JP5804029B2 - 圧電ウェハ、圧電振動片、及び圧電振動子 - Google Patents
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Description
(1)本発明に係る圧電ウェハは、圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記圧電振動片を前記枠部に連結する連結部とを有し、前記圧電振動片は、前記連結部の幅方向に間隔を離して並設された一対の第1及び第2金属バンプを有し、前記圧電振動片が、前記連結部で前記枠部から折取り可能な圧電ウェハであって、前記圧電振動片は、基部と、前記基部の一端面に並設されかつ該一端面から一方向に平行に突出する一対の振動腕部と、前記基部の他端面に形成さて外部と接合する接合部と、を備え、前記一対の振動腕部それぞれの励振電極の一部は、引出電極で前記基部上から前記接合部上、前記連結部上、および前記枠部上へと引き出され、前記両金属バンプは、前記接合部における前記引出電極上に並設されて形成されており、前記連結部には、前記折取りのためのスリットが、前記幅方向の一部を除いて当該連結部の幅方向に沿って形成され、前記幅方向の前記一部の幅方向端は、前記幅方向に垂直な方向において、前記両金属バンプから離隔しており、かつ、前記両金属バンプと重なっていない、ことを特徴とする。
(2)本発明に係る圧電振動片は、圧電ウェハの枠部から折取られてなる圧電振動片であって、少なくとも、一端側に振動部を備え、前記一端側と対向する他端側に外部接合用の接合部を備え、前記接合部は、前記他端側の幅方向に並設された一対の第1及び第2金属バンプを具備し、かつ、前記他端側は、その端面に前記枠部から折取られてなる折取り端部を有しており、前記折取り端部の幅方向端は、前記幅方向に垂直な方向において、前記両金属バンプから離隔し、かつ、前記両金属バンプと重なっていない、ことを特徴とする。
2 水晶振動片(圧電振動片)
3 枠部
4 連結部
5 基部
6,7 第1、第2振動腕部
8 接合部
13 折取り部
13a,13b スリット
13c ブリッジ
13c1,13c2 ブリッジ端
Claims (7)
- 圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記圧電振動片を前記枠部に連結する連結部と、を有し、前記圧電振動片は、前記連結部の幅方向に間隔を離して並設された一対の第1及び第2金属バンプを有し、前記圧電振動片が、前記連結部で前記枠部から折取り可能な圧電ウェハであって、
前記圧電振動片は、
基部と、
前記基部の一端面に並設されかつ該一端面から一方向に平行に突出する一対の振動腕部と、
前記基部の他端面に形成されて外部と接合する接合部と、
を備え、
前記一対の振動腕部それぞれの励振電極の一部は、引出電極で前記基部上から前記接合部上、前記連結部上、および前記枠部上へと引き出され、前記両金属バンプは、前記接合部における前記引出電極上に並設されて形成されており、
前記連結部には、前記折取りのためのスリットが、前記幅方向の一部を除いて当該連結部の幅方向に沿って形成され、
前記幅方向の前記一部の幅方向端は、前記幅方向に垂直な方向において、前記両金属バンプから離隔しており、かつ、前記両金属バンプと重なっていない、ことを特徴とする圧電ウェハ。 - 前記幅方向の前記一部は、その最大幅の部分が、前記垂直な方向において、前記両金属バンプと重なっていない、請求項1に記載の圧電ウェハ。
- 前記幅方向の前記一部は、前記両金属バンプの前記並設間の幅方向中央位置に形成される、請求項1または2に記載の圧電ウェハ。
- 前記接合部は、前記基部の前記他端面で前記一対の振動腕部の前記並設方向の中間に設けられかつ前記第1金属バンプが形成された基端部と、前記基端部から前記連結部の幅方向一方に延出されかつ前記第2金属バンプが形成された延出部とを有した平面視L字状に形成され、前記第1金属バンプの平面視サイズは、前記第2金属バンプの平面視サイズより大きい、請求項1ないし3のうちのいずれか一項に記載の圧電ウェハ。
- 請求項1ないし4のうちのいずれか一項に記載の圧電ウェハの枠部から折取られてなる音叉型の圧電振動片であって、
基部と、
前記基部の一端面に並設されかつ該一端面から一方向に平行に突出する一対の振動腕部と、
前記基部の他端面に形成されて外部と接合する接合部と、
を備え、
前記第1及び第2金属バンプが前記接合部上に、前記並設方向に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記一対の振動腕部は、その表裏両主面及び両側面に励振電極が形成された一対の振動腕部である請求項5に記載の圧電振動片。
- 前記請求項5または6に記載の圧電振動片が、パッケージ内で支持されてなる、
ことを特徴とする圧電振動子。
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