JP5804026B2 - 圧電ウェハ及び圧電振動片 - Google Patents
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Description
本発明に係る圧電ウェハは、圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出され、前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成されていることを特徴とする。
前記枠部から折り取られる当該圧電振動片の折り取り端部には、当該圧電振動片の表裏両面が、前記折り取り端部の折り取り端までそれぞれ連続する平面部と、前記表裏両面が、それぞれ屈曲する屈曲部とが、当該圧電振動片の折り取り方向に沿って形成され、前記表裏両面の各屈曲部は、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲し、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面が連続する前記平面部には、前記圧電振動片の電極が、前記折り取り端まで引出される、ことを特徴とする。
さらに別の好ましい実施態様は、前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に連続する前記平面部にそれぞれ形成されることである。
(折り取り部の変形例)
図6(a)〜(c)は、折り取り部13の第1変形例を示すもので、図5(a)〜(c)に対応する。図6(a)〜(c)において、図5(a)〜(c)に類似ないしは対応する部分には、同一の符号を付し、それらの詳細な説明は略する。
2 水晶振動片(圧電振動片)
3 枠部
4 連結部
5 基部
6,7 第1、第2振動腕部
8 接合部
13 折り取り部
13a〜13d 溝状のスリット
13e,13f ブリッジ(幅方向の一部)
20c4,20c5 引出電極(周波数調整用電極)
Claims (12)
- 圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出され、
前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成される、
ことを特徴とする圧電ウェハ。 - 前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に、前記一対の周波数調整用電極が形成される請求項1に記載の圧電ウェハ。
- 圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出され、
前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に、それぞれ形成される、
ことを特徴とする圧電ウェハ。 - 前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成される、請求項3に記載の圧電ウェハ。
- 圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出され、
前記連結部の前記表裏両面の前記幅方向の前記一部が、前記幅方向でずれた位置に形成される、ことを特徴とする圧電ウェハ。 - 前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成される、ことを特徴とする請求項5に記載の圧電ウェハ。
- 前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に、前記一対の周波数調整用電極が形成される、 請求項6に記載の圧電ウェハ。
- 前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に、それぞれ形成される、請求項7に記載の圧電ウェハ。
- 圧電ウェハの枠部から折り取られて分離される圧電振動片であって、
前記枠部から折り取られる当該圧電振動片の折り取り端部には、当該圧電振動片の表裏両面が、前記折り取り端部の折り取り端までそれぞれ連続する平面部と、前記表裏両面が、それぞれ屈曲する屈曲部とが、当該圧電振動片の折り取り方向に沿って形成され、
前記表裏両面の各屈曲部は、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲し、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面が連続する前記平面部には、前記圧電振動片の電極が、前記折り取り端まで引出され、
当該圧電振動片の表面が連続する前記平面部と、裏面が連続する前記平面部とが、前記折り取り方向でずれた位置に形成される、
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に連続する前記平面部に、前記一対の周波数調整用電極が形成される、請求項9に記載の圧電振動片。
- 圧電ウェハの枠部から折り取られて分離される圧電振動片であって、
前記枠部から折り取られる当該圧電振動片の折り取り端部には、当該圧電振動片の表裏両面が、前記折り取り端部の折り取り端までそれぞれ連続する平面部と、前記表裏両面が、それぞれ屈曲する屈曲部とが、当該圧電振動片の折り取り方向に沿って形成され、
前記表裏両面の各屈曲部は、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲し、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面が連続する前記平面部には、前記圧電振動片の電極が、前記折り取り端まで引出され、
前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に連続する前記平面部にそれぞれ形成される、
ことを特徴とする圧電振動片。 - 当該圧電振動片の表面が連続する前記平面部と、裏面が連続する前記平面部とが、前記折り取り方向でずれた位置に形成される、請求項11に記載の圧電振動片。
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