JP2005318080A - 圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 音叉型圧電振動片30は、基部32に一対の接続電極50a、50bが形成してある。音叉型圧電振動片30は、基部32が複数の連結部36を介してウエハ10の枠部38に接続してある。複数の連結部36は、1つが一対の接続電極50a、50bの間に形成された分離部56と対応した位置に形成してある。音叉型圧電振動片30は、連結部36を折ることにより、枠部38から分離される。
【選択図】 図1
Description
図1は、ウエハに形成された実施の形態に係る音叉型圧電振動片の平面図である。図1において、ウエハ10は、圧電材料である水晶からなっており、外形が音叉型をした複数の圧電振動片30がフォトエッチングによって形成されている。音叉型圧電振動片30は、基部32と、基部32の一端から突出して形成した一対の振動腕34(34a、34b)とからなっている。音叉型圧電振動片30は、基部32の他端に複数(実施形態の場合、3つ)の連結部36が一体に形成され、連結部36を介してウエハ10の枠部38に接続、支持されている。
Claims (3)
- 基部に対をなす電極が形成してあり、連結部を介して前記基部がウエハの枠部に接続された圧電振動片を、前記連結部を折って前記枠部から分離する圧電振動片の製造方法において、
前記連結部を複数形成するとともに、1つが前記対をなす電極の間に設けた分離部と対応した位置に形成される、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記連結部は3つ以上の奇数個形成され、中央の1つが前記電極の分離部と対応した位置に形成されることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記連結部は、前記圧電振動片側の端部が、前記圧電振動片に形成した凹部内に位置していることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
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