JP2018088658A (ja) | 2018-06-07 |
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